DE1767988A1 - Verfahren zum Erhitzen von teilchenfoermigem Material - Google Patents

Verfahren zum Erhitzen von teilchenfoermigem Material

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DE1767988A1
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gas
plasma
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plasma volume
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DE19681767988
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Macdonald Peter Compton
Riley Arthur Leonard
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British Titan Ltd
Original Assignee
British Titan Ltd
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    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32082Radio frequency generated discharge
    • H01J37/321Radio frequency generated discharge the radio frequency energy being inductively coupled to the plasma
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
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    • H01J37/32743Means for moving the material to be treated for introducing the material into processing chamber

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