DE1798453B2 - Druckdifferenzverstärker - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen Druckdifferenzverstärker nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

Ein Verstärker dieser Art ist aus Hengstenberg, Sturm. Winkler, »Messen und Regeln in der Chemischen Technik«, Springer Verlag, zweite Auflage, 1964, S. 153 bis 159, bekannt Bei dem dort beispielsweise in Abb. 95 auf S. 157 beschriebenen Gerät wird die Auslenkung der Meßmembran gemäß der zu messenden Druckdifferenz über einen Waagebalken und eine an dessen einem Ende vorgesehene Schraube auf eine Prallplatte übertragen, deren entsprechende Stellung eine Düsenöffnung mehr oder weniger begrenzt. Entsprechend steigt oder sinkt der durch Zuluft unterhaltene Ausgangsdruck. Das bekannte Gerät umfaßt ferner einen sogenannten Wirkdruck bereicheinsteller, bei dem ein vom Ausgangsdruck beaufschlagter Balg gegen ein an dem Waagebalken verschiebbar angebrachtes Element drückt Die Verschiebung dieses Elements gestattet eine Verringerung der Empfindlichkeit des Druckverstärkers zur Erfassung höherer Druckdifferenzen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Druckdifferenzverstärker, insbesondere für sehr kleine zu messende Druckdifferenzen zu schaffen, bei dem zwischen der Meßdruckdifferenz und dem Ausgangsdruck ein im wesentlichen lineares Verhältnis besteht. Diese Aufgabe stellt sich insbesondere bei der Leckprüfung, wenn es darauf ankommt, verhältnismäßig kleine Lecks möglichst rasch festzustellen. Wegen der angestrebten kurzen Prüfzeit verursachen kleine Lecks nur einen außerordentlich kleinen Abfall des Meßdrucks, der ein Meßgerät mit entsprechend hoher Empfindlichkeit erfordert. Die in der obenerwähnten Literaturstelle beschriebenen Druckdifferenzverstärker weisen nur eine verhältnismäßig begrenzte Empfindlichkeit auf, da sie die Meßgröße mit Hilfe von Hebeln oder ähnlichen Mechanismen erheblicher träger Masse übertragen.

Die erfindungsgemäße Lösung der genannten Aufgabe ist im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 angegeben. Die Rückkopplungseinrichtung, die das Ansprechverhalten der Meßmembran im wesentlichen proportional verstärkt, besteht danach erfindungsgemäß aus einer mit der Meßmembran mechanisch verbundenen weiteren Membran; die gesamte träge Masse des Druckdifferenzverstärkers wird also durch die zusätzliche Rückkopplungieinrichtung nur um die geringe Masse einer Membran, d h. um praktisch das absolute Minimum, erhöht. Im Gegensatz zu den bekannten Hebelübertragungen, bei denen etwaige Meßfehler im Verhältnis der Hebelarme mit vergrößert werden, siehl die Erfindung eine Anordnung vor, bei der da: Ansprechverhalten der Meßmembran selbst verstärki wird, ohne daß zusätzliche Fehlerquellen eingefühn werden.

Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteran Sprüchen gekennzeichnet.

Aus der US-Patentschrift 3181 547 ist ein pneumati scher Übertrager bekannt, der zwar in seiner räumli chen Gestaltung Ähnlichkeiten mit dem im folgendei beschriebenen bevorzugten Ausführungsbeispiel de

Erfindung aufweist, mit der Erfindung selbst aber nichts zu tun hat Funktionsmäßig unterscheidet sich die Vorrichtung nach der US-Patentschrift von der Erfindung dadurch, daß nicht die Differenz zweier variabler, zu messender Drucke verstärkt wird, sindern ein einziges Drucksignal einer mathematischen Operation, nämlich der Differentiation bzw. der Integration, unterworfen wird. Weiterhin umfaßt die bekannte Anordnung weder eine Verstlfkungsmembran noch eine Rückkopplungseinrichtung. In diesem Zusammenhang sei ausdrücklich erläutert, daß bei der bekannten Vorrichtung die oberste und die unterste Membran jeweils nur zur Begrenzung derjenigen Kammern dienen, denen die beiden aus dem einzigen Drucksignal abgeleiteten Drucke zugeführt werden. Da ein Rückkopplungsweg des A'jsgangsdrucks nicht vorhanden ist, kann auch keine auf die mittlere Meßmembran wirkend» Verstärkung erziel« werden. Eine in Rg. 3 dieser US-Patentschrifi gezeigte Rückführung mit Leitungen 68, 69 und einer Verengung 163 hat in Verbindung mit einem Balg 165 die Aufgabe, die für die gewünschte Integrationsfunktion benötigte kapazitive Wirkung des Volumens unabhängig von dem jeweiligen barometrischen Druck konstant zu halten.

Die Erfindung wird in der nachstehenden Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels an Hand der Zeichnungen näher erläutert. In den Zeichnungen zeigt

Figl eine vereinfachte schematische Darstellung eines Druckdifferenzverstärkers, der zur Erläuterung seiner Funktion und seiner besonders vorteilhaften Verwendung in Verbindung mit einem ebenfalls nur schematisch dargestellten Leckprüfsystems gezeigt ist,

F i g. 2 eine perspektivische Darstellung einer räumlichen Ausführungsform des in F i g. 1 schematisch ge- zeigten Druckdifferenzverstärkers und

F i g. 3 einen Längsschnitt durch den Druckdifferenzverstärker nach F i g. 2.

Das in F i g. 1 veranschaulichte System umfaßt eine allgemein mit 10 bezeichnete Druckquelle, die über eine primäre Leitung U mit dem Hohlraum eines Prüf ngs 12 verbunden ist. In die Leitung 11 ist ein Ventil 13 zur Unterbrechung der Verbindung zwischen der Quelle 10 und dem Prüfling 12 eingefügt. Ein Druckregler 14 kann am Einlabende der Leitung 11 vorgesehen sein. Eine primäre, auf Druck ansprechende Einrichtung, die allgemein mit 20 bezeichnet ist, umfaßt eine Meßmembran 21, die eine Hochdruckkammer 22 von einer Niederdruckkammer 23 trennt. Die Hochdruckkammer 22 ist mit der Druckquelle 10 an der Ausgangsscite des so Reglers 14 durch eine Leitung 24 verbunden, während die Niederdruckkammer 23 mit dem Hohlraum des Prüflings 12 durch eine Leitung 25 verbunden ist.

Bei offenem Ventil 13 herrscht der durch die Einstellung des Reglers 14 bestimmte Prüfdruck im Prüfung 12 in der Hochdruckkammer 22 und in der Niederdruckkammer 23. In diesem Zustand befindet sich die Meßmembran 21 im Gleichgewicht und bleibt stationär, da ein etwaiges Leck im Prüfling 12 durch die Druckquelle 10 ausgeglichen wird. Sobald jedoch das Ventil 13 geschlossen wird, verursacht ein Leck im Prüfling einen Druckabfall, der sich über die Leitung 25 der Niederdruckkammer 23 mitteilt, infolge der sich so bildenden Druckdifferenz zwischen den Kammern 22 und 23 wird die Meßmembran 21 aus dem Gleichgewicht gebracht und sucht sich in Richtung der Niederdruckseite zu bewegen. Jedoch kann diese Bewegung infolge des äußerst kleinen Druckabfalls, der sich bei einem relativ kleinen Leck in dem Prüfling während der kurzen Dauer der Prüfzeit einstellt, so klein sein, daß sie sich mit vorhandenen Instrumenten nicht erfassen läßt

Deshalb ist als sekundäre, auf Druck ansprechende Einrichtung ein Druckrelais 35 vorgesehen, das gemäß F i g. 1 in eine sekundäre Leitung 30 eingeschaltet ist Die Leitung 30 ist eingangsseitig an einer regelbare Druckquelle, etwa an einen Druckregler 31, und ausgangsseitig an ein Druckanzeige-Instrument 32 angeschlossen. Der Druckregler 31 kann über eine Leitung 33 an dieselbe Quelle 10 wie die primäre, auf Druck ansprechende Einrichtung 20 oder alternativ an eine vollkommen getrennte Druckquelle angeschlossen sein. Das Druckrelais 35 umfaßt eine Düsenöffnung 37, die von einem durch die Meßmembran 21 betätigten Teil 36 der primären, auf Druck ansprechenden Einrichtung 20 gesteuert wird.

Nimmt man zur Veranschaulichung beispielsweise an, daß der Prüfdruck, der von der Quelle 10 durch den Druckregler 14 geliefert wird, 0,7 Kg/cm² beträgt, infolge eines Lecks im Prüfling 12 nach Schließen des Ventils 13 um 0.00035 Kg/cm² abfällt so wird ersichtlich, daß ein solcher Druckabfall nicht selbst gemessen werden kann. Er kann aber eine ausreichende Kraft ergeben, um über die Meßmembran 21 und das Teil 36 das Druckrelais 35 zu steuern und somit nennenswert denjenigen Druck zu beeinflussen, der über die Leitung 30 auf das Instrument 32 übertragen wird.

Zur Verstärkung der Empfindlichkeit, mit der die Meßmembran 21 auf die zu messende Druckdifferenz anspricht, ist eine tertiäre, auf Druck ansprechende Einrichtung 50 vorgesehen, die mit der Einrichtung 20 quasi »in Kaskade« geschaltet ist. Diese Einrichtung 50 umfaßt eine weitere Leitung 5t, die die zum Instrument 32 führende Leitung 30 mit einer Hochdruckkammer 52 verbindet. Die Kammer 52 wird von einer Verstärkungsmembran 53 begrenzt, die mit einem oberen Abschnitt 36a des Teils 36 verbunden ist, wobei das Teil 36, wie obenerwähnt, mit der Meßmembran 21 der primären, auf Druck ansprechenden Einrichtung 20 verbunden ist. Die andere von der Membran 53 begrenzte Kammer 54 kann offen sein bzw. mit der Atmosphäre in Verbindung stehen.

Erfolgt durch die primäre Einrichtung 20 eine Betätigung des Druckrelais 35, so daß in der Leitung 30 zum Instrument 32 ein Druckanstieg auftritt, so wirkt dieser Druckanstieg über die Leitung 51 in dem durch ein Einstellventil 55 vorgegebenen Maß auf die Membran 53 der tertiären Einrichtung 50 und wird über die Teile 36a und 36 auf das Druckrelais 53 rückgekoppelt, wodurch der Druckanstieg innerhalb der zum Instrument 32 führenden Leitung 30 noch weiter vergrößert wird.

Das zur Einstellung der Empfindlichkeit dienende Ventil 55, das in dem hier gewählten Ausführungsbeispiel als von Hand einstellbar gezeigt ist, befindet sich in der Leitung 51 und gestattet eine Regelung der verstärkenden Funktion der Einrichtung 50 von Null bis zum Maximum. Bei geschlossenem Einstellventil 55 läßt sich das System etwa für industrielle Anwendungen behutzen, bei denen der Prüfling ein starkes, leicht zu messendes Leck aufweist. Für größere Empfindlichkeiten wird das Einstellventil 55 von Hand jeweils so weit geöffnet, bis die gewünschte bzw. erforderliche Empfindlichkeit des gesamten Systems erzielt ist. Die Leitung 51 ist zwischen dem Ventil 55 und der Kammer 52 bei 56 zur Atmosphäre hin offen, um innerhalb der Leitung 51 eine kontinuierliche Strömung aufrechtzuerhalten. Die Einrichtung 50 umfaßt ferner eine auf das Teil

36a einwirkende Feder 57, deren Spannung mit Hilfe eines durch eine Stange 88 (F i g. 3) wirkenden Einstellknopfes 57a einstellbar ist. Durch Einstellung der durch die Feder 57 auf das Teil 36a ausgeübten Kraft kann das System so justiert werden, daß es im Gleichgewicht an dem Instrument 32 eine Null-Anzeige ergibt.

In F i g. 2 und 3 sind räumliche Einzelheiten der Ausführungsform des Druckverstärkers 60 gezeigt, der in der schematischen Darstellung der F i g. 1 dem ebenfalls mit 60 bezeichneten gestrichelten Kasten entspricht. Gemäß F i g. 3 umfaßt die Meßmembran 21 eine flache Scheibe, die zwischen zwei Gummimembranen 21a eingeschlossen ist. Die Gummimembranen 21a sind am äußeren Umfang zwischen Ringen 61, 62 und 63 eingespannt, die einen Teil des Verstärkergshäuses bilden. Das Teil 36 der primären, auf Druck ansprechenden Einrichtung 20 hat die Form eines Stiftes, der die Mitte der Membran 21 durchsetzt und nach oben und unten aus dieser herausragt. An seinem unteren Ende ist der Stift 36 mit einem zylindrisehen Block 64 verbunden. Zwischen dem Block 64 und der Membran 21 sind Abstandselemente 65 und 66 vorgesehen. Das untere Element 65 ist dabei zwischen zwei Gummimembranen 65a angeordnet, deren untere am Rand zwischen einem Ring 68 und einer den Verstärker tragenden Rahmenplatte 69 (s. auch F i g. 2) eingespannt ist. Bei einer zwischen der Hochdruckkammer 22 und der Niederdruckkammer 23 sich bildenden Druckdifferenz wird der Stift 36 durch die Meßmembran 21 senkrecht nach unten bewegt.

Gemäß F i g. 3 ist die sekundäre Leitung 30 durch die Rohrleitung gebildet, die in den unteren Teil des Verstärkers von links her eintritt und an der rechten Seite austritt, wobei eine Anzahl von in einem unteren Gehäuseteil 70 des Verstärkers vorgesehenen Hohlräumen und Leitungen ebenfalls zu der Leitung 30 gerechnet werden; dazu gehören eine konstante Drosselöffnung 71, eine Leitung 72. eine Druckkammer 73, eine Leitung 74, die gesteuerte Düsenöffnung 73, eine Hauptkammer 75. eine Leitung 76, eine Kammer 77 sowie eine Leitung 78, von der die Leitung 30 weiter zu dem Druckanzeige-Instrument 32 verläuft. Die von dem Druckregler 31 kommende Luft tritt also unter Druck durch die Leitung 30 auf der in F i g. 3 linken Seite in den Verstärker ein, strömt durch den unteren Gehäuseteil 70 und weiter durch die rechte Fortsetzung der Leitung 30 zu dem instrument 32.

Die Düsenöffnung 37, die zwischen der Leitung 74 und der Hauptkammer 75 Hegt, wird durch die Meßmembran 21 Ober den Stift 36 gesteuert. Bewegt sich der Stift 36 infolge eines Druckabfalls in der Kammer 23 nach unten, so kommt er der Öffnung 37 näher um" verengt d»e Strömung durch diese Öffnung in dem Maße, in dem die Membran 21 beaufschlagt wird.

Im unteren Gehäuseteil 70 ist eine Membran 80 angeordnet, die eine zwischen zwei Gummimembranen eingefügte Scheibe umfaßt und die beiden obenerwähnten Kammern 73 und 77 voneinander trennt In der Kammer 77 ist eine Membranfeder 82 vorgesehen, die auf die Unterseite der Membran 80 zu dem im folgenden erläuterten Zweck einwirkt Die Leitung 81, die von einer Leitung 87 in die Kammer 77 führt umfaßt einen Ventilsitz, der unter der Wirkung einer Ventilfeder 83 normalerweise durch eine an einem Stift 85 angebrachte Ventilkugel 86 geschlossen ist. Der obere <>5 Teil des Stiftes 85 bildet ein Nadelventil 84. das normalerweise geschlossen ist. im geöffneten Zustand jedoch ein Entweichen des Strömungsmitteis aus der Kammer 77 über eine Entlüftung 84a an die Atmosphäre gestattet.

Die auf einen gleichmäßigen Druck von beispielsweise 1,8 Kg/cm² eingestellte Luft tritt durch die Leitung 30 linksseitig in den Verstärker ein und gelangt nach Durchströmen der Drosselöffnung 71 mit einem verringerten Druck von beispielsweise 0,28 Kg/cm² in die Kammer 73 an der Oberseite der Membran 80. Dieser geringere Druck wirkt also auf die obere Seite der Membran 80. Von dort strömt die Luft durch die Leitung 74 und die Düsenöffnung 37 und gelangt infolge der drosselnden Wirkung dieser Düsenöffnung 37 mit einem noch niedrigeren Druck von beispielsweise 0,21 Kg/cm² in die Hauptkammer 75. Unter diesem Druck strömt die Luft von der Hauptkammer 75 durch die Leitung 76 in die untere Kammer 77 sowie durch die Leitung 78 in die zu dem Instrument führende Leitung 30 am unteren rechten Teil des Verstärkers.

Sind die Drucke in den Kammern 22 und 23 gleich, so befindet sich das System im wesentlichen im Gleichgewicht, und der auf die Membran 80 wirkende Druck unterscheidet sich nur noch durch den durch die Düsenöffnung 37 verursachten Abfall, der in dem hier gewählten Beispiel 0.07 Kg/cm² beträgt. Die Feder 82 sorgt dafür, daß die oben angegebene Druckdifferenz kompensiert wird, und wirkt einer Abwärtsbewegung der Membran SO entgegen. Das System befindet sich somit im Gleichgewicht. Der Druck von 0,21 Kg/cm², der innerhalb der Kammer 77 herrscht, wirkt durch den rechten Teil der Leitung 30 auch auf das Druckanzeige-Instrument 32, das so gebaut ist, daß es den Anfangspunkt oder Bezugsdruck anzeigt. Zur genaueren lustierung der Anzeige des Instruments 32 auf einen solchen Bezugsdruck dient die im oberen Teil des Verstärkers angeordnete Feder 57. Diese Feder kompensiert die Kraft, die durch den Druck von beispielsweise 0.21 Kg/cm² innerhalb der Hauptkammer 75 erzeugt wird, auf den das untere Ende des Membranstapels bildenden Zylinderblock 64 einwirkt und den Stift 76 nach oben zu drücken sucht. Zum Ausgleich dieser Druckkraft ist die obere Feder 57 durch Drehung des Knopfes 57a einstellbar.

Beim Betrieb des Verstärkers bewirkt eine Druckverringerung in der Niederdruckkammer 23 infolge eines Lecks im Prüfling eine Abwärtsbewegung der Meßmembran 21 und des Stiftes 36. Infolgedessen verengt sich die Düsenöffnung 27 und bewirkt einen höheren Druckabfall. Gleichzeitig steigt jedoch der Druck in der Kammer 73 und in der Leitung 74. d h. zwischen den Öffnungen 71 und 37, wodurch die Membran 80 nach unten bewegt wird Bei dieser Abwärtsbewegung wirkt die Membran 80 auf den Stift 85. so daß die Ventilkugel 86 von dem Ventilsitz abgehoben wird und der von dem Druckregler 71 zugeführte Druck durch die Leitungen 87 und 81 unter Umgehung der Drosselöffnung 71 direkt in die Kammer 77 gelangt; dadurch wirkt ein höherer Druck auf die Unterseite der Membran 80, der von der Kammer 77 durch den rechten Teil der Leitung 30 dem Druckanzeige-Instrument 32 zugeführt wird

Die an Hand der schematischen Darstellung der F i g. 1 erwähnte tertiäre, auf Druck ansprechende Einrichtung umfaßt gemäß der detaillierten Darstellung nach F i g. 3 eine Öffnung 91, über die die obenerwähnte Leitung 51 mit der Hauptkammer 75 in Verbindung steht sowie eine Öffnung 9Z die von der Leitung 51 in die Kammer 52 führt Die Verstärkungsmembran 53 umfaßt wieder eine zwischen zwei Gummimembranen

53a eingefügte Scheibe und bildet den verstärkenden Teil des Membranstapels. Die Membran 53 ist am oberen Abschnitt 36a des Stiftes 36 befestigt.

Zwischen den Öffnungen 91 und 92 ist das Empfindlichkeits-Einsieliventil 55 vorgesehen, über das sich die Verbindung zwischen den beiden Öffnungen zwischen einer vollständigen Unterbrechung und einer maximalen Öffnung variieren läßt. Ist das Einstellventil 55 geöffnet, so wird mit dem Druck der Hauptkammer 75 durch die Leitung 51 die Kammer 52 beaufschlagt, so daß auf den Stift 36 eine die Düsenöffnung 37 drosselnde Kraft ausgeübt wird, die in der gleichen Richtung wirkt wie die von der Meßmembran 21 aufgebrachte Kraft. Der andern Instrument 32 wirksame Druck wird also aus der Hauptkammer 75 über die Druckkammer 53 zur Unterstützung der Steuerbewegung des Stiftes 36 rückgekoppelt, so daß die Empfindlichkeit des Verstärkers erhöht wird. Ein Druckanstieg in der Kammer 73 wird also in der Kammer 77 einen noch höheren Druckabfall und damit eine noch stärkere Abwärtsbewegung der Membran 80 hervorrufen. Infolge des weiteren Abhebens der Ventilkugel 86 wird daher durch die Leitungen 87 und 81 ein noch höherer Druck aufgebracht, um die erzeugten Kräfte im Gleichgewicht zu halten. Dieser höhere Druck wird von der Kammer 77 durch die Leitungen 78 und 30 dem Instrument 32 zugeleitet. Die verstärkende Wirkung der Verstärkungsmembran 53 ist offensichtlich um so größer, je weiter das Einstellventil 55 geöffnet ist. Ist das Ventil 55 dagegen vollständig geschlossen, so ist die durch die Membran 53 erzielbare Verstärkung gleich Null.

Die Funktion des Nadelventils 84 besteht darin, eine Entlüftung des in der Kammer 77 und in der Leitung 78 bestehenden Druckes zu gestatten, um das System und das Druckanzeige-Instrument nach jedem Prüfdurchgang in seinen ursprünglichen Gleichgewichtzustand zurückzuführen.

In der Leitung 51 ist stromabwärts von dem Einstellventil 55 die mit der Atmosphäre in Verbindung stehende Öffnung 56 vorgesehen, die dafür sorgt, daß durch das Ventil 55 ständig eine Strömung stattfindet und das Ventil 55 seine Steuerfunktion erfüllen kann.

Wie aus der obigen Beschreibung ersichtlich, bildet der die Meßmembran 21 und die Verstärkungsmembran 53 umfassende Stapel mit dem Stift 36 eine innerhalb des oberen Teils des Verstärkers bewegbare Einheit, wobei das Verstärkergehäuse durch Ringe gebildet wird, die durch entsprechende Bolzen zu einem einheitlichen Aufbau miteinander verbunden sind. Die gesamte Anordnung wird von der Rahmenplatte 69 getragen, auf der, wie in F i g. 2 angedeutet, weitere Teile des in F i g. 1 schematisch gezeigten Meßsystems an geordnet sein können.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (8)

Patentansprüche:

1. Druckdifferenzverstärker mit einer Meßmembran, auf deren beide Seiten zwei Drucke wirken, ,deren Differenz gemessen werden soll, mit einem mit der Meßmembran verbundenen Glied zur Steuerung eines Ausgangsdrucks sowie mit einer vom Ausgangsdruck beaufschlagten und auf das Steuerglied einwirkenden Rückkopplungseinrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß die Rückkopplungseinrichtung eine mit der Meßmembran (21) mechanisch verbundene Verstärkungsmembran (53) aufweist, die das Ansprechverhalten der Meßmembran (21) im wesentlichen proportional verstärkt

2. Verstärker nach Anspruch I. dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Membranen (21. 53) an einem sie durchsetzenden Stift (36) befestigt sind, der das Glied zur Steuerung des Ausgangsdrucks bildet.

3. Verstärker nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß in eine Leitung (51), über die eine durch die Verstärkungsmembran (53) begrenzte Kammer (52) vom Ausgangsdruck beaufschlagt ist, ein regelbares Ventil (55) eingeschaltet ist.

4. Verstärker nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Ventil (55) von Hand einstellbar ist.

5. Verstärker nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Leitung (51), über die die Kammer (52) vom Ausgangsdruck beaufschlagt ist. eine verschließbare Auslaßöffnung (56) aufweist.

6. Verstärker nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß fünf stapelartig übereinander angeordnete Membranen an ihrem Umfang in einem gemeinsamen Gehäuse eingespannt und mittig an dem Stift (36) befestigt sind, daß die zwischen der ersten (65) und der die Meßmembran darstellenden zweiten Membran (21) gebildete Kammer (23) sowie die zwischen der zweiten und der dritten Membran gebildete Kammer (22) mit den beiden Drucken beaufschlagt sind, deren Differenz gemessen werden soll, daß die zwischen der dritten und der die Verstärkermembran darstellenden vierten Membran (53) gebildete Kammer mit der Atmosphäre in Verbindung steht, daß die zwischen der vierten und der fünften Membran gebildete Kammer (52) die vom Ausgangsdruck beaufschlagte Kammer ist, daß der Stift (36) einer Düsenöffnung (37) gegenüber steht und durch seinen jeweiligen Abstand von dieser öffnung der Druck an cW öffnung steuerbar ist, und daß mit der Düsen-011 iiung ein Druckrelais (80...87) gekoppelt ist, dessen Sekundärdruck proportional zu dem Druck an der Düsenöffnung ist und den Ausgangsdruck darstellt.

7. Verstärker nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die erste (65), die dritte und die fünfte Membran gleiche wirksame Fläche haben, daß die zweite (21) und die vierte (53) Membran ebenfalls gleiche wirksame Fläche haben, und daß die wirksame Fläche der zweiten und der vierten Membran größer ist als die der ersten, der dritten und der fünften Membran.

8. Verstärker nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß jede Membran von zwei parallelen elastischen Elementen gebildet ist und der Zwischenraum zwischen diesen Elementen mit der Atmosphäre in Verbindung steht