DE1521248A1 - Verfahren zur Dickenregelung von aufgedampften Duennschichtbauelementen - Google Patents

Description

• Verfahren zur Dickenregelung von aufgedampften Dünnschichtbauelementen Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Dickenregelung auf einer Grundplatte aufgedampfter Dünnschichtbauelemente.
• Es wurde bereits vorgeschlagen, bei einer Bedampfungsvorrichtung unter Anwendung von Elektronenstrahlen die Verdampfung des auf eine Grundplatte aufzudampfenden Materials mit Hilfe einer Regelung der Intensität der

  Elektronenstrahlung bei konstantes Dampfdruck durch-

  zuführen.

  Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, dieses Ver-

  fahren dadurch zu verbessern, daß gleichzeitig auch

  die Dicke der Dü nnschichtbauelemente .beim Aufdampfen-

  selbsttätig geregelt wird. Diese Aufgabe wirf durch ein

  Verfahren zur Dickenregelung auf einer Grundplatte auf-

  gedampfter DünnAchichtbauelemente gemäß der Erfindung

  dadurch gelbst, daß einem auf die Erwärmungsleistung

  einer Verdampfungsnuelle einwirkenden Regelkreis für

  die Konstanthaltung des Dampfdruckes eine dem Ist-Wert

  des Dampfdru«ke s proportionale Spannung entnommen und

  integriert wird und daß die Bedanpfung dann abgestellt

  wird, wenn die integzierte Spannung einen einer vorge-

  gebenen Dicke entsprechenden Sollkert erreicht hat. Bei

  der Herstellung der elektrischen Dünngchichtbauelemen-

  te mit Hilfe der Vakuumaufdampfung wird also die Wärmezuführung zu der Verdampfungsquelle so geregelt, daß die Verdampfung stets unter einem konstanten Dampfdruck stattfindet. Der jeweilige Ist-Wert des Dampfdruckes bzw. ein ihm entsprechendes elektrisches Signal wird. integriert. Mit dem integrierten Signal wird eine Blende gesteuert, die die Grundplatte gegenüber dem Dampf abschirmt,-sobald das integrierte Signal einen vorgegebenen Sollwert erreicht hat, der einer gewünschten Tricke der aufgedampften Dünnschicht entspricht.
• Die Erfindung wird an Hand einer Figur näher erläutert. Die Figur stellt ein Blockschaltbild einer Einrichtung zur Ausübung des Verfahrens dar. Die mit einer dünnen ausgezogenen Linie miteinander verbundenen Blöcke bilden den Regelkreis für die Konstanthaltung des Dampfdruckes. Die mit einer dicken ausgezogenen Linie miteinander verbundenen-Blöcke stellen den Regelkreis für die Dickenregelung der Dünnschichtbauelemexite dar. Durch beide Regelsysteme werden sowohl der Dampfdruck als auch die Schichtdicke gleichzeitig geregelt. Einer Verdampfungsquelle 1 folgt im Regelkreis fUr die Dampfdruckregelung eine Messeinrichtung 2 für den Dampfdruck. Am_Ausgang der Messeinrichtung 2 wird ein dem jeweiligen Dampfdruck entsprechendes elektrisches Signal abgegeben. Dieses Signal wird in einem Vergleichskreis 3 mit einem aus einem Speicher 4 entnommenen Sollwert für den Dampfdruck verglichen. Die nach dem Vergleich u. U. anfallende Regelabweichung wird als Eingangsspannung einem Generatorkreis 5 zugeführt. Der Generatorkreis 5 gibt eine dem Eingangssignal proportionale Ausgangsspannung ab, die ein Stellglied 6 für die-Wärmezuführung der Verdampfungsquell e 1 beaufschlagt. Damit wird die Wärmezuführung zur Verda.mpfungs-

  quelle so geregelt, daß der Dampfdruck dem eingestell.--

  ten Solli,:,ert entspricht. Die Bedampfung wird stets

  unter. einem kcnstanteri Dämpfdruck ausgeführt'. Die Aus-

  gangsspannung der Messeiriyich:ung 2*, die dem jeweili-

  gen Dampfdruck elzt spricht , i#: ird unter. An@,endung der

  Erkenntnis, daß ihr integrierter Wert der Schichtdicke

  proportional ist, zunächst einem integrationckreis 7

  .

  zugeführt. Danach wird der integrierte Wert in einem

  zweiten Vergleichskreis 8 mit dem aus einem Speicher 9

  entnommenen Sollwert verglichen.. Wenn der integrierte

  Wert mit denn Sollwert übereinstimmt, gibt der Verg--ei.chs-

  kreis 8 an ein Stellglied 10 für eine Blende 19 ein

  Signal ,ab. Die Blende 11 sperrt den Dampf gegen'ibcr der

  zu bedampfenden Grundplatte ab. Durch die Aniven.dung

  beider Regelkreise .zur g-eichen Zeit ir:ird die Aufdampfung

  einer bestimmten Dünnsehichtdicke stets unter einer

  konstanten Bedampfungsgeschwindigkeit_durchgef[ihrt und

  damit Dsinnschichtbauelemente mit gleichbleibender

  Charakteristik und gleicher Schichtdicke erzielt. Bei

  ausgeführten Bedampfungen wurde festgestellt, daß die

  Schichtdicke durch die gleichzeitige Verv;endung beider

  Regelkreise innerhalb eines Fehlers von f 2 y geregelt

  werden kann.

Claims (1)

1. P a t e n t a n s p r u c h Verfahren zur Dickenregelung auf einer Grundplatte aufgedampfter Dünnschichtbauelemente, dadurch gekennzeichnet, daß einen auf die Erwärmungsleistung einer Verdampfungsquelle einwirkenden Regelkreis für die Konstanthaltung des Dampfdruckes-eine dem Ist-Wert des Dampfdruckes proportionale Spannung entnommen und integriert wird und daß die Bedampfung dann abgestellt wird, wenn die integrierte Spannung einen einer vorgegebenen Dicke entsprechenden Sollwert erreicht hat.