DE1912316U - EVAPORATION DEVICE. - Google Patents

EVAPORATION DEVICE.

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DE1912316U
DE1912316U DE1965C0012632 DEC0012632U DE1912316U DE 1912316 U DE1912316 U DE 1912316U DE 1965C0012632 DE1965C0012632 DE 1965C0012632 DE C0012632 U DEC0012632 U DE C0012632U DE 1912316 U DE1912316 U DE 1912316U
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crucible
evaporation device
evaporation
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electrical current
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D1/00—Evaporating
    • B01D1/22—Evaporating by bringing a thin layer of the liquid into contact with a heated surface
    • B01D1/222—In rotating vessels; vessels with movable parts
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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Description

RA. Q OU U "5.1.65RA. Q OU U "5.1.65

Dipl.-Ing. LamprechtDipl.-Ing. Lamprecht

München 22, Steins4orfstr.mMunich 22, Steins4orfstr.m

410-10.200G 5.1.1965410-10.200G 5.1.1965

COMiISSARIAT A L1ElTEEGIE ATOMIQüE, Paris (Frankreich)COMiISSARIAT AL 1 ElTEEGIE ATOMIQüE, Paris (France)

VerdampfungsvorrichtungEvaporation device

Die !Teuerung Toe zieht sich auf eine Verdampfungsvorrichtung, wie sie in einer Einrichtung zum Niederschlagen von dünnen, gleichmäßigen Schichten aus einem verdampf "baren Material oder Stoff auf einem Träger durch Aufdampfen des Stoffes im Vakuum verwendet wird.The! Dearness toe pulls on a vaporizer, as used in a device for depositing thin, uniform layers of a vaporizable material or Fabric is used on a carrier by vapor deposition of the fabric in a vacuum.

Die "bisherigen Ausführungen derartiger Verdampfungsvorrichtungen enthalten meist einen hochteniperaturfesten Tiegel von zylindrischer oder konischer Gestalt, der durch Stromwärme mittels eines elektrischen Widerstandes "beheizt wird, welcher in schraubenlinienförmigen Windungen außen um den Tiegel herumgewickelt ist. Derartige Verdampfungs-vorrichtungen haben jedoch gewisse Nachteile, die insbesondere dadurch bedingt sind, daß an der Oberfläche des Tiegels an denjenigen Stellen, welche mit dem elektrischen Heizwiderstand in Berührung stehen, "heißeThe "previous versions of such evaporation devices usually contain a high temperature resistant crucible of cylindrical or conical shape, which is heated by current heat by means of an electrical resistor "which is wound around the outside of the crucible in helical turns. However, such evaporation devices have certain disadvantages, which are caused in particular by the fact that on the surface of the crucible at those points which with are in contact with the electrical heating resistor, "means

410-(B 1140-3)LP (7)410- (B 1140-3) LP (7)

Punkte" vorhanden sind, welche infolge der dadurch sich ergebenden unterschiedlichen Wärmedehnungen zu nachteiligen mechanischen Spannungen in dem Material des Tiegels führen.Points "are present, which as a result of the resulting different thermal expansions lead to disadvantageous mechanical stresses in the material of the crucible.

Der vorliegenden Neuerung liegt der Zweck zugrunde, diese Nachteile zu "beseitigen und eine VerdampfungsVorrichtung mit einem hochtemperatu.rfesten Tiegel zu schaffen, "bei dem die Temperatur an sämtlichen Stellen im wesentlichen gleichförmig ist.The present innovation is based on the purpose of "eliminating these disadvantages and using an evaporation device." to create a high temperature resistant crucible, "in which the Temperature is substantially uniform at all locations.

Die neuerungsgemäße Verdampfungsvorrichtung der oben erwähnten Art ist im wesentlichen dadurch gekennzeichnet, daß sie einen Tiegel konischer Form und ein der äußeren Mantelfläche des Tiegels angepaßtes Heiz-Metall"band aufweist, das sich eng der Umfangsfläche des Tiegels anschmiegt und infolgedessen mit praktisch der gesamten äußeren Oberfläche des Tiegels in unmittelbarer Berührung steht.The evaporation device according to the invention mentioned above Art is essentially characterized in that it has a conical crucible and one of the outer shell surface of the crucible has adapted heating metal "band, the closely hugs the peripheral surface of the crucible and as a result is in direct contact with practically the entire outer surface of the crucible.

Auf diese Weise bildet das Metallband ein Tragorgan für den Tiegel, das gleichzeitig die Beheizung dieses Tiegels mit einer bemerkenswert guten Kontaktberührung gewährleistet. Man vermeidet auf diese Weise das Auftreten von "heißen Punkten" an der Oberfläche des Tiegels, da dieser wegen seiner konischen Form dauernd in engem Kontakt mit der ihn tragenden Fläche des Metallbandes steht, ganz unabhängig von der Wärmedehnung des Tiegels und vor allem des Metallbandes.In this way, the metal band forms a support element for the crucible, which at the same time also heats this crucible a remarkably good contact is guaranteed. This avoids the occurrence of "hot spots" on the surface of the crucible, because its conical shape means that it is constantly in close contact with the surface that supports it of the metal strip is completely independent of the thermal expansion of the crucible and, above all, of the metal strip.

Außerdem erspart man vollständig die Anordnung von elektrischen Anschlußklemmen an dem Tiegel selbst, was einen einfachen Ailubau dieses Tiegels und seine schnelle Abkühlung am Schluß jedes Arbeitsganges möglich macht. Schließlich ge-■statten das kleine Volumen und die kleinen äußeren Abmesstuigen der Vorrichtung ein leichtes Entgasen vor jeder Verwendung.In addition, one completely saves the arrangement of electrical ones Terminals on the crucible itself, what a simple construction of this crucible and its rapid cooling on Makes the end of each work step possible. Finally, allow the small volume and the small external dimensions degas the device slightly before each use.

Zum besseren Verständnis der Neuerung wird nunmehr einFor a better understanding of the innovation, a

/er/he

Ausführungsbeispiel ausführlich/beschrieben, das jedoch lediglich der Erläuterung dient und den Umfang der Neuerung in keiner Weise einschränkt.Embodiment in detail / described, but only serves to explain and does not limit the scope of the innovation in any way.

In der Zeichnung zeigen:In the drawing show:

Jig. 1 einen senkrechten Axialschnitt durch einen Verdampfungstiegel, der gemäß der Neuerung beheizt wird;Jig. 1 a vertical axial section through an evaporation crucible, which is heated according to the innovation;

I1Ig. 2 eine Aufsicht auf den in Fig. 1 dargestellten Verdampfungstiegel .I 1 Ig. 2 shows a plan view of the evaporation crucible shown in FIG. 1.

Wie man aus den Figuren der Zeichnung erkennt, enthält die neuerungsgemäße Verdampfungsvorrichtung einen konischen Tiegel 1, der aus einem keramischen Material, "beispielsweise Berylliumoxyd, besteht und von einem Metallband 2 gehalten wird, das vorzugsweise aus Tantal hergestellt ist und sich eng der äußeren Form des Tiegels anschmiegt. Wie besser aus der Fig. 2 zu erkennen ist, besteht das Band 2 aus zwei miteinander verbundenen, etwa als kegelige Schellen geformten Band-As can be seen from the figures of the drawing, the evaporation device according to the invention contains a conical one Crucible 1 made of a ceramic material, for example beryllium oxide, and held by a metal band 2 is, which is preferably made of tantalum and closely conforms to the outer shape of the crucible. How better from that Fig. 2 can be seen, the band 2 consists of two interconnected, roughly shaped as conical clamps band

teilen 2a und 2b, die an ihren Enden miteinander verbunden und an elektrische Anschlußklemmen 3 und 4 angeschlossen sind. Die Anschlußklemmen sind fest mit einem topfartigen Zylinderteil 5, der "beispielsweise aus Kupfer "besteht, mittels zweier Befest igungsschrauben, wie 6 und 7, verbunden und gegeneinander durch isolierende Zwischenlage!8 isoliert. Der topfartige Zylinderteil 5 ist durch eine Schraube 9 auf einem Träger 10 aus Elektrolytkupfer "befestigt, welcher durch einen Kühlwasserumlauf 11 oder durch irgend ein anderes Kühlmittel gekühlt wird.parts 2a and 2b, which are connected to each other at their ends and are connected to electrical terminals 3 and 4. The terminals are fixed with a cup-like cylinder part 5, which "consists of copper, for example", by means of two fasteners etting screws, such as 6 and 7, connected and against each other insulated by insulating intermediate layer! 8. The pot-like one Cylinder part 5 is fastened by a screw 9 on a carrier 10 made of electrolytic copper ", which is circulated by cooling water 11 or any other coolant.

Auf die oben "beschriebene Weise wurde eine Verdampfungsvorrichtung für Verdampfung durch Stromwärme geschaffen, welche die oben angegebenen Vorteile hat und es gestattet, auf irgendeinem beliebigen Träger eine Deckschicht gewünschter Stärke aus einem geeigneten Material niederzuschlagen. Beispielsweise sei erwähnt, daß diese Verdampfungsvorrichtung für das liederschlagen einer ^BBBBHBPDeckschicht auf dünnen G-lasplättchen dienen kann, wie sie insbesondere zur Herstellung von magnetischen Informationsspeichern Verwendung finden.In the manner described above, an evaporator created for evaporation by current heat, which has the advantages indicated above and allows on any any carrier to deposit a cover layer of the desired thickness made of a suitable material. For example, be mentions that this evaporation device is used to deposit a ^ BBBBHBP top layer on thin glass plates can, as they are used in particular for the production of magnetic information storage media.

Selbstverständlich ist die Neuerung nicht auf das beschriebene und in der Zeichnung veranschaulichte Ausführungsbeispiel beschränkt; sie umfaßt vielmehr sämtliche Ausführungsvarianten. Of course, the innovation is not limited to the embodiment described and illustrated in the drawing; rather, it encompasses all design variants.

Claims (3)

C SchutzansprücheC claims for protection 1. Verdampfungsvorrichtung mit einem Tiegel, der an seiner äußeren Oberfläche eine elektrische Beheizung aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß der Tiegel1. Evaporation device with a crucible which is electrically heated on its outer surface, characterized in that the crucible (1) eine konische Form aufweist und von einem Heiz-Metallband(1) Has a conical shape and is made of a heating metal band (2) umgeben ist, das sich eng der äußeren Oberfläche des Tiegels, anpaßt Lind im wesentlichen mit dieser gesamten Oberfläche in inniger Berührung steht.(2) which closely conforms to the outer surface of the crucible and conforms to substantially the entire surface is in intimate contact. 2. Verdampfungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Metallband (2) aus zwei miteinander verbundenen Bandteilen (2a,2b) besteht, die schellenartig zusammengefügt sind und deren gemeinsame Enden mit Klemmen (3',4) für die Zufuhr des elektrischen Stromes verbunden sind.2. Evaporation device according to claim 1, characterized in that that the metal band (2) consists of two interconnected band parts (2a, 2b) which are joined together like a clamp and the common ends of which are connected to terminals (3 ', 4) for the supply of electrical current. 3. Verdampfungsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die der Zuführung des elektrischen Stromes dienenden Anschlußklemmen (3,4) von einem topfförmigen Zylinder- *teil (5) getragen werden, der seinerseits an einem durch Umlauf eines geeigneten Kühlmittels gekühlten Träger (10) befestigt ist.3. Evaporation device according to claim 1 or 2, characterized characterized in that the connecting terminals (3, 4) serving to supply the electrical current are connected by a pot-shaped cylinder * Part (5) are carried, which in turn is attached to a carrier (10) cooled by the circulation of a suitable coolant is.
DE1965C0012632 1964-01-07 1965-01-05 EVAPORATION DEVICE. Expired DE1912316U (en)

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FR2352894A1 (en) * 1976-05-24 1977-12-23 Commissariat Energie Atomique EVAPORATION SOURCE FOR VACUUM DEPOSIT
CH626407A5 (en) * 1977-07-08 1981-11-13 Balzers Hochvakuum
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