DE1923832A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Strahlerzeugung durch freie Entspannung eines Gases - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Strahlerzeugung durch freie Entspannung eines Gases

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DE1923832A1 DE19691923832 DE1923832A DE1923832A1 DE 1923832 A1 DE1923832 A1 DE 1923832A1 DE 19691923832 DE19691923832 DE 19691923832 DE 1923832 A DE1923832 A DE 1923832A DE 1923832 A1 DE1923832 A1 DE 1923832A1
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    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/24Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by centrifugal force

Description

Patentanwalt·
Ino ^ ßootZ U.
München 22, Stelnsdorfitl. 10 .
Commissariat ά !'Energie Atomique, Paris (Frankreich)
Verfahren und Vorrichtung zur Strahlerzeugung duroh freie Entspannung eines Gases
Die Erfindung betrifft ein«Verfahren und eine Vorrichtung
zur Erzeugung von Teilchenstrahlen durch die freie Entspannung eines Gases über eine kleine Öffnung aus einem ersten Gefäß mit einem Druck PQ in ein zweites Gefäß mit einem Druck P-, wobei der axiale Teil des entspannten Strahls anschließend durch eine Blende aufgefangen wird, dia vorzugsweise kegelstumpfförmig divergiert, so daß vorzugsweise ein Molekülstrahl erzeugt wird, in dem also keine Stöße stattfinden.
Bekanntlich finden die durch freie Entspannung erzeugten Strahlen verschiedene wichtige Anwendungen, insbesondere zur Trennung der Bestandteile eines Gasgemisches oder zur Bildung von Molekularstrahlen, Die besonderen Vorteile derartiger Strahlen (keine Beeinflussung durch Wände, Vermeidung von Stoßen zwischen den Molekülen des Strahls, genaue Bestimmung der Auftreffstelle des Strahls auf ein Target usw.) machen sie für Untersuchungen wie die folgenden geeignet: Gasanalysej Strukturuntersuohung von Molekülen, Ionen, Radikalen (z.B. duroh Erzeugung optischer Hyperfeinstrukturspektren, die nicht
4lO-(B3l86)-HdE (7)
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BAD ORIGINAL
dem Doppler-Effekt unterliegen); Untersuchung elastischer und unelastischer Stöße (Anregung, Ionisation, Dissoziation, chemische Reaktion usw»); Bildung von Ionenquellen, Protonenquellen, Plasmaquellen; Untersuchung der Wechselwirkungen zwischen Gas und Oberflächen (Kondensation, Verdampfung, Diffusion, Raumforschung) usw.
Derartige Strahlen werden durch freie Entspannung eines Gases oder Gasgemisches über eine enge öffnung in einer dünnen Wand, die den Auslaß einer konvergierenden Düse darstellt, aus einem ersten Gefäß mit einem Druck PQ in ein zweites Gefäß mit einem Druck P, hergestellt, wobei der axiale Teil des so entspannten Strahls anschließend von einem dritten Gefäß durch eine kegelstumpfförmig konvergierende Blende aufgefangen wirdo
Derartige Strahlen sind bereits mit einer relativ großen Intensität und bei relativ geringer Pumpleistung in dem zweiten Gefäß erzeugt worden (vgl. franz. Patentschrift 1 36O 332)e In dieser Patentschrift ist insbesondere eine Vorrichtung besohrle ben, die in Reihe mit dem dritten Gefäß, in dem durch Pumpen ein Zwischenvakuum aufrechterhalten wird, ein viertes Gefäß aufweist, in dem tatsächlich sin Molekülgtrahl erzeugt wird, wobei in diesem vierten Gefäl ein relativ niedriger Druck auf™ reohterhalten wird und das vierte Gefäß über eine zweite Blende koaxial zur ersten versorgt wird, die den axialen Teil des das dritte Gefäß durchlaufenden Strahls ausscheidet«,
Bei dieser Vorrichtung kann der Druok P1 einen relativ hohen Wert, nämlich mehr als 10 Torr (l Torr ist gleich dem Druck von 1 mmHg unter normalen Bedingungen), im Gegensatz zu früheren Vorrichtungen aufweisen, bei denen der Druok viel
«4 niedriger in der GröSenordnung von Insbesondere 10 Torr liegen mufite; eine derartige Erhöhung des Drucks P, hat den großen Vor«
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teil, daß die Pumpenleistung für das zweite Gefäß für eine ge gebene Strahlintensität beträchtlich verringert werden kann.
Bis jetzt blieb aber der Druck PQ in der Größenordnung von einigen. IO Torr oder sogar von einigen 100 Torr bei Umgebungstemperatur« Pur höhere Werte von PQ wurden jedoch keine Versuche wegen der Gefahr der Kondensation des Gases und vor allem wegen Schwierigkeiten bei der Erreichung hoher Pumpleistungen durchgeführt, Schwierigkeiten, die zu unwirtschaftlichen Vorrichtungen für höhere Werte des Entspannungsverhältnisses Pq/P-l zu führen schienen.
Das Verfahren der eingangs genannten Art ist gemäß der
Erfindung dadurch gekennzeichnet, daß gleichzeitig der Druck
-2
P, auf einem Wert von 10 - 10 Torr gehalten und der Abstand b zwischen der Entspannungsöffnung und der Eintrittsöffnung der Blende in Abhängigkeit vom Durchmesser D der öffnung so gewählt wird, daß die Intensität des Strahls maximal wird, und daß dör Druck P0 so hoch gewählt wird, daß das Verhältnis b/D größer als 100 wird.
Der erhöhte Druck PQ wird, falls der Strahl aus reinem, nicht kondensiertem Gas besteht, durch folgende Gleichung berechnet:
(
opt Kn0
wobei KnQ die Knudsen-Zahl des Gases im ersten Gefäß vor seiner Entspannung und k eine Konstante ist, die gleich etwa 0,125 für ein Gas ist, dessen Verhältnis der spezifischen Wärmen bei konstantem Druck und konstantem Volumen gleich
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1,4 ist, und die mit diesem Verhältnis zunimmt.
Die praktischen Erprobungen haben gezeigt, daß für ein
reines, nicht kondensiertes Gas bei einem Druck P1 von 10"
Torr die maximale Strahlintensität erhalten wird, wenn
i&gende Gleichung erfüllt ist:
Do (κηο Pl
ι)
In dieser Gleichung bedeuten:
b den axialen Abstand zwischen der Entspannungsöffnung und der Eintrittsöffnung der ersten Blende;
D den Durchmesser der Entspannungsöffnungj
Kn die Knudsen-Zahl des Gases im ersten Gefäß vor seiner Entspannung, d.h. beim Druck PQ; und
k eine Konstante, die etwa 0,125 für Gase aus gestreckten Molekülen (wie Np, Og, CO2, NgO) beträgt, für die das Verhältnis '/f der spezifischen Wärmen bei konstantem Druck und bei konstantem Volumen gleich 1,4 ist; wobei sich diese Konstante k proportional zum Verhältnis /" ändert, so beträgt für Gase mit 2f =1,67 (Edelgase;
Hp und Dp unter bestimmten Bedingungen) die Konstante k etwa 0,15.
Die Untersuchung der gefundenen obigen Gleichung (l)
zeigt überraschend, daß bei Konstanthalten der übrigen Größen die Intensität des erhaltenen Strahls um so größer ist, je
größer das Verhältnis Ρ§/Ρχ ist.
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Es ist im wesentlichen bekannt, daß die Knudsen-Zahl Kn gleich dem Verhältnis X o/DQ ist, wobei \ die mittlere freie Weglänge der Gasmoleküle in dem ersten Gefäß mit dem Druck P
ο bezeichnet.
Nun ist der Parameter A , der von der Art des Gases abhängt, proportional zur Größe
Po
/ Tc
V M
wobei "h , T und M die Viskosität, die absolute Temperatur bzw· die Gasmolekülmasse im ersten Gefäß bezeichnen.
P
Der Äusdruek ^~ · —?—, der den zweiten Paktor in der
1^o Pl 2 ι
Pq D /
Gleichung (1) bildet s ist daher1 proportional zu *
und ändert sich daher proportional zu P /F.
Fl
Nun ist einerseits bekannt, daß die Intensität eines Molekülstrahls theoretisch proportional dem Quadrat der Maoh-Zahl beim Eintritt in die Blende ist, und andererseits, daß das Verhältnis b/D eine mit der Maeh-Zahl zunehmende
' ο
Funktion ist, d.h., daß dieses Verhältnis proportional zu /P ist·
Daraus folgt nicht nur unmittelbar, daß eine Erhöhung des Entspannungsverhältnisses Ρο/ϊ\ für eine Erhöhung der In« tensität des Strahls günstig ist, was bereits bekannt war, sondern auch, daß eine Änderung ven PQ einen größeren Einfluß
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auf die Erhöhung der Intensität als eine umgekehrt proportionale Änderung von P. hat und es selbst für einen gegebenen Wert des EntspannungsVerhältnisses (dieser Wert bestimmt in erster Näherung die Pumpleistung im zweiten Gefäß) besonders vorteilhaft ist, jedem der beiden Terme dieses Verhältnisses den größtmöglichen Wert zu geben, denn eine Multiplikation der beiden Drücke PQ und P1 mit Jeweils dem gleichen Koeffizienten 100 führt zu einem um den Faktor 100 größerem Verhältnis P /P.
Diese überraschende Schlußfolgerung, die zur Durchführung von Versuchen mit relativ großen Werten P geführt hat, gestattet schließlich die Erzeugung von außerordentlich intensiven Strahlen bei annehmbaren Pumpleistungen.
Gemäß der Erfindung wird der Druok P so hoch gewählt^ daß das Verhältnis b/Do größer als 100 wird, wobei b/DQ, falls es sich um reine, nicht kondensierte Gase hsadelt, der obigen GIe!willig il) genügt und wobei der Wert von P1 immer größer "als
-2 "" "
10 Torr gewählt wird.
Zum Vergleich sei angegeben, daß bei den bekanntgewordenen früheren Versuchen, durchgeführt mit den angegebenem-Itferten von
P1, der optimale Wert des Verhältnisses fo/3D leer unter 60 χ ©
Es ist ersichtlich, daß die Erhöhung vom P^ gesaäS ä©z> Er« findung zur Erhöhung des Entspannungsverhältnisses Po/Pj und damit der Strahlintensität bei einer Verringerung von P- den Vorteil eines höheren Wirkungsgrades zeigt, indem Störungen der Entspannung infolge des Einfrierens der Freiheitsgrad© der Moleküle unterdrückt werden. Wenn näi&Lieh der Drusk P1 sehr klein infolge eines relativ niedrigen Drucks P 1st, nehiaen die Gas«= dichte und damit die Stoffrequens seiner Moleküle so selinell
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während der Entspannung ab, daß das thermodynamische Gleichgewicht nicht lange zwischen den verschiedenen Freiheitsgraden dieser Moleküle erhalten bleibt, so daß man schnell nacheinander das Einfrieren der Preiheitsgrade der Oszillation und Rotation, falls vorhanden, und danach der Translationsfreiheitsgrade beobachten kann, was einem Übergang in den molekularen Zustand entspricht: Dieser Zustand stellt sich daher im Strahl schon lange ein, bevor dieser die optimale Entfernung b durchlaufen hat, die durch die obige Gleichung (l) gegeben ist, was sich in einer entsprechenden Verringerung der Mach-Zahl und der Intensität des erzeugten Strahls äußert.
Die Gleichung (l) ist für reine, nicht kondensierte Gase hergeleitet worden, sie ist aber gleichfalls als erste Näherung für Gasgemische und insbesondere für diejenigen Gemische brauchbar, die zu sogenannten "dotierten" Strahlen führen, die aus einem relativ schweren Gas bestehen, das auf einige % oder noch weniger in einem leichten Gas verdünnt ist.
Der Zustand der Nichtkondensation ist im allgemeinen für las erfüllt, solange das Produkt PJD0 ui Gas charakteristischen Schwellenwert bleibt,
ein Gas erfüllt, solange das Produkt PJD0 unter einem für jedes
Dieser Schwellenwert, ausgedrückt in Torr, beträgt bei normaler Temperatur beispielsweise 60 für Kohlendioxyd, 85 für Argon und 500 für Stickstoff.
Pur alle Anwendungen ist zu beachten, daß in der obigen Gleichung (l) der erste Paktor b/D genauer (to-xQ)/D geschrieben werden müßte, wobei χ der axiale Abstand zwischen der Mündung der Düse und dem "Quellen"-Punkt ist, von dem die Stromlinien des entspannten Strahls auszugehen scheinen» Der Wert von *Ο/Ι>Ο ist für die hauptsächlichen Werte von ^ bekannt
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(er beträgt z.B. 0,40 für If = 1,40 und 0,075 für 7 = 1,67), aber da er immer kleiner als 1 ist, ist sein Einfluß auf die Genauigkeit der Gleichung (l) geringer als 1%, d.h. viel geringer als die Genauigkeit, mit der die Konstante k bekannt ist; aus diesem Grund ist χ in der obigen Gleichung absichtlich vernachlässigt worden.
Eine Vorrichtung zur Erzeugung von Teilchenstrahlen mit einer Einrichtung zur Gaszufuhr in eine konvergierende Düse unter einem Druck P , die in ein Gefäß mit einem Druck P. kleiner als P mündet und mit einer divergierenden Austrittsöffnung oder Blende auf der Achse der Düse versehen ist, ist gemäß der Erfindung dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand b zwischen der Mündung der Düse und der Eintrittsöffnung der Blende mindestens das 100-fache des Durchmessers D der Mündung der Düse beträgt.
Der Abstand b berechnet sich näherungsweise für ein reines, nicht kondensiertes Gas nach der Gleichung:
Kn P
wobei Kn die Knudsen-Zahl des Gases beim Druck P vor seiner Entspannung in, dem Gefäß und k eine Konstante ist, die gleich etwa O,125 für ein Gas ist, dessen Verhältnis der spezifischen Wärmen bei konstantem Druck und konstantem Volumen gleich 1,4 ist, und die mit diesem Verhältnis zunimmt.
Die Erfindung soll anhand der Zeichnung näher erläutert werden. Es zeigen;
BAD ORIGINAL 90988 3/ U "8 9
Fig. 1 eine Sohnittansicht eines Ausführungsbeispiels der Vorrichtung gemäß der Erfindung zur Erzeugung von Molekularstrahleni die Vorrichtung 1st so aufgebaut, daß der Molekülstrahl möglichst nahe an der Quelle verwendbar ist, dah9 der Strahl im Bereich der höchsten Diohten divergiert$ und
FIg8 2 eine graphische Darstellung sur besseren Erläuterung der vorgesehenen Anwendung der Erfindung.
In Figa 1 ist ©in Vorratsbehälter 1 mit Gas unter einem
PQ -abgebiMsfei, das über /ein" Absperrorgan 2 zugeführt und in eine konvergierend© Düse 5 geleitet wird, deren Mündung kreisförmig ist und ©inen Durchmesse!? D hat-0
Eine Entspariauogskammer^s in öle die Bus© 3 mündet, ist mit einer Ziids®henksBiffi@r-5 üb@r aiia® auf ·ά@Γ Achse der» Düse angeordnete ksgels'ciiiiipffSraiig divergierende Blends geeigneter Geometrie und mit soharferiä Β,&ηά verbund!©^ wobei der Abstand zwischen äer Mündung der Dös© miß d©£» liniriistsöffamig d®r Blende gleich b ist ο Di© ZwIseliealsaaBiGS1 5 isfe ilirerseitg mit einer dritten
7 sur ti'uWQiiüvMQ, &®3 frfel^lsillsSrahls v©-rbund©n.fl In der der iiife© Mol©lcillstji?alil ©i'gQU-g'fe wX'iPus wiu st?ar duroh ein© aweit© kegelstumpfförsBig: ölifssfgleffeaäe Blende B1, -die gleieh« aehslg au der erstoiii liQgto PusipQH 9 « H ©rseug©a in den drei Kammern ^ « 7' DE5UAe P.« P« bswo ?TO- Eine liarlehfeung 12 erlaubt dl© Verstellung aes Äbstands hB um das Verhältnis b/Ό auf seinen durch die Gleiehung (l) gegebenem optimalen Wert einzustellen. Die öffnungswinkel der Kegel, öle die Blende und den Kollimator bilden, sind viel kleiner als gewöhnlich verwendet, er hat für die Blende einen Wert von 30° für den Innenwinkel und von 4o° für den Außenwinkel.
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- ίο ■-
Der öffnungswinkel des Kegels, der den Kollimator bildet, ist viel kleiner als der der Blende»
Die Länge des äußeren Kegels ist sehr groß, da sie 20 mm beträgt, was die vollständige Ausnutzung der In der ersten Kammer verfügbaren Pumpleistung erlaubt.
In der graphischen Darstellung von Pig, 2 ist auf der Ordinate die dimensionslose QrQBe fo/B und auf der Abszisse die andere dimemsionslese Gröle - ■ . -
k <-
Kn,
Sine Sepade Y^0 die die lilrateei
afe©nselis©n istf ist ©i obigen Gleiehusag (I)0 Ein© IiGi Gleichung fe/D«, ~ 100 eiitspiri©!- dung v©Fgeseh@o©2i Eerei©&t p.a@i
awis©h©n d©n
1^0 di© d©r di@Ei von dos=
Punkte 15 entsprechen ψορ der Erfindung bateaanfcgewordenen
* für die das optiaale Verhältnis h/B^ unter
Die beiden folgenden Äusführungsifoeispiele el©r ssliemafcis@h in Fig. 1 abgebildeten Tor richtungen beziehen sl©h auf n©r@al@ Temperatur.
Ausführungsbeispiel 1: ^
Das verwendete Gas war Stiokstoff* der DruQk P1 betrug etwa 909883/U89
- Ii -
-1 4
10 Torr, der Durchmesser DQ 0,05 mm und der Druck PQ 10 Torr (das ergab ein Produkt P0D0 von 500 bei Erfüllung der Bedingung der Niohtkondensation). in diesem Ausführungsbeispiel 1 betrugen die Drücke Pp und P, etwa 5 x 10 bzw. 10 Torr, der Durchmesser der Eintrittsöffnungen der Blenden 6 und 8 0,5 bzw. 1 mm und die durch die Pumpen 10 und 11 erreichten Pumpleistungen etwa 100 bzw. 1000 l/sec«
Die dafür vorgenommene Berechnung zeigte:
daß der optimale Wert des duroh die Gleichung (l) berechneten Verhältnisses b/DQ ungefähr 125 betrugj
daß die theoretische Mach-Zahl in der Eintrittsöffnung der Blende 6 etwa 25 betrug, so daß sie das etwa 2 - 5-fache der früher erhaltenen Werte war, was einer Erhöhung der Intensität um einen Faktor von etwa 4-9 entsprach? und
daß die Pumpleistung zur Aufreohterhaltung des Druckes P1 in der Entspannungskammer 4 nur etwa 55 - 40 1/eec betrug.
Der für das AusfUhrungsbeispiel 1 berechnete Wert ist in Fig. 2 der Punkt l6.
Ausführungsbeispiel 2:
Als Gas wurde reines Helium verwendet, die Drücke P-, P2 und P, und der Durchmesser der Eintrittsöffnungen der Blenden 6 und 8 waren gleich den Werten für das Ausführungsbeispiel 1,
»4 während der Durchmesser DQ 0,10 mm und der Druck P 5 χ 10 Torr betrug.
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Unter diesen Bedingungen ergaben sich:
Der optimale Wert des Verhältnisses b/D . berechnet nach Gleichung (l), zu etwa 400;
die theoretische Mach-Zahl in der Eintrittsöffnung in der Blende zu etwa l80, d.h. das 10 - 20-fache der früher erhaltenen Mach-Zahlen, was einem 100 - 4oo~fach intensiveren Strahl entsprach; und
die zur Aufrechterhaltung des Druckes P. in der Entspannungskammer 4 notwendige Pumpleistung zu ungefähr 2000 1/sec, was mit Hilfe kommerziell erhältlicher Pumpen leicht erreichbar war (z.B. durch ROOTS-Pumpen).
Die Pumpleistung in der Kammer 5 wich nicht stärker von der für das Ausführungsbeispiel 1 ab; eine Diffusionspumpe 10 mit einer Pumpleistung von einigen 10" 1/sec. reichte aus. ·
Für eine höhere Intensität des in der Kammer 7 erzeugten Molekülstrahls stellte die die Blende 8 durchströmende Gasmenge einen relativ großen Teil der durch die Blende 6 strömenden Gasmenge dar, so daß allein der Rest von letzterer Gasmenge durch die Pumpe 10 abgepumpt werden mußte. :
Die Pumpe 11 war eine Diffusionspumpe mit, einer Leistung von etwa 50 000 1/sec.
Der für das Ausführungsbeispiel 2 gültige Wert ist in Fig. 2 der Punkt 17.
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Claims (1)

  1. Patentansprüche
    ·/Verfahren zur Erzeugung von Teilchenstrahlen durch Entspannung eines Gases über eine enge öffnung aus einem ersten Gefäß mit einem Druck FQ in ein zweites Gefäß mit einem Druck F1* wobei der axiale Teil des entspannten Strahls anschließend von einer Blende aufgefangen wird, die vorzugsweise kegelstumpfförmig divergiert, um vorzugsweise einen Molekülstrahl zu bilden, dadurch gekennzeichnet, daß gleichzeitig der
    Druck P1 auf 10 - 10 Torr gehalten und der Abstand b zwischen der Entspannungsöffnung und der Eintrittsöffnung der Blende (6) in Abhängigkeit vom Durohmesser D der Entspannungsöffnung so gewählt wird, daß die Intensität des erzeugten Strahls maximal wird, und daß der Druck P so hoch gewählt wirä, daß das Verhältnis b/Do größer als 100 wird.
    2. Verfahren nach Anspruch 1·, dadurch gekennzeichnet, daß der erhöhte Druck P,
    durch die Gleichung
    der erhöhte Druck PA für ein nichtkondenslertes, reines Gas
    pi F7}
    opt = k ( Kno
    bestimmt wird« wobei Kn die Knudsen-Zahl des Gases im ersten Gefäß (l) vor seiner Entspannung und k eine Konstante ist, die gleich etwa 0,125 für ein Gas ist, dessen Verhältnis der spezifischen Wärmen bei konstantem Druck und konstantem Volumen gleich 1,4 ist, und die mit diesem Verhältnis zunimmt.
    J. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das verwendete Gas ein relativ schweres Gas ist, das auf einige
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    Prozent in einem leichten Gas verdünnt ist.
    4. Verfahren nach Anspruch 1 und/oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das verwendete Gas mindestens zu einem größeren Teil Helium 1st.
    5. Verfahren nach Anspruch 1 und/oder 2, dadurch gekennzeichnet,
    -4
    daß der Druck PQ über 10 Torr liegt.
    6. Vorrichtung zur Erzeugung von Teilchenstrahlen, mit einer Einrichtung zur Gaszufuhr in eine konvergierende Düse unter einem Druck P , die in ein Gefäß mit einem Druck P. kleiner als P mündet und mit einer divergierenden Austrittsöffnung oder Blende auf der Achse der Düse versehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand b zwischen der Mündung der Düse (j3) und der Eintrittsöffnung der Blende (6) mindestens das 100«fache des Durchmessers D der Mündung der Düse beträgt»
    7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dal der Abstand b näherungsweise für ein nicht kondensiertes, reines Gas durch folgende Gleichung berechnet wird;
    b . , 1 _J*o ν 3
    wobei Kn die Knudsen-Zahl für ein Gas mit dem Druck P vor seiner Entspannung in dem Gefäi und k eine Konstante ist, die gleich etwa 0,125 für ein Gas ist, dessen Verhältnis der spezifischen Wärmen bei konstantem Druck und konstantem Volumen gleich 1,4 ist, und die mit diesem Verhältnis ansteigt«
    BAD 909883/U89
    8. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der öffnungswinkel des Kegels, der einen Kollimator (8) bildet, viel kleiner als der der Blende (6) ist«
    9. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der innere öffnungswinkel des Kegels, der die Blende (6) bildet, größer als 50° ist.
    10. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Unterschied zwischen dem äußeren und dem inneren öffnungswinkel des Kegels, der die Blende (6) bildet, höchstens 10° beträgt.
    11. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Unterschied zwischen dem äußeren und inneren öffnungswinkel des Kegels, der einen Kollimator (8) bildet, höchstens 10° beträgt.
    BAD ORIGINAL
    90 9883/U89
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