DE1564676B2

DE1564676B2 - LOCK DEVICE FOR BODY BLASTING DEVICES CONNECTED TO A VACUUM PUMP, IN PARTICULAR FOR THE INTRODUCTION OF OBJECTS INTO THE VACUUM SPACE OF AN ELECTRON MICROSCOPE

Info

Publication number: DE1564676B2
Application number: DE19661564676
Authority: DE
Inventors: Alexander; Schomburg Wilhelm; Schmidt Horst; 1000 Berlin Asmus
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1966-07-28
Filing date: 1966-07-28
Publication date: 1972-11-02
Also published as: DE1564676A1; US3483373A

Description

Vakuumdichtung vakuumdicht aufnimmt, der mit seinem aus dem zylindrischen Teil herausragenden Ende in dem äußeren Schleusentor gehalten ist, so daß er bei beginnender öffnung des Schleusentores bis zum Wirksamwerden eines Anschlags aus dem zylindrischen Teil herausgezogen wird, und daß der Ventilstößel einen Belüftungskanal in solcher Anordnung aufweist, daß der Kanal bei herausgezogenem Ventilstößel die Vakkumdichtung überbrückt, aber bei ganz geschlossenem äußeren Schleusentor unwirksam ist.Vacuum seal receives vacuum-tight with its protruding from the cylindrical part End is held in the outer lock gate, so that it is when the lock gate begins to open is pulled out of the cylindrical part until a stop becomes effective, and that the Valve tappet has a ventilation channel in such an arrangement that the channel when pulled out Valve tappet bridges the vacuum seal, but ineffective when the outer lock gate is completely closed is.

Im Prinzip ist das Belüftungsventil also mechanisch nur an dem äußeren Schleusentor gehalten; das zylindrische Teil legt sich auch bei Beginn des öffnens des äußeren Schleusentores unter dem äußeren Luftdruck, gegebenenfalls unterstützt durch Federn, nach wie vor dichtend als äußerer Abschluß gegen die Schleusenkammer bildende Teile. Erst das Wirksamwerden des Belüftungskanals in dem Ventilstößel, der unter dem Einfluß der beginnenden öffnung des äußeren Schleusentores bis zum Wirksamwerden eines Anschlages aus dem zylindrischen Teil herausgezogen wird, beseitigt die Druckdifferenz zwischen Außenraum und Schleusenkammer, so daß nunmehr das zylindrische Teil des Belüftungsventils dem auf das äußere Schleusentor bei dessen öffnung ausgeübten Zug, der über den Ventilstößel auf das zylindrische Teil übertragen wird, folgen kann, demgemäß die vakuumdichte Verbindung zwischen dem zylindrischen Teil und der Schleusenkammer aufgehoben und das äußere Schleusentor zur vollständigen Öffnung freigegeben wird.In principle, the ventilation valve is only held mechanically on the outer lock gate; the The cylindrical part lies under the outer one even when the outer lock gate begins to open Air pressure, possibly supported by springs, still sealing as an external seal against parts forming the lock chamber. Only when the ventilation duct in the valve tappet comes into effect, under the influence of the beginning of the opening of the outer lock gate until it becomes effective a stop is pulled out of the cylindrical part, eliminates the pressure difference between Outer space and lock chamber, so that now the cylindrical part of the ventilation valve on the exercised the outer lock gate when it opened Train that is transmitted via the valve stem to the cylindrical part, can follow, accordingly the vacuum-tight connection between the cylindrical part and the lock chamber is canceled and releasing the outer sluice gate to fully open.

Der Belüftungskanal kann durch eine Rille oder eine andere geeignete Profilierung auf der Oberfläche des Ventilstößels gebildet sein. Dabei muß diese Profilierung so angeordnet sein, daß sie erst bei beginnender öffnung des äußeren Schleusentores die Vakuumdichtung zwischen Ventilstößel und zylindrischem Teil überbrückt.The ventilation channel can be formed by a groove or another suitable profiling on the surface be formed of the valve tappet. This profiling must be arranged in such a way that it only starts at the beginning opening of the outer sluice gate, the vacuum seal between the valve stem and the cylindrical Part bridged.

Häufig wird man dagegen den Belüftungskanal in der Weise gestalten, daß man ihn aus einer Längsbohrung in Richtung der Achse des Stößels und einer mit dieser Längsbohrung in Verbindung stehenden Querbohrung zusammensetzt, die so angeordnet ist, daß sie nur bei herausgezogenem Ventilstößel außerhalb des von der Vakuumdichtung begrenzten Vakuumraumes liegt. Diese konstruktive Ausbildung ist vor allem dann von Vorteil, wenn man beispielsweise zum Schütze eines mechanisch empfindlichen Objektes nur eine kleine, regulierbare Strömung einstellen will. Zu diesem Zwecke können in der Längsbohrung die Strömung regulierende Mittel, z. B. ein Schraubstift mit definiertem Gewindespiel, vorgesehen sein. Man kann auch einen normalen Stift mit einer vorgegebenen Passung in die Längsbohrung einführen.On the other hand, the ventilation channel will often be designed in such a way that it consists of a longitudinal bore in the direction of the axis of the plunger and one connected to this longitudinal bore Composed cross hole, which is arranged so that it is only outside when the valve stem is pulled out of the vacuum space bounded by the vacuum seal. This is constructive training This is particularly advantageous if, for example, you want to protect a mechanically sensitive object only wants to set a small, adjustable flow. For this purpose, in the longitudinal bore flow regulating agents, e.g. B. a screw pin with a defined thread play can be provided. A normal pin with a predetermined fit can also be inserted into the longitudinal bore.

Die beschriebene Konstruktion ist gegen unbeabsichtigte Betätigung geschützt, da sie nach Art eines Zugventils aufgebaut ist. Sie bietet ferner den Vorteil, daß die Belüftung keinen zusätzlichen Handgriff erfordert, sondern automatisch bei dem ohnehin zur öffnung des äußeren Schleusentores erforderlichen Ziehen an diesem erfolgt.The construction described is against unintentional Actuation protected because it is constructed like a pull valve. It also offers the advantage that the ventilation does not require an additional handle, but automatically with the anyway opening of the outer lock gate required pulling on this takes place.

Diese Automatisierung läßt sich gemäß der Erfindung auch bei einem Entlüftungsventil für die Schleusenkammer in der Weise erzielen, daß bei Vorhandensein eines Drehtricbs zur abwechselnden Verriegelung des inneren und des äußeren Schleusentores der Stößel des Entlüftungsventils mit Fortsätzen an dem Drehtrieb in der Weise zusammenwirkt, daß nach der Verriegelung des äußeren Schleusentores der Drehtrieb das Entlüftungsventil öffnet. Diese Maßnahme kann sowohl für sich allein als auch gleichzeitig mit der oben beschriebenen Konstruktion des Belüftungsventils getroffen sein. Auch hier ist eine Automatisierung insofern gegeben, als bei der Betätigung der Verriegelungseinrichtung ohne zusätzliche Handgriffe im richtigen Zeitpunkt auch das Entlüftungsventil geöffnet und damit eine Verbindung zwischen der Schleusenkammer und der Vakuumanlage des Gerätes geschaffen wird.This automation can according to the invention also with a vent valve for the Achieve lock chamber in such a way that in the presence of a Drehtricbs to alternate Locking of the inner and outer sluice gate of the plunger of the vent valve with extensions cooperates on the rotary drive in such a way that after locking the outer lock gate the rotary drive opens the vent valve. This measure can be used on its own as well be made at the same time as the construction of the ventilation valve described above. Here too is automation insofar as the actuation of the locking device without additional Handgrips at the right time, the vent valve is also opened and thus a connection is created between the lock chamber and the vacuum system of the device.

Zweckmäßigerweise ist die Anordnung der Fortsätze so getroffen, daß der Drehtrieb das innere Schleusentor erst nach Schließen des Entlüftungsventils entriegelt, da in der Regel die Schleusenkammer mit dem Vorvakuumbehälter in Verbindung steht und das Gerät bei Hochvakuum betrieben wird.Appropriately, the arrangement of the extensions is made so that the rotary drive is the inner The lock gate is only unlocked after the vent valve has been closed, as it is usually the lock chamber is in communication with the fore-vacuum container and the device is operated under high vacuum.

Die Fortsätze können durch Rollen am Drehtrieb gebildet seih; jedoch ist es verständlicherweise auch möglich, mit Nocken oder einer Kurvenscheibe zu arbeiten. Die Verwendung von Rollen bietet den weiteren Vorteil, daß bei einem eine Hin- und Herbewegung ausführenden Drehtrieb zur Verriegelung eine Richtungsselektivität des Wirksamwerdens der Rollen auf das Entlüftungsventil erzielt werden kann. Zu diesem Zweck können die Rollen in der Weise federnd gelagert sein, daß sie den Ventilstößel nur bei Drehung des Drehtriebes in der der Verriegelung des äußeren Schleusentores zugeordneten Richtung betätigen, dagegen bei Drehung des Drehtriebes in der entgegengesetzten Richtung bei Berührung mit dem Ventilstößel federnd zurückweichen.The extensions can be formed by rolling on the rotary drive; however, understandably it is too possible to work with cams or a cam. The use of roles offers the further Advantage that when a to-and-fro rotary drive for locking a Directional selectivity of the action of the roles on the vent valve can be achieved. to For this purpose, the rollers can be resiliently mounted in such a way that they only open the valve tappet when Actuate rotation of the rotary drive in the direction assigned to the locking of the outer lock gate, on the other hand when rotating the rotary drive in the opposite direction when in contact with the The valve tappet retracts resiliently.

Die Figuren zeigen ein Ausführungsbeispiel für die erfindungsgemäßen Lösungen sowohl bei einem Belüftungs- als auch bei einem Entlüftungsventil. Dabei stellen dieThe figures show an exemplary embodiment for the solutions according to the invention both in the case of a ventilation as well as a vent valve. The

F i g. 1 und 2 Horizontalschnitte durch die Schleusenebene der Säule eines Elektronenmikroskops dar;F i g. 1 and 2 represent horizontal sections through the lock plane of the column of an electron microscope;

Fig. 3 ist eine Seitenansicht, teilweise im Schnitt, undFig. 3 is a side view, partly in section, and

Fig.4 eine Teilansicht, ebenfalls teilweise im Schnitt, in dem ein Entlüftungsventil für die Schleusenkammer aufweisenden Bereich der Säule des Mikroskops, und4 shows a partial view, also partially in section, in which a vent valve for the lock chamber area of the column of the microscope, and

F i g. 5 schließlich zeigt schematisch die richtungsselektive Anordnung einer Betätigungsrolle für das Entlüftungsventil.F i g. Finally, FIG. 5 schematically shows the directionally selective arrangement of an actuating roller for the Vent valve.

Bei diesem Ausführungsbeispiel ist angenommen, daß die Säule 1 des Elektronenmikroskops, die den Vakuumraum 2 desselben umschließt, in der dargestellten Ebene ein Ablenksystem 3 zur Vorablenkung des Elektronenstrahles 4 sowie eine Schleuseinrichtung 5 für eine in den Figuren nicht dargestellte, an die Trägerplatte 6 beispielsweise anzuschraubende Objektpatrone enthält. Die Konstruktion des Ablenksystems 3 und der Schleuscinrichtung 5, die die Objektpatrone aus dem Bereich des Elektronenstrahles 4 zu entfernen (F i g. 2) und in die Schleusenkammer? (Ausschleusen, Fig. 1) bzw. in umgekehrter Richtung (Einschleusen) zu bewegen gestattet, interessiert im Rahmen der Erfindung nicht. Ebenso wird auf den Mechanismus 8 nicht eingegangen, der eine gegenseitige Behinderung von Ablenksystem 3 und Schleuseinrichtung 5 bei der Bewegung der letzteren ausschließt.In this embodiment, it is assumed that the column 1 of the electron microscope, which the The vacuum space 2 of the same encloses, in the plane shown, a deflection system 3 for pre-deflection of the electron beam 4 and a lock device 5 for a device not shown in the figures the carrier plate 6 contains, for example, an object cartridge to be screwed on. The construction of the deflection system 3 and the sluice device 5, which remove the specimen cartridge from the area of the electron beam 4 to remove (Fig. 2) and into the lock chamber? (Outward transfer, Fig. 1) or vice versa Direction (infiltration) allowed to move is not of interest within the scope of the invention. Likewise will on the mechanism 8 not discussed, the mutual obstruction of the deflection system 3 and Lock device 5 excludes the movement of the latter.

Die Schleusenkammer? wird durch das Kammerteil 9 in Verbindung mit dem durch die Platte 6 undThe lock chamber? is through the chamber part 9 in connection with that through the plate 6 and

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die Sperrklinke 10 gebildeten inneren Schleusentor Im folgenden wird auf die Automatisierung der sowie das äußere Schleusentor 11 dargestellt. Be- Betätigung des in den Fig. 3 und 4 dargestellten trachtet man zunächst das allgemein mit 12 bezeich- Entlüftungsventils 26 für die Schleusenkammer 7 nete, in dem äußeren Schleusentor Il angeordnete eingegangen. Hierzu soll die in den Fig. 1 und 2 Belüftungsventil, so ist dieses aus dem zylindrischen 5 dargestellte, den Drehtrieb 27 enthaltende Verriege-Teil 13 und dem Ventilstößel 14 zusammengesetzt. lungseinrichtung ausgenutzt werden. Bekanntlich Lediglich der Ventilstößel 14 ist mittels der Ver- muß dafür gesorgt werden, daß vor der Belüftung schraubung 15 im übrigen frei beweglich in einer der Schleusenkammer 7 das in dem zeichnerisch dar-Ausnehmung des äußeren Schleusentores 11 mecha- gestellten Ausführungsbeispiel aus den Teilen 6 und nisch gehalten; das zylindrische Teil 13 sitzt an sich io IO bestehende innere Schleusentor geschlossen ist. frei beweglich auf dem Ventilstößel 14, den es mit damit bei der Belüftung kein Lufteinbruch in den der Dichtung 16 vakuumdicht umgibt. Bei der in Vakuumraum 2 des Gerätes erfolgt. Es ist also erfor-F i g. 2 dargestellten geschlossenen Stellung des äuße- derlich, daß das innere und das äußere Schleusentor rcn Schleusentores 11 wird das zylindrische Teil 13 nur in Abhängigkeit von ihren gegenseitigen Stellununter Zwischenlage der Dichtung 17 vakuumdicht i₅ gen geöffnet werden können. Zu diesem Zweck entauf die dem äußeren Schleusentor 11 zugekehrte hält der Drehtrieb 27 die beiden Profilträger 28 und Stirnfläche des Schleusenteils 9 gepreßt. Sobald die 29, von denen der erstgenannte auf einen Anschlag Öffnungsbewegung des äußeren Schleusentores 11 30 an dem äußeren Schleusentor 11 und der Profilbeginnt, wird über die Verschraubung 15 der Ventil- träger 29 auf den eine Rolle aufweisenden Anschlag stößel 14 aus dem zylindrischen Teil 13 bis zürn 20 31 an dem Teil 10, d. h. dem inneren Schleusentor. Wirksamvverden des Anschlages 18 und der Nase 19 wirkt.the pawl 10 formed inner lock gate In the following, the automation and the outer lock gate 11 is shown. When actuating the one shown in FIGS. 3 and 4, the vent valve 26, generally designated 12, for the lock chamber 7, arranged in the outer lock gate II, is first considered. For this purpose, the ventilation valve in FIGS. 1 and 2 is to be composed of the cylindrical 5 shown, the rotary drive 27 containing the locking part 13 and the valve tappet 14. treatment facility can be used. As is known, only the valve tappet 14 is by means of the valve must be ensured that before the ventilation screw 15 otherwise freely movable in one of the lock chamber 7 in the recess of the outer lock gate 11 shown mechanically embodiment from parts 6 and niche held; the cylindrical part 13 sits in itself io IO existing inner lock gate is closed. freely movable on the valve tappet 14, which surrounds it in a vacuum-tight manner with no air penetration into the seal 16 during ventilation. In which takes place in vacuum space 2 of the device. So it is neces- sary. Closed position 2 of the illustrated äuße- sary that the inner and the outer lock gate rcn water gate 11, the cylindrical part 13 of a vacuum-tight only in dependence on their mutual Stellununter interposition of the seal 17 i ₅ can be opened gen. For this purpose, on the one facing the outer lock gate 11, the rotary drive 27 holds the two profile supports 28 and the end face of the lock part 9 pressed. As soon as the 29, of which the first-mentioned opening movement of the outer lock gate 11 30 on the outer lock gate 11 and the profile begins, the valve support 29 is pushed out of the cylindrical part 13 through the screw connection 15 on the stop, which has a roller zürn 20 31 on part 10, ie the inner lock gate. The stop 18 and the nose 19 are effective.

aus dem zylindrischen Teil 13 herausgezogen, da die- In der. in Fig. 2 dargestellten Bctricbsstellung ses unter der Wirkung des äußeren Luftdruekes dicht sperrt der Profilträger 28 das äußere Schleusentor auf dem Teil 9 liegen bleibt. 11, während der innere Profilträger 29 über seine Der Ventilstößel 14 besitzt einen Belüftüngskanal, 25 Ausnehmung 32 das öffnen des inneren Schleusentoder in diesem Ausführungsbeispiel aus der Längs- res durch Freigabe der Sperrklinke 10 zuläßt. Das bohrung 20 und den beiden Querbohrungen 21 und Öffnen des inneren Schleusentores geschieht in hier 22 zusammengesetzt ist. In der in Fig.2 dargestell- nicht interessierender Weise durch Betätigung des ten Lage befinden sich beide Querbohrungen 21 und der Schleuseinrichtung 5 zugeordneten Drehtriebespulled out of the cylindrical part 13 because the- In the. Bctricbsstellung shown in Fig. 2 Ses tightly under the action of the external air pressure, the profile beam 28 blocks the outer lock gate on the part 9 remains. 11, while the inner profile support 29 via its valve stem 14 has a ventilation channel, 25 recess 32 to open the inner Schleusentoder in this embodiment from the longitudinal res by releasing the pawl 10 allows. That bore 20 and the two cross bores 21 and opening of the inner lock gate happens in here 22 is composed. In the dargestell- not interesting manner in Fig.2 by actuating the th position are both transverse bores 21 and the lock device 5 associated rotary drive

22 im Bereich des evakuierten Raumes: zumindest 30 33, wodurch das Teil 6 aus der in Fig. 1 dargestellliegt die Querbohrung 21 innerhalb der Dichtung 16, ten Lage entfernt und dabei die Sperrklinke 10 in die so daß der Kanal nicht mit der Atmosphäre in Ver- in Fi g. 2 dargestellte Lage bewegt wird.22 in the area of the evacuated space: at least 30 33, whereby the part 6 from FIG. 1 is shown the transverse bore 21 within the seal 16, th position removed while the pawl 10 in the so that the channel is not related to the atmosphere. 2 position shown is moved.

bindung steht. Dies ist aber der Fall, sobald infolge Soll nun eine Objektpatrone ausgeschleust werden.commitment. However, this is the case as soon as an object cartridge is now ejected as a result of the target.

einer geringen öffnung des äußeren Schleusentores so muß zunächst die in Fig. 1 dargestellte Lage dera small opening of the outer lock gate, the position shown in FIG

11 der Ventilstößel 14 so weit aus dem zylindrischen 35 Teile 6 und 10 wieder erzwungen werden, bevor das11 of the valve tappet 14 so far out of the cylindrical 35 parts 6 and 10 are forced again before the

Teil herausgezogen ist, daß die Querbohrung 21 äußere Schleusentor Il geöffnet werden darf. DiePart is pulled out that the transverse bore 21 outer lock gate II may be opened. the

außerhalb des Bereiches der Dichtung 16 liegt. Teile 6 und 10 werden wiederum durch Betätigen desis outside the range of the seal 16. Parts 6 and 10 are again activated by pressing the

In die Längsbohrung 20 ist in diesem Ausfüh- Drehtriebes 33 in ihre die Schleusenkammer 7 vaku-In the longitudinal bore 20 is in this execution rotary drive 33 in their lock chamber 7 vacuum

rungsbeispiel mit einer durch die gewünschte Strö- umdicht abschließende Lage (Fig. I) gebracht. Be-Approximate example with a sealing layer (Fig. I) which is sealed by the desired flow-tightness. Loading

mungsgeschwindigkeit bestimmten Passung der Stift 4° vor jedoch der Drehtrieb 27 nicht um 90° aus der inmation speed certain fit of the pin 4 ° in front of, however, the rotary drive 27 not by 90 ° from the in

23 eingesetzt, der beispielsweise eine solche Vcrrin- Fig. 2 wiedergegebenen Lage gedreht ist, so daß er gerung der Einströmung bewirkt, daß ein zu schleu- dann über die Ausnehmung 34 das öffnen des äußesendes Objekt nicht beschädigt werden kann. ren Schleusentores 11 durch Schwenken um die23 used, for example, such a Vcrrin- Fig. 2 reproduced position is rotated so that it The effect of the inflow is that a too sluice then over the recess 34 the opening of the outer end Object cannot be damaged. ren lock gates 11 by pivoting around the

Besonders zweckmäßig schon aus Gründen der Achse 35 zuläßt (Fig. 1), wird das öffnen des äuße-Particularly useful for reasons of the axis 35 (Fig. 1), the opening of the outer

Materialersparnis ist es, in der gezeichneten Weise 45 fen Schleusentores verhindert. Nach der beschriebe-Saving of material is to prevent 45 fen lock gates in the manner shown. According to the described

das Belüftungsventil 12 in einer Ausnehmung in dem nen Drehung legt sich aber das Profil 29 unter denthe ventilation valve 12 in a recess in the NEN rotation but the profile 29 lies under the

äußeren Schleusentor 11 anzuordnen, die im Bereich Anschlag 31 an der Sperrklinke 10, so daß das äu-to arrange outer lock gate 11, the stop 31 on the pawl 10, so that the outer

des Betätigungsknopfcs 24 für das Schleusentor liegt. ßere Schleusentor 11 erst nach Sicherung der ge-of the actuating button 24 for the lock gate is located. outer lock gate 11 only after securing the

Dann kann man die durch den Betätigungsknopf 24 schlossenen Lage des inneren Schleusentores 6, 10Then one can see the position of the inner lock gate 6, 10 closed by the actuating button 24

ohnehin vorhandene Verstärkung des Schleusentor- 50 geöffnet werden kann.Anyway existing reinforcement of the Schleusentor- 50 can be opened.

querschnittes zur Unterbringung des Belüftungsven- Dieser Drehtrieb 27 dient in an Hand der Fig. 3.cross-section for accommodating the ventilation valve. This rotary drive 27 is used with reference to FIG. 3.

tils 12 ausnutzen. 4 und 5 zu erläuternder Weise über eine an ihm befe-take advantage of tils 12. 4 and 5 to be explained by means of a

Mit 25 ist ein Bleiring bezeichnet, der als Strahlen- stigte Rolle 36 zugleich dazu, das EntlüftungsventilA lead ring is denoted by 25, which acts as a radiant roller 36 at the same time as the vent valve

schutz dient. Er gestattet bei beginnender öffnung 26 dann zu betätigen, wenn sowohl das äußere alsprotection serves. It allows to operate at the beginning of the opening 26 when both the outer and

des äußeren Schleusentores 11 den Zutritt der 55 auch das innere Schleusentor nach dem Einsetzenof the outer lock gate 11, the access of the 55 also the inner lock gate after the insertion

Außenluft in die das Belüftungsventil 12 aufneh- einer neuen Objektpatrone geschlossen sind. DieOutside air into which the ventilation valve 12 accepts a new object cartridge are closed. the

mcnde Ausnehmung im Schleusentor 11, so daß in Rolle 36 wirkt auf die Spitze 37 des Stößels 38 desMcnde recess in the lock gate 11, so that acts on the tip 37 of the plunger 38 of the roller 36

der beschriebenen Weise unter der Wirkung des au- Entlüftungsventils 26 und drückt diesen so weit inthe manner described under the action of the vent valve 26 and pushes it so far in

ßeren Luftdruekes die dichte Auflage des zylin- Fig. 3 in Linksrichtung, daß der schlanke Bereich 39ßeren Luftdruekes the tight support of the cylinder Fig. 3 in the left direction that the slender area 39

drischen Teils 13 auf der Dichtung 17 bis zum Wirk- 60 des Stößels 38 eine Überbrückung der Vakuumdich-drical part 13 on the seal 17 up to the action 60 of the plunger 38 bridging the vacuum seal

samwerden des BcUiftungskanals in dem Ventilstößel tung 40 bewirkt. Dadurch wird über die Kanäle 41The lifting duct in the valve tappet 40 is brought about together. As a result, the channels 41

14 gewahrt bleibt. und 42 eine Verbindung zwischen der Schleusenkam-14 is maintained. and 42 a connection between the lock chamber

Eine Feder 47 kann dazu dienen, beim Schließen mer7 und der zu dem Vorvakuiimbehäller oder einerA spring 47 can serve when closing mer7 and the Vorvakuiimbehäller or one

des äußeren Schleusentores 11 das dichte Anlegen geeigneten anderen Druckstufe des Vakuumsystemsof the outer lock gate 11 the tight application of a suitable other pressure level of the vacuum system

des Teils 13 an das Kammerteil 9 zu gewährleisten. 65 führenden Leitung 43 geschaffen.of the part 13 to ensure the chamber part 9. 65 leading line 43 created.

Sie kann so stark bemessen sein, daß sie. das äußere Wie bereits bemerkt, ist diese Vorevakuierung derIt can be so strong that it. the external, as already noted, this pre-evacuation is the

Schleusentor 11 nach seiner Freigabe bis zum Wirk- Schleusenkammer7 nur beim Einschleusvorgang cr-Lock gate 11 after its release up to the active lock chamber 7 only during the entry process cr-

samwerden des Belüftungskanals öffnet. forderlich und erwünscht. Hierzu ist eine Rechtsdre-when the ventilation duct opens. required and desired. To do this, a right-turn

hung des Drehtriebes 27 aus der in F i g. 1 dargestellten in die in Fig.2 angegebene Stellung, d.h. um 90°, erforderlich. Damit die Rolle 36 nur bei dieser Rechtsbewegung den Stößel 38 mitnimmt, ist sie in der in F i g. 5 dargestellten Weise so gelagert, daß sie sich bei Rechtsbewegung des Drehtriebes 27 unter dem Druck der Stößelspitze 37 mit ihrer Achse 44 gegen das feste Ende einer Langlochführung 45 legt, dagegen bei Drehung des Drehtriebes 27 in entgegengesetzter Richtung gegen die Wirkung der Zugfedern 46 von der Stößelspitze 38 leicht weggedrückt wird. Der Drehtrieb 27 kann eine Anzeige für die Betätigungsstellung des Entlüftungsventils besitzen.hung of the rotary drive 27 from the in F i g. 1 shown in the position indicated in Fig. 2, i.e. by 90 °. So that the role 36 only in this one Movement to the right takes the plunger 38 with it, it is in the position shown in FIG. 5 illustrated manner stored so that they when the rotary drive 27 moves to the right under the pressure of the plunger tip 37 with its axis 44 against the fixed end of an elongated hole guide 45, on the other hand when rotating the rotary drive 27 in the opposite direction Direction against the action of the tension springs 46 is slightly pushed away from the plunger tip 38. The rotary drive 27 can have a display for the actuation position of the vent valve.

Wenn man auch die beschriebenen Konstruktionen für das Be- und Entlüftungsventil in der Regel zur weitgehenden Automatisierung des gesamten Schleusvorganges gleichzeitig anwenden wird, kann doch auch die Anwendung nur einer der Konstruktionen bereits von Vorteil sein. So kann man beispielsweise bei einer sehr kleinen Schleusenkammer 7 auf eine Vorevakuierung derselben vor öffnen des inneren Schleusentores verzichten.If one also uses the described constructions for the ventilation valve as a rule extensive automation of the entire lock process will apply simultaneously, can However, even using only one of the constructions would be advantageous. So you can, for example with a very small lock chamber 7 on a pre-evacuation of the same before opening the do without inner lock gates.

Verständlicherweise ist die Anwendung der Erfindung auch bei einer Einrichtung möglich, die zum Schleusen von Blenden, Polschuhteilen od. dgl. während des Betriebes des Gerätes dienen soll.Understandably, the application of the invention is also possible in a device that is used for Locks of diaphragms, pole piece parts or the like. Should serve during the operation of the device.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen 209 545/111For this purpose 2 sheets of drawings 209 545/111

Claims

1 2 8. Lock device according to claim 7, claims · characterized in that the rollers are resiliently mounted in such a way that they only open the valve stem when the rotary drive rotates in the

1. Lock device for a vacuum pump 5 of the lock of the outer lock gate connected corpuscular beam devices, operate in an orderly direction, on the other hand with Drein Particular for the introduction of objects in hung of the rotary drive in the opposite direction to the vacuum space of an electron microscope when it comes into contact with the valve stem one by an inner and an outer to recede changingly.

Lock gate vacuum-tight lockable io

Lock chamber and a ventilation valve

in the outer lock gate, characterized that the ventilation valve as a pull The invention relates to a lock device valve is formed and contains a cylindrical part for bodies connected to a vacuum pump, that with the outer sluice blasting device closed, especially for smuggling in sentor from this vacuum-tight against a die of objects in the vacuum space of an electron semen Lock gate facing the end face of the microscope, with one through an inner and one outer lock chamber is pressed and a valve ßeres Schleusentor vacuum-tight lockable valve plunger with the interposition of a vacuum lock chamber and a ventilation valve in the device receives vacuum-tight, the with its from 20 outer lock gate and / or a Entlüftungsdem cylindrical part protruding end in valve for this. However, the invention can also the outer lock gate, so that it can be used in other corpuscular beam devices, such as ion mibei beginning of the opening of the lock gate to microscopes and diffraction devices, as well as to for a stop from the inward and outward transfer of diaphragms and pole pieces to become effective cylindrical part is pulled out, and that 25 or other parts of the device with advantage Valve tappet a ventilation channel in such the.

Arrangement has that the channel when out- The lock device contains in known

pulled valve tappet the vacuum seal in a way through an inner and an outer lock

bridged, but when the outer sentor is completely closed, the lock chamber can be locked in a vacuum-tight manner.

Lock gate is ineffective. 30 It is known to have a ventilation system in the outer lock gate

2. Lock device according to claim 1, to provide data valve that a ventilation of the characterized in that the channel through a lock chamber after closing the inner one Groove formed on the surface of the valve stem- sluice gate and before the opening of the outer one det is. Lock gates made possible. With known corpus

3. Lock device according to claim 1, there is a pressure valve Verdurch for this purpose characterized in that the channel has a longitudinal turn, d. H. one that after pressing on bore and a valve tappet connected to the longitudinal bore a connection between the exterior Includes transverse bore which is arranged. atmosphere and the lock chamber it only sets when the valve tappet is pulled out. Apart from the fact that with such a outside of the pressure valve limited by the vacuum seal, unintentional venting of the th vacuum space. Lock room and with the inner lock open

4. Lock device according to claim 3, a damaging air ingress into the vacuum through characterized in that space of the corpuscular beam device caused in the longitudinal bore Flow regulating agents, e.g. B. a can, the known solution requires a screw pin, are provided. 45 additional handle to ventilate the lock

5. Lock device for a vacuum chamber.

Pump-connected corpuscular beam devices, a similar disadvantage exists in the case of the venting valves, in particular the sluicing of objects in the direction of the lock chamber after the outer vacuum chamber of an electron microscope has been closed, and before the inner one is opened with a venting valve serving through an inner and an outer 50 sluice gate, the sluice gate Vacuum-tight lockable a connection between the lock chamber and lock chamber as well as a vent valve, for example the fore-vacuum container, to produce the vacuum for this, in particular after one of the attachment of the corpuscular beam device. These venting valves must also be actuated by the presence of a rotary drive to alternate an additional handle, so that the locking of the inner and outer sluice gates of the plunger of the venting can occur during the sluicing process if this actuation is forgotten,
The invention is based on the object of cooperating with the Ge-way that after the Verriege danger of an incorrect control of the pressure in the looping of the outer lock gate of the rotary drive 60 chamber opens the vent valve by inadvertent intervention of the operator. end to decrease.

6. Lock device according to claim 5, there- to solve this problem is according to the invention characterized in that the rotary drive is provided that the ventilation valve as a pull valve nere lock gate is formed only after closing the vent and contains a cylindrical part that valve is unlocked. 65 with the outer lock gate closed

7. Lock device according to claim 5 or vacuum-tight against this lock gate-6, characterized in that the projections turned the end face of the lock chamber pressed are formed by rolling on the rotary drive. is and a valve tappet with the interposition of a