DE19503313C2

DE19503313C2 - Vorrichtung zur Ozonerzeugung

Info

Publication number: DE19503313C2
Application number: DE1995103313
Authority: DE
Inventors: Uwe Jeske; Reinhard Seibt
Original assignee: Uwe Jeske; Reinhard Seibt
Current assignee: SEIBT, REINHARD, 71116 GÄRTRINGEN, DE
Priority date: 1995-02-02
Filing date: 1995-02-02
Publication date: 1998-04-16
Anticipated expiration: 2015-02-03
Also published as: DE19503313A1

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung von Ozon nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

Vorrichtungen zur Erzeugung von Ozon sind grundsätzlich bekannt. In der DE 34 27 289 A1 ist bereits eine Vorrichtung zur Erzeugung von Ozon aus Sauerstoff oder aus sauerstoffhaltigen Gasen beschrieben, bei der Ozonerzeugerröhren in durchgehenden Bohrungen eines Metallblocks integriert sind, der die jeweilige Außenelektrode für die Ozonerzeugerröhren bildet. Die Ozonerzeugerröhren sind in neben- und/oder übereinander angeordneten Bohrungen eines Metallblocks angeordnet, wobei die Wandung einer durchgehenden Bohrung jeweils eine Außenelektrode bildet, in der ein als Rohr ausgebildetes Dielektrikum angeordnet ist und in dem sich ein Metallrohr als Innenelektrode befindet, wobei zwischen den Elektroden ein ringförmiger Gasspalt gebildet ist. Innerhalb des die Innenelektrode bildenden Metallrohrs ist ein Kühlrohr angeordnet.

Außerdem ist der prinzipielle Aufbau einer Ozonerzeugerröhre in der DE-PS 6 96 081 und der DE-AS 10 92 891 beschrieben.

Aus der DE-OS 37 31 168 ist eine Vorrichtung zur Erzeugung von Ozon bekanntgeworden, bei der mehrere in einer Reihe angeordnete Keramikrohre vorgesehen sind, die unter Freilassung eines Ringspaltes von Außenrohren umgriffen werden. Die Keramikrohre bilden ein Dielektrikum und im Innenraum sind metallische Entladungselektroden angeordnet. Auf der Außenfläche der Keramikrohre ist jeweils eine Gegenelektrode aufgedampft. Zwischen den Entladungselektroden und Gegenelektroden wird eine Hochspannung angelegt. Zwischen den Außenrohren und den Keramikrohren strömt durch die so gebildete Ringspalte ein Kühlmittel, beispielsweise Wasser, wobei alle Ringspalten mit einem Zulaufanschluß und einem Ablaufanschluß in Verbindung stehen. Die Enden der Keramikrohre werden jeweils in einem Kunststoffteil gehalten, in dem ein Gasanschluß für das Anregungsgas, beispielsweise Sauerstoff, auf der einen Seite und ein Gasanschluß für das erzeugte Ozon auf der anderen Seite vorgesehen sind. Das Anregungsgas strömt über den Anschluß und das Kunststoffteil in die Keramikrohre hinein, in denen bei Anlegen einer hohen Wechselspannung zwischen Entladungselektrode und Gegenelektrode eine Entladung stattfindet, wodurch Ozon erzeugt wird. Es hat sich nun gezeigt, daß die Halterung für die Keramikrohre eine nicht ausreichende Lebensdauer aufweisen, weshalb in der DE 42 44 455 A1 eine Lösung beschrieben ist, bei der die relativ großen Keramikrohre im Bereich ihrer Enden in einer Flanschanordnung aus Stahl gelagert sind, wobei zur Lagerung mit der Flanschanordnung verbundene Verschraubungen verwendet werden. Dadurch wird eine zuverlässige Halterung und Anschlußeinrichtung für das Anregungsgas bzw. das erzeugte Ozon und für das Kühlmittel zur Verfügung gestellt. Durch die Verwendung der Verschraubungen ist auch ein selektives Auswechseln einzelner Keramikrohre möglich, so daß nicht die gesamte Vorrichtung bei einem Defekt ausgebaut werden muß.

Da Ozon ein ausgezeichnetes Bleich- und Desinfektionsmittel ist, wobei für technische Anwendungen das Ozon bevorzugt in einer relativ hohen Konzentration in einem Gasgemisch oder in einer wäßrigen Lösung vorliegen sollte, wird es beispielsweise vermehrt in der Zellstoffbleiche, bei der Wasseraufbereitung und in der chemischen Industrie für Oxidationszwecke sowie in der Halbleiterindustrie im Reinigungsprozeß bzw. als Prozeßgas für selektive Oxydation verwendet. Die Verfügbarkeit hoher Ozonkonzentration führt nicht nur zur Beschleunigung von Reinigungsprozessen, sondern auch zur qualitativen Verbesserung, zum Beispiel abgeschiedener SiO₂-Schichten.

In der EP 0 483 938 D1 wird eine Vorrichtung zur Erzeugung von Ozon aus Sauerstoff beschrieben, bei der die Energieausbeute und die Flächenproduktionsdichte bei hohen Konzentrationen verbessert werden.

Durch Verwendung von Wolfram, Molybdän, Niob oder Tantal für die drahtartige Entladungselektrode hat sich herausgestellt, daß sich die Ausbeute gegenüber Vorrichtungen nach dem Stand der Technik, bei denen Edelstahl als Entladungselektrode verwendet wird, um 20-50% gesteigert werden kann.

Alle bisher bekanntgewordenen und hier beschriebenen Vorrichtungen sind jedoch insbesondere für die Anwendung in der Halbleitertechnik, aber auch bei anderen technischen Anwendungen nicht kompakt genug aufgebaut. Sie benötigen zuviel Platz bzw. Raum und elektrische Leistung. Außerdem haben sie den Nachteil, daß sie nicht entsprechend dem Anwendungszweck bzw. dem technischen Anwendungsgebiet an fein abgestimmte unterschiedliche Ozonkonzentrationen angepaßt werden können und komplizierte Elektro-, Gas- sowie Kühlmittelleitungen und Verbindungen aufweisen.

Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, eine sehr kompakte Vorrichtung zur Ozonerzeugung mit unterschiedlichen Ozonleistungen im Bereich von g/h bis kg/h für die verschiedensten Einsatzgebiete zu schaffen, die sich darüberhinaus einfach herstellen lassen soll, das Bestücken mit einer unterschiedlichen Anzahl von Ozonerzeugungsröhren entsprechend dem jeweiligen Einsatzgebiet sowie das leichte Auswechseln zum Zwecke der Reparatur ermöglichen soll und in Batterien zusammensetzbar sein soll.

Die gestellte Aufgabe wird durch die im Patentanspruch 1 angegebenen Merkmale gelöst.

Weitere Ausgestaltungen ergeben sich aus den Patentan sprüchen 2-7.

Der technische Vorteil der vorliegenden Vorrichtung besteht insbesondere darin, daß eine große Ozonleistung bei kompakter Baugröße erreicht wird und daß durch gemeinsame Gas-, Kühl- und Elektroanschlüsse der einzelnen Ozonerzeugungsröhren eine außerordentlich günstige Lösung zum Verschlauchen bzw. elektrischen Verbinden gefunden worden ist. Es ist dadurch praktisch möglich, sowohl bei der Montage als auch bei der Reparatur ein optimales Bestücken eines Blockes mit einer bestimmten Anzahl von Röhren zu ermöglichen, so daß eine leichte und effektive Ausrüstung mit sehr fein abgestimmter Ozonleistung für die jeweilige Anwendung erreichbar ist. Durch die kompakte Bauweise des Systems wird eine Druckfestigkeit bis mindestens 20 bar erreicht. Außerdem ist es bei der Wartung möglich, schnell und kostengünstig einen ganzen Block gegen einen anderen auszutauschen. Der Einsatz ist in der Reinstgastechnik möglich, da durch abgedeckte bzw. ummantelte Metallteile im Gasbereich und durch PTFE oder ähnlich geeignete Fittings ein Angreifen von Metall verhindert wird. Dadurch ist die Vorrichtung hervorragend für den Einsatz in der Halbleiterproduktionstechnik geeignet. Insbesondere in diesem Anwendungsbereich sind kleine, aus dem Material der Elektroden oder aus dem Dielektrikum herausgelöste Partikelchen, die sich dann im Gas befinden, äußerst störend. Die kleine und kompakte Blockbauweise mit den integrierten Ozonröhren ergibt eine hohe Ozonleistung im Bereich von 200 Gramm pro Stunde und mehr. Diese Konstruktion erlaubt eine effektive Anordnung von Gasverteilung bzw. -kanälen sowie eine effektive Kühlung der Innen- und Außenelektroden. Wenn für die Innen- und Außenkühlung eine Flüssigkeit verwendet wird, dann kann dies über einen gemeinsamen Kühlkreislauf erfolgen. Die Verteilerkanäle, insbesondere eine Tichelmannverteilung, für das Gas zum Verbinden der einzelnen integrierten Ozonerzeugerröhren mit den Gasanschlüssen, sind in die beiden Stirnseitenteile integriert worden, so daß die sonst erforderlichen Schläuche bzw. Schlauchverbindungen entfallen.

Die Erfindung wird nun anhand von in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen näher erklärt. In der Zeichnung bedeuten:

Fig. 1 Prinzipdarstellung einer Ozonerzeugervorrichtung in Blockbauweise mit n Ozonerzeugerröhren;

Fig. 2 Schnittdarstellung durch einen Ozonerzeugerblock mit vier Röhreneinsätzen;

Fig. 3 Schnittdarstellung eines Stirnseitenteils mit Deckel;

Fig. 4 Stirnseitenteil mit Tichelmannverteilung und Dichtung;

Fig. 5 rohrförmige Innenelektrode;

Fig. 6 rohrförmige Innenelektrode mit Flachgewinde und

Fig. 7 Arbeitsdiagramm eines Ozonerzeugerblocks.

In den Figuren sind gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet. Folgende Bezugszeichen werden verwendet und bedeuten:

Bezugszeichenliste

1

Deckel

2

Stirnseitenteil

3

Trenndichtung für Gas-/Kühlsystem

4

Metallblock

5

Dielektrikum

6

Gewindestab

7

Mutter

8

Gaseinlaß/-auslaß

9

und

9

' Elektrische Anschlüsse

10

Kühlrippen

11

Kühlmitteleinlaß/-auslaß

12

Kontaktblech

13

Schrauben

14

Flachdichtung für Deckel

15

Flachdichtung für Stirnseitenteil

16

Durchlaßbohrungen für Kühlmittel

17

Hülse

18

Innenelektrode

19

Gasspalt

20

Verteilung oder Kanäle für Gas, auch Tichelmannverteilung

21

Bohrungen zur Aufnahme der Ozonerzeuger

22

Flachgewinde

23

Schutzschicht.

In Fig. 1 ist ein Metallblock 4 mit inneliegenden bzw. integrierten Ozonerzeugerröhren prinzipiell dargestellt. In einem solchen Block können n Ozonerzeugerröhren in durchgehenden Bohrungen 21 parallel nebeneinander und in einer Schicht, in zwei oder n Schichten untergebracht werden. Der eigentliche Metallblock 4, der in durchgehenden Bohrungen 21 die Ozonerzeugerröhren aufnimmt, ist auf beiden Stirnseiten mit einem Stirnseitenteil 2 abgeschlossen. Die beiden Stirnseitenteile 2 werden ihrerseits mit einem Deckel 1 abgeschlossen, der die Verschraubungen für den Kühlmittelanschluß 11 aufnimmt. Die Stirnseitenteile 2 müssen dabei aus ozonfestem, elektrisch nichtleitendem und mechanisch sowie thermisch festem Material bestehen. Die Deckel 1 müssen aus elektrisch nichtleitendem und mechanisch festem Material bestehen. Sowohl die Deckel 1 als auch die Stirnseitenteile 2 werden mittels Schrauben 13 mit dem Metallblock 4 verschraubt. Der Metallblock 4 kann zur Außenkühlung mittels Luft mit Kühlrippen 10 ausgestattet sein und darüberhinaus zur erhöhten Wärmeabstrahlung zum Beispiel eloxiert werden. Der gesamte dargestellte Metallblock 4 besitzt zwei Gasanschlüsse 8, zwei Kühlmittelanschlüsse 11, zwei elektrische Anschlüsse 9 und 9' und bei Außenkühlung mit Flüssigkeit kommen noch zwei weitere Kühlmittelanschlüsse hinzu.

In Fig. 2 ist nun in einer Schnittdarstellung der detaillierte Aufbau der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Erzeugung von Ozon dargestellt. In dieser Schnittdarstellung sind folgende Teile sowie ihre Anordnung zueinander zu sehen: Ein Deckel 1, eine Flachdichtung 15 für den Deckel, ein Stirnseitenteil 2, eine Flachdichtung 15 für das Stirnseitenteil 2, teilweise der Metallblock 4 mit Kühlrippen 10, dem an der Wandung der jeweiligen durchgehenden Bohrung 21 im Metallblock 4 anliegenden Dielektrikum 5 in Form eines Glas- oder Keramikrohres, der Innenelektrode 18 und einem Gewindestab 6 innerhalb der Innenelektrode 18. Zwischen dem röhrenförmigen Dielektrikum 5 und der röhrenförmigen Innenelektrode 18 befindet sich der ringförmige Gasspalt 19. Im Stirnseitenteil 2 aus hochfestem, thermisch belastbarem und elektrisch nichtleitendem Material befindet sich ein Kontaktblech 12 zur gemeinsamen elektrischen Kontaktierung der Innenelektroden 18; außerdem dient es noch als Unterlage für die Muttern und schützt so das Stirnseitenteil 2 durch Verteilung des Anzugsdrehmoments vor Beschädigung. In der Schnittdarstellung sind außerdem die Durchlaßbohrungen 16 für das Kühlmittel der Innenelektroden 18 dargestellt, die mit dem Kühlmitteleinlaß/-auslaß 11 im Deckel 1 in Verbindung stehen. Außerdem ist noch eine Hülse 17 dargestellt, die zur Zentrierung des Gewindestabes 6 dient und das Wegfliesen und Verquetschen der Trenndichtung verhindert. Zur Zentrierung der Deckel 1, der Stirnseitenteile 2 und damit der Röhreneinsätze sowie zur Befestigung am Metallblock 4 dienen Schrauben 13, von denen eine in Fig. 2 dargestellt ist. Die Schraube 9' dient als Anschluß zur elektrischen Kontaktierung des Metallblocks 4, der gleichzeitig als Außenelektrode für die in ihm angeordneten bzw. integrierten Ozonerzeugerröhren dient.

In Fig. 3 ist der Schnitt A-A des Stirnseitenteils 2 und des Deckels 1 dargestellt. In dieser Darstellung sind vor allem der Gasein-/auslaß 8 und die Gasverteilung bzw. -kanäle 20 als Tichelmannverteilung deutlich zu sehen. Außerdem ist das Kontaktblech 12 und dessen Verbindung zu seinem elektrischen Anschluß 9 hervorgehoben, und es ist auch die Bohrung im Deckel 1 für den Kühlmitteleinlaß/- auslaß 11 zu sehen. Die Flachdichtungen 14 für die Deckel 1 und die Flachdichtungen 15 für die Stirnseitenteile 2 bestehen aus elektrisch nichtleitendem und mechanisch und thermisch festem Material, wie zum Beispiel aus Teflon oder PTFE. Der Metallblock 4 selbst besteht zum Beispiel vorzugsweise aus V₂A oder V₄A-Material wie die Innenelektrode 18. Es hat sich jedoch gezeigt, daß Aluminium als Material ebenfalls sehr geeignet ist. Als Material für das Dielektrikum 5 hat sich Glas, Keramik und Polyvinylchlorid besonders bewährt, es kann als eingeschobenes Rohr ausgeführt sein oder als Schicht direkt auf die Wandung der Bohrungen 21 aufgebracht werden. Die Dicke, die Werkstoffart des Dielektrikums 5 und die Größe des ringförmigen Gasspaltes 19 bedürfen einer Abstimmung mit der Ansteuerelektronik. Durch diese Abstimmung ist es auch möglich, Ozon unter Druck zu stellen und den Wirkungsgrad im Vergleich zu bekannten Systemen deutlich zu verbessern. Es soll noch erwähnt werden, daß das System grundsätzlich den Einsatz aller bekannten Dielektrika erlaubt und daß für Reinstgastechnik die metallische Innenelektrode 18 mit einer Schutzschicht 23 ozonfest beschichtet werden muß, wie in Fig. 5 dargestellt ist. Dazu dient insbesondere Glas oder Emaille. Durch diese Beschichtung der Innenelektrode 18 wird der gesamte Gasbereich metallfrei, was insbesondere für den Einsatz in der Halbleitertechnik eine unbedingte Voraussetzung darstellt. Die Innenelektrode 18 kann auch mit einem Flachgewinde 22 gemäß Fig. 6 versehen werden, wodurch der Wirkungsgrad noch um mindestens 10% verbessert werden kann. Der Gewindestab 6 läßt durch in Fig. 2 dargestellte Bohrungen Kühlmittel ins Innere der Innenelektrode 18 gelangen. Das Kühlmittel wird entlang dem Gewinde des Gewindestabes 6 und der Innenwand der Innenelektrode 18 geführt. Dadurch ist es möglich, daß das Kühlmittel mit der richtigen Geschwindigkeit und ohne Turbulenzen fließt. Das Kontaktblech 12 zur gemeinsamen elektrischen Kontaktierung der Innenelektroden 18, das in einem der Stirnseitenteile 2 angeordnet ist, besteht vorzugsweise aus Edelstahl; andere ozonfeste Materialien sind jedoch auch möglich. Es kann auch als elektrische Leiterbahn bzw. als gedruckte Leiterzüge aufgebracht und ausgeführt werden.

In Fig. 4 ist für die Verteilung des Gases eine Tichelmannverteilung 20 dargestellt. Eine derartige Tichelmannverteilung ist in das Stirnseitenteil 2 voll integriert, das heißt eingefräst oder gepreßt und dient zur gleichmäßigen und wirbelfreien Verteilung des zugeführten oder einlaufenden Gases auf die einzelnen Ozonerzeugerröhren im Metallblock 4 sowie zum Sammeln des Gases zum gemeinsamen Gasauslaß 8. Andere wirbelfreie Ausgestaltungen sind jedoch auch anwendbar.

Zum Betrieb einer Ozonerzeugerröhre nach dem Prinzip der in der Fachwelt bekannten Siemens-Röhre mit einer sogenannten stillen elektrischen Entladung werden Spannungsimpulse mit mehreren Kilo-Volt benötigt. Grundsätzliche Ausführungen hierzu sind in der Firmenveröffentlichung Sorbios/Traillgaz, Ackerstraße 71-76, 1000 Berlin 65, von1993 mit dem Titel "Ozon-Erzeugung mit der Kilohertz- Keramiktechnik" von Dr. H.-H. Stiehl und Dr. J. Schweckendiek, dargelegt. Je nach Verwendung des Dielektrikums und dessen Dicke sowie der Dicke des Entladungsspaltes werden Spannungen im Bereich von 2 . . . 20 kV gebraucht, die an die Innen- und Außenelektrode der Ozonerzeugerröhre angelegt werden.

Die "klassische" Ansteuerung geschieht unter Verwendung eines Netz-Hochspannungstransformators mit Beibehaltung der Netzfrequenz von üblicherweise 50 . . . 60 Hz. Untersuchungen von verschiedenen Seiten in der Vergangenheit ergaben, daß mit einer impulsförmigen Ansteuerung eine höhere Ozonausbeute möglich ist. Daraufhin wurden Ozongeneratoren mit sogenannten Zerhackern oder Frequenzumrichtern entwickelt. Bekannt sind grundsätzlich zwei Arten:
1. Frequenzumrichter in Thyristortechnik
2. Frequenzumrichter in Transistortechnik.

Die klassische 50 Hz Ein- oder Mehrphasenansteuerung kann in allen Leistungsbereichen Anwendung finden. Eine Einstellung der Ozonkonzentration ist nicht oder nur mit sehr großem Aufwand möglich, daher arbeiten diese Generatoren meist im sogenannten Vollastbetrieb. Vorteilhaft ist, daß diese Generatoren nur sehr wenige Bauteile benötigen.

Wie schon oben beschrieben, ist mittels einer impulsförmigen Ansteuerung die Ausbeute von Ozon höher. Dies ist grundsätzlich von Vorteil, da dadurch eine Einsparung von Energie erreicht wird.

Die Höhe der Ozonproduktion, das heißt die Konzentrationseinstellung erfolgt durch Änderung der Pulsbreite der zu übertragenden Rechteckspannung und ist somit praktisch verlustfrei. Da die Röhre mit diversen Dielektrika zu betreiben ist, kann die Frequenz darauf abgestimmt werden und bleibt dann unverändert. Im Diagramm für eine Ozonerzeugerröhre mit 40 Watt nach Fig. 7 ist auf der waagrechten Koordinate der Gasfluß oder die Gasmenge F in l/h angegeben und auf der senkrechten linken Koordinate die Konzentration K in g O₃/m³. Auf der senkrechten rechten Koordinate P ist die Produktion oder Leistung des Systems in g O₃/h angegeben.

Damit werden die Zusammenhänge der einzelnen Parameter deutlich, das heißt mit der Erhöhung des Gasflusses sinkt die Konzentration K in g O₃/m³ und die Leistung oder Produktion in g O₃/h steigt an.

Mit diesem aufeinander abgestimmten Konzept der Ozon-Röhre und der Steuerelektronik ist es zum Beispiel möglich, einen 100 g-Ozongenerator in ein Gehäuse von 300 × 400 × 500 mm einzubauen. Derart kleine Generatoren sind auch für den mobilen bzw. Container-Betrieb geeignet. Die wegen des höheren Wirkungsgrades geringere Leistungsaufnahme ist hier ebenso von Vorteil. Durch die modulartige Bauweise ist eine Kaskadierung von Einzelsystemen bis in den kg-Bereich unter Beibehaltung sämtlicher Vorteile möglich.

Claims

1. Vorrichtung zur Erzeugung von Ozon aus Sauerstoff oder aus sauerstoffhaltigen Gasen mit Ozonerzeugerröhren, die aus einer an eine Hochspannungsquelle angeschlossenen Innen- und Außenelektrode mit dazwischenliegenden Dielektrikum bestehen, in die in durchgehenden neben- und/oder übereinander angeordneten Bohrungen eines modularen Metallblocks mit Abschlußhauben auf den Stirnflächen aus elektrisch nichtleitendem Material, die Gas- und/oder Kühlmittelein-/auslässe haben, integriert sind, und der Metallblock die jeweilige Außenelektrode für die Ozonerzeugerröhren bildet sowie (gegebenenfalls gemeinsam) mit einer Kühlvorrichtung verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Abschlußhauben jeweils aus einem Stirnseitenteil (2) mit Deckel (1) bestehen, wobei die Stirnseitenteile (2) in diese eingeformte Kanäle (20) zur Verteilung des Gases zu den einzelnen Ozonerzeugerröhren sowie Kontaktbleche (12) oder gedruckte Leiterzüge als Kontaktierungsmittel für die Innenelektroden (18) aufweisen, und daß Dichtungen (3) auch zur Führung und Zentrierung der Innenelektroden (18), eines Gewindestabes (6) und gegebenenfalls des Dielektrikums (5) im Metallblock (4) und den Stirnseitenteilen (2) angeordnet sind.

2. Vorrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß eine direkt aufgebrachte, dielektrische, rohrförmige Schicht auf der Wandung der durchgehenden als Außenelektrode dienenden Bohrungen (21) angeordnet ist, worin mit Abstand für einen gleichmäßigen, ringförmigen Gasspalt (19) ein beschichtetes oder unbeschichtetes Metallrohr als Innenelektrode (18) zur Verbesserung des Wirkungsgrades angeordnet ist, das auf der äußeren Oberfläche ein Gewinde, insbesondere ein Flachgewinde (22) trägt und
daß innerhalb der Innenelektrode (18) der zentrierende Gewindestab (6) angeordnet ist, der Durchlaßbohrungen (16) für ein Kühlmittel für die Innenelektrode (8) aufweist.

3. Vorrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Kontaktblech (12) zur gemeinsamen elektrischen Kontaktierung der Innenelektroden (18) vorzugsweise aus Edelstahl besteht und entsprechende Durchführungen zur Kontaktierung aufweist.

4. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Patentansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Gasverteilungen oder -kanäle (20) in Form einer Tichelmannverteilung in den Stirnseitenteilen (2) vorgesehen ist.

5. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Patentansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Innenelektrode (18) einer Ozonerzeugerröhre aus Metall besteht und mit einer Schutzschicht (23) aus ozonfesten dielektrischen Material, vorzugsweise Glas oder Emaille, überzogen ist.

6. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Patentansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrische Kontaktierung der Innenelektroden (18) mittels des Kontaktbleches (12) oder gedruckter Leiterzüge und der damit verbundenen Gewindestäbe (6) erfolgt, die ihrerseits mit den metallischen Innenwänden der Innenelektroden (18) elektrisch verbunden sind.

7. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Patentansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet,
daß Flachdichtungen (15) zwischen Metallblock (4) und dem Stirnseitenteil (2) vorgesehen sind, die vorzugsweise aus Teflon bestehen und
daß die Flachdichtungen (15) Aussparungen für die Dielektrika (5) aufweisen, die kleiner sind als der Außendurchmesser der Dielektrika (5).