DE1572778C - Gerat zur Messung der Kontrastuber tragungsfunktion - Google Patents
Gerat zur Messung der Kontrastuber tragungsfunktionInfo
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- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 title claims 3
- 230000003287 optical Effects 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- 210000000056 organs Anatomy 0.000 claims description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 230000001427 coherent Effects 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000036633 rest Effects 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
Description
30 Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine
einfache Anordnung zur Bewegung dieses Spaltes in der Spaltbildebene zu schaffen. Sie löst diese Auf-
Die Erfindung bezieht sich auf Geräte für die gäbe durch die im Anspruch 1 angegebenen Maß-Messung
der Kontrastübertragungsfunktion von nahmen.
optischen Systemen, insbesondere von fotografischen 35 Dieser in der Bildebene bewegte Spalt braucht bei
und ähnlichen Objektiven; sie bietet gegenüber be- gut korrigierten Prüflingen nur einen Weg von der
kannten Anordnungen dieser Art einige wichtige Größenordnung einiger Zehntelrnillirneter■·- zurück-Vorteile.
zulegen. Da er stets parallel zum ursprünglichen, Bei den in Rede stehenden Geräten wird eine vom Prüfling abgebildeten Spalt liegen muß, wird er
Testfigur durch das zu prüfende Objektiv bevorzugt 40 durch eine an sich bekannte federnde Paralleloverkleinert
abgebildet und die Lichtverteilung im grammanordnung gehalten. Seine Bewegung muß
Bilde festgestellt. Ihre Abweichung von der ab- genau proportional zum Schreibgerät bzw. zur
gebildeten Testfigur gibt Aufschluß über die durch Abszissen-Definition des angeschlossenen Rechen-Abbildungsfehler,
Beugung, Herstellungsungenauig- werkes verlaufen, insbesondere dürfen keine Schwinkeiten
u. dgl. bedingte Bildverschlechterung. 45 gungen entstehen und dem zeitlichen Verlauf der
Insbesondere bezieht sich die vorliegende Er- Bewegung überlagert werden, die eine nicht vorfindung
auf solche Geräte, die einen inkohärent be- handene bevorzugte Ortsfrequenz im Abbildungsleuchteten
Spalt zur Abbildung, durch das zu strahlengang vortäuschen würde,
prüfende System enthalten. Ist dieser Prüfling bei Um den Spalt stets in der gleichen Richtung für hoher öffnung sehr weitgehend korrigiert* weist er 5° den Abtastvorgang durch das Spaltbild zu führen insbesondere einen »idealen« oder fast »idealen« und ihn dann beschleunigt zurückzuführen, kann Korrektionszustand auf, bei dem die Auswirkungen eine Kurvenscheibe benutzt werden, die über den der restlichen geometrischen Fehleretwa gleich der ;l größten Teil des Umfangs meiner archimedischen Beugung sind; dann ist es erforderlich, die Licht- Spirale entspricht und dazu einen Rückfuhrteil hat, . verteilung im Spaltbild zu einer Reihe von be- 55 der nur so viel von ihrem Umfang in Anspruch, nachbarten Orten zu messen, die kaum weiter als nimmt, daß die bei der Rücklaufsteuerung auftreten-1A(WO mm voneinander entfernt sein dürfen. den Scherkräfte keine Verformungen der Über-Dies erfordert einen Spalt, desesn Breite diesen tragungsorgane herbeiführen. Die Kurvenscheibe ' Betrag nicht überschreiten soll, und mechanische kann hinreichend groß erstellt werden, so daß die ^ : - Γ Vorkehrungen, die den Spalt in der Bildebene des zu 60 Herstellungsfehler klein bleiben, und durch ein den;,;s prüfenden Objektivs gleichförmig durch das ent- Weg verkleinerndes mechanisches spielfreies Ge-, ; worfene Spaltbild hindurchführen. Dazu gehört eine triebe mit der Spalthalterung verbunden sein. Dieses, :. sehr sorgfältige mechanische Ausführung der be- Getriebe kann aus einem Hebel mit verschieden.Λ . .. ' wegenden Organej die mit den nachgeschalteten langen wirksamen Armlängen bestehenj aber auch Rechengeräten und den Registriereinrichtungen in 65 aus einem Keil; Hebel oder Keil können gegen ^. ; vollem Einklang arbeiten müssen. . andere gleichartige Organe mit geänderter Über-Ci-. ' Um diese Probleme zu umgehen, hat man bisher setzung ausgetauscht werden, wenn der Meßbereich'; das vom. Prüfling entworfene Spaltbild durch ein bzw. der Spaltweg kürzer oder länger sein soll. '
prüfende System enthalten. Ist dieser Prüfling bei Um den Spalt stets in der gleichen Richtung für hoher öffnung sehr weitgehend korrigiert* weist er 5° den Abtastvorgang durch das Spaltbild zu führen insbesondere einen »idealen« oder fast »idealen« und ihn dann beschleunigt zurückzuführen, kann Korrektionszustand auf, bei dem die Auswirkungen eine Kurvenscheibe benutzt werden, die über den der restlichen geometrischen Fehleretwa gleich der ;l größten Teil des Umfangs meiner archimedischen Beugung sind; dann ist es erforderlich, die Licht- Spirale entspricht und dazu einen Rückfuhrteil hat, . verteilung im Spaltbild zu einer Reihe von be- 55 der nur so viel von ihrem Umfang in Anspruch, nachbarten Orten zu messen, die kaum weiter als nimmt, daß die bei der Rücklaufsteuerung auftreten-1A(WO mm voneinander entfernt sein dürfen. den Scherkräfte keine Verformungen der Über-Dies erfordert einen Spalt, desesn Breite diesen tragungsorgane herbeiführen. Die Kurvenscheibe ' Betrag nicht überschreiten soll, und mechanische kann hinreichend groß erstellt werden, so daß die ^ : - Γ Vorkehrungen, die den Spalt in der Bildebene des zu 60 Herstellungsfehler klein bleiben, und durch ein den;,;s prüfenden Objektivs gleichförmig durch das ent- Weg verkleinerndes mechanisches spielfreies Ge-, ; worfene Spaltbild hindurchführen. Dazu gehört eine triebe mit der Spalthalterung verbunden sein. Dieses, :. sehr sorgfältige mechanische Ausführung der be- Getriebe kann aus einem Hebel mit verschieden.Λ . .. ' wegenden Organej die mit den nachgeschalteten langen wirksamen Armlängen bestehenj aber auch Rechengeräten und den Registriereinrichtungen in 65 aus einem Keil; Hebel oder Keil können gegen ^. ; vollem Einklang arbeiten müssen. . andere gleichartige Organe mit geänderter Über-Ci-. ' Um diese Probleme zu umgehen, hat man bisher setzung ausgetauscht werden, wenn der Meßbereich'; das vom. Prüfling entworfene Spaltbild durch ein bzw. der Spaltweg kürzer oder länger sein soll. '
Die Anordnung weist den Vorteil auf, daß das Wegeverhältnis zwischen dem anzeigenden bzw.
schreibenden und dem rechnenden Gerät einerseits und dem abtastenden Spalt andererseits für alle
optischen Abbildungsmaßstäbe das gleiche bleibt. Im Rechengerät kann also stets dieselbe elektrische
oder anders gestaltete Einrichtung für die Fourierzerlegung wirksam bleiben. Wollte man den Testspalt
bewegen, dann würde sich diese Zuordnung mit dem Abbildungsmaßstab ändern.
Es sind Keile mit einem Meßbereich von 0,1, 0,2, 0,4, 0,8 und 1,6 mm zweckmäßig. Bei einem Wechsel
der Keile und damit des Meßbereichs ändert sich also die Frequenzzuordnung um einen ganzzahligen
Faktor (2, 4, 8 oder 16); dieser Faktor ist aber leicht zu berücksichtigen.
In der Figur ist ein Beispiel gemäß der Erfindung wiedergegeben worden.
Der Spalt 2, der sich in der Bildebene des Prüflings befindet, ist mittels der Parallelogrammanordnung
1 in waagerechter Richtung innnerhalb der Zeichenebene beweglich. Der Schlitten 3 trägt
Keile 31 und 32 von verschiedener Neigung, von denen je nach dem gewählten Übersetzungsverhältnis
der eine oder andere an dem Stift 21 der Spalthalterung anliegt. Eine Feder 4 hebt das Gewicht
des Wagens 3 auf und drückt ihn mittels des Stiftes 33 an die Kurvenscheibe 5, die um die Achse 6 kontinuierlich
gedreht wird. Der Umfang der Kurvenscheibe 5 ist eine archimedische Spirale; bei 51 ist
für einen kurzen Teil des Rücklaufs eine Rückführungskurve anderer Gestalt eingefügt. Die Achse 6
ist mit dem Anzeige- oder Schreibgerät so gekuppelt, daß während des Durchlaufs der Spirale an dem
Stift 33 die Kurve der Lichtverteilung geschrieben wird; läuft die Rückführungskurve 51 über den Stift
33, dann wird der Schreibstift des Registriergerätes ebenfalls zurückgeführt.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (4)
1. Gerät zur Messung der Kontrastüber- sind die mechanischen Schwierigkeiten in der Hertragungsfunktion
abbildender optischer Systeme, 5 stellurig"\ind"FülifungTdes. Spaltes auf einenBruchdie
einen inkohärent leuchtenden Testspalt ab- teiligesenkt^ViordSfi^tab^äes^wird dabeiydie"Abbilden
und bei dem ein körperlicher Spalt un- bildungsqüaiität_.von dem zu. prüfenden Objektiv und
mittelbar durch das entworfene Bild ohne Nach- dem Mikroobjektiv zusammen gemessen. Der Einvergrößerung
desselben geführt wird, dadurch fluß des Mikroobjektivs kann nicht eliminiert wergekennzeichnet,
daß-der Spalt (2) an io den, weil zwischen dem Prüfling und demiMikroeinem
an sich bekannten federnden Parallelo- objektiv kohärenter Strahlengang herrscht.:;;Solange
gramm (1) befestigt und durch einen gleich- der Prüfling wesentlich schlechter als dieses Mikroförmigen
Antrieb (5) mit verkürztem Rückkehr- objektiv ist, spielt das keine wesentliche Rolle. Im
weg (51) über eine proportional wirkende weg- allgemeinen sind bei bekannten Geräten die in der
verkleinernde Anordnung (3,31, 32) gleichförmig 15 gesamten Anordnung aufkommenden Meßfehler
durch das Spaltbild geführt und in kürzerer Zeit größer als der Einfluß des Mikroobjektivs. Für die
auf den Ausgangswert zurückgebracht wird. Prüfung von hochwertigen optischen Systemen, die
2. Anordnung nach Anspruch 1, gekennzeich- in dem oben zitierten Sinne bei hoher öffnung bis an
net durch einen Keil (31, 32) als wegverkleinern-. die Beugungsgrenze heran geometrisch korrigiert
des Mittel zwischen Antrieb (5)' und Spalt (2). ao sind, wird die Messung durch den Einfluß des Mikro-
3. Anordnung nach Anspruch 1, gekennzeich- Objektivs verfälscht.
net durch ein ungleich lange Hebellängen auf- Die vorliegende Erfindung geht deshalb von einer
weisendes Hebelwerk. an sich bekannten Anordnung aus, bei der dieses
4. Gerät nach Anspruch 1 und 2 oder 3, da- Objektiv weggelassen, das vom Prüfling entworfene
durch gekennzeichnet, daß die wegverkleinernden 25 Bild also unmittelbar durch einen körperlichen Spalt
Übertragungsorgane gegen solche anderer Über- abgetastet wird. Spalte von Viooo nun Breite hersetzungsverhältnisse
ausgetauscht werden können. zustellen, ist aber insbesondere durch neuere fotografische
Verfahren möglich; auch gibt es mechanische oder chemische Methoden.
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19671572778 DE1572778C (de) | 1967-07-06 | 1967-07-06 | Gerat zur Messung der Kontrastuber tragungsfunktion |
NL6807836A NL6807836A (de) | 1967-07-06 | 1968-06-05 | |
US742353A US3519358A (en) | 1967-07-06 | 1968-07-03 | Apparatus for measuring optical transfer function |
FR1582900D FR1582900A (de) | 1967-07-06 | 1968-07-04 | |
GB32317/68A GB1191796A (en) | 1967-07-06 | 1968-07-05 | Apparatus for Measuring the Contrast Transmission Function of Optical Systems |
CH1009368A CH486018A (de) | 1967-07-06 | 1968-07-05 | Gerät zur Messung der Kontrastübertragungsfunktion |
JP43038582A JPS5021860B1 (de) | 1967-07-06 | 1968-07-06 | |
DE19681797172 DE1797172A1 (de) | 1967-07-06 | 1968-08-24 | Verbessertes Geraet zur Messung der Kontrastuebertragungsfunktion |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEO0012618 | 1967-07-06 | ||
DE19671572778 DE1572778C (de) | 1967-07-06 | 1967-07-06 | Gerat zur Messung der Kontrastuber tragungsfunktion |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1572778A1 DE1572778A1 (de) | 1970-03-19 |
DE1572778B2 DE1572778B2 (de) | 1972-09-21 |
DE1572778C true DE1572778C (de) | 1973-04-12 |
Family
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