DE1717990U - Hochvakuumventil. - Google Patents

Description

&tlas-+WeJ#ce Aß* Bremen, den 9* öezembe-;

Sch,/Sn., g 967 Rückendichtung;

Hochvakxiuiaventil

Pie Krfijiduiag bezieht sich auf ei» Hoehvakuumveiitfil mit den VeatilköEper mit der fentilkamaierwandüng verbindenden Wellrohr sur Abdichtung der Durchf-ühimng des Vemtilk&i^eFantriebes« Solche j die ZtM-* für dea Sißbäu in M&ssensj>ektrometern gebraucht müssen, m^elianiscö- fest sein, absolut va&uumdieiit auek gegen und es muß ferner die Mögliqlikeitf bestekea, sie

Es sind löastruktion^n soldier· Ventile bekannt, bei denen ein Kegel aus ha^tesi Material in eine Zyliud@3?öffniaGg aus weickem Material odei? eine ki*eisföi?iaige Schneide aus hartem Material in eloe Platte au0 weiöherea Material gepreßt tuad dadurch ein hoch vak,muis4ieh.te3i Äbsebluß erreicht wird* Das weichere Material mit Dichtung fcaim eia weiches Metall oder gegebenenfalls auch Thilos s^iii,- wena eine geraiige Äusheiatemperatur zulässig ist* Für die ffiößhmiaisöhe Verschiebung des Dichtiaigsstempels 1st eine

über ein be?/egliches, vakuumdichtes 3ysteia _t Ä*B_f eine .g^eilte Membran oder ein Wellrohr« Dabei ffisB dtr Stempel eißö sehr saubere mechanische Führung erhalten* damit- der ?@ntiisita iiaaer der gleiche ist* Wellrohr und mechanische flihrtang sind aber hochvakuumtechaisch wenig

da gie"^ri§filföht abzupumpen sind und Sasfallen ,|i die noch längere 2*eit naohgasea.

Das %iS©B der -vorliegenden Erfindung besteht darin, daß der fflit.jlnem.Sit2 zur Abdichtung df^vr Ventilkammer die Buröhftihrung d^s Tentilkörpe3?anti?ieb©s verbanden ist« Vorteilhaft: ist der bewegliche Ventilkörper selbst zn diesem sowohl an seiner Vorderseite als auch mit sei&er

mit ßichtungsflachen, versehea. Padurch wird erreicht* daß ia am elaea ?estilstellung der Fumpweg geöffnet und das Wellrehtfj sowie die mechaoiscne Fxihru&g des Ventilkorpers von ITakuumsysteitt abgeschlossen sind, während in der anderen

Stellung der Pumpweg zum Vakuumsystem gesperrt und das bewegliche Ventil&yßteia mit der Pumpe verbunden'is*, ^-**^

Die Se?£indtaag sei an einem Ausführungsbeispiel veranschaulicht. In dföa? ^eicbiiung ist ein Hoch-vakuumvent^l! nach der BJgfi indung im IiäBjggsclmitt dargestellt. Dieses Ventil besteht aus einer zweiteilige Vöötilkammer 1, 2, die au2?cii feste flansefaveiv bindung hoehvakuumdicht geschlossen, ist und in der ein Ventilkörper in Form eines Stempels 3 axial vei?schie"bbeu? angeoitönet 1st» Dieser fentilkörper wird von einem. Sehaft 4 ge treten j der in einer Habe 5 des e^htusedeekels 2 aeto genau geführt ist. $0haf t 4 de© Teatilkörpers 3jst auf der Außenseite mit dem

2 übetf ^in Wellroha? 6 verbunden, durch, das die Burob,-des bswegliehen Steaipelschaftes durch den Gehäusebo&en auBen hin hOöhvakuunidiGht abgeschlossen wird.

ÜinstelluBg des Stempels dient eine Überwurfjautter 7t mit dem freien äuBeren Stempelende drehbar, aber unverschiebbar v@rbmiden ist und auf einem mit Gewinde versehenen, den Stempel und das Wellrohr umschließenden Zylinder 7 gehalten 1st, der deinerseits auf der Außenseite des Sehäusebodens festgeschraubt ist.

8tempelfe;03?per 3 weist auf seiner Vorder- und

achen auf, und .awar auf eeiner Vorderseite ©ine Sehicsht 10 aus Kunststoff, z#B« Teflon oder weicherem' Metall bestehend© ÄbdichtungsflächiS, di© mit einer ringförmigen Schneid© 11 auf der Innenseite der Ventilkamaer Zr-üsaaaienwirkt und ein^i auf der Rückseite angeordneten ^ing 12 aus gleichem

weichen Material zur Bildung einer Abdiehtungsdie mit einer «besifalls ringförmigen Schneide 13 auf der Innenseite der- Habe 5 zusammenwirkt * Ber Abdichtungsring IS kann auf deia. Stempelkörper durch einen %reng3?ixig 14 ge** haltK&a und gegen den Stempelkörper durch eine schnöid©nf$rmige Bichtungsflache 15 abgedichtet sein. Die Belegung 10 zur Bildung der vorderseitigen Abdichtungsfläche ist <$ür<?h; ein Blech 15 fest mit dem Ventilkörper verbunden*

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Die vordere Abdichtungsfläciie dient zum Abschluß des Ventilkämme reiäi asses 1?» während die rückseitige Abdiehtungsfläohe dazu dient, bei öffnung des Ventiläurehlässes vom Einlaß 17 zum Auslaß .1& das Innere der Ventilkaiamer gegen, den vom Wellrohr b .^umschlossenen Baum abzudichten und dadurch den übertritt von Verunreinigungen aus diesem Raum in die Ventilkammer zu vermeiden. ' ^;

Um die Anreicherung von Verunreinigungen zu vermeiden und insbesondere das A-asheizen der· Ventilanordnung zu erleichtern und zu beschleunigen, sind la üblicher Weise .Durchlässe ange«* ordnet, über die diese Verunreinigungen leicht entweichen können*Die Verbindung zwischen dem vom Wellrohr umschlossenen Raum und der Fuispe üb<^:r die Ventilkammer wird iureß einen Kanal in Form einar Nute 9 in Stempelschaft hergestellt. Ferner sind Bohrungen 19 i'& Stempel&örper vorgesehen, die die '!•'rennfuge zwischen der Auflage 10 und dem S-fcempelkörper mit. der Ventilkammer verbinden.

Die Erfindung ist nicht auf das dargestellte Beispiel beschränkt, vielmehr? sind noch mancherlei Abänderungen und auch andere ^usfuhrungsformen möglich; insbesondere läBt sich die Erfindung sinngemäß auch dann durchführen, wenn die Bewegung des Ventilkörpers von seiner anderen Seite aus erfolgt. Es kann dann erforderlich sein, einen ausätaliehen Stempel vorzusehen* der sowohl in der geöffneten Stellung des Ventils als auch in der geschlossenen Stellung eine Abdichtung des Wellrohrraumes gegen die Ventillcasmer bewirkt«

Claims (1)

a.aaa ρ g ü e M β

1. Hoöb.vakuu!Qvent±l-mit einem den Vent!!körper mit der Vent ilkasrne wandung vertdndendeiu Well3?o.br dioixtung dei? Daa?eiif-üiiruns des Vejit'ilkörperaatriebes, dadurch gekennzeichnet _t daß der VenMikörpe¹" n±t einem Sitz zur der YesitlXiEaaimer gogen dt© DsyohftÜiruag des ist.

2* Ventil neteh ^aspruch. 1, dactoelx gekeanzeiclniet, daß der ■beweglieiie feniiilkalper selbst sowoiil an seinem Vorderseite als auoh an seiner Rückseite Bichtungsflaohen aufweist*