DE19543729A1 - Spektrometer - Google Patents
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- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
Description
Die Erfindung betrifft ein Spektrometer mit einer Strahlungs
quelle, einer Strahlung von der Strahlungsquelle empfangenden
Probenzelle, einer Einrichtung zur spektralen Zerlegung von
aus der Probenzelle oder/und Strahlungsquelle austretender
Strahlung, einer Detektoreinrichtung zur Erfassung von aus
der Zerlegungseinrichtung austretender Strahlung, und einer
Einrichtung für die Erzeugung einer Referenzstrahlung.
Spektrometer mit den oben genannten Bauteilen werden zur
Atomabsorptionsspektrametrie, Absorptionsspektrometrie mit
Hilfe von UV-Strahlung und sichtbarem Licht sowie zur Spek
traluntersuchung von Fluoreszenzstrahlung abgebenden Proben
verwendet. Als Einrichtungen für die Zerlegung der Strahlung
werden verschiedene, auf Beugung oder Dispersion beruhende
Monochromataren eingesetzt. Als Strahlungsdetektoren dienen
z. B. Fotovervielfacher und Fotodioden, wobei auch ein- und
mehrzeilige Diodenfelder zur Anwendung kommen.
Bei der Herstellung solcher Spektrometer müssen die einzelnen
Bauteile in genauer räumlicher Zuordnung zueinander angeord
net werden. Dies erfordert neben einer hohen Fertigungspräzi
sion der einzelnen Bauteile selbst auch eine entsprechend ge
naue Herstellung von Bauteilhalterungen zur Halterung der
Bauteile innerhalb des Geräts. Häufig sind darüber hinaus bei
der Gerätemontage noch umfangreiche Justierarbeiten erforder
lich.
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein neues
Spektrometer der eingangs erwähnten Art zu schaffen, das sich
mit gegenüber dem beschriebenen Stand der Technik verringer
tem Aufwand herstellen läßt.
Das diese Aufgabe lösende Spektrometer nach der Erfindung ist
dadurch gekennzeichnet, daß die Zerlegungseinrichtung und die
Detektoreinrichtung in einer in dem Spektrometer komplett in
stallierbaren Baueinheit zusammengefaßt sind, und daß zwei
solche, jeweils eine Zerlegungs- und Detektoreinrichtung um
fassende Baueinheiten vorgesehen sind, von denen eine Bauein
heit für die Erzeugung eines Probensignals und die andere
Baueinheit für die Erzeugung eines Referenzsignals entspre
chend der in die Zerlegungseinrichtung dieser Baueinheit ein
gekoppelten Referenzstrahlung vorgesehen ist.
Durch diese Erfindungslösung wird der Herstellungsaufwand für
ein Spektrometer wesentlich verringert, indem sich im Rahmen
einer Vorfertigung eines die Zerlegungseinrichtung und die
Detektoreinrichtung enthaltenden Bauelements die erforderli
che genaue räumliche Zuordnung zwischen diesen Einrichtungen
leichter verwirklichen läßt, und bei der Montage einer Spek
trometervorrichtung keinerlei die Ausrichtung der Zerlegungs
einrichtung und der Detektoreinrichtung zueinander betreffen
den Justierarbeiten erforderlich werden. Ein solches, zwei
Baueinheiten verwendendes Spektrometer kann vorteilhaft her
kömmliche, einen Referenzstrahl verwendende Zweistrahlspek
trometer ersetzen, in denen zur Führung und Trennung der zwei
Strahlen umfangreiche optische Einrichtungen verwendet werden
müssen.
In vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung kann eine kom
pakte, insbesondere ein Chip-Bauelement umfassende Baueinheit
vorgesehen werden. Durch eine in der Form eines kleinen opti
schen Chips ausgestaltete Baueinheit läßt sich das erfin
dungsgemäße Spektrometer in gegenüber herkömmlichen Spektro
metern sehr kleinen Abmessungen und insbesondere als tragba
res Spektrometer herstellen. Insbesondere bei Verwendung von
durch ein Chip-Bauelement gebildeten Baueinheiten ergibt sich
trotz Verwendung zweier Baueinheiten gegenüber herkömmlichen
Zweistrahlspektrometern durch Wegfall der optischen Einrich
tungen ein erheblicher Kostenvorteil.
In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind auf
einem Substrat eines die Baueinheit bildenden Chip-Bauele
ments eine einen planaren Wellenleiter bildende Wellenleiter
schicht und ein an einen Rand der Wellenleiterschicht angren
zendes, unter spektraler Zerlegung Strahlung in den Wellen
leiter zurückwerfendes Reflexionsgitter integriert. In einer
solche Wellenleiterschicht können zweckmäßig Ausnehmungen für
die Bildung vom Strahlungseinkopplungs- oder/und Strahlungs
auskopplungsstellen ausgebildet werden, wobei in einer bevor
zugten Ausführungsform eine rillenförmige Ausnehmung zur Auf
nahme eines Faseranschlußkabels für eine Strahlungseinspei
sung in die Wellenleiterschicht und eine Ausnehmung zur Bil
dung einer geneigten, Strahlung aus der Wellenleiterschicht
ausblendenden Reflexionsfläche vorgesehen ist. Eingespeistes,
aus der Probenzelle austretendes Licht wird am Reflexionsgit
ter zerlegt, und an der durch die geneigte Reflexionsfläche
gebildeten Auskopplungsstelle können verschiedene, unter
schiedliche Wellenlängen enthaltende Komponenten des zerleg
ten Lichts ausgeblendet werden.
In einer bevorzugten Ausführungsform ist an der Auskopplungs
stelle eine Diodenzeile für den Empfang von Strahlungskompo
nenten unterschiedlicher Wellenlängen vorgesehen. Das be
schriebene Chip-Bauelement läßt sich einschließlich der Di
odenzelle mit Hilfe der bei der Herstellung integrierter
Schaltungen verwendeten Verfahren erzeugen.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungsmöglichkeiten der Erfin
dung gehen aus den Unteransprüchen hervor.
Die Erfindung soll nun anhand von Ausführungsbeispielen und
der beiliegenden, sich auf diese Ausführungsbeispiele bezie
henden Zeichnungen näher erläutert und beschrieben werden.
Es zeigen:
Fig. 1 eine erläuternde Darstellung eines herkömmlichen
Atomabsorptionsspektrometers,
Fig. 2 ein Ausführungsbeispiel für ein Spektrometer nach der
vorliegenden Erfindung,
Fig. 3 eine Teildarstellung eines eine Strahlungszerlegungs
einrichtung und eine Detektionseinrichtung umfassen
den Chip-Bauelements, das in einem Spektrometer nach
der vorliegenden Erfindung verwendet werden kann,
Fig. 4 einen Ausschnitt eines in dem Chip-Bauelement von
Fig. 3 verwendeten Stufenreflexionsgitters,
Fig. 5 einen Ausschnitt einer Auskopplungsstelle auf einer
Wellenleiterschicht des Chip-Bauelements von Fig. 3,
und
Fig. 6 einen Ausschnitt, der die Struktur der Wellenleiter
schicht des Bauelements von Fig. 3 zeigt.
In dem in Fig. 1 gezeigten bekannten Atomabsorptionsspektro
meter ist mit dem Bezugszeichen 1 eine Lichtquelle bezeich
net, vor der eine fokussierende Linse 2 zur Bildung eines
Lichtstrahls 3 angeordnet ist. Der Lichtstrahl 3 trifft auf
eine Chopper-/Ablenkeinrichtung 4, durch die je nach der
Chopper-Stellung der Strahl 3 entweder geradlinig hindurch
tritt oder zur Bildung eines Referenzstrahls 5 abgelenkt
wird. Der unabgelenkte Strahl 3 wird über Umlenkspiegel 6, 7
und 8 in eine für den Lichtstrahl 3 durchlässige Probenzelle
9 geleitet, in der eine zu untersuchende Probe angeordnet
werden kann. Der in der Probe teilweise absorbierte Strahl 3
tritt aus der Probenzelle 9 aus und trifft auf einen Strahl
vereiniger 10, den er ohne Ablenkung passiert. Durch den
Strahlvereiniger 10 wird der Referenzstrahl 5 auf den Strahl
weg umgelenkt, welcher dem Strahlweg des Referenzstrahls 3
jenseits des Strahlvereinigers 10 entspricht. Durch die Chop
per-/Ablenkeinrichtung 4 wird dafür gesorgt, daß sich auf
diesem Strahlweg abwechselnd der durch die Probenzelle 9 und
den Strahlvereiniger 10 getretene Meßstrahl 3 und der Refe
renzstrahl 5 ausbreiten.
Der Meßstrahl oder Referenzstrahl wird durch einen eine fo
kussierende Reflexionsfläche aufweisenden Spiegel 11 um 90°
umgelenkt und erreicht einen weiteren Umlenkspiegel 12, wobei
in den Strahlweg zwischen dem Spiegel 11 und dem Spiegel 12
ein Filter 13 einschiebbar ist. Der den Meßstrahl oder Refe
renzstrahl um 90° ablenkende Spiegel 12 ist unmittelbar vor
einem Eintrittsspalt 14 eines Monochromators 15 angeordnet.
Der Monochromator weist Reflexionsspiegel 16 sowie drehbare
Gitter 18 und 19 auf, wobei ein Gitter im UV-Bereich und das
andere Gitter im Bereich des sichtbaren Lichts wirksam ist.
Vor einem Austrittsspalt 50 des Monochromators 15 ist ein
Lichtdetektor 20, im gezeigten Ausführungsbeispiel ein Foto
vervielfacher, angeordnet.
Mit den Bezugszeichen 21 und 22 sind in der Fig. 1 als weite
re Lichtquellen eine Halogenlampe und eine D2-Lampe bezeich
net, die wahlweise vor einer einen Lichtstrahl 23 ausblenden
den Blende 24 angeordnet werden können. Der Lichtstrahl 23
wird über einen fokussierenden Umlenkspiegel 25 zu der Chop
per-/Ablenkeinrichtung 4 geleitet, wo er je nach Stellung des
Choppers entweder auf den dem Strahlweg des Lichtstrahls 3
entsprechenden Strahlweg oder den dem Strahlweg des Referenz
strahls 5 entsprechenden Strahlweg abgelenkt wird, so daß
auch aus dem Licht der Lichtquelle 21 bzw. 22 jeweils abwech
selnd ein Meßstrahl und ein Referenzstrahl gebildet werden
kann.
Im Meßbetrieb empfängt der Detektor abwechselnd einen durch
die Probe beeinflußten Meßstrahl und einen durch die Probe
unbeeinflußten Referenzstrahl, so daß anhand des Referenz
strahls z. B. Intensitätsschwankungen der Lichtquellen elimi
niert werden können. Je nach Stellung der drehbaren Gitter 18
und 19 empfängt der Detektor Licht unterschiedlicher Wellen
längenbereiche.
In der ein Spektrometer nach der Erfindung zeigenden Fig. 2
sind gleiche oder gleichwirkende Teile mit derselben Bezugs
zahl wie in Fig. 1 bezeichnet, wobei die Bezugszahl jedoch
mit dem Buchstaben a versehen ist.
Vor einer Lichtquelle 1a ist ein Fokussierlinse 2a angeord
net, wobei Quelle und Linse einen Lichtstrahl 3a erzeugen,
welcher durch eine für das Licht des Lichtstrahls 3a durch
lässige Probenzelle 9a tritt. Der aus der Probenzelle austre
tende und durch die Probe beeinflußte Lichtstrahl 3a wird
über einen fokussierenden Umlenkspiegel 26 abgelenkt und auf
eine Lichteintrittsendfläche einer Lichtfaserleitung 27 abge
bildet. Die Lichtfaserleitung 27 ist mit einer Baueinheit 28
verbunden, welche eine Lichtzerlegungseinrichtung und eine
Detektoreinrichtung enthält und genauer anhand der Fig. 3
bis 6 beschrieben ist.
Über einen Strahlteiler 42 wird aus dem durch die Lichtquelle
1a und die Linse 2a erzeugten Strahl 3a ein Referenzstrahl 5a
abgezweigt. Während der durch den Strahlteiler 42 umgelenkte
Meßstrahl 3a über einen fokussierenden Umlenkspiegel 46 durch
die Probenzelle 9a geleitet wird, trifft der Referenzstrahl
5a auf einen Umlenkspiegel 42 auf, durch den er auf eine Ein
trittsendfläche einer Lichtleiterfaser 44 fokussiert wird.
Die Lichtleiterfaser ist mit einer Baueinheit 28′ verbunden,
die identisch mit der den Meßstrahl verarbeitenden Baueinheit
28 ist und den in den Fig. 3 bis 6 beschriebenen Chip-
Baustein enthält.
Wie aus der Fig. 3 hervorgeht, ist die Lichtfaserleitung 27
an einen im wesentlichen die Baueinheit 28 bildenden Chip-
Baustein 29 angeschlossen. Der Chip-Baustein 29 weist ein
Substrat 30 auf, auf dem zur Bildung eines planaren Lichtwel
lenleiters eine Schicht 31 aufgebracht ist.
Wie insbesondere aus der Fig. 6 hervorgeht, die einen Aus
schnitt des Chip-Bausteins 29 zeigt, weist die Schicht 31
drei Lagen auf, wobei die Brechzahl n1 des Materials der
mittleren Lage größer als die Brechzahl n2 des Materials der
untersten und obersten Lage ist. Bekannterweise kann durch
derartige Wahl der Brechzahlen dafür gesorgt werden, daß sich
Licht nur innerhalb der mittleren Schicht ausbreitet.
Die Wellenleiterschicht 31 weist an einem Rand eine gestufte,
ein Reflexionsgitter bildende Reflexionsendfläche 34 auf. Die
ausschnittsweise gesondert in Fig. 4 dargestellte, gestufte
Reflexionsendfläche bildet ein selbstfokussierendes Refle
xionsgitter.
Mit der Bezugszahl 36 ist in der Fig. 3 eine in der Wellen
leiterschicht 31 vorgesehene Ausnehmung bezeichnet, durch die
eine ein Ende der Lichtfaserleitung 27 aufnehmende Rille ge
bildet ist, wobei eine Einspeisung von Licht über die Licht
faserleitung 27 in die Wellenleiterschicht 31 über eine die
Länge der Rille begrenzende Endfläche 37 erfolgt.
In der Wellenleiterschicht 31 ist eine weitere Ausnehmung 38
gebildet, wobei eine Randfläche der Ausnehmung an einem der
Reflexionsendfläche 34 gegenüberliegenden Randabschnitt gegen
die Oberfläche des Substrats 30 in dem gezeigten Ausführungs
beispiel um 45° geneigt ist. Durch diese Neigung ist, wie
insbesondere aus der Abb. 5, die eine Ansicht gemäß der
Schnittlinie A-A von Fig. 3 zeigt, hervorgeht, eine Refle
xionsfläche 40 gebildet, die auftreffendes Licht um 90° ab
lenkt und so aus der Wellenleiterschicht 31 ausblendet.
Wie in der Fig. 5 schematisch angedeutet ist, ist an dem die
geneigte Reflexionsfläche 40 aufweisenden Randabschnitt der
Wellenleiterschicht 31 eine in der Fig. 3 nicht gezeigte Di
odenzeile 41 angeordnet, welche wie die Schicht 31 in den
Chip-Baustein 29 von Fig. 3 integriert ist. Die eine Vielzahl
einzelner Dioden aufweisende Diodenzeile 41 empfängt entspre
chend der unterschiedlichen räumlichen Anordnungen der Dioden
in bezug auf die das Gitter bildende Reflexionsendfläche 34
Lichtkomponenten unterschiedlicher Wellenlängen.
Im Meßbetrieb liefert die Kombination aus der Lichtquelle 1a
und der Linse 2a den Strahl 3a, der in die Probenzelle 9a
eintritt. Eine in der Probenzelle 9a angeordnete Probe absor
biert Licht aus dem Strahl 3a. Der verbleibende Reststrahl
wird über den fokussierenden Spiegel 26 auf die Eintrittsend
fläche der Lichtleiterfaser 27 abgebildet. Über die Lichtlei
terfaser 27 gelangt das durch die Probe beeinflußte Meßlicht
über die durch die Rillenendfläche 37 der Rille 36 gebildete
Einkopplungsstelle in die Wellenleiterschicht 31 und breitet
sich innerhalb der Wellenleiterschicht 31 bis zur der ein
Echelle-Gitter bildenden Reflexionsendfläche 34 aus. An dem
Gitter wird das Licht in Komponenten unterschiedlicher Wel
lenlänge zerlegt, wobei über die in den Bausteinen 29 inte
grierte Diodenzeile 41 eine Vielzahl von Meßsignalen, die
Komponenten des zerlegten Lichts mit unterschiedlichen Wel
lenlängen entsprechen, abgreifbar ist. Somit können über die
Diodenzeile direkt Spektralverteilungen ermittelt werden, oh
ne daß eine Verstellung eines Gitters erforderlich wäre. Die
den durch eine Probe unbeeinflußten Referenzstrahl 5a verar
beitende Baueinheit 28 liefert ein Referenzsignal, durch das
z. B. Schwankungen der Intensität der Lichtquelle eliminiert
werden können und das zum Vergleich mit dem Meßsignal das
volle Spektrum der Lichtquelle wiedergibt.
Der anhand der Fig. 3 bis 6 beschriebene Polychromator-
Chip-Baustein kann kostengünstig nach den zur Herstellung von
integrierten Schaltungen verwendeten Verfahren hergestellt
werden, wobei für eine genaue räumliche Zuordnung zwischen
dem Gitter und den Detektoren gesorgt werden kann. Bei der
Montage des Spektrometers entfallen entsprechende Justierar
beiten. Der Chip-Baustein 29 läßt sich in geringen Abmessun
gen herstellen. In dem gezeigten Ausführungsbeispiel kann die
Grundfläche des Chip-Bausteins in der Größenordnung von 1-2
cm² liegen. Durch diese im Vergleich zu herkömmlichen Mono
chromataren und Detektoreinrichtungen sehr geringen Abmessun
gen läßt sich die Baugröße der Spektrometer insgesamt merk
lich verringern, und die Spektrometer können z. B. als tragba
re Geräte ausgelegt werden.
Die erhebliche Verringerung der Abmessungen läßt sich trotz
der Verwendung zweier, jeweils eine Zerlegungseinrichtung und
eine Detektoreinrichtung umfassender Einheiten erreichen.
Darüber hinaus kann ein solches Spektrometer trotz Verwendung
zweier solcher Baueinheiten weitaus kostengünstiger als ein
herkömmliches, z. B. in Fig. 1 gezeigtes Spektrometer herge
stellt werden, weil keine aufwendigen optischen Einrichtungen
zur Abzweigung und Führung eines Referenzstrahls alternierend
zu dem Meßstrahl erforderlich sind. Die als integrierte Bau
steine herstellbaren Baueinheiten 28 und 28 können mit über
einstimmenden Eigenschaften, insbesondere übereinstimmenden
Detektorempfindlichkeiten derart hergestellt werden, daß
eventuelle Empfindlichkeitsunterschiede im Vergleich zu z. B.
durch das Referenzsignal zu eliminierende Schwankungen der
Lichtquelle vernachlässigbar sind.
Claims (17)
1. Spektrometer mit einer Strahlungsquelle (1), einer Strah
lung von der Strahlungsquelle empfangenden Probenzelle (9),
einer Einrichtung zur spektralen Zerlegung von aus der Pro
benzelle oder/und Strahlungsquelle austretender Strahlung,
einer Detektoreinrichtung zur Erfassung von aus der Zerle
gungseinrichtung austretender Strahlung, und einer Einrich
tung für die Erzeugung einer Referenzstrahlung,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Zerlegungseinrichtung und die Detektoreinrichtung in
einer in dem Spektrometer komplett installierbaren Baueinheit
(28) zusammengefaßt sind und daß zwei solche jeweils eine
Zerlegungs- und Detektoreinrichtung umfassende Baueinheiten
vorgesehen sind, von denen eine Baueinheit (28b) für die Er
zeugung eines Probensignals und die andere Baueinheit (28b′)
für die Erzeugung eines Referenzsignals entsprechend der in
die Zerlegungseinrichtung dieser Baueinheit eingekoppelten
Referenzstrahlung vorgesehen ist.
2. Spektrometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Baueinheit (28) als kompakte, insbesondere ein Chip-
Bauelement (29) umfassende Baueinheit ausgebildet ist.
3. Spektrometer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich
net, daß die Referenzstrahlung aus der Strahlung der Strah
lungsquelle (1b) über einen Strahlteiler (42) ausgekoppelt
ist.
4. Spektrometer nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Baueinheit (28) als Polychromator mit
mehreren Detektoren (41) für die Erfassung unterschiedliche
Wellenlängen aufweisender Komponenten der durch ihre Zerle
gungseinrichtung zerlegten Strahlung ausgebildet ist.
5. Spektrometer nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch ge
kennzeichnet, daß auf einem Substrat (30) des Chip-Bauele
ments (29) ein einen planaren Wellenleiter bildende Wellen
leiterschicht (31) und ein an einen Rand der Wellenleiter
schicht (31) angrenzendes, unter spektraler Zerlegung Strah
lung in den Wellenleiter zurückwerfendes Reflexionsgitter
(34) angeordnet sind.
6. Spektrometer nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß
die Wellenleiterschicht (31) Ausnehmungen (36, 38) für die
Bildung von Strahlungseinkopplungs- (37) oder/und Strahlungs
auskopplungsstellen (40) aufweist.
7. Spektrometer nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß
eine rillenförmige Ausnehmung (36) zur Aufnahme eines Faser
anschlußkabels (27) für eine Strahlungseinspeisung in die
Wellenleiterschicht (31) über eine Rillenendfläche (37) der
Ausnehmung (36) und eine Einrichtung (26) für die Einspeisung
von aus der Probenzelle (9) austretender Strahlung in das Fa
seranschlußkabel (27) vorgesehen sind.
8. Spektrometer nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeich
net, daß eine oder mehrere Ausnehmungen (38) zur Bildung ei
ner geneigten, Strahlung aus der Wellenleiterschicht (31)
ausblendenden Reflexionsfläche (40) vorgesehen sind.
9. Spektrometer nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß
eine oder mehrere, um 45° gegen die Substratoberfläche ge
neigte Reflexionsflächen (40) vorgesehen sind.
10. Spektrometer nach einem der Ansprüche 5 bis 9, dadurch
gekennzeichnet, daß auf der Wellenleiterschicht (39) mehrere
Dioden für den Empfang von aus der Wellenleiterschicht (31)
ausgeblendeten Strahlungskomponenten unterschiedlicher Wel
lenlängen gebildet sind.
11. Spektrometer nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,
daß mehrere Dioden in der Form einer Diodenzeile (41) vorge
sehen sind.
12. Spektrometer nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Dioden (41) in den Chip-Baustein integriert
sind.
13. Spektrometer nach einem der Ansprüche 5 bis 12, dadurch
gekennzeichnet, daß die Wellenleiterschicht (31) drei Schich
ten umfaßt, wobei die Brechzahl (n1) des Materials der mitt
leren Schicht größer als die Brechzahl (n2) des Materials der
anderen Schichten ist.
14. Spektrometer nach einem der Ansprüche 5 bis 13, dadurch
gekennzeichnet, daß das Reflexionsgitter ein Stufengitter
(34) ist.
15. Spektrometer nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet,
daß das Stufengitter ein selbstfokussierendes Gitter (34)
ist.
16. Spektrometer nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch
gekennzeichnet, daß das Spektrometer ein Atomabsorptionsspek
trometer mit einer durch ein Graphitrohr, Quarzrohr oder
durch eine Flamme gebildeten Absorptionszelle als Probenzelle
(9) ist.
17. Spektrometer nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch
gekennzeichnet, daß das Spektrometer ein UV-Spektrometer, ein
Spektrometer für sichtbares Licht oder ein Fluoreszenzspek
trometer mit einer durch eine Probenkürette gebildete Proben
zelle (9) ist.
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