DE19518539A1 - Verfahren zum berührungsfreien Tragen von Objekten und nach diesem Verfahren arbeitende Einrichtung - Google Patents
Verfahren zum berührungsfreien Tragen von Objekten und nach diesem Verfahren arbeitende EinrichtungInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum berüh
rungsfreien Tragen von Objekten nach dem Oberbegriff des Pa
tentanspruchs 1 und eine nach diesem Verfahren arbeitende Ein
richtung.
Zur elektromagnetischen Lagerung von Maschinenteilen werden Sy
steme verwendet, bei denen die Lage des zu lagernden Objektes
mittels berührungsfreier Positionssensoren erfaßt wird. Solche
Systeme werden vorzugsweise für die berührungsfreie oder schwe
bende Lagerung von Rotoren und für Magnetschwebebahnen einge
setzt. Die Signale oder Zustandsgrößen werden einem Regler zu
geführt, der mit Hilfe von Leistungsverstärkern die Ströme und
Spannungen in den Elektromagneten derart steuert, daß das zu
lagernde Objekt stabil schwebt.
Solche Systeme nach dem Stand der Technik sind beispielsweise
aus den Dissertationen der ETH, Zürich, Nr. 7573 (1984), von
Dr. Hannes Bleuler, Seite 9 oder Nr. 7851 (1985), von Dr. Al
fons Traxler, Seite 1, oder Nr. 8665 (1988) von Dr. Dieter Vi
scher, Seiten 3, 25, 26, bekannt. Als Referenz wird auch das
Buch "Magnetlager" von Schweitzer, Traxler, Bleuler; Springer-
Verlag, Berlin und Heidelberg, 1993, zitiert.
In der deutschen Patentschrift DE-29 19 236 wird ein klassi
sches System mit Positionssensoren beschrieben, mit deren Hilfe
eine direkte Messung der Position des Rotors durchgeführt wird,
und in der deutschen Patentschrift DE-28 25 877 wird ein spezi
eller Sensor mit Scheiben angegeben, mit dem die radiale Aus
lenkung und somit die Position des Rotors gemessen wird.
Solche Systeme funktionieren an sich sehr gut, haben aber den
Nachteil, daß sie relativ aufwendig sind.
Es ist daher ein Zweck der vorliegenden Erfindung, ein Verfah
ren anzugeben, durch welches sich weniger aufwendige Ausführun
gen realisieren lassen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren mit den
im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 angegebenen Merk
malen gelöst.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den abhängi
gen Ansprüchen angegeben.
Nachfolgend wird die Erfindung beispielsweise anhand einer
Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 die schematische Darstellung einer Einrichtung zur
elektromagnetischen Lagerung nach dem Stand der
Technik,
Fig. 2 die schematische Darstellung einer ersten Einrichtung
zur elektromagnetischen Lagerung nach der Erfindung,
Fig. 3 die schematische Darstellung einer zweiten Einrichtung
zur elektromagnetischen Lagerung nach der Erfindung,
Fig. 4 eine schematische Anordnung eines als Regler arbei
tenden Mikroprozessors,
Fig. 5 die schematische Darstellung einer Einrichtung mit drei
Elektromagneten,
Fig. 6 eine schematische Darstellung einer Anordnung zur
Regelung der Einrichtung nach Fig. 5,
Fig. 7 eine schematische Darstellung eines als Regler ar
beitenden Mikroprozessors für die Einrichtung nach
Fig. 5 und 6, und
Fig. 8, 9 und 10 schematische Darstellungen eines Rotors mit
speziell ausgestalteten Elektromagneten an
seinen Enden, um ihn zugleich radial und
axial zu stabilisieren.
Fig. 1 zeigt das eine Ende eines Rotors 1 in einem Bereich, wo
zwei Elektromagnete 2, 3 in der X-Achse und zwei Elektromagnete
4, 5 in der Y-Achse wirksam sind. Im Luftspalt zwischen dem Ro
tor 1 und den Elektromagneten 2 bis 5 ist ein Positionssensor 6
angeordnet, der die geometrische Abweichung der wirklichen mo
mentanen Position Ax der Rotorachse 1 in Bezug auf ihre ideale
richtig zentrierte Lage erfaßt. Der Positionssensor 6 liefert
ein Signal u, das einem Regler 7 zugeführt wird, der beispiels
weise dieses Signal u mit einem Referenzsignal Vref vergleicht.
Die zwei Ausgangssignale v, w dieses Reglers 7 werden je einem
Leistungsverstärker 8, 9 zugeführt, die den Strom Iv, Iw für
die Wicklungen 10, 11 der Elektromagnete 2 bzw. 3 liefern. Die
Referenzspannung Vref kann vorzugsweise auch 0 Volt sein.
Die Signale u, v, w sind grundsätzlich typische Schwach
stromsignale. Demgegenüber arbeiten die Leistungsverstärker 8,
9 mit höheren Spannungen und mit stärkeren Strömen, wie sie in
der Leistungselektronik üblich sind. Insbesondere sind die
Leistungsverstärker 8 und 9 an eine starke Gleichstrom
spannungsquelle angeschlossen.
Es gibt verschiedene bekannte Verfahren, um durch eine dy
namische Regelung den Rotor 1 der Einrichtung nach Fig. 1 in
einer vorbestimmten Position in der X-Achse zu stabilisieren.
Bei einer solchen Einrichtung muß man jedoch den Rotor 1 nicht
nur in der X-Achse, sondern auch in der Y-Achse stabilisieren,
und zwar nicht nur an einem Ende bzw. in einem Endbereich des
Rotors, sondern in zwei Bereichen, so daß für diesen Zweck oft
vier Magnetpaare verwendet werden. Dabei ist ein weiteres
Magnetpaar zur Stabilisierung des Rotors in Längsrichtung bzw.
in der Z-Achse nötig. Insgesamt müssen dann fünf Magnetpaare
geregelt werden, die den fünf Freiheitsgraden eines rotierenden
Körpers entsprechen, weil in diesem Fall der sechste
Freiheitsgrad eines festen Körpers der Rotation des Rotors 1 um
die Z-Achse entspricht.
Die erfindungsgemäßen Einrichtungen nach Fig. 2 und 3 können
grundsätzlich mit denselben Elektromagneten und Wicklungen wie
im Fall von Fig. 1 arbeiten. Um dies anzudeuten, sind die
Elektromagnete 2 bis 5 und die Wicklungen 10 und 11 in den
Fig. 1 bis 3 mit denselben Bezugszeichen gekennzeichnet.
Im Gegensatz zu den bekannten Systemen umfaßt die Einrichtung
nach Fig. 2 eine Stromquelle 12, deren Ausgang 13 einen
konstanten Strom Iq liefert. Ein erster Teil Ia dieses Stromes
wird über die Reihenschaltung der Wicklung 10 und eines
Schalters 14 und ein zweiter Teil Ib dieses Stromes über die
Reihenschaltung der Wicklung 11 und eines Schalters 15 zur
Masse bzw. zum Minuspol geleitet. Das Sensorsignal u wird einem
Regler 16 zugeführt, der ein Signal e für einen Modulator 17
liefert. Die Ausgangssignale g und h des Modulators 17
schließen und öffnen den Schalter 14 bzw. 15 derart, daß der
Rotor 1 in der gewünschten Schwebeposition in der X-Achse
gehalten wird. Die nicht mit dem Ausgang 13 der Stromquelle 12
verbundenen Enden 18 bzw. 19 der Wicklungen 10 bzw. 11 sind
über je eine in Sperrichtung geschaltete Diode 20 bzw. 21 mit
dem Pluspol der Einrichtung verbunden. Diese Freilaufdioden 20,
21 leiten bei offenem Schalter 14 bzw. 15 den Strom zurück.
Dabei kann der Regler 16 beispielsweise das Sensorsignal u mit
dem Referenzsignal Vref vergleichen. Der Modulator 17 kann
beispielsweise ein Pulsweitenmodulator sein.
Die vollständige Einrichtung kann mit je einer Stromquelle 12,
einem Regler 16, einem Pulsmodulator 17, zwei Schaltern 14, 15
und zwei Dioden 20, 21 pro Freiheitsgrad, das heißt mit je
fünfmal diesen Elementen bestückt werden.
Die Einrichtung nach Fig. 3 umfaßt ebenfalls eine Stromquelle
12, deren Anschluß 13 über die Wicklung 10 mit dem Anschluß
8′′ eines ersten Verstärkers 8′ und über die Wicklung 11 mit dem
Anschluß 9′′ eines zweiten Verstärkers 9′ verbunden ist. Über
die Anschlüsse 8′′, 9′′ bzw. 13 fließen Ströme Ia, Ib bzw. Iq
derart, daß Ia + Ib = Iq ist. Mit dem Steuersignal u wird ein
Regler 7′ beaufschlagt, der die Steuersignale v′, w′ für die
Verstärker 8′ und 9′ liefert. Dadurch werden die Spannungen an
den Anschlüssen 8′′ und 9′′ derart geregelt, daß sich die er
forderlichen Ströme Ia und Ib einstellen, um den Rotor 1 in
der gewünschten Schwebeposition in der X-Achse zu halten.
Die Steuerung der Einrichtung nach Fig. 1 kann in bekannter
Weise auch digital erfolgen. Bei einer Einrichtung mit fünf
Freiheitsgraden kann der Regler 7 durch einen Mikroprozessor 22
gemäß Fig. 4 ersetzt werden, an den eingangsseitig fünf
Analog/Digital-Wandler 23 bis 27 angeschlossen sind, um die
Sensorsignale u₁, u₂, u₃, u₄, u₅ aus den fünf Sensoren, die wie
der Sensor 6 in diesem Fall für die fünf Freiheitsgrade ver
wendet werden, zu digitalisieren. Der Mikroprozessor 22 liefert
dann zehn digitale Ausgangssignale, die über zehn in Fig. 4
nicht dargestellte Digital/Analog-Wandler, als Signale v₁ bis
v₅ bzw. w₁ bis w₅ den entsprechenden Leistungsverstärkern zuge
führt werden.
Die Einrichtung nach Fig. 2 kann mit einer Anordnung nach
Fig. 4 als Ersatz für den Regler 16, gegebenenfalls zusammen
mit dem Modulator 17, gesteuert werden. Im letzten Fall kann
der Mikroprozessor 22 die zehn Ausgangssignale g₁, h₁, g₂, h₂,
g₃, h₃, g₄, h₄, g₅, h₅ (Fig. 4) liefern, die direkt oder über
je einen einfachen Treiber die Schalter 14, 15 sowie weitere
acht Schalter für insgesamt fünf Wicklungspaare steuern, die
den fünf Freiheitsgraden entsprechen, so daß dann ausgangs
seitig keine Digital/Analog-Wandler erforderlich sind. Dadurch
ergibt sich im Vergleich mit der Einrichtung nach dem Stand der
Technik eine Einsparung von zehn ausgangsseitigen Digital/Ana
log-Wandlern, wenn der Mikroprozessor 22 mit Ausgängen für
variierbare beispielsweise digitale pulsweitenmodulierte Signa
le versehen ist.
Die Einrichtung nach Fig. 5 weist in einem Endbereich des
Rotors 1 drei Elektromagnete mit je einer Wicklung W1, W2, W3
auf, deren Enden mit A1, B1; A2, B2 bzw. A3, B3 bezeichnet
sind. Es sind auch zwei Sensoren 41, 42 oder 41′, 42 zur
Messung der Lage des Rotors in der X-Achse bzw. in der Y-Achse
vorhanden. Die Sensoren 41′ und 42 liefern die Messignale x1′
bzw. y1′. Die drei Elektromagnete nach Fig. 5, deren Achsen
drei Winkel von 120° bilden, können die vier Elektromagnete von
Fig. 2 ersetzen, deren Achsen vier Winkel von 90° bilden, wenn
man die Schaltung nach Fig. 6 verwendet.
Die Anordnung nach Fig. 6 umfaßt einen Mikroprozessor 51 und
eine Stromquelle 52, an deren Ausgang 53 die Anschlüsse A1, A2
und A3 der Wicklungen W1, W2 bzw. W3 (Fig. 5) angeschlossen
sind. Die Anschlüsse B1, B2 und B3 sind einerseits über je
einen Schalter 54, 55 bzw. 56 mit Masse oder mit einem
Spannungspol und andererseits über je eine Freilaufdiode 57, 58
bzw. 59 mit dem anderen Spannungspol verbunden.
Die Signale x₁′, y₁′ aus den Positionssensoren 41′ bzw. 42
(Fig. 5) werden über je einen Analog/Digital-Wandler 60, 61 dem
Mikroprozessor 51 zugeführt. Bei einer solchen Einrichtung kann
der Mikroprozessor 51 eine Koordinatentransformation durch
führen, wie es beispielsweise in Fig. 7 erläutert wird.
Der Mikroprozessor nach Fig. 7 kann in einer Einrichtung, bei
der sich die Sensoren 41′ und 42 (Fig. 5) außerhalb des
Luftspalts befinden, die Funktionen eines ersten Transforma
tionsrechners 62, eines Digitalreglers 63 und eines zweiten
Transformationsrechners 64 durchführen. Der Rechner 62 bewirkt
in an sich bekannter Weise eine Koordinatentransformation, um
die Messergebnisse x1′, y1′, x2′, y2′, z′ von jeweils zwei
nichtorthogonal angeordneten Sensoren 41′, 42 (Fig. 5) auf
orthogonale Koordinaten x1, y1, x2, y2, z zu bringen. Der
nachgeschaltete Digitalregler 63 bildet daraus fünf Regel
größen x₁′′, y₁′′, x₂′′, y₂′′, z′′, die eine ähnliche Funktion wie
das Signal e am Ausgang des Reglers 16 (Fig. 2) erfüllen. Der
Transformationsrechner 62 ist nicht notwendig, wenn man mit
orthogonal positionierten Sensoren 41, 42 (Fig. 5) arbeitet,
die die Signale x1 und y1 liefern.
Der zweite Rechner 64 wandelt diese fünf Signale um in drei
Steuersignale i₁, j₁, k₁ für eine erste Anordnung nach Fig. 5
am einen Endbereich des Rotors, in drei Steuersignale i₂, j₂,
k₂ für eine zweite Anordnung am anderen Endbereich des Rotors
und in zwei Steuersignale r, s für zwei stirnseitig wirkende
Elektromagnete, die den Rotor in der Z-Achse stabilisieren. Mit
dieser Anordnung ist es somit möglich, die fünf Freiheitsgrade
mit Hilfe von acht statt zehn Signalen zu beherrschen.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung können gemäß Fig. 8
die Enden 81, 82 des Rotors 1 konisch ausgestaltet sein, wobei
an einem Ende drei Elektromagnete 83, 84, 85 derart mit einem
konischen Luftspalt angeordnet sind, daß elektromagnetische
Kräfte in allen drei Achsen X, Y, Z entstehen. Am anderen Ende
sind ebenfalls drei Elektromagnete in gleicher Weise angeord
net. Bei einem Rotor der in Fig. 8 dargestellten Art hat sich
in vorzüglicher Weise gezeigt, daß eine einzige Stromquelle
für alle fünf Freiheitsgrade genügt, was eine hohe Einsparung
von Material und daher auch von Kosten bedeutet, und zwar
derart, daß in diesem Fall ein Rechner 64 (Fig. 7) eingesetzt
werden kann, der nur die sechs Signale i1, j1, k1, und i2, j2,
k2 für die sechs Elektromagnete liefern muß; die Signale r und
s entfallen, weil sich dann die axiale Stabilisierung von
selbst ergibt.
In der Anordnung nach Fig. 9 sind die Elektromagnete 91, 92, 93
derart am Ende des Rotors angeordnet, daß sie teilweise über
je einen stirnseitigen Luftspalt 94 und teilweise über je einen
radialen Luftspalt 95 wirken, so daß auch in diesem Fall die
Signale r und s entfallen.
Die Positionierung kann auch indirekt, beispielsweise Mittels
Magnetfeldsensoren erfolgen. Ein Magnetlager mit Hall-Effekt-
Sensoren wurde beispielsweise von D. Zlatnik und A. Traxler im
′′2nd International Symposium on Magnetic Bearing, July 12-14,
1990, Tokyo, Japan, Seiten 229 bis 235 vorgestellt.
Es gibt Anwendungen, in welchen nicht alle fünf Freiheitsgrade
geregelt werden müssen, weil der Rotor teilweise durch passive
Magnetlager oder andere Mittel stabilisiert bzw. gehalten wird.
In solchen Fällen ist die erfindungsgemäße Anordnung zur
Stabilisierung der gewünschten Freiheitsgrade auch anwendbar.
Dabei wurde durch die vorliegende Erfindung festgestellt, daß
die Differenz zwischen der Anzahl Elektromagnete und der Anzahl
der zu regelnden Freiheitsgrade der Anzahl der benötigten
Stromquellen entspricht. Bei einem Magnetlager (Fig. 2) mit 10
Elektromagneten und 5 Freiheitsgraden sind (10-5 = 5) fünf
Stromquellen notwendig. Im Beispiel nach Fig. 8 mit 6
Elektromagneten und 5 Freiheitsgraden ist (6-5 = 1) nur eine
Stromquelle notwendig.
Stromquellen mit einem guten Wirkungsgrad arbeiten mit einem
geregelten Schalter. In weiterer Ausgestaltung der Erfindung
hat es sich ergeben, daß es vorteilhaft ist, den oder die
Schalter der Stromquelle(n) mit den Schaltern 14, 15, oder mit
den Schaltern 54, 55, 56 zu synchronisieren, und zwar mit
derselben Taktfrequenz oder mit Taktfrequenzen im Verhältnis
n : m, worin m und n ganze Zahlen sind. Bei kleinen Leistungen
kann das erfindungsgemäße Magnetlager in vorzüglicher Weise
auch mit passiven Stromquellen arbeiten.
Bei den Magnetlagern nach dem Stand der Technik (Fig. 1)
braucht man pro geregelte Achse zwei stromgesteuerte Leistungs
verstärker mit je einer Einrichtung zur Strommessung, Strom
regelung und Pulsweitenmodulation samt dem eigentlichen Lei
stungsteil. Die Verlagerung dieser Funktionen in einen Mikro
prozessor, wie es bei einer erfindungsgemäßen Einrichtung
leicht möglich ist, ist bei einer Einrichtung nach dem Stand
der Technik nur mit relativ viel Aufwand zu realisieren. Wenn
man in einer Einrichtung nach dem Stand der Technik bei
spielsweise die Pulsweitenmodulation in den Mikroprozessor
integrieren wollte (wie in Fig. 2 oder Fig. 6), müßte die
Stromregelung, die den Spulenstrom mit dem Verstäkereingangs
signal (wie bei v, w in Fig. 1) vergleicht und die Pulsweiten
modulatoren entsprechend einstellt, auch in den Mikroprozessor
integriert werden. Dies bedeutet, daß man alle Spulenströme
messen und mittels Analog/Digital-Wandlern dem Rechner zur Ver
fügung stellen müßte, was ein wenig vorteilhafter Aufwand
wäre.
Aber auch wenn man auf diese Stromregler verzichtet (vgl. D.
Vischer, Diss., Seite 52) und auf Spannungssteuerung übergeht,
braucht man trotzdem noch die Stromsteuerung, um die Vor
magnetisierung und den Überstromschutz zu gewährleisten.
Im Gegensatz dazu entfallen beim erfindungsgemäßen Magnetlager
der Vormagnetisierungsstromregler samt entsprechender Ana
log/Digital-Umwandlung und die Überstromüberwachungsschaltun
gen, die überflüssig sind, weil durch die Konstantstromquelle
der Arbeitsstrom von vornherein begrenzt ist. Die relativ auf
wendigen Strommessungen entfallen ebenfalls.
Ein weiterer Vorteil liegt bei den Treiberstufen für die
Leistungsschalter: Bei konventionellen Verstärkern werden pro
Kanal 2 Schalter (Vollbrücke) gebraucht. Ein Schalter liegt
zwischen 0 Volt und dem Ausgang, der andere zwischen dem Aus
gang und der positiven Speisung. Die Ansteuerung des zweiten
Schalters erfordert einen großen Aufwand, da man eine Poten
tialanpassung für das Steuersignal braucht.
Beim erfindungsgemäßen Magnetlager können hingegen alle
Leistungsschalter auf 0 Volt-Potential liegen. Außer dem
Schalter für die Stromquelle sind keine Schalter notwendig, die
am Potential der positiven Speisung liegen müssen. Alle
Steuersignale vom Regler können direkt ohne Potentialanpassung
zu den Leistungsschaltern geführt werden.
Zudem ist eine galvanische Trennung am Verstärkereingang
leichter zu realisieren als bei einer Einrichtung nach dem
Stand der Technik, da die Schalter mit digitalen Pulsen
angesteuert werden, so daß man beispielsweise Optokoppler
problemlos einsetzen kann. Im Gegensatz dazu weisen die kon
ventionellen Leistungsverstärker meistens analoge Eingänge auf.
Fig. 10 zeigt eine Variante des Rotors nach Fig. 8.
Claims (10)
1. Verfahren zum berührungsfreien Tragen von Ob
jekten, beispielsweise eines Rotors, mit mindestens zwei Elek
tromagneten, einem Regler und einer Leistungselektronik für die
Speisung dieser Elektromagnete, wobei diese Speisung derart ge
regelt wird, daß eine stabile, berührungsfreie schwebende Lage
des zu lagernden Objektes für wenigstens einen Freiheitsgrad
erreicht wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Wicklungen (10,
11; W1, W2, W3) dieser mindestens zwei Elektromagnete parallel
durch eine geregelte Stromquelle (12; 52) gespeist werden, um
die Summe der Ströme über diese Wicklungen konstant zu halten,
und daß in Serie mit diesen Wicklungen jeweils eine Leistungs
schaltung (14, 15; 54, 55, 56; 8′, 9′) geschaltet ist.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß wenigstens eine Gruppe von mindestens zwei Elek
tromagneten durch eine Stromquelle gespeist wird, um das Objekt
bezüglich mindestens eines Freiheitsgrades zu stabilisieren,
oder daß alle Elektromagnete für alle zu regelnden Freiheits
grade gemeinsam durch ein und dieselbe Stromquelle gespeist
werden.
3. Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens
nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens
eine Stromquelle (12; 52) vorhanden ist, die einen Anschluß
(13; 53) aufweist, mit dem die Enden je einer Wicklung (10, 11;
W1, W2, W3) eines dieser Elektromagnete verbunden sind, und
daß die Einrichtung durch den Regler (7′; 16, 17; 51)
gesteuerte Leistungsschaltungen umfaßt, an die die anderen
Enden dieser Wicklungen angeschlossen sind.
4. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekenn
zeichnet, daß diese Leistungsschaltungen durch den Regler
betätigte Stromschalter (14, 15; 54, 55, 56) sind, um die durch
diese Wicklungen (10, 11; W1, W2, W3) geführten Ströme (Ia, Ib;
Ia′, Ib′, Ic′) über je einen dieser Stromschalter ein- und
auszuschalten.
5. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekenn
zeichnet, daß das nicht mit der Stromquelle (12; 52) ver
bundene Ende (18, 19; B1, B2, B3) der Wicklung (10, 11; W1, W2,
W3) eines Elektromagneten über eine Freilaufdiode (20, 21; 57,
58, 59) mit der Speisespannung der Einrichtung verbunden ist.
6. Einrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß das der Regler (16, 17; 51) einen
Pulsweitenmodulator umfaßt.
7. Einrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6,
dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine Stromquelle einen
Stromquellenschalter umfaßt, der mit den Stromschaltern (14,
15; 54, 55, 56) synchronisiert ist.
8. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Leistungsschaltungen analog arbeitende Lei
stungsverstärker (8′, 9′) sind.
9. Einrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 8,
dadurch gekennzeichnet, daß an mindestens einem Ende (81, 82)
des Rotors (1) drei Elektromagnete (83, 84, 85) derart einen
Luftspalt mit dem Rotor (1) bilden, daß elektromagnetische
Kräfte in allen drei Achsen (X, Y, Z) entstehen.
10. Einrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 9,
dadurch gekennzeichnet, daß der Regler (62, 63, 64) Mittel
umfaßt, um mindestens eine Koordinatentransformation durch
zuführen.
Applications Claiming Priority (1)
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