DE19510727A1 - Einrichtung zum Verbinden von Vakuumpumpständen mit Elektronenröhren - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum Verbinden von Vakuumpump­ ständen mit Elektronenröhren nach dem Oberbegriff des 1 Patentanspruches.

Die Evakuierung von Elektronenröhren erfolgt über Pumpstände, welche Be­ standteil eines nahezu vollautomatisierten Behandlungssystems sind. Die ein­ zige Tätigkeit, die nach dem heutigen Stand der Technik noch manuell ausge­ führt werden muß, ist das Herstellen der Verbindung zwischen Pumpstand und Elektronenröhre. Dazu sind zwei Arbeitsgänge notwendig. In einem muß der Ansaugstutzen der Vakuumpumpe mit dem Pumpstengel der Elektronen­ röhre verbunden werden und in einem anderen Arbeitsgang wird der elek­ trische Kontakt zur Beheizung der Kathode der Elektronenröhre hergestellt. Mit den bisher existierenden Einrichtungen ist es selbst bei Einsatz der neue­ sten Robotertechnologie nicht möglich, die Ausrichtung von Ansaugstutzen und Pumpstengel sowie der elektrischen Anschlüsse mit der erforderlichen Genauigkeit zu erreichen. Die vorgenannten Tätigkeiten können bisher nur manuell mit der notwendigen Präzision ausgeführt werden.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung vorzustellen, mit der automatisch die Verbindung von Pumpstand und Elektronenröhre mit der erforderlichen Genauigkeit hergestellt werden kann. Insbesondere handelt es sich dabei um die Verbindung des Ansaugstutzens des Pumpstandes mit dem Pumpstengel der Elektronenröhre und um die Herstellung der elektrischen An­ schlüsse für die Beheizung der Kathode.

Die Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale der beiden Patentan­ sprüche gelöst.

Durch die Erfindung wird es möglich, die Evakuierung von Elektronenröhren vollautomatisch durchzuführen. Insbesondere wird sichergestellt, daß die Ver­ bindung der Elektronenröhre mit dem Pumpstand mit der erforderlichen Ge­ nauigkeit und Zuverlässigkeit im Rahmen eines vollautomatisierten Verfahrens hergestellt werden kann. Zusätzlich wird zum Ausheizen der Elektronenröhre deren Kathode automatisch mit einer elektrischen Verbindung versehen.

An Hand der Abb. 1a), b) bis 3a), b) soll die Erfindung näher erläutert werden.

Die Abb. 1a) bis 3a) zeigen jeweils Längsschnitte und die Abb. 1b) bis 3b) die dazugehörigen Querschnitte entlang den Linien A, A′ aus den Abb. 1a) bis 3a) der Anordnung zu drei verschiedenen Zeitpunkten des Arbeitsvorganges.

Ein Vakuumpumpstand, von welchem nur der hochvakuumseitige Ansaug­ flansch 1 dargestellt ist, dient zur Evakuierung einer Elektronenröhre, von welcher nur der Röhrenhals 10 dargestellt ist. Mit dem Ansaugflansch 1, welcher auch als Führungstisch dient, sind seitliche Führungsrollen 4 ver­ bunden. Der Pumpstand und somit die auf dem Anschlußflansch 1 montier­ ten Einrichtungen sind in Richtung der Elektronenröhre verschiebbar. Bei einer solchen Bewegung gleiten die Führungsrollen 4 in den Führungsschie­ nen 6. Da das Profil der Führungsschienen sich in Richtung der Bewegung verändert, werden durch diese Bewegung die mit den Führungsschienen verbundenen drehbaren Hebel 5 in der Abbildungsebene gegen den äußeren Rahmen 2 über die Druckfedern 9 leicht gekippt. Damit wird der Abstand der mit den Hebeln über Halterungen 7 verbundenen Zentrierrollen 8 verändert. Die beiden Zentrierrollen 8 umfassen den Röhrenhals 10, wodurch der mit diesem verbundene Pumpstengel 11 beim Hochfahren des Pumpstandes sicher in den Dichtring 13 des Ansaugstutzens geführt wird.

Die einzelnen Schritte dieses Vorganges sind durch die Abb. 1a), b) bis 3a), b) dargestellt.

In Abb. 1a) befindet sich der Pumpstand in der unteren Position. Der Abstand der Zentrierrollen 8 ist groß (Abb. 1b)), so daß der Röhrenhals 10 dazwischen positioniert werden kann. Durch Anheben des Pumpstandes (Abb. 2a) werden durch die Führungsrollen 4 die Hebel 5 derart ge­ schwenkt, daß sich der Abstand der Führungsrollen 8 soweit verringert, bis sie den Röhrenhals 10 fest umfassen und zentrieren (Abb. 2b)). Jetzt können der Pumpstengel 11 und der Dichtring 13 exakt zusammen­ geführt werden. Beim weiteren Anheben des Pumpstandes (Abb. 3a)) werden die Hebel 5 durch die Führungsrollen 4 wieder etwas auseinander­ gedrückt. Dadurch vergrößert sich der Abstand der Zentrierrollen 8 wieder (Abb. 3b)), so daß ein Verspannen des Pumpstengels 11 vermieden wird.

Zur Beheizung der Kathode der Elektronenröhre müssen die entsprechenden Kontakte 12 am anderen Ende des Röhrenhalses 10 (Röhrensockel) mit einer elektrischen Verbindung über die Federkontakte 15 versehen werden. Zu diesem Zweck ist eine Auslöseeinheit 17 vorgesehen. Die Federkontakte 15 sind über eine Halterung 16 mit dem Ansaugflansch 1 verbunden und bewe­ gen sich mit diesem in Richtung Röhrenhals 10 bei Anheben des Pumpstan­ des. Bei Erreichen der Endposition (Abb. 3a)) wird die Halterung 16 mit den Federkontakten 15 durch Berührung mit der Rolle 18 der Auslöseeinheit 17 in Richtung der elektrischen Kontakte 12 des Röhrenhalses 10 geschoben. Somit wird durch einen an sich bekannten Vorgang die elektrische Verbindung zwischen den Federkontakten 15 und den elektrischen Kontakten 12 der Kathode der Elektronenröhre hergestellt.

Claims (2)

1. Einrichtung zum Verbinden eines Vakuumpumpstandes mit einer Elek­ tronenröhre, wobei deren Röhrenhals (10) mit einem rohrförmigen Pump­ stengel (11) und mit elektrischen Kontakten (12) versehen ist, und der Pumpstand mit einem Ansaugflansch (1) und einem Dichtring (13) versehen ist und in Richtung der Elektronenröhre verschiebbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Ansaugflansch (1) als Führungs­ tisch ausgebildet ist, an welchem Führungsrollen (4) angebracht sind, und diese Führungsrollen beim Verschieben des Pumpstandes in Führungsschienen (6) gleiten, wobei die Führungsschienen (6) jeweils mit Hebeln (5) verbunden sind und an diesen Hebeln wiederum über Halterungen (7) Zentrierrollen (8) angebracht sind, welche den Röhren­ hals (10) umfassen und die Führungsschienen (6) ein solches Profil aufweisen, daß bei Bewegung des Pumpstandes in Richtung der Elektronenröhre am Anfang die Zentrierrollen (8) sich in einem ge­ wissen Abstand vom Röhrenhals (10) befinden und dann im weiteren Verlauf der Bewegung den Röhrenhals fest umschließen und zentrie­ ren bis der Pumpstengel (11) den Dichtring (13) erreicht hat, und die Zentrierrollen bei weiterer Bewegung des Pumpstandes in die gleiche Richtung bis zur Endposition wieder einen gewissen Abstand zum Röhrenhals einnehmen.

2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Ansaugflansch (1) eine Halterung (16) mit Federkontakten (15) vorhan­ den ist und an einem der Hebel (5) eine Auslöseeinheit (17) mit einer Rolle (18) angebracht ist, derart, daß bei Erreichen der Endposition des Pumpstandes die Rolle (18) der Auslöseeinheit (17) die Halterung (16) und somit die Federkontakte (15) in Richtung der elektrischen Kontakte (12) verschiebt, so daß eine elektrische Verbindung der Fe­ derkontakte (15) mit den Kontakten (12) der Elektronenröhre zustande­ kommt.