DE1538590A1

DE1538590A1 - Fuehlgeraet fuer Werkstuecke

Info

Publication number: DE1538590A1
Application number: DE19661538590
Authority: DE
Inventors: Kendall Clark; Drop Joseph George; Creighton Eugene Joseph; Santillo Jun George Richard
Original assignee: International Business Machines Corp
Current assignee: International Business Machines Corp
Priority date: 1965-05-27
Filing date: 1966-05-14
Publication date: 1970-02-26
Also published as: GB1147921A; US3339704A

Description

International Business Machines Corporation, Armonk, N.Y. 10504, Vereinigte Staaten von Amerika

Fühlgerät für Werkstücke

Die Erfindung betrifft ein Fühlgerät für Werkstücke, Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf ein Gerät zur Erfassung der Lage von Halbleiterplättchen für die automatische Bestückung von gedruckten Schaltungen. Das Anwendungsgebiet der Erfindung umfaßt ein Gerät zur Erfassung der Belativlage eines Werkstücks mit regelmäßig angeordneten Vorsprüngen· Dieselben sind im Falle von Halb

.leiterplättchezL Kontakt stücke und dienen zur Erfassung der

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Winkellage. Dabei soll in Abhängigkeit von der Stellung der Kontaktstücke ein Signal erzeugt werden, das für eine Ausrichtung des betreffenden Halbleiterplättchens mittels eines entsprechenden Geräts dienen kann»

Mit dem Aufkommen der Hybridschaltungstechnik für Transistoren ergeben sich sehr strenge Anforderungen an Genauigkeit, Geschwindigkeit und Gleichförmigkeit, wie sie bislang mit der automatischen Schaltungsfertigungstechnik noch nicht erreicht worden waren. Diese Hybridtechnik erfordert zunächst das Aufdrucken der Widerstände und Leiterstege auf eine Aluminiumunterläge mittels einer Schablone. Dann werden die Transistoren oder Dioden in Form von Halbleiterplättchen auf den LeiterStegen stellungsrichtig angeordnet* Da die Plättchen meist mikroskopisch klein sind und jeweils nur 0,7 mm Kantenlänge messen und da die Plättchen mit den Leiterstegen durch Kontaktstücke in Form von Kupferpillen mit nur 0,1 mm Durchmesser verbunden sind, können sie nicht nach der herkömmlichen automatischen Schaltungsfertigungstechnik zusammengebaut werden· Die Schwierigkeit wird weiter dadurch vergrößert, daß die Plättchen in bezug auf die schmalen und mit engem Abstand verlegten Leiterstege, die nur jeweils 0,1 mm bis 0,4 am breit und um 0,1 um voneinander getrennt sind, sehr

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genau und sorgfältig ausgerichtet werden müssen und daß der Aufbau außerordentlich empfindlich ist«,

Weiterhin erfordert die große Anzahl von Schaltkreisplatten bei Digitalrechnern, die gegenwärtig den Schwerpunkt der Anwendung der Hybridschaltungstechnik darstellen, daß die Plättchenausrichtung mit hoher Geschwindigkeit und hohem Wirkungsgrad erfolgt, damit man eine hohe Produktionsleistung erhält. Die große Anzahl der für einen einzigen Rechner erforderlichen Schaltungsplatten erfordert eine gleichbleibende Güte in der Hersteilung, damit die Zuverlässigkeit des fertigen Geräts groß ist.

Infolge der geringen Größe der Halbleiterplättchen ist die Ausrichtung und Aufbringung derselben auf die Schaltungsplatte von Hand eine sehr ermüdende, zeitraubende und damit teuere Arbeit, Die Dehler der Arbeitskräfte sind bei diesen Arbeitsvorgängen groß. Da die Hybridschaltungstechnik für Transistoren ein sehr junges Entwicklungsgebiet ist, fehlen unter den herkömmlichen Geräten geeignete Maschinen für diese sehr genaue und gewissenhafte Arbeit zum Auswählen und Ausrichten von Plättchen auf Schaltungsplatten, Es besteht jedoch ein großes Bedürfnis für derartige automatische Geräte, welche die genannten Arbeitsgänge zuverlässig und gleichmäßig ausführen,

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Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung eines Gerätes, das die genannten Anforderungen erfüllt.

Das Gerät nach der Erfindung ist durch mehrere, innerhalb einer Fühlstation angeordnete Fühlelemente, die entsprechende Werkstückteile greifen können, ferner durch Je einen, Jeweils entsprechend der Betätigung des angeschlossenen Fühlelementes ansprechenden, an Je ein Fühlelement mittels einer Koppeleinrichtung angekoppelten elektrischen Schalter und durch Schieber zur genauen Ausrichtung des Werkstücks gegenüber den Fühlelementen gekennzeichnet.

Das Gerät nach der Erfindung stellt einen bedeutenden Fortschritt für die Automation der Schaltungsbautechnik dar. Das Gerät ermittelt schnell und sicher die Lage sehr kleiner, von einem Unterdruckprobenhalter gehaltener HaIbleiterplättchen, indem die Lage der hervorstehenden Kontaktpillen ermittelt wird» In Abhängigkeit davon wird ein Signal erzeugt, das zur Ausrichtung des betreffenden Plättchens in einem Anschlußgerät dienen kann.

Nach der Erfindung wird es also möglich, in Abhängigkeit von der Lage eines Kontaktstücksatzes an einem, an einem Halter sitzenden Halbleiterplättchen ein elektrisches Signal .

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zu erzeugen, das zur Einstellung der Aufnahmestellung eines zugehörigen Plättchenausrichtgeräts dienen kann, das die Plättchen unmittelbar vor der anschließenden Ausrichtung aufnimmt.

Das Plättchenausrichtführungsteil dient zur genauen Einstellung des Plättchens innerhalb der Fühlstation·

Vorzugsweise können die Ausrichtführungen jeweils nach Ermittlung der Lage des Plättchens zurückgezogen werden, damit das Plättchen mühelos aus der Fühlstation ausgehoben werden kann·

Weiterhin sind Elemente zum Freimachen der Fühlstation Jeweils nach Ab8ohluß eines FühlYorganges Torgesehen« Das erfindungsgemäße Gerat ermöglicht ein Abfühlen sehr kleiner Halbleiterplättchen, ohne daß dieselben beschädigt, werden können· Das Gerät nach der Erfindung ist fehlerfrei und zuverlässig im Betrieb.

Die Ziele der Erfindung werden anhand der folgenden Einzelbeschreibung einer bevorzugten Ausführungsform anhand der zugehörigen Zeichnungen, wo entsprechende Teile mit gleichen Bezugsziffern bezeichnet sind, deutlicher offenbar· Es stellen dar:

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Figur 1 eine schematische perspektivische Ansicht einer Gesamtanlage zum Plättcheneiribau, in der ein erfindungsgemäßes Jj¹UhIgerät Verwendung findet»

Figur 2 ein Ji'ühlgerät nach der Erfindung im Grundriß,

Figur 3 einen Vertikalschnitt nach der Linie 3-3 in Figur 2,

Figur 4- einen Vertikal schnitt nach der Linie 4-4-in Figur 2,

Figur 5 eine Einzelteilansicht nach der Linie 5-5 in Figur 3,

Figur 6 eine vergrößerte Einzelteilansicht der Fühlstation im Seitenriß und

Figur 7 die Fühlstation entsprechend im Grundriß.

Die folgende EinzelbeSchreibung einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist nicht in einschränkendem Sinn des Erfindungsgedankens zu verstehen.

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Figur 1 zeigt eine Gesamtansicht einer Plättcheneinbauanlage mit einem dann verwendeten Fühl gerät nach der Erfindung, Die verschiedenen Arbeitsstatxonen der Anlage sind schematisch dargestellt. Eine Reihe von Schaltungsplatten wird nacheinander mittels eines um zwei Bandrollen 2 und 3 laufenden MetalJLiorderbandes 1 schrittweise durch verschiedene Arbeitsstationen gefördert, so daß das obere Bandtrum bezüglich der Zeichnung von links nach rechts läuft. Eine Beschickungsstation 5 bildet die erste Bearbeitungsstation und setzt die Schaltungsplatten auf das Band 1 auf.

In der nächsten Station ist eine Prägeeinrichtung 6 mit einer Reihe von Prägestöcken vorhanden, die jeweils eine

ebene kreisförmige Mäche mit 0,18 mm Durchmesser in jeden Schenkel der Schaltungsplatte eindrücken« Diese ülächen dienen zur Aufnahme von Kupferpillen bzw· Kontaktpillen B eines HalbleiterpXättchens C, sobald dasselbe auf die Schaltungsplatte innerhalb der folgenden Bearbeitungsstationen aufgesetzt wird.

Sodann folgt eine Flußmittelausgabestation 9j wo jeweils auf geeignete Stellen der Platte zur Vorbereitung der Plattehenbefestigung tropfenweise Flußmittel ausgegeben wird«

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Ein Flußmittelvergleichmäßiger 15 dient zur Verhinderung der Fiußmitteltropfenhö'he, indem ein Druckluftstrahl gegen die Flußmitteltropfen geblasen wird, um dieselben jeweils abzuflachen und über die Platte auszubreiten.

Die nächste Station umfaßt eine Reihe von Revolverköpfen 17 zur Aufnahme von Plättchen. Die Anzahl der Plättchenaufnahmeköpfe entspricht der Anzahl der auf jede Schaltungsplatte aufzubringenden Plättchen, da jeder Kopf 17 je ein Plättchen auf eine bestimmte Stelle der gedruckten Schaltungsplatte aufbringt.

Nachdem die Platten auf dem Band 1 an.dem letzten Plättchenauf nahmekopf 17 vorbeibewegt sind, gelangen sie in die folgende Bearbeitungsstation, nämlich zu einem Fühler 22, der das Vorhandensein der Plättchen prüft. Dieser Fühler prüft jede Platte daraufhin, ob die erforderliche Plättchen-, anzahl vorhanden ist« Jede Platte wird als "gut" oder . "Ausschuß" eingestuft, was in der Speiehergruppe des elektrischen Speicherteils festgehalten wird, bis die Platte durch das Band 1 in einen Nachbearbeitungskopf 25 geführt wird· Diese Endstation kann jeweils wahlweise auf eine Abnahme aller "Gut"-Platten oder aller "Ausschuß"-Platten von dem

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Band eingestellt sein. Im allgemeinen ist sie für eine Abnahme aller "Ausschuß"-Platten eingestellt, damit die letzteren normalerweise durch Arbeitskräfte nachbearbeitet werden können, welche Plättchen auf die noch freien Stellen aufsetzen· Die "Gut"-Platten werden an das Abgabeende des Bandes 1 befördert, wo sie mittels eines nicht dargestellten Übergäbegerates abgenommen und auf ein nachfolgendes Förderband aufgesetzt werden, das durch einen nicht dargestellten Plättchenlötofen läuft.

In Jeder Aufsetzstation ist in Verbindung mit dem Eevolverkopf 1? ein Schwingtopfförderer 19, ein Fühlgerät 20 zur Erfassung der Lage der Plättchen und ein Plättchenausrichter 21 mit einem T-Balken vorhanden· Im Betrieb werden Halbleiterplättchen von dem Jeweils einen Vorrat aufnehmenden Schwingtopfförderer 19 in aufrechter Stellung in eine Halterstation gebracht, wobei die Kupferkontaktpillen B nach unten gerichtet sind (Figur G). Das Plättchen wird von einem Unterdruckhalter 18 aufgenommen und auf das Fühlgerät 20 zur Ausrichtung der Plättchen übertragen. Dort wird das Plättchen von dem Halter 18 in eine Fühlstation abgesenkt, wo es entsprechend der Lage der Kontaktpillen ein elektrisches Signal erzeugt, das in den Plättchenausrichter 21 übertragen wird. Mittels einer entsprechenden

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Schaltung wird jeweils der T-Balkenkopf desselben ausgerichtet, so daß die Kontaktpillen des Plättchens darin eingreifen und in die erforderliche Stellung gedreht werden können« Nach Ausrichtung wird das Halbleiterplättchen auf das Band 1 und entsprechend ausgerichtet auf die Schaltungsplatte übertragen·

Das Fühlgerät 20 nimmt je eine Halbleiterplatte von dem Schwingtopfförderer 19 auf, damit die Lage der Kontaktpillen B zwecks Vorbereitung des Absetzens auf dem Band ermittelt werden kann. Das Fühlgerät dient somit grundsätzlich zur Lagebestimmung der Kontaktpillen und erzeugt ein elektrisches Signal für den Plättchenausrichter 21, der die unpassend sitzenden Plättchen nachrichtet» Die Kontaktpillen des Halbleiterplättchens sind nach Figur dreieckförmig verteilt«, Das Plättchen muß an dem es jeweils haltenden Probenhalter 18 entsprechend ausgerichtet werden, damit es richtig ausgerichtet auf die Schaltungsplatte abgesetzt werden kann» wenn sich der Halter über dem Bandförderer 1 befindet«,

Die Figuren 2 bis 7 zeigen eine bevorzugte Ausführungsform des Fühlgeräts 20 zur Erfassung der Lage eines Halbleiterplättchens, das innerhalb der beschriebenen Gesamtanlage

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benutzt wird. Das Fühlgerät 20 besitzt einen Sockel 2s, der die zahlreichen Einzelteile des Fühlgeräts trägt· Stirnseitig ruf dem Sockel 2s sitzt ein Kopfteil 3s, wie man am besten in den Figuren 3 und 4 erkennt« Die eigentlichen Fühlelemente des Fühlgerats 20 sind vier gesonderte Zungen 4s, 5s,6s und 7s» die in vergrößertem Maßstab in Figur 7 dargestellt sind. Wenn ein Halbleiterplättchen G nach unten auf die Zungen abgesenkt wird und richtig bezüglich derselben ausgerichtet ist, wird eine Kontaktpille B nur eine einzige Zunge niederdrückeη_β In Figur 6 ist eine Kontaktpille B gezeigt, die die Zunge 7a niederdrückt. Da das Halbleiterplättchen quadratisch geformt ist, ergeben sich vier mögliche «Vinkellagen, in denen es an dem Probenhalter 18 sitzen kann, wobei nur eine derselben zulässig ist·

Die vier Zungen 4s, 5s» 6s und 7s sitzen in einem Zungenhalter 8s, in dem vier gesonderte Schlitze zur Aufnahme je einer Zunge vorgesehen sind. Wach Figur 6 ist eine konkave Ausnehmung 9s in die Kopffläehe des Zungenhalters 8s■ eingearbeitete Diese Ausnehmung bietet für die beiden anderen Eontaktpillen B genügend Raum, damit dieselben die Zungen nicht berühren und niederdrücken. Viie man am besten aus Figur ersieht, sitzt jede Zunge an einem Schenkel eines L-förmigen

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Schwenkhebels 10s. In dem Sockel 2s sind nach oben stehende Lagerböcke 11s mit gabelförmigen Lagerschenkeln 12s gehalten, welche die Schwenkhebel 10s aufnehmen. Beim Niederdrücken einer Zunge wird offensichtlich das Fußende des L-förmigen Schwenkhebels 10s nach außen geschwenkt. Das Fußende jedes Schwenkhebelschenkels trägt eine Isolatorschaltplatte 14-s, die zum Schließen der Kontaktzungen 15s bzw. 16s der elektrischen Schalter 36e, 37e, 38e und 39e dient. Beide Kontaktzungen, sind an dem Sockel 2s gehalten und gegeneinander isoliert. Eine Auswärtsbewegung des Fußendes des betreffenden Schwenkhebelschenkels drückt die Kontaktzunge 16s nach außen an die Kontaktzunge 15s an, so daß der betreffende elektrische Schalter geschlossen wird. Man ersieht, daß bei nichtfehlendem Halbleiterplättchen jede der vier möglichen Lagen eine verschiedene Signalkombination hinsichtlich der vier Schalter erzeugen wird· Entsprechend der Jeweiligen Schalterkombination wird ein elektrisches Signal erzeugt, das zur Einstellung eines Plättchenausrichters in der folgenden Station dient, so daß derselbe das Plättchen auf dem Probenhalter erforderlichenfalls in geeigneter Weise dreht, wenn das Plättchen in der betreffenden Station ankommt·

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Um das Halbleiterplättchen O gegenüber den Zungen 4s, 5s, 6s und 7s genauer auszurichten, sind zwei einander gegenüberstehende Führungsbacken 20s vorgesehen, die oberhalb der Zungen liegen· Dieselben sind in den Figuren 2 und 4 zu erkennen. Die Führungsbacken 20s besitzen Je zwei diagonal quer zueinander verlaufende Kopfflächen, die mit den entsprechend gelegenen Plättchenkanten in Berührung kommen. Druckfedern 22s dienen zum Vorspannen der Backen 20s nach innen in Greifstellung mit jeweils einem über den Zungen auszurichtenden Plättchen. Die Backen.bilden somit einen Führungskanal, der geringe Fehlausrichtungen des Plättchens bereits ausgleicht. Zum öffnen der Backen 20s nach Beendigung des Fühl Vorgangs ist eine luftdruckbetätigte Schalteinrichtung vorgesehen. Zwei L-fÖrmige Hebel 24s sitzen schwenkbar auf Bolzen 25a in dem Kopfteil, wobei die nach oben gerichteten Schenkel formschlüssig mit den Führungsbacken 20s in Eingriff stehen und die unteren Schenkel radial nach innen gerichtet sind. Ein Stützflansch 26s ist mit beiden nach innen gerichteten Schenkeln der Hebel 24s in Eingriff. Innerhalb eines Zylinders 28s ist ein Kolben 27s mit einer Kolbenstange 29s verschiebbar angeordnet· Eine aufwärts gerichtete Verschiebung des Kolbens 27s verschiebt den Stützflanach 26s nach oben, so daß er die Hebel 24s betätigt und die Backen, aueeinander-

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spreizt, damit das Halbleiterplättchen leicht aus der Fühlstation ausgehoben werden kann_o Die Führungsbacken 20s werden genügend weit gelüftet, damit auch nicht ganz regelmäßig geformte Plättchen die Station unbehindert von den Backen verlassen können. Beim Schließen der Backen wird das betreifende Plättchen genau und passend auf die Zungen ausgerichtet, damit der FühlVorgang ablaufen kann. Eine feder 30s drückt den Kolben 27s jeweils nach unten, damit die Federn 22s die Backen schließen können. Die Kolbenstange 29s ist in Gleitmuffen 32s und 34s geführt und besitzt einen Längskanal 40s, der mit einem Luftkanal 42s in Verbindung steht, welcher in eine Düse 44s inmitten des Zungenhalters 8s mündet· Wenn während des Betriebes Druckluft in den Zylinder 28s eingelassen wird, entweicht dieselbe über die Kanäle 40s und 42s durch die Düse 44s, so daß das betreffende Plättchen von der Fühlstation abgeblasen wird, wenn es von dem Probenhalter entfernt werden soll· Der Druckluftstoß wird für diejenige Zeitdauer verzögert, die für die Koppelung der Kolbenstange 29s mit dem Ansatzstutzen 46s erforderlich ist· Ein Zylindergehäuse 36s mit einer mittigen Öffnung 38s umschließt das gesamte Fühlgerät. ,

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Innerhalb des Arbeitsgangs wird ein iialbleiterplättchen O mit nach unten gerichteten Kontaktpillen durch den Probenhalter in" die öffnung 38s zwischen die Backen 20s abgesenkt, die sich normalerweise in geschlossener Führungsstellung befinden. Das Plättchen wird dann schonend nach unten gedrückt, wobei eine Kontaktpille eine Zunge niederdrückt, so daß ein elektriscnes Signal ausgelöst werden kann. Wenn mehr als eine Zunge niedergedrückt wird, wird das Plättchen von dem Halter abgeworfen, nachdem es aus dem Fühlgerät herausgenommen ist. Wenn das Plättchen kopfüber an dem Probenhalter sitzt, werden alle Zungen ausgelöst. Dadurch wird ein Signal erzeugt, welches das Abblasen des Plättchens von dem Probenhalter auslöst. Wenn die Kontaktpilie, welche, die Zunge auslösen soll, fehlt oder gegenüber der vorgeschriebenen Lage versetzt ist, werden keine Zungen ausgelöst. In diesem Fall wird das Plättchen ebenfalls abgeworfen. Nach Abschluß des Fühlvorgangs werden die Führungsbacken über den Kolben gelüftet, der Probenhalter mit den daran hängenden Plättchen angehoben und zu dem Plättchenausrichter 21 mit T-Balken bewegt«. Unmittelbar nach dem Lüften der Backen 20s strömt Luft aus der Düsse MA-s aus, welche das Plättchen wegbläst, falls es sich von dem Probenhalter gelöst haben sollte, oder die möglicherweise abgebrochene Teile entfernt· Dadurch wird die Fühlstation zur Aufnahme des jeweils folgenden Plättchens freigemacht.

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Claims

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Patentansprüche;

1. Fühlgerät für Werkstücke, gekennzeichnet durch mehrere innerhalb einer Fühlstation (20) angeordnete lühlelemente (4s, 5s, 6s, 7s), die entsprechende Werkstückteile greifen können, ferner durch Je einen, Jeweils entsprechend der Betätigung des angeschlossenen Fühlelementes ansprechenden, an Je ein Fühlelement mittels einer Koppeleinrichtung angekoppelten elektrischen Schalters (36e) und durch Schieber (20s) zur genauen Ausrichtung des Werkstücks gegenüber den Fühlelementen.

2· Gerät nach Anspruch 1 zur Erfassung der Winkellage eines Werkstücks mit mindestens einem vorspringenden !Teil, dadurch gekennzeichnet, daß Je eines der Fühlelemente den vorspringenden Teil des Werkstücks greift und daß die Schieber aus zwei in radialer Richtung verschiebbaren Führungsbacken (20s) mit im Bereich der Fühlstation gelegenen Greifköpfen und einer öffnungsvorrichtung zum Öffnen und Schließen der Führungsbacken bestehen» wobei die Winkellage des Werkstücks beim Greifen des vorspringenden Werkstückteils mit den Fühlelementen ermittelt und in Abhängigkeit von der Auslösung eines Fühlementes durch

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den vorspringenden Teil des Werkstücks ein.elektrisches . Signal erzeugt wird·

3 ο Gerät nach Anspruch 2 zur Erfassung der Winkellage eines Werkstücks mit regelmäßig angeordneten vorspringenden Teilen» dadurch gekennzeichnet, daß eine Zungenplatte (8a) mehrere Schwenkhebel (10s) mit je einer Zunge (4s, 5s, 6s, 7s) an je einem Hebelende aufnimmt, daß ferner die elektrischen Schalter (36e) jeweils mit dem der Zunge gegenüberliegenden Hebelende des betreffenden Schwenkhebels verbunden sind und daß Greifköpfe der JPührungsbacken (20s) unmittelbar oberhalb der Zungenplatte liegen·

4. Gerät nach einem der Ansprüche 1 bis 3 zur Er- . fassung der Winkellage von Halbleiterplättcheh mit mehreren regelmäßig verteilten Kontaktelementen, dadurch gekennzeichnet, daß die Zungenplatte (8s) mehrere vergleichweise schmale Badialechlitze für je eine dünne Zunge (4s, 5s» 6s, ?s) aufweist» die jeweils am nach innen gerichteten, kürzeren, auf den betreffenden Radialschlitz ausgerichteten Schenkel des außerdem einen längeren Schenkel aufweisenden zugehörigen Schwenkhebels (1Os) sitzt, daß ferner zwei im Abstand übereinanderliegende, nachgiebige

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Kontaktzungen (15s, 16s) des jeweils zugehörigen elektrischen Schalters (36e) sich jeweils vor dem Fußende des längeren Schwenkheb el schenkel s befinden und daß für die zum Ausrichten der HaTbIeiterplättchen dienenden Führungsbacken (20s) Betätigungselemente mit einem Antriebsorgan und Koppelgliedern für die Führungsbacken vorgesehen sind.

5. Gerät nach Anspruch 4 zur Erfassung der Winkellage von Halbleiterplättchen mit mehreren regelmäßig verteilten Kontaktpillen, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Zungenplatte (8a) mit einer konkaven Ausnehmung (9) im Kopfteil (3s) eines Sockels (2s) befindet, daß ferner der längere Schenkel des L-förmigen Schwenkhebels (10s) längs des Kopfteils nach unten bis zum Sockel reicht und daß für die Führungsbacken nach innen wirkende Vorspannelemente (22s) und eine öffnungsvorrichtung vorgesehen sind, die aus einem Kolben (27s), einem Zylinder (28s), einer Kolbenstange (29s) und einer dieselben mit den Führungsbacken koppelnden Hebelanordnung besteht, wobei durch die Kolbenstange ein von der Zylinderkammer in den Zungenbereich hineinreichender Strömungskanal (40s) führt, wodurch beim Absetzen eines Plättchens mit Kontaktpillen unter Führung der Backen durch Berührung der Zungen ein, elektrisches Signal in Abhängigkeit von der Auslösung der

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Zungen durch die KontaKtpillen zur Anzeige der Winkellage erzeugt wird.

6c Gerät nach Anspruch 5 für Halbleiterplattchen mit jeweils drei dreieckförmig angeordneten Kontaktpillen, gekennzeichnet durch vier rechtwinkelig zueinander angeordnete Schlitze zur Aufnahme je ^einer Zunge.

7· Gerät nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Hebelanordnung für die Führungsbacken ir-förmige, jeweils mit einem Ende kraftschlüssig in die Backen eingreifende und mit dem jeweils entgegengesetzten Ende mit der Kolbenstange (26s) verkoppelte Hebel (24-s) umfaßt.

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