DE1728951U

DE1728951U - READING DEVICE FOR PRECISION DIVISIONS.

Info

Publication number: DE1728951U
Application number: DE1956A0008614
Authority: DE
Original assignee: Askania Werke AG
Current assignee: Askania Werke AG
Priority date: 1956-06-06
Filing date: 1956-06-06
Publication date: 1956-08-30

Description

M 43580*46,56 M 43580 * 46.56

ASKANlA-WERItE A.G. ^M^j BERLBN-FRIEDENAUASKANlA-WERITE A.G. ^ M ^ j BERLBN-FRIEDENAU

Pat/Seiffert/ΚΙ. 4. Juni 1956Pat / Seiffert / ΚΙ. June 4th 1956

Usage pattern registration Sr «3559 - A 1/5

AbIβseeinrichtung für Präzisionsteilungen·Breakaway device for precision graduations

Die Neuerung befaßt sioh mit einer Ableseeinriehtung für Präzisions— teilungen, wie sie in hochempfindlichen lleßinstrumenten (z.B· zur optischen Längenmessung o.a.) benutzt werden. In solchen Geräten sind Teilungen notwendig, deren Teilungsmarken mitunter nur Strichbreiten von wenigen Mikron und Strichtiefen von Bruchteilen der Breite aufweisen. Sie sind meist auf Glasplatten oder auch auf metallischen Trägern angebracht. Die Ablesung der Teilung erfolgt gewöhnlich mit Hilfe eines Mikroskops.The innovation deals with a reading device for precision divisions, as they are in highly sensitive reading instruments (e.g. for optical length measurement o.a.) can be used. In such devices, divisions are necessary, their division marks sometimes only line widths of a few microns and line depths of fractions of the width. They are mostly on glass plates or on metallic ones Straps attached. The graduation is read off usually with the help of a microscope.

TSn bei diesem Verfahren die Teilstriche, insbesondere solche, die sioh auf einem gläsernen Träger befinden, genügend sichtbar zu. machen, müssen sie zwecke Erhöhung des Kontrastes besonders behandelt werden. In der Regel werden sie mit einer absorbierenden Substanz ausgelegt. Wegen der erwähnten geringen Strichtiefen ergeben sich für die Behandlung des Q!eilungsträgers Schwierigkeiten, da sich die Kontrastmittel bei Reinigung des Trägers aus den Markierungen herauswischen lassen. Infolgedessen sind besondere Einrichtungen zur Ablesung der Markierung notwendig, die auch ohne kontraststeigernde Auslegung der Teilstriche eine sichere Ablesung der Teilung zulassen.TSn in this method the tick marks, especially those that sioh are on a glass support, sufficiently visible. they must be specially treated to increase the contrast will. Usually they are lined with an absorbent substance. Because of the mentioned low line depths difficulties in treating the carrier, because the contrast media can be wiped out of the markings when the carrier is cleaned. As a result, special facilities necessary for reading the marking, which ensures reliable reading even without the contrast-increasing design of the graduation marks allow the division.

Es wird deshalb neuerungsgemäß vorgeschlagen, ein an sich bekanntes Interferenzmikroskop zur Ablesung der Teilung zu benutzen.It is therefore proposed according to the innovation, a known per se Use the interference microscope to read the graduation.

Zur Punktion derartiger Mikroskope sei an einer Ausführung β artFor puncturing such microscopes, one embodiment is β art

- da sie an sich bekannt ist - nur folgendes ausgeführtt- since it is known per se - only performed the following

Das Mikroskop enthält eine Leuchtquelle, deren lage in der Figur 1The microscope contains a light source, the position of which is shown in FIG

- um eine Vorstellung zu vermitteln - mit (1 ) angedeutet iet_o Im übrigen zeigt die Figur nur die Umrisse einer Ausführungsf ona dieäer Mikroskope, Am Ort (2) befindet sich eine Vergleichsepiegelfläche. Daneben besitzt das Mikroskop zwei untereinander gleiche optische abbildende Systeme, von denen die Lage des einen mit (3) gekennzeichnet ist. Das andere (4) befindet sich vor der Yergleiohsspiegelflache (2) und dient zur Betrachtung dieser Vergleichaflache*- to convey an idea - indicated by (1) iet _o Moreover, the figure shows only the outlines of a Ausführungsf ona dieäer microscopes, Locally (2) there is a Vergleichsepiegelfläche. In addition, the microscope has two identical optical imaging systems, of which the position of one is marked with (3). The other (4) is located in front of the Yergleiohsspiegelflache (2) and is used to view this comparative area *

Das System (3) ist auf daszu betrachtende Objekt (5) gerichtet. Yon (1) g&angt Licht über ein geeignet ausgebildetes physikalisches strahlenteilendes Mittel (6) sowohl zu (2) als auch zu (5), wird von beiden Flächen reflektiert undgelangt wieder über das * strahlenteilende Mittel (6) jetzt in die Objektebene dee eigentlichen Mikroskopes (7).The system (3) is aimed at the object (5) to be viewed. Yon (1) g & angt light via a suitably designed physical Beam-splitting agent (6) for both (2) and (5), is reflected from both surfaces and arrives again via the * beam-splitting means (6) now in the actual object plane Microscope (7).

Bei entsprechender Justierung entstehen dort durch Vereinigung beider Strahlenbündel die bekannten Interferenzstreifen, die einen Schluß auf einzelne hervortretende Oberilächenteile in Bezug auf ihre Abweichung von benachbarten Teilen der Oberfläche des Objekts zulassen, da sich Inhomogenitäten in der Oberfläche in Wegdifferenzen des Lichtes bemerkbar machen.With appropriate adjustment, the well-known interference fringes, the one, result from the union of the two bundles of rays Conclusion on individual protruding surface parts in relation to their deviation from neighboring parts of the surface of the object allow, since inhomogeneities in the surface become noticeable in path differences of the light.

Ea entsteht so z.B. beim Betrachten eines Teilstriches (8) unter Verwendung monochromatischen Lichtes ein Bild wie es die Pigur 2 die das Gesichtefeld des Mikroskopes zeigt, wiedergibt. Es lassen sich dort abwechselnd die bekannten hellen und dunklen Interferenzstreifen beobachten, die an Stellen, die dem Ort der Ϊeilungsmarkierung entsprechen, fransenförmige Ausbuchtungen aufweisen, deren Lage mit Hilfe eines Ableseindex (9) im Mikroskop eine genauere Lokalisierung des Teilstriches zulassen.Ea is created e.g. when looking at a graduation (8) under Use of monochromatic light to create an image like the Pigur 2, which shows the field of view of the microscope. Leave it The well-known light and dark interference fringes alternate there observe those in places corresponding to the location of the dividing mark correspond to have fringe-shaped bulges, their Using a reading index (9) in the microscope, allow a more precise localization of the graduation.

Die Ausbildung der Perm und Lage der oben erwähnten Fransen hängt von der Struktur des Teilstrichgrundes ab. Es ergeben sich demzufolge gewisse Unregelmäßigkeiten in Form und Lage, aus denen die Möglichkeit einer Mittelung über die Orte der einzelnen Pransen zwecks genauerer Lokal-isierung des Strichortes resultiert.The formation of the perm and location of the fringes mentioned above depends on the structure of the base of the tick mark. There are consequently certain irregularities in shape and position from which the Possibility of averaging over the locations of the individual prans for the purpose of more precise localization of the line location.

Die Einrichtung zur Ablesung von Teilungsmarkierungen mit Hilfe eines Interferenzmikroskopes erhält ihren Wert vermöge ihrer kontraststeigernden Wirkung an einem kontrastarmen Teilbereich der T eilstrichstruktur. Darüber hinaus ist die Ableseeinrichtung nicht anfällig gegenüber Beugung ©effekt en an allerfeinet en Teile-trichen.The device for reading graduation marks with the help an interference microscope receives its value by virtue of its contrast-enhancing properties Effect on a low-contrast section of the partial line structure. In addition, the reading device is not susceptible to diffraction effects on very fine parts.

Weiterhin ergibt sich die Möglichkeit, in Einrichtungen, in denen die Ablesung der Teilung mit Hilfe eines Interferensaaikroekopee erfolgt, Teilungen zu benutzen, deren Herstellung wesentlich einfacher ist als die Herstellung der bekannten Teilungen. So ist es z.B. überflüssig, die Teilung durch Ätzen - ein Verfahren, das die Teilstriche unnötig unscharf werden läßt - herzustellen, sondern es genügt vielmehr, die Teilung durch geringfügige Beschädigung der Oberfläche des Teilungsträgers zu erzeugen.Furthermore there is the possibility in facilities in which the reading of the graduation with the help of an Interferensaaikroekopee occurs to use divisions, the production of which is much easier than the production of the known divisions. That's the way it is E.g. superfluous to create the division by etching - a process that makes the graduation lines unnecessarily blurred - but rather, it is sufficient to generate the division by slightly damaging the surface of the graduation carrier.

Claims

When numbering the divisions, it is useful to use the numbers designed so that there are no deviations from the homogeneity of the surface at the location of the digits. The picture would as a result of dg * r interference noise caused by these inhomogeneities become confusing.

The reading device can also be used in cases where which is not the reading of very fine tick marks from Precision divisions are involved.

Claim to protection

Reading device with microscope for graduations, preferably for precision graduations of very small line widths and depths Graduations cannot be interpreted with a contrast enhancing agent are, characterized in that the microscope is designed as a known interference microscope.

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