DE19516925A1 - Verfahren und Anlage zum Abscheiden von SiO¶2¶ aus einem Trägergasstrom - Google Patents
Verfahren und Anlage zum Abscheiden von SiO¶2¶ aus einem TrägergasstromInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anlage zum Abscheiden
von Industriestäuben, insbesondere von SiO₂-Stäuben aus einem
Trägergasstrom in einem kontinuierlichen Entstaubungsprozeß.
SiO₂-Stäube entstehen u. a. bei thermischen Prozessen, bspw. bei der
Herstellung von Ferrosilicium und bestehen aus feinen bzw. ultrafei
nen Feststoff-Teilchen, die in Gas schwebefähig sind. In der Masse
bildet SiO₂-Staub infolge der hohen reaktiven Oberfläche der mit
einer durchschnittlichen Partikelgröße zwischen 0,5 und 3 Mikrometer
anfallenden Partikel ein begehrtes Produkt bspw. zur Herstellung
von langzeitbeständigem Beton hoher Festigkeit mit geringen Anteilen
von Calciumhydroxid. Durch reaktive Bindung des Calciumhydroxids
während des Abbindungsprozesses von Zement zu Beton mittels eines
äquivalenten Reaktionsanteils von reaktivem SiO₂ lassen sich u. a.
Korrosionserscheinungen an den Glasfasern von glasfaserverstärktem
Beton weitestgehend unterdrücken und damit einer befürchteten
Festigkeitsverminderung von Betonbauteilen entgegenwirken bzw.
verhindern.
Andererseits ist die Abscheidung von SiO₂-Stäuben aus einem Träger
gasstrom infolge der Feinheit der darin enthaltenen Partikel ausge
sprochen schwierig. Vielfach arbeiten bekannte Abscheideanlagen nach
dem Prinzip der Naßabscheidung, bevorzugt in zwei Schritten, wobei
im ersten Schritt bspw. ein Venturi-Naßwäscher als Staubabscheider
und im zweiten Schritt eine Gaswäsche verwendet wurde. Bedingt durch
physikalische Gegebenheiten ist es dabei nicht möglich, eine zu
friedenstellend hohe Abscheideleistung der Stäube in der ersten
Stufe zu erreichen. Dadurch gelangen Reststäube in die nachgeschal
tete Gaswäsche bzw. eine Füllkörpersäule. Dabei ergibt sich der
Nachteil, daß durch Anreichern von Stäuben in dieser Füllkörpersäule
ein Druckanstieg entsteht, der sich ständig erhöht und bei einem
eingestellten Maximalwert zum Abschalten der gesamten Absauganlage
und damit zugleich zur Unterbrechung des vorgeordneten Produktions
prozesses führt. Die dann anschließend erforderlichen Reinigungs-
und Instandsetzungsarbeiten an diesem Gaswäscher sind sehr zeit-
und kostenintensiv, und belasten in entscheidender Weise die Wirt
schaftlichkeit einer Produktionsanlage beim Abscheiden von SiO₂-
Stäuben aus einem Trägergasstrom. Weiterhin ist anzumerken, daß der
eigentliche Gaswäscher bei dieser durch Staubbeladung verursachten
Abschaltung seine Aufgabe durchaus noch längere Zeit hätte erledigen
können, bis der erforderliche Regenerationsprozeß eingeleitet werden
müßte. Je nach behördlicher Auflage bezüglich der Charakteristik
des Trägergasstromes kann dieser ins Freie abgeleitet werden.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein verbessertes Verfahren
und eine verbesserte Anlage zum Abscheiden von Industriestäuben,
insbesondere von SiO₂-Stäuben aus einem Trägergasstrom in einem kon
tinuierlichen Entstaubungsprozeß anzugeben, welche die vorgenannten
Nachteile und Schwierigkeiten vermeiden und insbesondere bei ver
ringerten Kosten bzw. erhöhter Wirtschaftlichkeit eine zufriedens
tellende, hohe spezifische Abscheideleistung ermöglichen.
Zur Lösung der gestellten Aufgabe ist bei einem Verfahren der
eingangs genannten Art mit der Erfindung vorgesehen,
- 1. daß in einem ersten Schritt der staubbeladene Trägergasstrom durch Filtermittel eines Trockenfiltersystems hindurchgeleitet und darin einer Entstaubung unterzogen wird.
- 2. Daß in einem gegebenenfalls zweiten Schritt der entstaubte Trägergasstrom einer Gaswäsche zugeführt wird.
Eine Ausgestaltung sieht vor, daß der Trägergasstrom im ersten
Schritt nacheinander zuerst durch ein Patronenfilter in der ersten
Stufe und anschließend durch ein Schwebstoffilter in der zweiten
Stufe hindurchgeleitet wird.
Weiter sieht eine Ausgestaltung des Verfahrens nach der Erfindung
vor, daß der Trägergasstrom im zweiten Schritt durch einen Gaswä
scher, bevorzugt eine Füllkörpersäule, hindurchgeleitet werden kann.
Eine erfindungswesentliche Maßnahme sieht dabei vor, daß der mit
Anwachsen eines Filterkuchens zunehmende Filterwiderstand mindestens
des Patronenfilters und fallweise auch des Schwebstoffilters über
wacht und die Filter bei Erschöpfung infolge Überschreitens eines
vorgegebenen Widerstands-Schwellwertes zu- und abflußseitig vom
Gasstrom abgeschottet und regeneriert werden und der Gasstrom auf
ein parallel und identisch im Bypass arbeitendes Trockenfiltersystem
umgeleitet und durch dieses bis zu dessen Erschöpfung hindurch
geleitet wird, und umgekehrt.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen des Verfahrens sind entspre
chend den Unteransprüchen vorgesehen.
Durch die vorbezeichneten Verfahrensschritte und Maßnahmen wird mit
großem Vorteil im Trockenfiltersystem bei vergleichsweise wirt
schaftlichen Investitions- und Betriebskosten eine vergleichsweise
hohe spezifische Abscheideleistung im ersten Abscheideschritt, dem
Trockenfiltersystem, erzielt und somit der Anfall von Reststäuben
im zweiten Abscheideschritt, bspw. der Füllkörpersäule, signifikant
reduziert.
Eine Anlage zur Durchführung des Verfahrens nach der Erfindung ist
im ersten Schritt gekennzeichnet durch ein Trockenfiltersystem,
umfassend in einer identisch-parallelen redundanten Anordnung je
einen parallelen Staubgas-Zufuhrleitungsstrang mit je einem Patro
nenfilter (erste Stufe) und je einem nachgeordneten Schwebstoffilter
(zweite Stufe), wobei beide Gasleitungsstränge stromabwärts der
Schwebstoffilter in eine gemeinsame Abgasleitung einmünden, welche
im zweiten Schritt über einen Gaswäscher an ein Saugzuggebläse
angeschlossen ist.
Sofern produktionstechnische Störungen beim Abreinigungsprozeß der
ersten Filterstufe auszuschließen sind, kann auf eine identisch
parallele redunante Anordnung verzichtet werden.
Weitere Ausgestaltungen der Anlage sind entsprechend den Unter
ansprüchen vorgesehen.
Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile ergeben sich aus der
nachstehenden Erläuterung eines in der Zeichnung in Form eines
Stammbaumes schematisch dargestellten Ausführungsbeispieles, einer
identisch-parallelen redundanten Anordnung des ersten Schrittes zur
SiO₂-Staub-Abscheidung aus einem Trägergasstrom.
Die Figur zeigt eine Anlage mit einem Trockenfiltersystem im ersten
Abscheideschritt und einem Gaswäscher 12 im zweiten Abscheide
schritt. Das Trockenfiltersystem umfaßt in einer identisch-par
allelen redundanten Anordnung je einen parallelen Staubgas-Zufuhr
leitungsstrang 1 bzw. 2 mit je einem Patronenfilter 10, 20 in der
ersten Stufe und je einem nachgeordneten Schwebstoffilter 11, 21
in der zweiten Stufe. Stromabwärts der Schwebstoffilter 11, 21
münden beide Gasleitungsstränge 1′ bzw. 2′ in eine gemeinsame
Abgasleitung 3 ein, welche über den Gaswäscher 12 an ein Saugzug
gebläse 13 angeschlossen ist.
Damit ist ein parallel arbeitendes Abscheidesystem verwirklicht,
welches im Tandemverfahren durch Umschalten jeweils einen System
teil, umfassend ein Patronenfilter 10 bzw. 20 und ein Schwebstoffil
ter 11 bzw. 21 in aktivem Betrieb hält, während der andere parallele
Teil des Trockenfiltersystems in der Zwischenzeit abgereinigt und
damit reaktiviert wird. Auf diese Weise wird ein permanent hoher
Abscheidungswirkungsgrad aufrechterhalten und das nachgeschaltete
Schwebstoffilter 12 sehr wirkungsvoll von anfallendem Reststaub
entlastet.
Wie die Figur weiter zeigt, ist jedem Patronenfilter 10, 20 und
vorzugsweise auch jedem Schwebstoffilter 11, 21 ein Druckdifferenz
wächter 15, 25 bzw. 16, 26 zugeordnet und deren Signalleitungen 17,
27 bzw. 18, 28 einem Systemprozessor 50 aufgeschaltet.
Ein solcher Systemprozessor 50 kann in an sich bekannter Weise eine
oder mehrere Recheneinheiten sowie eine oder mehrere Speichereinhei
ten enthalten und für bestimmte Betriebsvorgänge programmierbar
sein.
Weiter zeigt das beispielhaft ausgeführte Schaltschema der Anlage,
daß die Reingasseite jedes Patronenfilters 10, 20 mit der Aufgabe
seite des nachgeschalteten Schwebstoffilters 11, 21 verbunden und
dem Patronenfilter ein steuer-/regelbares Einlaßventil 19, 29
vorgeordnet und dem Schwebstoffilter ein steuer-/regelbares Auslaß
ventil 30, 31 im Leitungsstrang 1′, 2′ nachgeordnet ist.
Damit besitzt die Anlage im ersten Schritt ein parallel arbeitendes
Abscheidesystem, dessen einzelne Filterkomponenten aus einem Patro
nenfilter 10, 20 in der ersten Stufe und einem nachgeschalteten
Schwebstoffilter 11, 21 in der zweiten Stufe bestehen.
Weiterhin ist aus dem Anlagenschema ersichtlich, daß der Reingassei
te jedes Patronenfilters 10, 20 eine an eine Spülgasquelle ange
schlossene Spülgasleitung 4, 24 mit einem darin angeordneten Abrei
nigungsventil 5, 35 zur Regeneration der ersten Filterstufe aufge
schaltet ist.
In einer weiteren Ausgestaltung ist vorgesehen, daß der Staubsammel
raum jedes Patronenfilters 10, 20 einen Füllstandsmelder 6, 36
aufweist und an eine Spülgasleitung 7, 37 mit einem Spülgasventil
8, 38 zur Durchspülung angeschlossen ist.
Im Betrieb wird die Hauptmasse der Stäube im Patronenfilter abge
schieden und gelangt in den unten angebrachten Staubsammelbehälter.
Durch das entstehende Anwachsen eines Filterkuchens erhöht sich der
Filterwiderstand bis zu einem voreingestellten Grenzwert. Bei
Erreichen dieses Grenzwertes wird das zweite Filtergerät automatisch
geöffnet, um die Abscheidung der Stäube jetzt hier vorzunehmen. Das
erste Filtergerät wird durch das Schließen von zwei Ventilen 19,
30 bzw. 29, 31 von dem übrigen Saugrohrnetz, Leitungsstränge 1, 1′
bzw. 2, 2′, abgeschottet. Sodann erfolgt bei dem abgeschotteten
Abscheidesystemteil eine Abreinigung der Filterpatronen bzw. Filter
kerzen durch Freiblasen der Filterflächen im Gegenstrom zum Ab
scheidebetrieb mit Hilfe eines Spülgases, bspw. mit Stickstoff.
Durch kurzzeitiges impulsartiges Einbringen von Stickstoff bzw.
Spülgas in die Patrone wird erreicht, daß der Filterkuchen sich von
der Patrone löst und in den Staubsammelbehälter gelangt.
Die Filterelemente können aus Sintermaterial, metallischen oder
keramischen Ursprungs sowie aus technischen, mineralischen, Natur-
und Kunstfaser- oder aus Vliesstoffen bestehen. Nach dem Abreini
gungsprozeß steht im Patronenfilter jeweils wieder ein sauberes
Filtermittel zur weiteren Verfügung. Der durch das Abreinigen
erzeugte Überdruck im abgeschotteten System zwischen den beiden
geschlossenen Ventilen 19, 30 bzw. 29, 31 wird über die reingassei
tig angebrachten Regelventile 30 bzw. 31 so langsam abgebaut, daß
der Unterdruckfühler 45 nicht seinen Schaltpunkt erreicht.
Nach dem Abreinigen und Entspannen des ersten Filtersystemteils
steht dieser nun wieder für einen neuen Abscheideprozeß zur Ver
fügung. Sinngemäß wird die Abreinigung des zweiten Filtersystemteils
bedarfsweise durchgeführt.
In der Spülgasleitung 7 bzw. 37 ist ein Durchfluß-Meßgerät und
Regelventil 9 angeordnet und mit einer Signalleitung 22 an den
Systemprozessor 50 angeschlossen. Dieser wird in der vorgenannten
Funktion von den Druckwächtern 15, 25 bzw. 16, 26 durch entsprechen
de Signalleitungen 17, 27 bzw. 18, 28 angeregt und steuert über
entsprechende Steuerleitungen 40 bis 43 die Ventile 19, 29 bzw. 30,
31 sowie über Steuerleitungen 39, 39′ die Spülgasventile 8, 38.
Es handelt sich demnach bei dem Systemprozessor 50 um ein übergeord
netes Steuersystem, an welches, wie gezeigt, Signalleitungen der
Überwachungseinheiten aufgeschaltet und von diesen ausgehende
Steuerleitungen auf die entsprechenden Funktionselemente aufgeschal
tet sind. Dieser steuert somit nach Erhalt von Signalen der Druck
differenzwächter 15, 25; 16, 26 nach Maßgabe eines vorgegebenen
Betriebsprogrammes über Steuerleitungen 40 bis 43 die Ein- und
Auslaßventile 19, 29; 30, 31 und über die Steuerleitungen 32, 34
die Abreinigungsventile 5, 35 sowie über die Steuerleitungen 39,
39′ die Spülventile 8, 38. Weiterhin ist vorgesehen, daß dem Staub
sammelraum jedes Patronenfilters 10, 20 ein Endschalter 44 bzw. 44′
zugeordnet ist.
Wie gesagt, wird der Staubsammelbehälter jedes Patronenfilters 10,
20 mit einem autarken Füllstandsmelder 6, 36 überwacht und bei
Erreichen des maximalen Füllstandes das Filtersystem aus dem Ab
scheideprozeß genommen und eine Meldung an den Systemprozessor 50
gegeben. Zum Entleeren des Staubsammelbehälters ist ein Spülen der
Abscheideanlage mit einem Spülgas, beispielsweise mit Stickstoff,
erforderlich, um das Prozeßträgergas zu entfernen. Beim Spülvorgang
wird Spülgas in den Abscheider gedrückt, wobei die einströmende
Gasmenge mittels Durchflußmesser 9 kontrolliert wird. Das reingas
seitige Regelventil 30, 31 ist bei diesem Vorgang geöffnet. Das
Spülgasventil 8, 38 läßt Spülgas in das Filtergehäuse 10, 20 ein
strömen.
Die beim Entspannen eines Filtersystems auftretenden geringfügigen
Druckschwankungen werden vom Unterdruckfühler 45 erkannt und als
Eingangssignal mit der Signalleitung 46 auf den Regler 47 gelegt,
der wiederum mit der Steuerleitung 48 den frequenzgeregelten Venti
lator 13 bzw. dessen Motor 14 ansteuert und veranlaßt, durch Ände
rung der Drehzahl einen günstigen Betriebspunkt des Ventilators
anzufahren und Druckschwankungen zu kompensieren.
Der Systemprozessor 50 zur Steuerung aller Anlagenteile ist in einem
Schalt- und Regelschrank (nicht gezeigt) untergebracht.
Die Anlage ist funktionell unkompliziert, kompakt und arbeitet sehr
effizient im kontinuierlichen Betrieb mit vergleichsweise verringer
ten Investitions- und Betriebskosten. Insofern erfüllt das Verfahren
und die Anlage nach der Erfindung in optimaler Weise die eingangs
gestellte Aufgabe auch dann, wenn - in Abwandlung der figurlich
dargestellten Filteranlage - nicht mit einer identisch redundanten
Anordnung gearbeitet wird, sondern mit einer Einstrang-Anordnung.
Claims (16)
1. Verfahren zum Abscheiden von Industriestäuben, insbesondere
von SiO₂-Stäuben aus einem Trägergasstrom in einem kontinuier
lichen Entstaubungsprozeß,
gekennzeichnet durch
die Verfahrensschritte:
- - daß in einem ersten Schritt der staubbeladene Trägergass trom durch Filtermittel (10, 11; 20, 21) eines Trocken filtersystems hindurchgeleitet und darin einer Entstau bung unterzogen wird,
- - daß in einem gegebenenfalls zweiten Schritt der entstaub te Trägergasstrom einer Gaswäsche zugeführt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Trägergasstrom im ersten Schritt nacheinander zuerst
durch ein Patronenfilter (10 bzw. 20) in der ersten Stufe und
anschließend durch ein Schwebstoffilter (11 bzw. 21) in der
zweiten Stufe hindurchgeleitet wird.
3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Trägergasstrom im zweiten Schritt durch einen Gaswä
scher, bevorzugt eine Füllkörpersäule (12), hindurchgeleitet
wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet
daß der mit Anwachsen eines Filterkuchens zunehmende Filterwi
derstand mindestens des Patronenfilters (10, 20) und fallweise
auch des Schwebstoffilters (11, 21) überwacht und die Filter
(10, 20; 11, 21) bei Erschöpfung infolge Überschreitens eines
vorgegebenen Widerstands-Schwellwertes zu- und abflußseitig
vom Gasstrom abgeschottet und regeneriert werden und der
Gasstrom auf ein parallel und identisch im Bypass arbeitendes
Trockenfiltersystem umgeleitet und durch dieses bis zu dessen
Erschöpfung hindurchgeleitet wird, und umgekehrt.
5. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß jedes Patronenfilter (10, 20) nach Erschöpfung und Ab
schalten in Gegenrichtung zum Trägergasstrom mit Spülgas
durchspült und dabei vom angelagerten Filterkuchen abgereinigt
wird.
6. Verfahren nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß zur Spülung des Patronenfilters (10, 20) Spülgas, bevorzugt
Stickstoffgas, verwendet und der beim Spülvorgang im abgeschal
teten Filter ansteigende Spülgasdruck abflußseitig langsam
abschwellend abgebaut wird.
7. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Füllstand im Staubsammelraum eines Patronenfilters (10,
20) überwacht und bei Erreichen des maximalen Füllstandes der
Filter vom Trägergasstrom abgekoppelt, eine Meldung an einen
Systemprozessor gegeben und der Staubsammelraum durch Einleiten
von Spülgas gespült wird.
8. Anlage zur Durchführung des Verfahrens
nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
gekennzeichnet durch
ein Trockenfiltersystem, umfassend in einer identisch-par
allelen und redundanten Anordnung je einen parallelen Staubgas-
Zufuhrleitungsstrang (1 bzw. 2) mit je einem Patronenfilter
(10, 20) und je einem nachgeordneten Schwebstoffilter (11, 21),
wobei beide Gasleitungsstränge (1′ bzw. 2′) stromabwärts der
Schwebstoffilter (11, 21) in eine gemeinsame Abgasleitung (3)
einmünden, welche über einen Gaswäscher (12) an ein Saug
zuggebläse (13) angeschlossen ist.
9. Anlage nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet,
daß jedem Patronenfilter (10, 20) und vorzugsweise auch jedem
Schwebstoffilter (11, 21) ein Druckdifferenzwächter (15, 25
bzw. 16, 26) zugeordnet und deren Signalleitungen (17, 27 bzw.
18, 28) einem Systemprozessor (50) aufgeschaltet sind.
10. Anlage nach Anspruch 8 oder 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Reingasseite jedes Patronenfilters (10, 20) mit der
Aufgabeseite eines nachgeschalteten Schwebstoffilters (11, 21)
verbunden und dem Patronenfilter (10, 20) ein steuer-/regel
bares Einlaßventil (19, 29) vorgeordnet und dem Schwebstoffil
ter (11, 21) ein steuer-/regelbares Auslaßventil (30, 31) im
Leitungsstrang (1′, 2′) nachgeordnet ist.
11. Anlage nach einem oder mehreren der Ansprüche 8 bis 10,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Reingasseite jedes Patronenfilters (10, 20) eine an
eine Spülgasquelle angeschlossene Spülgasleitung (4, 24) mit
einem darin angeordneten Abreinigungsventil (5, 35) zur Regene
ration der ersten Filterstufe aufgeschaltet ist.
12. Anlage nach einem oder mehreren der Ansprüche 8 bis 11,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Staubsammelraum jedes Patronenfilters (10, 20) einen
Füllstandsmelder (6, 36) aufweist und an eine Spülgasleitung
(7, 37) mit einem Spülgasventil (8, 38) zur Durchspülung
angeschlossen ist.
13. Anlage nach Anspruch 12,
dadurch gekennzeichnet,
daß in der Spülgasleitung (7 bzw. (37) ein Durchfluß-Meßgerät
und Regelventil (9) angeordnet und mit einer Signalleitung (22)
an den Systemprozessor (50) angeschlossen ist.
14. Anlage nach einem oder mehreren der Ansprüche 8 bis 13,
dadurch gekennzeichnet,
daß sie einen übergeordneten Systemprozessor (50) aufweist,
an welchen Signalleitungen (17, 27; 18, 28) der Druckdifferenz
wächter (15, 25; 16, 26) und Signalleitungen (23, 33) der
Füllstandsmelder (6, 36) angeschlossen sind, und der nach
Maßgabe eines vorgegebenen Betriebsprogramms über Steuerleitun
gen (40-43) die Ein- und Auslaßventile (19, 29; 30, 31) und
über die Steuerleitungen (32, 34) die Abreinigungsventile (5,
35) sowie über die Steuerleitungen (39, 39′) die Spülventile
(8, 38) steuert.
15. Anlage nach einem oder mehreren der Ansprüche 8 bis 14,
dadurch gekennzeichnet,
daß dem Staubsammelraum jedes Patronenfilters (10, 20) ein
Endschalter (44 bzw. 44′) zugeordnet ist.
16. Anlage nach einem oder mehreren der Ansprüche 8 bis 15,
dadurch gekennzeichnet,
daß dieser ein Unterdruckfühler (45) vorgeschaltet ist, dessen
Signalleitung (46) einem Regler (47) und dessen Steuerleitung
(48) dem Motor (14) des Saugzuggebläses (13) aufgeschaltet
sind.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19516925A DE19516925A1 (de) | 1995-05-09 | 1995-05-09 | Verfahren und Anlage zum Abscheiden von SiO¶2¶ aus einem Trägergasstrom |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19516925A DE19516925A1 (de) | 1995-05-09 | 1995-05-09 | Verfahren und Anlage zum Abscheiden von SiO¶2¶ aus einem Trägergasstrom |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19516925A1 true DE19516925A1 (de) | 1996-11-14 |
Family
ID=7761421
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19516925A Withdrawn DE19516925A1 (de) | 1995-05-09 | 1995-05-09 | Verfahren und Anlage zum Abscheiden von SiO¶2¶ aus einem Trägergasstrom |
Country Status (1)
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DE (1) | DE19516925A1 (de) |
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1995
- 1995-05-09 DE DE19516925A patent/DE19516925A1/de not_active Withdrawn
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