DE1564676C

DE1564676C - Lock device for corpuscular beam devices connected to a vacuum pump, in particular for introducing objects into the vacuum space of an electron microscope

Info

Publication number: DE1564676C
Application number: DE19661564676
Authority: DE
Inventors: Alexander Schomburg Wilhelm Schmidt Horst 1000 Berlin Asmus
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1966-07-28
Filing date: 1966-07-28
Publication date: 1973-05-30

Description

Die Erfindung betrifft eine Schleuscneinrichtum für an eine Vakuumpumpe angeschlossene Korpus kularstrahlgeräte, insbesondere zum Einschleuse!· von Objekten in den Vakuumraum eines Elektronenmikroskops, mit einer durch ein inneres und ein äußeres Schleusentor vakuumdicht abschließbar Schleusenkammer sowie einem Belüftungsventil in äußeren Schleusentor und/oder einem Entlüftungs ventil für diese. Die Erfindung läßt sich jedoch auc! bei anderen Korpuskularstrahlgeräten, wie Ionenmikroskopen und Beugungseinrichtungen, sowie zun: Ein- und Ausschleusen von Blenden, Polschuher oder anderen Teilen des Gerätes mit Vorteil verwen den.The invention relates to a lock device For body blasting devices connected to a vacuum pump, especially for transferring! of objects in the vacuum space of an electron microscope, with one through an inner and an outer Lock gate vacuum-tight lockable lock chamber as well as a ventilation valve in outer lock gate and / or a vent valve for this. However, the invention can also! with other corpuscular beam devices, such as ion microscopes and diffraction devices, as well as: It is advantageous to use the infeed and outfeed of screens, pole pieces or other parts of the device the.

Die Schleuseneinrichtung enthält in bekannte; Weise eine durch ein inneres und ein äußeres Schleusentor vakuumdicht abschließbare Schleusenkammer. Es ist bekannt, im äußeren Schleusentor ein Belüftungsventil vorzusehen, das eine Belüftung der Schleusenkammer nach Schließen des innerer Schleusentores und vor dem öffnen des äußerer; Schleusentores ermöglicht. Bei bekannten Korpusku larstrahlgeräten findet hierfür ein Druckventil Verwendung, d. h. ein solches, das nach Drücken auf einen Ventilstößel eine Verbindung zwischen der äußeren Atmosphäre und der Schleusenkammer herstellt. Abgesehen davon, daß bei einem derartigen Druckventil leicht eine unbeabsichtigte Belüftung des Schleusenraumes und bei geöffnetem inneren Schleusentor ein schädlicher Lufteinbruch in den Vakuumraum des Korpuskularstrahlgerätes verursacht werden kann, erfordert die bekannte Lösung einen zusätzlichen Handgriff zur Belüftung der Schleusenkammer. The lock device contains in known; Way one through an inner and an outer lock gate vacuum-tight lockable lock chamber. It is known to have a ventilation valve in the outer lock gate to provide a ventilation of the lock chamber after closing the inner Lock gates and before opening the outer one; Lock gates made possible. With known Korpusku A pressure valve is used for this purpose. H. one that after pressing on a valve tappet establishes a connection between the external atmosphere and the lock chamber. Apart from the fact that in such a pressure valve easy unintentional ventilation of the Lock chamber and when the inner lock gate is open, a harmful ingress of air into the vacuum chamber the corpuscular beam device can be caused, the known solution requires an additional one Handle to ventilate the lock chamber.

Ein ähnlicher Nachteil besteht bei den zur Entlüftung der Schleusenkammer nach Schließen des äußeren Schleusentores und vor öffnen des inneren Schleusentores dienenden Entlüftungsventilen, die eine Verbindung zwischen der Schleusenkammer und beispielsweise dem VorvakuumbehäHer der Vakuumanlage des Korpuskularstrahlgerätes herzustellen gestatten. Auch diese Entlüftungsventil müssen durch einen zusätzlichen Handgriff betätigt werden, so daß beim Vergessen dieser Betätigung Schwierigkeiten beim Schleusvorgang auftreten können. .A similar disadvantage exists in the case of the venting of the lock chamber after the outer one has been closed Lock gates and before opening the inner lock gate serving ventilation valves, the a connection between the lock chamber and, for example, the VorvakuumbehäHer of the vacuum system allow to produce the corpuscular beam device. This vent valve must also go through an additional handle can be operated, so that if you forget this operation difficulties can occur during the lock process. .

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Gefahr einer Fehlsteuerung des Druckes in der Schleusenkammer durch versehentlichen Eingriff des Bedienenden zu vermindern.The invention is based on the problem of eliminating the risk of incorrect control of the pressure in the lock chamber to be reduced by inadvertent intervention by the operator.

Zur Lösung dieser Aufgabe ist erfindungsgemäß vorgesehen, daß das Belüftungsventil als Zugventil ausgebildet ist und ein zylindrisches Teil enthält, das bei geschlossenem äußeren Schleusentor von diesem vakuumdicht gegen eine diesem Schleusentor zugekehrte Stirnfläche der Schleusenkammer gedrückt wird und einen Ventilstößel unter Zwischenlage einerTo solve this problem, the invention provides that the ventilation valve as a pull valve is formed and contains a cylindrical part which, when the outer lock gate is closed, of this pressed vacuum-tight against an end face of the lock chamber facing this lock gate is and a valve tappet with the interposition of a

Vakuumdichtung vakuumdicht aufnimmt, der mit seinem aus dem zylindrischen Teil herausragenden Ende in dem äußeren Schleusentor gehalten ist, so daß er bei beginnender öffnung des Schleusentores bis zum Wirksamwerden eines Anschlags aus dem zylindrischen Teil herausgezogen wird, und daß der Ventilstößel einen Belüftungskanal in solcher Anordnung aufweist, daß der Kanal bei herausgezogenem Ventilstößel die Vakkumdichtung überbrückt, aber bei ganz geschlossenem äußeren Schleusentor unwirksam ist.Vacuum seal receives vacuum-tight with its protruding from the cylindrical part End is held in the outer lock gate, so that it is when the lock gate begins to open is pulled out of the cylindrical part until a stop becomes effective, and that the Valve tappet has a ventilation channel in such an arrangement that the channel when pulled out Valve tappet bridges the vacuum seal, but ineffective when the outer lock gate is completely closed is.

Im Prinzip ist das Belüftungsventil also mechanisch nur an dem äußeren Schleusentor gehalten; das zylindrische Teil legt sich auch bei Beginn des Öffnens des äußeren Schleusentores unter dem äußeren Luftdruck, gegebenenfalls unterstützt durch Federn, nach wie vor dichtend als äußerer Abschluß gegen die Schleusenkammer bildende Teile. Erst das Wirksamwerden des Belüftungskanals in dem Ventilstößel, der unter dem Einfluß der beginnenden Öffnung des äußeren Schleusentores bis zum Wirksamwerden eines Anschlages aus dem zylindrischen Teil herausgezogen wird, beseitigt die Druckdifferenz zwischen Außenraum und Schleusenkammer, so daß nunmehr. das zylindrische Teil des Belüftungsventils dem auf das äußere Schleusentor bei dessen öffnung ausgeübten Zug, der über den Ventilstößel auf das zylindrische Teil übertragen wird, folgen kann, demgemaß die vakuumdichte Verbindung zwischen dem zylindrischen Teil und der Schleusenkammer aufgehoben und das äußere Schleusentor zur vollständigen Öffnung freigegeben wird.In principle, the ventilation valve is only held mechanically on the outer lock gate; that cylindrical part lies under the outer one even when the opening of the outer lock gate begins Air pressure, possibly supported by springs, still sealing as an external seal against parts forming the lock chamber. Only when the ventilation duct in the valve tappet comes into effect, under the influence of the beginning of the opening of the outer lock gate until it becomes effective a stop is pulled out of the cylindrical part, eliminates the pressure difference between Outside space and lock chamber, so that now. the cylindrical part of the vent valve on the the outer sluice gate when it opened, the pull exerted by the valve stem on the cylindrical Part is transferred, can follow, accordingly, the vacuum-tight connection between the cylindrical Part and the lock chamber lifted and the outer lock gate to be completed Opening is released.

Der Belüftungskanal kann durch eine Rille oder eine andere geeignete Profilierung auf der Oberfläche des Ventilstößels gebildet sein. Dabei muß diese Profilierung so angeordnet sein, daß sie erst bei beginnender öffnung des äußeren Schleusentores die Vakuumdichtung zwischen Ventilstößel und zylindrischem Teil überbrückt.The ventilation channel can be formed by a groove or another suitable profiling on the surface be formed of the valve tappet. This profiling must be arranged in such a way that it only starts at the beginning opening of the outer sluice gate, the vacuum seal between the valve stem and the cylindrical Part bridged.

Häufig wird man dagegen den Belüftungskanal in der Weise gestalten, daß man ihn aus einer Längsbohrung in Richtung der Achse des Stößels und einer mit dieser Längsbohrung in Verbindung stehenden Querbohrung zusammensetzt, die so angeordnet ist, daß sie nur bei herausgezogenem Ventilstößel außerhalb des von der Vakuumdichtung begrenzten Vakuumraumes liegt. Diese konstruktive Ausbildung ist vor allem dann von Vorteil, wenn man beispielsweise zum Schütze eines mechanisch empfindlichen Objektes nur eine kleine, regulierbare Strömung einstellen will. Zu diesem Zwecke können in der Längsbohrung die Strömung regulierende Mittel, z. B. ein Schraubstift mit definiertem Gewindespiel, vorgesehen sein. Man kann auch einen normalen Stift mit einer vorgegebenen Passung in die Längsbohrung einführen.On the other hand, the ventilation channel will often be designed in such a way that it consists of a longitudinal bore in the direction of the axis of the plunger and one connected to this longitudinal bore Composed cross hole, which is arranged so that it is only outside when the valve stem is pulled out of the vacuum space bounded by the vacuum seal. This is constructive training This is particularly advantageous if, for example, you want to protect a mechanically sensitive object only wants to set a small, adjustable flow. For this purpose, in the longitudinal bore flow regulating agents, e.g. B. a screw pin with a defined thread play can be provided. A normal pin with a predetermined fit can also be inserted into the longitudinal bore.

Die beschriebene Konstruktion ist gegen unbeabsichtigte Betätigung geschützt, da sie nach Art eines Zugventils aufgebaut ist. Sie bietet ferner den Vorteil, daß die Belüftung keinen zusätzlichen Handgriff erfordert, sondern automatisch bei dem ohnehin zur öffnung des äußeren Schleusentores erforderlichen Ziehen an diesem erfolgt.The construction described is against unintentional Actuation protected because it is constructed like a pull valve. It also offers the advantage that the ventilation does not require an additional handle, but automatically with the anyway opening of the outer sluice gate required pulling on this takes place.

Diese Automatisierung läßt sich gemäß der Erfindung auch bei einem Entlüftungsventil für die Schleusenkammer in der Weise erzielen, daß bei Vorhandensein eines Drehtriebs zur abwechselnden Verriegelung des inneren und des äußeren Schleusentores der Stößel des Entlüftungsventils mit Fortsätzen an dem Drehtrieb in der Weise zusammenwirkt, daß nach der Verriegelung des äußeren Schleusentores der Drehtrieb das Entlüftungsventil öffnet. Diese Maßnahme kann sowohl für sich allein als auch gleichzeitig mit der oben beschriebenen Konstruktion des Belüftungsventils getroffen sein. Auch hier ist eine Automatisierung insofern gegeben, als bei der Betätigung der Verriegelungseinrichtung ohne zusätzliche Handgriffe im richtigen Zeitpunkt auch das Entlüftungsventil geöffnet und damit eine Verbindung zwischen der Schleusenkammer und der Vakuumanlage des Gerätes geschaffen wird.This automation can according to the invention also with a vent valve for the Achieve lock chamber in such a way that in the presence of a rotary drive for alternating Locking of the inner and outer sluice gate of the plunger of the vent valve with extensions cooperates on the rotary drive in such a way that after locking the outer lock gate the rotary drive opens the vent valve. This measure can be used on its own as well be made at the same time as the construction of the ventilation valve described above. Here too is automation insofar as the actuation of the locking device without additional Handgrips at the right time, the vent valve is also opened and thus a connection is created between the lock chamber and the vacuum system of the device.

Zweckmäßigerweise ist die Anordnung der Fortsätze so getroffen, daß der Drehtrieb das innere Schleusentor erst nach Schließen des Entlüftungsventils entriegelt, da in der Regel die Schleusenkammer mit dem Vorvakuumbehälter in Verbindung steht und das Gerät bei Hochvakuum betrieben wird.Appropriately, the arrangement of the extensions is made so that the rotary drive is the inner The lock gate is only unlocked after the vent valve has been closed, as it is usually the lock chamber is in communication with the fore-vacuum container and the device is operated under high vacuum.

Die Fortsätze können durch Rollen am Drehtrieb gebildet sein; jedoch ist es verständlicherweise auch möglich, mit Nocken oder einer Kurvenscheibe zu arbeiten. Die Verwendung von Rollen bietet den weiteren Vorteil, daß bei einem eine Hin- und Herbewegung ausführenden Drehtrieb zur Verriegelung eine Richtungsselektivität des Wirksamwerdens der RoI-len auf das Entlüftungsventil erzielt werden kann. Zu diesem Zweck können die Rollen in der Weise federnd gelagert sein, daß sie den Ventilstößel nur bei Drehung des Drehtriebes in der der Verriegelung des äußeren Schleusentores zugeordneten Richtung betätigen, dagegen bei Drehung des Drehtriebes in der entgegengesetzten Richtung bei Berührung mit dem Ventilstößel federnd zurückweichen.The extensions can be formed by rollers on the rotary drive; however, understandably it is too possible to work with cams or a cam. The use of roles offers the further Advantage that when a to-and-fro rotary drive for locking a Directional selectivity of the effectiveness of the roles can be achieved on the vent valve. For this purpose, the rollers can be resilient in this way be stored that they only open the valve tappet when the rotary drive is rotated in the locking of the Actuate the direction assigned to the outer lock gate, on the other hand when rotating the rotary drive in the in the opposite direction when it comes into contact with the valve tappet, resiliently withdraw.

Die Figuren zeigen ein Ausführungsbeispiel für die erfindungsgemäßen Lösungen sowohl bei einem Belüftungs- als auch bei einem Entlüftungsventil. Dabei stellen dieThe figures show an exemplary embodiment for the solutions according to the invention both in the case of a ventilation as well as a vent valve. The

F i g. 1 und 2 Horizontalschnitte durch die Schleusenebene der Säule eines Elektronenmikroskops dar;F i g. 1 and 2 represent horizontal sections through the lock plane of the column of an electron microscope;

F i g. 3 ist eine Seitenansicht, teilweise im Schnitt, undF i g. 3 is a side view, partly in section, and FIG

F i g. 4 eine Teilansicht, ebenfalls teilweise im Schnitt, in dem ein Entlüftungsventil für die Schleusenkammer aufweisenden Bereich der Säule des Mikroskops, undF i g. 4 is a partial view, also partially in section, in which a vent valve for the lock chamber area of the column of the microscope, and

F i g. 5 schließlich zeigt schematisch die richtungsselektive Anordnung einer Betätigungsrolle für das Entlüftungsventil.F i g. Finally, FIG. 5 schematically shows the directionally selective arrangement of an actuating roller for the Vent valve.

Bei diesem Ausführungsbeispiel ist angenommen, daß die Säule 1 des Elektronenmikroskops, die den Vakuumraum 2 desselben umschließt, in der dargestellten Ebene ein Ablenksystem 3 zur Vorablenkung des Elektronenstrahles 4 sowie eine Schleuseinrichtung5 für eine in den Figuren nicht dargestellte, an die Trägerplatte 6 beispielsweise anzuschraubende Objektpatrone enthält. Die Konstruktion des Ablenksystems 3 und der Schleuseinrichtung 5, die die Objektpatrone aus dem Bereich des Elektronenstrahles 4 zu entfernen (F i g. 2) und in die Schleusenkammer7 (Ausschleusen, Fig. 1) bzw. in umgekehrter Richtung (Einschleusen) zu bewegen gestattet, interessiert im Rahmen der Erfindung nicht. Ebenso wird auf den Mechanismus 8 nicht eingegangen, der eine gegenseitige Behinderung von Ablenksystem 3 und Schleuseinrichtung 5 bei der Bewegung der letzteren ausschließt.In this embodiment, it is assumed that the column 1 of the electron microscope, which the The vacuum space 2 of the same encloses, in the plane shown, a deflection system 3 for pre-deflection of the electron beam 4 and a lock device 5 for a device not shown in the figures the carrier plate 6 contains, for example, an object cartridge to be screwed on. The construction of the deflection system 3 and the lock device 5, which remove the specimen cartridge from the area of the electron beam 4 (Fig. 2) and into the lock chamber 7 (Outward transfer, Fig. 1) or in the opposite direction (infiltration) allowed to move, interested not within the scope of the invention. Likewise, the mechanism 8 is not discussed, the one mutual obstruction of the deflection system 3 and the sluice device 5 in the movement of the latter excludes.

Die Schleusenkammer? wird durch das Kammerteil 9 in Verbindung mit dem durch die Platte 6 undThe lock chamber? is through the chamber part 9 in connection with that through the plate 6 and

die Sperrklinke 10 gebildeten inneren Schleusentor sowie das äußere Schleusentor 11 dargestellt. Betrachtet man zunächst das allgemein mit 12 bezeichnete, in dem äußeren Schleusentor 11 angeordnete Belüftungsventil, so ist dieses aus dem zylindrischen Teil 13 und dem Ventilstößel 14 zusammengesetzt. Lediglich der Ventilstößel 14 ist mittels der Verschraubung 15 im übrigen frei beweglich in einer Ausnehmung des äußeren Schleusentores 11 mechanisch gehalten; das zylindrische Teil 13 sitzt an sich frei beweglich auf dem Ventilstößel 14, den es mit der Dichtung 16 vakuumdicht umgibt. Bei der in Fig.2 dargestellten geschlossenen Stellung des äußeren Schleusentores Il wird das zylindrische Teil 13 unter Zwischenlage der Dichtung 17 vakuumdicht auf die dem äußeren Schleusentor 11 zugekehrte Stirnfläche des Schleusenteils 9 gepreßt. Sobald die Öffnungsbewegung des äußeren Schleusentores 11 beginnt, wird über die Verschraubung 15 der Ventilstößel 14 aus dem zylindrischen Teil 13 bis zürn Wirksamwerden des Anschlages 18 und der Nase 19 aus dem zylindrischen Teil 13 herausgezogen, da dieses unter der Wirkung des äußeren Luftdruckes dicht auf dem Teil 9 liegen bleibt.the pawl 10 formed inner lock gate and the outer lock gate 11 are shown. Considered one first is the one generally designated 12, arranged in the outer lock gate 11 Ventilation valve, this is composed of the cylindrical part 13 and the valve stem 14. Only the valve tappet 14 is otherwise freely movable in one by means of the screw connection 15 Recess of the outer lock gate 11 held mechanically; the cylindrical part 13 sits on itself freely movable on the valve stem 14, which it surrounds with the seal 16 in a vacuum-tight manner. At the in Fig.2 shown closed position of the outer Lock gates II, the cylindrical part 13 is vacuum-tight with the interposition of the seal 17 pressed onto the end face of the lock part 9 facing the outer lock gate 11. As soon as the The opening movement of the outer sluice gate 11 begins, via the screw connection 15 of the valve stem 14 from the cylindrical part 13 until the stop 18 and the nose 19 become effective pulled out of the cylindrical part 13, since this tight under the action of the external air pressure on the part 9 remains.

Der Ventilstößel 14 besitzt einen Belüftungskanal, der in diesem Ausführungsbeispiel aus der Längsbohrung 20 und den beiden Querbohrungen 21 und 22 zusammengesetzt ist. In der in F i g. 2 dargestellten Lage befinden sich beide Querbohrungen 21 undThe valve tappet 14 has a ventilation channel, which in this embodiment consists of the longitudinal bore 20 and the two transverse bores 21 and 22 is assembled. In the in F i g. 2 shown Both transverse bores 21 and are located

22 im Bereich des evakuierten Raumes; zumindest liegt die Querbohrung 21 innerhalb der Dichtung 16, so daß der Kanal nicht mit der Atmosphäre in Verbindung steht. Dies ist aber der Fall, sobald infolge einer geringen Öffnung des äußeren Schleusentores 11 der Ventilstößel 14 so weit aus dem zylindrischen Teil herausgezogen ist, daß die Querbohrung 21 außerhalb des Bereiches der Dichtung 16 liegt.22 in the area of the evacuated room; at least the transverse bore 21 lies within the seal 16, so that the channel is not in communication with the atmosphere. But this is the case as soon as a result a small opening of the outer sluice gate 11 of the valve stem 14 so far from the cylindrical Part is pulled out that the transverse bore 21 is outside the area of the seal 16.

In die Längsbohrung 20 ist in diesem Ausführungsbeispiel mit einer durch die gewünschte Strömungsgeschwindigkeit bestimmten Passung der StiftIn this exemplary embodiment, the longitudinal bore 20 is at a rate of the desired flow rate specific fit of the pin

23 eingesetzt, der beispielsweise eine solche Verringerung der Einströmung bewirkt, daß ein zu schleusendes Objekt nicht beschädigt werden kann.23 used, which, for example, causes such a reduction in the inflow that a to be sluiced Object cannot be damaged.

Besonders zweckmäßig schon aus Gründen der Materialersparnis ist es, in der gezeichneten Weise das Belüftungsventil 12 in einer Ausnehmung in dem äußeren Schleusentor 11 anzuordnen, die im Bereich des Betätigungsknopfes 24 für das Schleusentor liegt. Dann kann man die durch den Betätigungsknopf 24 ohnehin vorhandene Verstärkung des Schleusentorquerschnittes zur Unterbringung des Belüftungsventils 12 ausnutzen.It is particularly useful, if only for reasons of material savings, in the manner shown to arrange the ventilation valve 12 in a recess in the outer lock gate 11 in the area of the operating button 24 for the lock gate is located. Then you can press the button 24 Anyway existing reinforcement of the lock gate cross-section to accommodate the ventilation valve Take advantage of 12.

Mit 25 ist ein Bleiring bezeichnet, der als Strahlenschutz dient. Er gestattet bei beginnender Öffnung des äußeren Schleusentores 11 den Zutritt der Außenluft in die das Belüftungsventil 12 aufnehmende Ausnehmung im Schleusentor 11, so daß in der beschriebenen Weise unter der Wirkung des äußeren Luftdruckes die dichte Auflage des zylindrischen Teils 13 auf der Dichtung 17 bis zum Wirksamwerden des Belüftungskanals in dem Ventilstößel 14 gewahrt bleibt.With a lead ring 25 is designated, which serves as radiation protection. It allows at the beginning of the opening of the outer sluice gate 11 allows the outside air to enter into which the ventilation valve 12 receives Recess in the lock gate 11, so that in the manner described under the action of the outer Air pressure, the tight support of the cylindrical part 13 on the seal 17 until it becomes effective of the ventilation channel in the valve stem 14 is preserved.

Eine Feder 47 kann dazu dienen, beim Schließen des äußeren Schleusentores 11 das dichte Anlegen des Teils 13 an das Kammerteil 9 zu gewährleisten. Sie kann so stark bemessen sein, daß sie das äußere Schleusentor Il nach seiner Freigabe bis zum Wirksamwerden des Belüftungskanals öffnet.A spring 47 can be used when closing the outer lock gate 11, the tight application of the part 13 to ensure the chamber part 9. It can be so strong that it is the outer Lock gate II opens after its release until the ventilation channel becomes effective.

Im folgenden wird auf die Automatisierung der Betätigung des in den F i g. 3 und 4 dargestellten Entlüftungsventils 26 für die Schleusenkammer 7 eingegangen. Hierzu soll die in den Fig. 1 und 2 dargestellte, den Drehtrieb 27 enthaltende Verriegelungseinrichtung ausgenutzt werden. Bekanntlich muß dafür gesorgt werden, daß vor der Belüftung der Schleusenkammer 7 das in dem zeichnerisch dargestellten Ausführungsbeispiel aus den Teilen 6 und 10 bestehende innere Schleusentor geschlossen ist, damit bei der Belüftung kein Lufteinbruch in den Vakuumraum 2 des Gerätes erfolgt. Es ist also erforderlich, daß das innere und das äußere Schleusentor nur in Abhängigkeit von ihren gegenseitigen Stellungen geöffnet werden können. Zu diesem Zweck enthält der Drehtrieb 27 die beiden Profilträger 28 und 29, von denen der erstgenannte auf einen AnschlagIn the following, the automation of the actuation of the FIG. 3 and 4 shown Vent valve 26 for the lock chamber 7 received. For this purpose, the in FIGS. 1 and 2 shown, the rotary drive 27 containing locking device are used. As is well known Care must be taken to ensure that the lock chamber 7 is ventilated in the manner shown in the drawing Embodiment from the parts 6 and 10 existing inner lock gate is closed, so that no air penetrates into the vacuum chamber 2 of the device during ventilation. So it is necessary that the inner and outer lock gates only depend on their mutual positions can be opened. For this purpose, the rotary drive 27 contains the two profile supports 28 and 29, of which the former on a stop

30 an dem äußeren Schleusentor 11 und der Profilträger 29 auf den eine Rolle aufweisenden Anschlag30 on the outer lock gate 11 and the profile support 29 on the stop having a role

31 an dem Teil 10, d. h. dem inneren Schleusentor, wirkt.31 on part 10, i.e. H. the inner lock gate, works.

In der in Fig. 2 dargestellten Betriebsstellung sperrt der Profilträger 28 das äußere Schleusentor 11, während der innere Profilträger 29 über seine Ausnehmung 32 das öffnen des inneren Schleusentores durch Freigabe der Sperrklinke 10 zuläßt. Das Öffnen des inneren Schleusentores geschieht in hier nicht interessierender Weise durch Betätigung des der Schleuseinrichtung 5 zugeordneten Drehtriebes 33, wodurch das Teil 6 aus der in F i g. 1 dargestellten Lage entfernt und dabei die Sperrklinke 10 in die in F i g. 2 dargestellte Lage bewegt wird.In the operating position shown in Fig. 2, the profile carrier 28 blocks the outer lock gate 11, while the inner profile support 29 via its recess 32 opens the inner lock gate by releasing the pawl 10 allows. The inner lock gate is opened here of no interest by actuating the rotary drive assigned to the lock device 5 33, whereby the part 6 from the in F i g. 1 position shown removed while the pawl 10 in the in Fig. 2 position shown is moved.

Soll nun eine Objektpatrone ausgeschleust werden, so muß zunächst die in Fig. 1 dargestellte Lage der Teile 6 und 10 wieder erzwungen werden, bevor das äußere Schleusentor 11 geöffnet werden darf. Die Teile 6 und 10 werden wiederum durch Betätigen des Drehtriebes 33 in ihre die Schleusenkammer 7 vakuumdicht abschließende Lage (Fig. 1) gebracht. Bevor jedoch der Drehtrieb 27 nicht um 90° aus der in Fig. 2 wiedergegebenen Lage gedreht ist, so daß er dann über die Ausnehmung 34 das Öffnen des äußeren Schleusentores 11 durch Schwenken um die Achse 35 zuläßt (Fig. 1), wird das öffnen des äußeren Schleusentores verhindert. Nach der beschriebenen Drehung legt sich aber das Profil 29 unter den Anschlag 31 an der Sperrklinke 10, so daß das äußere Schleusentor 11 erst nach Sicherung der geschlossenen Lage des inneren Schleusentores 6, 10 geöffnet werden kann.If an object cartridge is to be ejected, the position shown in FIG. 1 must first be Parts 6 and 10 are enforced again before the outer lock gate 11 may be opened. the Parts 6 and 10 are in turn vacuum-tight in their lock chamber 7 by actuating the rotary drive 33 final position (Fig. 1) brought. However, before the rotary drive 27 does not move by 90 ° from the in Fig. 2 reproduced position is rotated so that he then via the recess 34 to open the outer Lock gates 11 by pivoting about the axis 35 allows (Fig. 1), the opening of the outer one Lock gates prevented. After the described rotation, however, the profile 29 lies under the Stop 31 on the pawl 10, so that the outer lock gate 11 only after securing the closed Location of the inner lock gate 6, 10 can be opened.

Dieser Drehtrieb 27 dient in an Hand der Fig. 3, 4 und 5 zu erläuternder Weise über eine an ihm befestigte Rolle 36 zugleich dazu, das Entlüftungsventil 26 dann zu betätigen, wenn sowohl das äußere als auch das innere Schleusentor nach dem Einsetzen einer neuen Objektpatrone geschlossen sind. Die Rolle 36 wirkt auf die Spitze 37 des Stößels 38 des Entlüftungsventils 26 und drückt diesen so weit in F i g. 3 in Linksrichtung, daß der schlanke Bereich 39 des Stößels 38 eine Überbrückung der Vakuumdichtung 40 bewirkt. Dadurch wird über die Kanäle 41 und 42 eine Verbindung zwischen der Schleusenkammer 7 und der zu dem Vorvakuumbehälter oder einer geeigneten anderen Druckstufe des Vakuumsystems führenden Leitung 43 geschaffen.This rotary drive 27 is used with reference to FIG. 3, 4 and 5 for an explanatory manner via a roller 36 attached to it at the same time to the vent valve 26 then to operate when both the outer and the inner lock gate after insertion a new object cartridge are closed. The roller 36 acts on the tip 37 of the plunger 38 of the Vent valve 26 and pushes it so far in F i g. 3 in the left direction that the slender area 39 of the plunger 38 causes the vacuum seal 40 to be bridged. As a result, the channels 41 and 42 a connection between the lock chamber 7 and that to the fore-vacuum container or one line 43 leading to another suitable pressure stage of the vacuum system.

Wie bereits bemerkt, ist diese Vorevakuierung der Schleusenkammer 7 nur beim Einschleusvorgang erforderlich und erwünscht. Hierzu ist eine Rechtsdre-As already noted, this pre-evacuation of the lock chamber 7 is only required during the introduction process and desired. To do this, a right-turn

hung des Drehtriebes 27 aus der in F i g. 1 dargestellten in die in Fig.2 angegebene Stellung, d.h. um 90°, erforderlich. Damit die Rolle 36 nur bei dieser Rechtsbewegung den Stößel 38 mitnimmt, ist sie in der in F i g. 5 dargestellten Weise so gelagert, daß sie sich bei Rechtsbewegung des Drehtriebes 27 unter dem Druck der Stößelspitze 37 mit ihrer Achse 44 gegen das feste Ende einer Langlochführung 45 legt, dagegen bei Drehung des Drehtriebes 27 in entgegengesetzter Richtung gegen die Wirkung der Zugfedern 46 von der Stößelspitze 38 leicht weggedrückt wird. Der Drehtrieb 27 kann eine Anzeige für die Betätigungsstellung des Entlüftungsventils besitzen.hung of the rotary drive 27 from the in F i g. 1 shown in the position indicated in Fig. 2, i.e. around 90 °, required. So that the roller 36 only takes the plunger 38 with it during this clockwise movement, it is in the in F i g. 5 illustrated manner so stored that it is below when the rotary drive 27 is moved to the right the pressure of the plunger tip 37 with its axis 44 against the fixed end of an elongated hole guide 45, on the other hand, when the rotary drive 27 is rotated in the opposite direction, it counteracts the action of the tension springs 46 is slightly pushed away from the plunger tip 38. The rotary drive 27 can display the actuation position of the vent valve.

Wenn man auch die beschriebenen Konstruktionen für das Be- und Entlüftungsventil in der Regel zur weitgehenden Automatisierung des gesamten Schleusvorganges gleichzeitig anwenden wird, kann doch auch die Anwendung nur einer der Konstruktionen bereits von Vorteil sein. So kann man beispielsweise bei einer sehr kleinen Schleusenkammer 7 auf eine Vorevakuierung derselben vor öffnen des inneren Schleusentores verzichten.If one also uses the described constructions for the ventilation valve as a rule extensive automation of the entire lock process will apply simultaneously, can However, even using only one of the constructions would be advantageous. So you can, for example with a very small lock chamber 7 on a pre-evacuation of the same before opening the do without inner lock gates.

ίο Verständlicherweise ist die Anwendung der Erfindung auch bei einer Einrichtung möglich, die zum Schleusen von Blenden, Polschuhteilen od. dgl. während des Betriebes des Gerätes dienen soll.ίο Understandable is the application of the invention Also possible with a device that is used to lock screens, pole piece parts or the like. During to operate the device.

Hierzu 2 Blatt ZeichnungenFor this purpose 2 sheets of drawings

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Claims

Patent claims:

1. Lock device for corpuscular blasting devices connected to a vacuum pump, especially for smuggling objects into the vacuum space of an electron microscope, with one lockable vacuum-tight with an inner and an outer lock gate Lock chamber and a ventilation valve in the outer lock gate, characterized in that that the ventilation valve is designed as a pull valve and a cylindrical part contains that when the outer rail gate is closed by this vacuum-tight against this Lock gate facing end face of the lock chamber is pressed and a valve tappet with the interposition of a vacuum seal vacuum-tight with his from the cylindrical part protruding end in. The outer lock gate is held so that it when the lock gate begins to open until a stop from the cylindrical part is pulled out, and that the valve stem has a ventilation channel in such Arrangement has that the channel when the valve stem is pulled out the vacuum seal bridged, but is ineffective when the outer lock gate is completely closed.

2. Lock device according to claim 1, characterized in that the channel through a Groove is formed on the surface of the valve lifter.

3. Lock device according to claim 1, characterized in that the channel has a longitudinal bore and a transverse bore connected to the longitudinal bore and arranged so as to that they are only limited by the vacuum seal when the valve stem is pulled out Vacuum space.

4. Lock device according to claim 3, characterized in that in the longitudinal bore flow regulating agents, e.g. B. a screw pin, are provided.

5. Locking device for a vacuum pump Connected corpuscular beam devices, in particular for introducing objects into the vacuum space of an "electron microscope, with one through an inner and one outer Lock gate vacuum-tight lockable lock chamber and a vent valve for this, in particular according to one of claims 1 to 4, characterized in that at Presence of a rotary drive for alternately locking the inner and outer Sluice gates of the plunger of the vent valve with continuations on the rotary drive in the Way cooperates that after locking the outer lock gate of the rotary drive the vent valve opens.

6. Lock device according to claim 5, characterized in that the rotary drive is inside The lock gate is only unlocked after the ventilation valve has been closed. ·

7. Lock device according to claim 5 or 6, characterized in that the extensions are formed by rolling on the rotary drive.

8. Schleuseneihrichtung according to claim 7, characterized in that the rollers in de Way are resiliently mounted that they tappet the valve only when turning the rotary drive in de the lock of the outer lock gate to the orderly direction, on the other hand at Dre increase of the rotary drive in the opposite direction when it comes into contact with the valve tappet fc to draw back.