DE1665224A1 - Verfahren zur Herstellung von Duennschichtwiderstaenden aus einer Nickel-Chrom-Legierung und nach diesem Verfahren hergestellte Duennschichtwiderstaende - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von Duennschichtwiderstaenden aus einer Nickel-Chrom-Legierung und nach diesem Verfahren hergestellte Duennschichtwiderstaende

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DE1665224A1
DE1665224A1 DE19661665224 DE1665224A DE1665224A1 DE 1665224 A1 DE1665224 A1 DE 1665224A1 DE 19661665224 DE19661665224 DE 19661665224 DE 1665224 A DE1665224 A DE 1665224A DE 1665224 A1 DE1665224 A1 DE 1665224A1
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thin
film resistors
nickel
vapor deposition
chromium alloy
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DE19661665224
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Jeans Ronald Victor
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Koninklijke Philips NV
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Philips Gloeilampenfabrieken NV
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01C—RESISTORS
    • H01C17/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
    • H01C17/06—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base
    • H01C17/075—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base by thin-film techniques
    • H01C17/08—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base by thin-film techniques by vapour deposition

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2902244A1 (de) * 1979-01-20 1980-07-24 Heraeus Gmbh W C Dehnungsmesstreifen mit aufgedampftem oder aufgestaeubtem messgitter

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DE2902244A1 (de) * 1979-01-20 1980-07-24 Heraeus Gmbh W C Dehnungsmesstreifen mit aufgedampftem oder aufgestaeubtem messgitter

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FR1503365A (fr) 1967-11-24
NL6616969A (https=) 1967-06-08

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