DE1623333A1

DE1623333A1 - Mehrstrahl-Interferometer

Info

Publication number: DE1623333A1
Application number: DE19671623333
Authority: DE
Inventors: Francis Arthur B; Minard Charles D
Original assignee: Varian Associates Inc
Current assignee: Varian Medical Systems Inc
Priority date: 1966-01-14
Filing date: 1967-08-07
Publication date: 1970-08-13
Also published as: FR93121E; US3442594A; GB1159880A

Description

PATENTANWALT

DIPL.-ING. H. KLAUS BERNHARDT V1 P1 30 Ü

8000 MÜNCHEN 23 · MA1NZERSTR.5

VARIM
PaIo Altο / California, U3a

Mehrstrahl-Interferometer (Zusatz zu Patent... (Anmeldung. V" 32 606 IXb/4-2b) )

Priorität; 11. August 1966 - Vereinigte Staaten 3er.No. b71,811

Die Erfindung betrifft allgemein Mehrstrahl-Interferometer und insbesondere ein Mehrstrahl-Interferometer, bei dem eine .probe mit einem vorgegebenen Druck gegen eine optisch flache Platte geprei3t wird und aus einer Ladestellung mit der optisch flacnen Platte in Berührung gebracht wird, und zwar mit einer vorgegebenen Maximalgeschwindigkeit, die unabhängig ist von der iiate, mit der ein Beobachter einen Mechanismus betätigt, mit dem die Probe und die optisch flache Platte in Berührung gebracht werden.

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In Mehrstrahl-Interferometern. wird eine auf mikroskopische Variationen in der Oberflächendicke in der Größenordnung von 3o bis 20.-ÜOÜ Angström zu untersuchende Probe mit einer optisch flachen Platte oder Pizeau-Platte in Berührung gebracht» Zwischen der Fizeau-Platte und der zu untersuchenden Probe besteht ein vorgegebener Luftkeilwinkel längs der Portpflanzurigsrichtung des zur Untersuchung benutzten monochromatischen Lichtes. Wegen der Präzisionsmessungen und der Feinheit der interessierenden Oberflächenvariationen ist es unbedingt erforderlich, dai3 zwischen der Pizeau-Platte und der Probe ein konstanter Winkel herrscht, und der Winkel fur Messungen verschiedener Proben einheitlich ist. Sonst liefern die Interferenzbilder keine bedeutsamen Werte für die Dicke der zu messenden fläche.

.Es ist zwar wichtig, dai3 zwischen der Probe und der Pizeau-Platte ein vorgegebener Druck herrscht, es ist jedoch ebenso wichtig, daß die Probe aus einer Lage, in der sie auf ein Tragelement gebracht wird, feinfühlig mit der Pizeau-Platte in Berührung gebracht wird. Wenn die Probe und die Pizeau-Platte mit Gewalt und mit relativ großer Geschwindigkeit miteinander in Berührung gebracht werden, besteht die Gefahr, daß die li'izeau-Platte und/oder die Probe beschädigt werden, so daß die Pizeau-Platte ersetzt werden muß und/oder die Probe zerstört wird. Bei den derzeit verfügbaren Mehrstrahl-Interferometern existiert zwischen diesen beiden Kriterien jedooh eine Anomalie. Wenn die Probe mit aus«

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reichender Kraft mit der Fizeau-Platte in Berührung gebracht wird, um den erforderlichen Druck aufrechtzuerhalten, ist die Kraft häufig so stark, daß entweder die Probe oder die Platte bricht. Wenn auf der anderen Seite nicht genügend "Kraft aufgebracht wird, um die Probe und die Fizeau-Platte zusammenzubringen, wird der Druck nicht erreicht, mit dem der Luftkeilwinkel konstant und für verschiedene Proben einheitlich erhalten wird.

Erfindungsgemäß werden die Probe und die Fizeau-Platte mit der gleichen Kraft zusammengebracht, unabhängig von der Geschwindigkeit, mit der ein Betätigungselement betätigt wird. Zwischen der Probe und der Platte wird eine ausreichende Kraft erhalten, um den Luftkeilwinkel für verschiedene Proben einheitlich zu halten, wenn der Sperrmechanismus bis zum Anschlag geführt wird. Die Geschwindigkeit, mit der die Probe und die Platte zu Anfang miteinander in Berührung kommen, ist immer ausreichend niedrig, um Schaden an der Probe oder der Platte zu verhindern.

Die Schließgeschwindigkeit zwischen der Probe und der Fizeau-Platte wird dadurch kontrolliert, daß die Probe auf eine Platte gebrach^ wird, die normalerweise mit einer Druckfeder nach oben

•.^•ängt wird. Die Plattenbewegung wird mit einem Bewegungsmechanismus kontrolliert, der aus einer Schlitzstiftverbindung besteht, die mit einem manuell betätigten Hebel angetrieben wird. Der Plattenbewegungsmechanismus ist normal gebremst, so daß die Kraft der Druckfeder vom Bremsmechanismus überwunden wird. Wenn

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dabei die Platte abgesenkt wird, um eine Probe zu entfernen und einzusetzen bleibt sie in ihrer abgesenkten Stellung, auch wenn keine Kraft auf den Steuerhebel ausgeübt wird.

Wenn die Probe und die Fizeau-Platte in Berührung gebracht werden sollen, wird der Hebel betätigt, so daß ein in die Schlitzverbindung eingreifender Stift angehoben wird und die Druckfeder die Platts mit der Probe nach oben drängt. Wenn der Hebel verdreht wird, \*/ird die Bremskraft gegen den Plattenmechanismus verringert und die Druckfeder ist der einzige Antrieb für die Probenplatte in der Aufv/ärtsrichtung. Da die Druckfederkraft der einzige Antrieb für die Probenplatte in Richtung der Aufwärtsbewegung ist, hängt die Geschwindigkeit, mit der die Probe mit der Fizeau-Platte in Berührung gebracht wird, nicht mit der Geschwindigkeit zusammen, mit der der Hebel bewegt wird, sofern nur der Hebel mit einer größeren Geschwindigkeit bewegt wird als die natürliche Geschwindigkeit, mit der die Feder die Probenplatte nach oben drängt,

Wenn der Hebel sehr langsam gedreht wird, so daß die Schlitzverbindung die Kraft der Reibungsbremse mit einer kleineren Geschwindigkeit überwindet als die, mit der die Platte von der J?eder nach oben gedrängt wird, wird trotzdem ein konstanter Druck zwischen der Probe und der Fizeau-Platte eingehalten, wenn diese in Berührung kommen. Dieser konstante Druck wird beibehalten, weil der

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Steuerhebel immer bis zu einem Anschlag verschwenkt wird, d.h. zu einem Punkt, über den er nicht hinaus gedreht werden kann, und der Stift ist über dem Boden des Schlitzes positioniert, wenn die Probe und die Pizeau-Platte in Berührung sind. Wenn der" Stift weg vom unteren Ende des Schlitzes liegt und die Probe an der I¹Iz eau-Plat te anliegt, ist die Kraft zwischen der Probe und der Platte konstant, weil die Bremse vollständig freigegeben ist und die Druckfeder dazu dient, dip Platte und die Probe in Berührung zu pressen. . . ·

Aufgabe der Erfindung ist es also, ein Mehrstrahl-Interferometer zu schaffen, bei dem ein Probenträger mit konstantem Druck gegen eine optisch flache Platte gedrängt wird, unabhängig von der Geschwindigkeit ι mit der ein SteuermeGhanismus von Hand betätigt wird, um die Probe zu tragen und vorzuschieben.

Dabei soll durch die Erfindung ein Mehrstrahl-Interferometer verfügbar gemacht werden, bei dem es nicht erforderlich ist, die Probe und die Fizeau-Platte mit großer Sorgfalt und Genauigkeit in Berührung zu bringen, um die Probleme zu vermeiden, die mit der Zerstörung der tfizeau-Plätte und/oder der Probe und der JPrage zusammenhängen, den Luftkeilwinkel bei der Analyse einer Probe konstant zu halten und zwischen verschiedenen Proben einheitlich zu halten.

Speziell soll durch die Erfindung eine mechanische Betätigungseinrichtung verfügbar gemacht werden, mit der eine Probe mit konstanter Kraft mit einer Fizeau-Platte in Berührung gebracht wird so daß die Möglichkeit, die Probe oder die.Fizeau-Platte zu zerstören, mit der si© in Berührung kommt, im wesentlichen vermieden ist. Dabei soll der Luftkeilwinkel zwischen der Fizeau-Platte und der Probe während der Analyse konstant gehalten und bei verschiedenen Versuchen einheitlich gehalten werden.

Diese und weitere Ziele, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels § in der Zeichnung zeigen:

Figo 1 eine perspektivisch© Darstellung einer bevorzugten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Mehrstrahl-Interferometers; Fig. 2 ischematisch die optischen Elemente eines Mehrstrahl-Interferometers;

Fig» 3 einen Schnitt längs der Linie 3-3 in Fig« 1 durch den Heb- und Senk-Meciaanismus für die zu analysierende Probe; Fig, 4 einen Schnitt längs der linie 4-4 in Fig_a 3; Fig» 5 einen Schnitt längs der Linie 5-5 in Fig. 3; und Fig. 6 einen Schnitt durch eine zweite Ausführungsform des Probenplatt en-Heb- und Senk-Mechanismus nach der Erfindung.

Das erfindungsgemäöe Mehrstrahl-Interferometer soll zunächst anhand der Fig. 1 und 2 beschrieben werden. Es besteht aus einer

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Lichtquelle 11 £ϋτ aonoeteoEiatisciies Sieht ₀ vorsugeweiso ©im© N&triuffld&mpfIsape₉ die la eiaoa \^?©rtikal©n ßehäus© 12 angeordnet ist β Licht iron d©s? Quelle 11 uird. eta?eh sine teilbar© Iriabltandea 13 vsiu. 14 geschickt 5 d©r©n Btarohassser sit Mai,©!schraub en. I5 16 ©ingestellt ^erd©Hw Bi© Bleuden I3 ⁰^d I4 regela die

"bsw. die Helligkeit des auf die Prob©, treff isad©a Liohtes»

Blend©a 15 «nd .14 ist ©ine feikonvex© Lias© I7 für das Licht von d©r Quelle 11 angeordnet-; um einea parallelen Lichtstrahl esof #.®a halbdurchläßsigen Spiegel 18 m rieht©ϊΐο Die Hälfte des auf &©& hal^durehllasigen Spiegel 18 gerichteten Lichtes geht eta-eh den Spiegel hindisrcho Das restliche auf Spiegel 18 treffend© Lieht wird auf ein© bikonvexe Lins© 21 gerichtet} di© es sammelt tmd auf di© Schnitteljen© von Pizsss-Platte und Probe 2J richtet«

Die Oberfläche der Probe 23 weist Bickenfariationen allgemein in der Grössenordnung von 30 bis 2QoOOO Angström auf. Typische Beispiele für Oberfläehendieken-Tariationen sind die komplexen Oberflächen von Kristallen, Dünnfilra~¥iederschlägen und Rasiermesserkanten»

O O 9 8 3 3 / Q 5 Q

Die Probe 23 sitzt auf einem Probenträger 24, der zwischen der in ausgezogenen Liriien dargestellten Lage und der in unterbrochenen Linien dargestellten Lage unter der Fizeau-Platte oder optisch flachen Platte 22 hin-und hergeschoben werden kann.

Wenn die Platte 24 in die untere der dargestellten Lage verschoben ist, können Proben auf die Platte aufgebracht und von dieser abgenommen werden, wenn die Platte angehoben ist können die Proben analysiert \verden.

TJm ein Interferenzmuster zu erhalten, das dazu erforderlich ist, die mikroskopischen Dickenvariationen auf der Oberfläche der zu untersuchenden Probe 23 festzustellen, wird zwischen der Fizeau-Platte und der Probe ein Luftkeil gebildet, indem die Fizeau-Platte um eine horizontale' Achse gekippt wird. Wenn die Platte angehoben ist, wird dadurch Licht vom Schnitt der Pizeau-Platte 22 und der Probe 23 entsprechend den mikroskopischen Oberflächenvariationen der Probe gebrochen und zur fernen Okularlinse 19 durch Linse 21 und halbdurchlässigen Spiegel 18 gerichtet.

Die Einrichtung zur Einstellung des Luftkeils ist im Hauptpatent., (Patentanmeldung V 32 606 IXb/42bj erläutert.

Die Blenden 13 und 14 mit den Einstellschrauben 15 und 16, die Linsen 17 und 21 sowie der halbdurchlässige Spiegel 18 sind in

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einem Gehäuse 25 untergebracht, das am Gehäuse 12 angebracht . ist und sich in horizontaler Richtung von diesem weg erstreckt. An der Oberseite des Gehäuses 25 ist das Okular '26 mit der Linse 19 angeordnet, während die Mzeau-Platte 22 mit ihrem Gehäuse 27 am unteren Jände des Gehäuses 25 angeordnet ist. Vom Gehäuse 27 stehen zwei Betätigungsschrauben 28 ab, die dazu verwendet werden, den Kappwinkel der Fizeau-Platte 22 zu kontrollieren, wie im Hauptpatent beschrieben ist.

iiine vertikal einstellbare Probenplatte 24 und ein Heil des Steuermechanismus für diese.sind in einem Hohlblock 29 angeordnet, während der Block und das Gehäuse 12 auf einer Grundplat- . te 31 angeordnet und befestigt sind. An einer Kante der Plattform 31 ist ein Hebel 32 angeordnet, der in einem Schlitz 33 von einer Lage fast an der Vorderseite der Platte 31 bis zur Mitte verschwenkbar ist, um die.vertikale Lage der Probenplatte 24 zu kontrollieren.

Im Hormalbetrieb wird die Probenplatte 24 angehoben, um die Oberfläche der Probe 23 in leichte, aber definierte und vorbestimmte Berührung mit der Unterseite der Mzeau-Platte 22 zu .bringen. Der Luftkell zwischen der fizeau-Pl&tte 22 und der betrachteten Oberfläche der Probe 23 ruft ein Interferenzmuster hervor, das durch den halbdurchlässigen Spiegel in das Okular 19 projiziert wird, lias vom Luftkeil gebrochene Licht interferiert mit direkt

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auf den Spiegel 18 von der monochromatischen Quelle 11 projiziertes Licht, so daß ein Interferenzmuster entsteht, das die Dicke der Filmoberflache auf der Probe 23 anzeigt. Der Abstand zwischen benachbarten Linien des Interferenzmusters, gesehen durch das Okular 19, steht in direkter Beziehung zur mikroskopischen Dicke der Filme auf der zu untersuchenden Probe 25·

Im Anschluß an eine vollständige Analyse der Oberfläche der Probe 23 wird die Probenplätte 24 durch Drehen des Hebels 32 zur' Mitte der Grundplatte 31 abgesenkt. Die Probenplatte und die Probe bleiben in der unteren Lage mit Hilfe einer Bremse, bis der Hebel in den vorderen Teil der Grundplatte 31 geschwenkt ist. Wenn die Probenplatte 24 die untere Stellung einnimmt, kann die Probe 23 weggenommen und eine neue Probe zur Analyse auf die Probenplatte aufgesetzt werden.

Die Vorrichtung, mit der die- Probenplatte 24 wahlweise abgesenkt und angehoben werden kann, mit der die Probenplatte in der unteren Lage gehalten werden kann und schließlich mit einem konstanten, vorgegebenen Druck gegen die Fizeau-Platte 22 gepreßt werden kann, soll jetzt speziell in Verbindung mit Fig. 3-5 beschrieben werden. Die Probenplatte 24 ist fest mit Schrauben 41 an der Scheibe 42 befestigt, die ihrerseits an eine Hülse 43 angeschweißt ist. Die Hülse 43 wird vertikal relativ zur inneren Kreisbohrung im Gehäuse oder Lagerblook 29 angetrieben^ und zwischen der Hülse und dem lagerblock ist eine; Schmierung vorgesehen, damit sich die feile frei relativ zueinander bewegen können.

mrnnimm / ^ωοο«^1βι«

Eine Druckfeder 44, deren unteres Ende auf einem Absatz 45 des Gehäuses 31 angeordnet· ist und deren oberes Ende gegen die Unterseite der Scheibe 42 stößt, drängt die Probenplatte 24 normalerweise mit einer vorgegebenen Kraft nach.oben. Die Kraft der Druckfeder 44 wird mit einer gebremsten Verbindung 46 überwunden, die aus einer Schlitzs-tange 47» einer Kurbel 48, einer Welle 49 und dem Hebelarm 52 besteht. Das obere Ende der Sehlitzstange 47 ist um einen Stift 51 drehbar, der fest an die Unterseite der· Scheibe 42 mit einer Zunge 52 montiert ist* Im Schlitz der Stange 47 ist ein Stift 53 angeordnet, der drehbar auf der Kurbel 48 sitzt. Die Kurbel 48 ist fest an der Welle 49 mit einer Einstellschraube 54 befestigt, so daß sie mit der Welle ver— drehbar ist. Die benachbarten Oberflächen von Kurbel 48 und Grundplatte 31 werden von Unterlegscheiben 55 getrennt gehalten, um Reibung und Abnutzung herabzusetzen.

Das der Kurbel 48 ferne Ende der Welle 49 stößt dicht gegen eine Einstellschraube 56 und einen Uylonstopfen 34, der in der horizontalen Ebene längs einer mit der Welle 49 koaxialen Achse in die Grundplatte 31 hineinragt. Mit der Einstellschraube 56 wird der Nylonstopfen 34 gegen die Welle 49 gepreßt, so daß dieser als Bremse für die Welle dient, so daß die Welle sich nur durch Bewegung des Hebels 32 bewegen kann, der mit Einstellschraube 59 an der Welle befestigt ist. Wenn.also der Hebel 32 nach links verschwenkt wird, gesehen in Fig. 5, dreht sich die Welle 49

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gegen den Uhrzeigersinn. Wenn sich die Welle 49 gegen den Uhrzeigersinn dreht, dreht sich auch die Kurbel 48 gegen den Uhrzeigersinn, gesehen in S¹Ig. 5, und der Stift 53 wird im Schlitz der Stange 47 angehoben. In entgegengesetzter Weise wird der Stift 53 nach unten verschoben, wenn der Hebel 32 nach rechts, gesehen in Fig. 5, verschwenkt wird.

Um die Aufwärtsbewegung der Probenplatte 24 zu begrenzen, ist^:- ' ein Nocken 57 in Form eines Kreissegmentes auf die Welle 49 montiert und auf dieser mit einer Einstellschraube 59'"festgelegt; ein mit' Gewinde versehener Teil des Hebels 32 greift durch diesen Nocken. Eine Einstellschraube 58 ist horizontal durch die Seitenwand der Grundplatte 31 eingesetzt und schlägt an der flachen Seite des Nockens 57 an, damit dient sie als Anschlag für die Bewegung des Hebels 32 in Richtung nach rechts, gesehen in Fig» Die Einstellschraube 58 ist in ihre Bohrung so eingesetzt, daß sie mit der ebenen Fläche des Nockens 57 an einem solchen Punkt in Berührung kommt, daß die Aufwärtsbewegung der Probenplatte auf eine Ebene etwas oberhalb der Unterseite der Fizeau-Platt« begrenzt wird. Beim erfindungsgemäßen Mehrstrahl-Interferometer wird also verhindert, daß die Probenplatte merklich über die Fizeau-Platte hinaus angehoben wird, so daß die Fizeau-Platte nicht zerbroohen wird, vielmehr wird die Probenplatte mit der Probe mit einem vorgegebenen Druck gegen die Fizeau-Platte angehoben, wenn der Hebel .3.2 immer ao weit verschwenkt wird, daß er nicht weiter gedreht wenden kann, d.h. "bis die ebene Fläche des Nockens 57 an die Einstellechraube 58 anschlägt.

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Wenn der Hebel 32 nach rechts verschwenkt wird,, gesehen In Fig.5». wird der Stift 53 nach, unten verschoben, ao daß er mit dem untersten Eeil des Schlitzes in Stange 47 in Eingriff kommt. Wird der Hebel 32 weiter verschwenkt, verschiebt der Stift 53 die Stange 47 sowie die daran befestigte Scheibe 42 mit der Proben-" platte 24 nach, unten _r bis die Unterseite der Platte 24 an der Oberseite des Gehäuses 29 anschlägt. Wenn die Platte 24 mit dem Gehäuse 29 in Berührung kommt, wird der Hebel 32; freigegeben und die Prabenplatte bleibt an dieser Stelle, dank der- Bremskraft der Einstellschraube 56 mit dem Hiylonstopfen 34 suf ¥#11* 49. Me Bremskraft der Einstellschraube 56 ist ausreicilieifcl groß»; um die leigung der ledere 44 zu überwinden^ di« Seh&ibe 40 md die Probenplatte 24 nach Oiben- zu drängen. Wenn die» f3.st.tei 24 eieb in der unteren, Stellung befindet, kann die Probe- 23 und eine neue? Probe auf die] Plattes

Wemi äi& n^eue Probe auf dtia ObeireBetlö isi? f^c»fefl«ifls:-fe"fei| M brsaht ist>. wiri ier- Hebel 52 naoh- link^* i

aeiiwenkt. Bei Teräreiieii ifeä Hebelsi M nmh

49 g«göm den Uhrzeigersinn; ged!re&t vm& lieM iej| Stift untersten feil de» "ichlitÄe^ ins itaa^ee #f am.* ^emk SMfI" 55

feil, de« Sshlttze» £q. 9taitc|·) ^"«flEfeffWülf»--'- " ate ^öder 44 <iie PrObenplatte: 24 nach öfaes ssmt ite 2t zu* Wenn d^r He^tI Ji 2usitzllq& -?§rclEft|rfe die beMndexnjtle Kraft epf feäe^ 44 g 23 gegen ite fiJseatt-P4att# gg aü «iner ^

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Unabhängig von dier Geschwindigkeit, mit der der .Hebel 32 verschwenkt wird, wird also die Probe gegen die Fizeau-Platte mit einer vorgegebenen Kraft gedrängt, die dazu erforderlich, ist» den' gewünschten !»uftkeil zu erhalten«. Die durch die Druckfeder ausgeübte Kraft ist Jedoch, ausreichend klein, um einen kräftigen Aufprall der Probe 23 auf die IFizeau-Platte 22 zu verhindern« lenn der Hebel 32 mit großer Geschwindigkeit verschwenkt wird» drängt dl© feder 44- die Probe 25 mit einer solch kleinen Kraft* gegen die· flzeau-llatte 22» daß» weder die Fizeau-Matte 22 nooh die Probe besohildi^t werden» Mmm auf der anderen Seite der Hebeil 3t langsam wrachwenkt wird* drängt die i'eder 44 die Probe Itsfau^iQlefetteJ 22 mit äem Druck, der dazu; erforderlich ist, konstanten- liijftkeäilwinkftl zwischen i®r fiz;eau~Piatte 22: und dieJt Pr^bej 2j^ ^ erzielen w&äL diesem Winkel astoii für vers>chiedene Proben einheitlich zu halten. Um zu gewährleisten, ä&B mhm itr Hitte 2$
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die Fizeau-Platte 22 nach oben getrieften werden. Die Geschwindigkeitskontrolle gemäß I¹Ig. 6 "besteht aus einer Nylonkugel 61, die gegen die Außenfläche der Hülse 4-3 mit einer Druckfeder 62 gepreßt wird. Die Kraft _t mit der di© Feder 62 zusammengedrückt wird, wird durch die Lage einer Einstellschraube 65 kontrolliert, deren Ende gegen das der Kugel 61 ferne Ende der Feder 62 preßt. Die kugel 61, die Feder 62 und'die Einstellschraube 63 sind in einer-Gewindebohrung 64 angeordnet» die horizontal durch das Gehäuse 29 reicht. ^;

Um die von der Kugel 61 auf die Hülse 43 ausgeübte Kraft zu kontrollleren, wird die Einstellschraube 63» vorzugsweise eine Allen- oder Inbus-Schraube, gegen die Druckfeder 62 in die Gewindebohrung 64 eingeschraubt. Wenn die Probenplatte 24 mit der Probe mit relativ großer Geschwindigkeit angehoben werden sollen,- wird die Einstellschraube 63 von.der Hülse 43 weggesehraubt, so daß. die Kugel 61 eine kleinere Kraft auf die Hülse ausübt. Wenn es im Gegensatz dazu erforderlich ist, daß die Probenplatte sehr langsam steigt, wird die Einstellschraube 63 auf die Hülse 43 zugeschraubt. Die. Zweckmäßigkeit der Feder-Kugel-Geschwindigkeitsbremse Wsteht darin, daß keine besonders präzise Probenplatten-* Hebefedern 44 erforderlich, sind und übliche Passungen zwischen der Hülse 43 und dem Lagerblockgehäuse 29 verwendet werden könnön.

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Claims

PATENTANWALT
DJPL-ING. H. KLAUS BERNHARDT V1 P150 1)

8000 MÜNCHEN 23 · MAINZERSTR.5 . 1623333

VAHIAN ASSOCIATES
Palo Alto / California, USA

Patentansprüche

1. Mehrstrahl-Interferometer zur Untersuchung von Überflächenformen, bei dem ein lichtstrahl auf eine optisch flache Platte und eine zu untersuchende Probe, die zur Platte unter einem Winkel orientiert ist, projiziert wird_r nach Patent... (Patentanmeldung V 32 6ü6 IXb/42b), bei dem die Platte zur Aufnahme der Probe Vertikal nach oben, so daß die Probe die optisch flache Platte berührt und nach unten, so daß die Probe von der Platte abgenommen werden kann, verschiebbar ist, und bei dem eine Steuerung für die Auf- und Abwärtsbewegung der Probenplatte vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß ein Kr af t spei eher. (4<1 ) vorgesehen ist, mit dem die Probe (.23) mit einer Kraft gegen die optisch flache Platte (22) gedrängt wird, die im wesentlichen unabhängig von auf die Steuerung (32) auegeübten Kräften ist.

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ίί. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Auf- und Abwärtsbewegung der Probenpiatte (24 J eine Länglich ve i· bin dung (47, 51 > 52, 53) vorgesehen ist;, von dor ein Ende (VlJ mit der Probenplatte (24) verbunden 1st und diu ü Liier: Jtiffc (ίκ>) aufweist, der im Lang!υoh (G-L lud 47) avii b'teilttngtin einnehmen kann, je nachdem, ob die Probenplabbe (24) an dor optisch flachen Platte (22) anliegt oder πloht, und Ju.' swi:-Kihon lern 3bifb (53) und der Sbeuerung (32) tii.no kupplung (4ti, 1-9, 54j 55} liegb, mit der der itift (5".5) awl«=· solion !en beiden Stellungen hin und hör bewegbar ist.

i, Iiioerieromefcer nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daB die I₁-Ir-I)ItUIg aus einer Welle (49) beoteht, die an einem iilmie an der ,-jbouei'ung (32) befestigt ist, und einer Kurbel (4H)₃ die an Ahb andere rinde der Welle (49) angesetzt ist, wobei der otift (5,5) mit der Kurbel (48) verbunden ist.

4. Iritwi'töroiikiter naoh Anspruch I, 2 oder "j, gekennzeichnet duroh •line Jinrj ■iht'in.-i, mit dei' die Probonpiatte (24) ^;ef;en die K.r'ii't iy.j i r it.jpyianeru (44) an ihrer otollo ,^ohaLten v/ird» ■/!•mi auf diij Jbeuiruns if>2) keine Kr=%f"b autj^oübf, v/ird.

Int:·..;·!>;rnaat-ir xv.ion Au,jpru«h 4» dadtu'.Ui ^r)Jköimsuiohnot,, daß dis! i-il. i,o^inri;hburi;i aun oin«r variabel olrioba Llbaren Hromno (.54, ''·"-; btiiit^iiit, tii.»i" Icruf bwßliUu-jali·; an dor !"liiirLuiibnn,: mi*

bi.'Wii^m ϊ döi' t'robeiipiaU.u (.24) iuilie;,»,.

ο, interferometer nach einem lev Anjprtione I -4, ^kennzeichne b ■■lurch eine lieaohwindi^krtLtijret^loLurLohLun.-; (<'j1, "Ii, 63), mit Aar die ueHohv/-in<li.-;k:'-'i t ,-urLHbeL olii,;«j Uj L 1 r v/erirM kann, mlb der LIi) t'robenp Lat tu U-4 ) ati._VJ-iioi.itjn v/Lrti.,

"I, LutorCuI¹MIn-J ter nach /uL.;pru-:h 1-, ¹J t»idr \>, .Li-.iur-jn g net, ami "Ii-"j iJreuuci (54, "^' · und/ jdur -LU-- ;-vJHciivi.nilL_t;kni fcj« (■-"5:/-ileinrichtung' ίοΐ, υ-!?, öj jeuoLL:J hiuj . üietu i-jlbeLomeii.t (H₅ UI) bestellt, -bia ^i),-,on -j.Ln bevK;,j;l.L.:a ^: .iLiüd =4-3, ^)) ■:ji.a;-it.LfjOl"i (5-l·, 62) .^üdx* in;,, t v/Lrd, und oiuor uru.^coLnrLchtun_t; (,bO, -to J, mit der ·ΐν-ν aiii ύ-is iieLboLemerib i.J4, öl) uunö'a'ibt:» uriu;L /HrUndejr-t v/orden kanu,

B, Interr'erometar nach einem der Ansprüche I - 7, vjelciinrisei duroli eine Beä"reni3iin_f-':aeinrxch"turi^· {bl, 1>8) für die Aufwärtsb e '-,'jo t.iung der Pr ο b e np la 11 β (24).

9. Interferometer nach Anapruch 7, dadurch _t;eks~nn^eioiüiet, daß du,* }.Jo_t-;reiiKun-,"-)di.nr.i i'-itunj i p7, ¹Ai) aua oLnom iiock.in (^μ-7) be-.-;t.t.'iit', dor mil, aer itouerun,., (JiJ.) »-elcupp« it LnA , und einem Ariijohla,.¹; (')Ö), dor mo Mi^üordnet int, dab der !locken (57) an itiu aiiü üh U\';t,. U'iMi dl; rrobenpJa tto (L¹U in ihx*o höchste Jtelfj ^elioben LBt₄

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