DE1565745A1 - Verfahren zum Entfernen von Material aus einer duennen,flachen Oberflaechenschicht und Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens zur massenspektrographischen Analyse einer duennen,flachen Oberflaechenschicht - Google Patents
Verfahren zum Entfernen von Material aus einer duennen,flachen Oberflaechenschicht und Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens zur massenspektrographischen Analyse einer duennen,flachen OberflaechenschichtInfo
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- 239000002344 surface layer Substances 0.000 title claims description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 6
- 210000000056 organ Anatomy 0.000 claims description 11
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 9
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 7
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 claims 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 claims 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BHMLFPOTZYRDKA-IRXDYDNUSA-N (2s)-2-[(s)-(2-iodophenoxy)-phenylmethyl]morpholine Chemical compound IC1=CC=CC=C1O[C@@H](C=1C=CC=CC=1)[C@H]1OCCNC1 BHMLFPOTZYRDKA-IRXDYDNUSA-N 0.000 description 1
- 101100049199 Xenopus laevis vegt-a gene Proteins 0.000 description 1
- 101100049200 Xenopus laevis vegt-b gene Proteins 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 235000019628 coolness Nutrition 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 230000036316 preload Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 1
- 101150068675 vegt gene Proteins 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/04—Devices for withdrawing samples in the solid state, e.g. by cutting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/10—Ion sources; Ion guns
- H01J49/18—Ion sources; Ion guns using spark ionisation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB4591265A GB1104106A (en) | 1965-10-29 | 1965-10-29 | Mass spectrographic analysis of solid bodies |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE1565745A1 true DE1565745A1 (de) | 1970-02-05 |
Family
ID=10439073
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19661565745 Pending DE1565745A1 (de) | 1965-10-29 | 1966-10-25 | Verfahren zum Entfernen von Material aus einer duennen,flachen Oberflaechenschicht und Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens zur massenspektrographischen Analyse einer duennen,flachen Oberflaechenschicht |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| CH (1) | CH454286A (enrdf_load_stackoverflow) |
| DE (1) | DE1565745A1 (enrdf_load_stackoverflow) |
| GB (1) | GB1104106A (enrdf_load_stackoverflow) |
| NL (1) | NL6615062A (enrdf_load_stackoverflow) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3993909A (en) | 1973-03-16 | 1976-11-23 | U.S. Philips Corporation | Substrate holder for etching thin films |
| DE3636506A1 (de) * | 1986-10-27 | 1988-04-28 | Atomika Tech Physik Gmbh | Spiralabtastverfahren |
-
1965
- 1965-10-29 GB GB4591265A patent/GB1104106A/en not_active Expired
-
1966
- 1966-10-25 DE DE19661565745 patent/DE1565745A1/de active Pending
- 1966-10-25 NL NL6615062A patent/NL6615062A/xx unknown
- 1966-10-26 CH CH1552566A patent/CH454286A/de unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CH454286A (de) | 1968-04-15 |
| GB1104106A (en) | 1968-02-21 |
| NL6615062A (enrdf_load_stackoverflow) | 1967-05-02 |
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