DE1489690C3 - Kühlanordnung für Halbleiterbauelemente mit verschiedenen elektrischen Potentialen - Google Patents

Kühlanordnung für Halbleiterbauelemente mit verschiedenen elektrischen Potentialen

Info

Publication number
DE1489690C3
DE1489690C3 DE19651489690 DE1489690A DE1489690C3 DE 1489690 C3 DE1489690 C3 DE 1489690C3 DE 19651489690 DE19651489690 DE 19651489690 DE 1489690 A DE1489690 A DE 1489690A DE 1489690 C3 DE1489690 C3 DE 1489690C3
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
cooling
coolant
water
heat
heat sink
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE19651489690
Other languages
English (en)
Other versions
DE1489690A1 (de
DE1489690B2 (de
Inventor
Erwin 6800 Mannheim Klein
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BBC Brown Boveri AG Germany
Original Assignee
BBC Brown Boveri AG Germany
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BBC Brown Boveri AG Germany filed Critical BBC Brown Boveri AG Germany
Publication of DE1489690A1 publication Critical patent/DE1489690A1/de
Publication of DE1489690B2 publication Critical patent/DE1489690B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE1489690C3 publication Critical patent/DE1489690C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/46Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids
    • H01L23/473Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids by flowing liquids
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Description

3 4
öl gegenüber Wasser, was die räumlichen Ausmaße V F i g. 6 den dazugehörigen Endkühlkörper mit Abderartiger Anlagen bei gegebener Leistung stark er- * schlußdeckel im Längsschnitt,
höht. ■ ' Fig. 1 läßt erkennen, daß der prismatische, gut
In der deutschen Auslegeschrift 1 069 297 ist eine V* wärmeleitende metallische Kühlkörper 12 in Längs-Trockengleichrichteranordnung beschrieben, die mit 5 richtung drei Bohrungen 13,14 und 5 enthält. Davon einem gasförmigen Medium gekühlt wird. Auch hier dienen die Bohrungen 13 und 14 zur Aufnahme der
ist der Wärmeübergang vom Kühlkörper zum Gas mit Isolation 29 versehenen Schrauben 30, die die
relativ gering im Verhältnis zu Wasser, was auch für Anordnung zusammenhalten. Durch die Bohrung 5,
die in der deutschen Auslegeschrift 1182 352 ge- in der sich der Stutzen 20 des Formstückes und der
zeigte luftgekühlte Halbleiter-Gleichrichtersäule gilt. io Isolierformteil 21 befinden, die beide das Labyrinth
Bei Gleichrichtern, insbesondere solchen mit bilden, wird die Kühlflüssigkeit geleitet. Seitlich des großen Stromstärken, bei denen viele Zellen mit Kühlkörpers ist an einer aufgeschraubten Isoliergleichem elektrischem Potential vorhanden sind, platte 43 durch den Bolzen 44 zusätzlich eine bietet die konstruktive Ausbildung des Wasser- Klemmenstelle geschaffen worden. Gegebenenfalls kreislaufs trotz des relativ guten spezifischen Leit- 15 kann diese Klemmenstelle zur Aufnahme einer wertes auch von gereinigtem Wasser keine Schwierig- Sicherung für das Halbleiterbauelement ausgebildet keiten. Man erhält den notwendigen Isolationswert sein. Die Befestigungsbasis 26 ist an den Druckdadurch, daß man das Wasser durch entsprechend platten angebracht.
lange Isolierschläuche oder -rohre zu dem spannungs- In F i g. 2 sind drei Kühlkörper 12 in Längsführenden Kühlkörper leitet. 20 richtung aneinandergereiht. Sie enthalten je eine
Anders ist die Situation bei Aggregaten, die Halb- Bohrung. 10 zur Aufnahme eines Halbleiterbauleiterbauelemente mit verschiedenen elektrischen elementes. Ist die Verwendung von Halbleiter-Potentialen enthalten, wie dies z. B. bei einem selbst- bauelementen verschiedener Ausführungen vorgegeführten Wechselrichter der Fall ist. Dort war bis- sehen, so sind Kühlkörper mit unterschiedlichen her eine wirtschaftliche und raumsparende An- 25 Bohrungen 10 zu verwenden, wie F i g. 2 zeigt, in Ordnung mit Wasserkühlung nicht möglich. der nur ein Halbleiterbauelement 1 dargestellt ist.
Es ist die Aufgabe der Erfindung, die genannten Die Bohrungen 11 sollen den zweiten elektrischen Nachteile zu vermeiden und eine Kühlanordnung für Anschluß des Halbleiterbauelementes aufnehmen, ein leistungsstarkes Aggregat mit verschiedene elek- Zwischen den einzelnen Kühlkörpern und an den irische Potentiale aufweisenden Halbleiterbauelemen- 30 Enden der Reihe sind isolierende Formstücke 16 aus ten zu schaffen, wobei die Isolierung so gut aus- gummielastischem Werkstoff angebracht. Diese Formgeführt sein soll, daß kleine Abmessungen in wirt- stücke 16 sind mit einem umlaufenden Doppelwulst schaftlicher Ausführung ermöglicht werden. 17, zwei Doppelkragen 18 (die in die Bohrungen 13
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch ge- bzw. 14 ragen) und zwei Ringnuten 19 mit einem
löst, daß die elektrische Spannungsfestigkeit über die 35 Doppelstutzen 20 (der in die Bohrungen 5 zweier be-
Kühlflüssigkeit zwischen den Kühlkörpern mittels nachbarter Kühlkörper eintaucht) versehen. Zwischen
eines in einer oder mehreren Bohrungen eines Kühl- die Ringnuten 19 der nebeneinander befindlichen
körpers vorgesehenen Labyrinths erhöht ist, welches isolierenden Formstücke 16 ist ein Isolierformteil 21
durch an den Formstücken angeformte Doppelstuzen eingelegt. Dieses ist an den Enden mit mehreren
und durch zwischen zwei Formstücken angeordnete 40 Fenstern 23 zum Durchlaß der Kühlflüssigkeit ver-
Isolierformteile gebildet wird. sehen und hat in der Mitte eine Trennwand 24. Auf
Die erfindungsgemäße Anordnung hat bei Ver- die Formstücke 16, die am Ende der Reihe angewendung der vorstehend beschriebenen Kühlkörper bracht sind, sind Druckplatten 25 aufgelegt. Durch den Vorteil, daß auch dann, wenn eine größere An- die abgesetzten Bohrungen 27 und 28 werden die mit zahl von Kühlkörpern im Wasserkreislauf in Reihe 45 Isolation 29 versehenen Schraubenbolzen 30, die liegt, ein merklicher Temperaturanstieg der Kühl- durch die Bohrungen 13 und 14 und durch die körper zwischen Anfang und Ende der Anordnung Doppelkragen 18 gesteckt sind, geführt. Das ganze nicht auftritt. Damit ist gleiche Belastbarkeit aller Paket wird mittels Muttern 31 und Sicherungs-Halbleiterbauelemente gewährleistet. scheiben 32 dicht verspannt. Die Druckplatten 25
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind 50 sind außerdem mit einem ovalen Flansch 33 aus-
den Unteransprüchen zu entnehmen. gerüstet, in den zwei zylindrische Bohrungen 34 und
Zur näheren Erläuterung der Erfindung wird auf 35 und eine konische Bohrung 36 eingearbeitet sind,
zwei in den Zeichnungen dargestellte Ausführungs- In diese Bohrungen hinein ragt ein Stutzen 20 des
beispiele Bezug genommen. Die Zeichnung zeigt in am Ende befindlichen Formstückes 16 mit Stützring
F i g. 1 den Querschnitt eines Kühlkörpers des 55 37. Ein Schlauch 38 ist über den Stutzen 20 ge-
ersten Ausführungsbeispiels mit dem entsprechenden zogen. Durch eine geschlitzte, konisch angedrehte
Halbleiterbauelement, Flanscharmatur 39 wird mittels zweier Schrauben 40
Fig. 2 den Längsschnitt einer aus drei Kühl- mit Sicherungen41 die Kühlanordnung abgedichtet,
körpern nach F i g. 1 bestehenden Anordnung, Die erfindungsgemäße Anordnung ermöglicht die
F i g. 3 in vergrößerter Darstellung den Längs- 60 gleiche kompakte Bauweise für Halbleiterbauschnitt der Verbindungsstelle zweier Kühlkörper elemente mit verschiedenem elektrischem Potential, nach F i g. 2 mit dem Labyrinth, wie sie bisher nur für solche mit gleichem elek-
Fig. 4 den Querschnitt des Kühlkörpers eines irischem Potential bekannt ist. Die Baugruppe kann zweiten Ausführungsbeispiels mit zwei Bohrungen als Ganzes in ein Gehäuse oder einen Schrank einfür die Kühlflüssigkeit, 65 gebaut werden. Die Isolation zwischen dem nicht
Fig. 5 den im Längsschnitt dargestellten Ein- 1-dargestellten Kühlaggregat und den am Ende der
gangskühlkörper des zweiten Ausführungsbeispiels Reihe liegenden Kühlkörpern wird zum Teil durch
und in den erwähnten Isolierschlauch 38 erzielt. Der Isolier-
schlauch kann bei der Ausführung nach F i g. 2 kürzer sein als bei den bekannten Anordnungen mit Halbleiterbauelementen verschiedenen elektrischen Potentials, da ein Teil des Isolationsweges durch das Formstück 16 gegeben ist. Die Kriechwege von Kühlkörper zu Kühlkörper und von den Kühlkörpern zu den Druckplatten über das Formstück 16 werden durch dessen Wulst 17 und die Kragen 18 in ausreichendem Maße zur Verfugung gestellt. Die Isolation zwischen den einzelnen Kühlkörpern über die Kühlflüssigkeit ist durch ein Labyrinth gegeben.
In F i g. 3 ist dieses Labyrinth vergrößert dargestellt. Es wird aus dem Isolierformteil 21 und dem isolierenden Doppelstutzen 20 des Formstückes 16 gebildet. Der Isolierweg ergibt sich, wie die strichpunktiert eingezeichnete Linie 45 zeigt, etwa in doppelter Länge des Doppelstutzens 20.
In den F i g. 4 bis 6 ist ein zweites Ausführungsbeispiel abgebildet. Diese unterscheidet sich von dem vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel im wesentlichen dadurch, daß es aus Kühlkörpern besteht, die zwei Bohrungen für die Aufnahme der Kühlflüssigkeit aufweisen. Für die Erläuterung der
Bezugszeichen der gleichbleibenden Teile wird auf die Ausführungen zum ersten Ausführungsbeispiel verwiesen.
In Fi g. 4 ist der Querschnitt eines Kühlkörpers 42 dargestellt. Dieser Kühlkörper enthält außer der Bohrung 5 noch eine weitere Bohrung 105 für die Aufnahme der Kühlflüssigkeit. Darüber hinaus ist in Längsrichtung des Kühlkörpers außer den beiden Bohrungen 13 und 14 noch eine dritte, 15, für die Aufnahme der Spannbolzen vorhanden.
Der Fig. 5, die einen Längsschnitt des Eingangskühlkörpers zeigt, ist zu entnehmen, daß die Druckplatte 47 zum Anschluß der die Kühlflüssigkeit zu- und abführenden Leitungen ausgebildet ist. Der geänderten Zahl von Bohrungen ist auch das Formstück 46 angepaßt. Außer dem umlaufenden Doppelwulst 17 weist das Fonnstück46 nach Fig. 5 drei Doppelkragen 18, vier Ringnuten 19 und zwei mit den Ringnuten verbundene Doppelstutzen 20 auf.
In F i g. 6 ist der Endkühlkörper im Längsschnitt dargestellt. Die Druckplatte 48 ist so ausgeführt, daß sie durch den Kanal 49 die Umlenkung des Kühlmittels bewirkt.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

1 2
Kühlmittel beschrieben, welche eine trogförmige
Patentansorüche* Isolierstoffhülse aufweist, die zusammen mit dem
P ' Kühlkörper einen das Kühlmittel führenden Kanal
bildet und die Halbleiterbauelemente untereinander
1. Kühlanordnung für Halbleiterbauelemente 5 isoliert.
mit verschiedenen elektrischen Potentialen und Nachteilig ist bei dieser bekannten Vorrichtung,
mit für Flüssigkeitskühlung ausgelegten metalli- daß die dort vorhandenen Kühlrippen den Kühischen Kühlkörpern, wobei als Kühlflüssigkeit mittelfhiß verzögern, während im ungerippten Quer-Wasser vorgesehen ist und die einzelnen Kühl- schnitt der Hauptstrom des Kühlmittelflusses ohne körper einer Kühlkörperanordnung im Kühl- io Wärmeaufnahme vorbeifließt. Nachteilig ist ferner flüssigkeitskreislauf in Reihe liegen, wobei zwi- auch, daß keine Kühlmittelnüssigkeit mit geringer sehen den einzelnen Kühlkörpern zur Isolierung Isolierfähigkeit, wie beispielsweise Wasser, vorge- und Abdichtung Formstücke vorgesehen sind, sehen werden kann, wenn eine kleine Teilung von dadurch gekennzeichnet, daß die elek- Halbleiterbauelement zu Halbleiterbauelement mit irische Spannungsfestigkeit über die Kühlflüssig- 15 unterschiedlichen Potentialen zur Erzielung einer keit zwischen den Kühlkörpern mittels eines in kompakten Bauweise vorgesehen sein soll und ein einer oder mehreren Bohrungen (5 bzw. 5 und mittleres Kühlmitteltemperatur-Niveau aller Kühl- 105) eines Kühlkörpers vorgesehenen Labyrinths elemente erzielt werden soll.
erhöht ist, welches durch an den Formstücken Eine bekannte Ausführung, wie sie in der britischen
(16 bzw. 46) angeformte Doppelstutzen (20) und 20 Patentschrift 846 480 beschrieben ist, zeigt den Nachdurch zwischen zwei Formstücken (16 bzw. 46) teil, daß entweder nur Halbleiterbauelemente mit angeordnete Isolierformteile (21) gebildet wird. gleichen Potentialen betrieben werden können
2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch ge- (Fig. 3 und 4) oder daß die Kühlelemente zwar verkennzeichnet, daß das Formstück (16 bzw. 46) schiedenes elektrisches Potential aufweisen können auch an den Enden der in Reihe liegenden Kühl- 25 (F i g. 5 und 6), wobei aber als Kühlmittel kein körper zur Isolation, Dichtung und Labyrinth- Wasser verwendbar ist, da in dieser bekannten Ausbildung verwendet wird. führungsform zu geringe Abstände für die Isolation
3. Kühlanordnung nach Anspruch 1 oder 2, der Spannungsunterschiede bei gedrängter Bauweise dadurch gekennzeichnet, daß an den Enden der zur Verfügung stehen.
Kühlkörperanordnung unterschiedliche Druck- 30 Die in bezug auf die Kühlung bedeutend günstigeplatten (47, 48) angebracht sind, die einem ren physikalischen Eigenschaften von Wasser gegenmechanischen Zusammenhalt der Baueinheiten - über Luft und auch gegenüber Isolierölen ermögdienen, wobei die eine der beiden Druckplatten . liehen die bei manchen Anwendungen erforderliche (47) zum Anschluß der die Kühlflüssigkeit zu- gedrängte Bauweise. ■ '■'·
und abführenden Leitungen ausgebildet ist und "35 So verhalten sich die Wärmeübergangszahlen für die andere Druckplatte (48) so ausgeführt ist, die Kühlmedien Luft, Öl und Wasser bei einer daß sie die Umlenkung der Kühlflüssigkeit bei Strömungsgeschwindigkeit von etwa 5 m/s wie Kühlkörperelementen mit zwei Bohrungen (5 und 35 : 350 : 3500. ·.· -
105) zur Aufnahme der Kühlflüssigkeit bewirkt. Obgleich die Verwendung von Wasser als Kühl-
4. Kühlanordnung nach einem der Ansprüche 1 40 mittel damit als wirkungsvoll ausgewiesen ist, bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß an jedem herrschte noch die Auffassung in Fachkreisen vor Kühlkörper (12 bzw. '42) eine Klemmenplatte (Siemens-Zeitschrift 1961, H. 5, S. 311), daß Wasser-(43) befestigt ist, an welcher ein elektrisches kühlung nicht vorteilhaft ist, wenn die Halbleiter-Sicherungselement befestigbar ist. bauelemente mit Sperrspannungen von mehr als 200
45 bis 300VoIt beaufschlagt werden, wie es für eine wirtschaftliche Ausnützung bei gedrängter Bauweise
notwendig wäre.
Es wurde aber bereits versucht, eine wirksame elektrische Isolierung mittels zwischen HaIb-50 leiterelementen und Kühlkörpern vorgesehener
Die Erfindung bezieht sich auf eine Kühl- Isolierelemente zu erreichen (USA.-Patentschrift anordnung für Halbleiterbauelemente mit verschiede- 3 018 424). Nachteilig auf Grund allgemeiner physinen elektrischen Potentialen.und mit für Flüssigkeits- ,kalischer Erkenntnisse, ist, daß elektrisch nicht kühlung ausgelegten metallischen Kühlkörpern, wo- leitendes Material auch keine gute Wärmeleitfähigbei als Kühlflüssigkeit Wasser vorgesehen ist unef die 55 keit besitzt, so daß die Wirksamkeit der Kühlung in einzelnen Kühlkörper einer Kühlkörperanordnung dieser bekannten Ausführungsform stark herabim Kühlflüssigkeitskreislauf in Reihe Hegen, wobei gesetzt wird.
zwischen den einzelnen Kühlkörpern zur Isolierung Bekannt ist es auch, einanodige Eisengleichrichter
und Abdichtung Formstücke vorgesehen sind. über Isolierstücke mit Kühlwasser zu kühlen
Um bei Stromrichtern hoher Leistung, welche aus 60 (deutsche Auslegeschrift 104 558). Nachteilig ist, daß Halbleiterbauelementen aufgebaut sind, die als diese Eisengleichrichter sich für einen Einbau in eine Wärme anfallenden elektrischen Verluste abzuführen, Anlage mit kleiner Abmessung nicht eignen und daß sind bereits metallische Kühlkörper vorgesehen eine elektrische Verbindung zwischen den Eisenworden, welche ihrerseits die anfallende Wärme- gleichrichter-Gefäßen über das Kühlwasser besteht, menge in ein vorbeiströmendes Kühlmittel ableiten. 65 Man hat versucht, die mangelnde Isolierfähigkeit So wird im deutschen Gebrauchsmuster 1 893 188 des Isolierwassers durch Verwendung von Öl zu umeine Vorrichtung zur Zwangskühlung von Halbleiter- gehen (deutsche Patentanmeldung A 14 670). Nachbauelementen mittels flüssiger oder gasförmiger teilig dabei ist die geringe Wärmeübergangszahl von
DE19651489690 1965-06-30 1965-06-30 Kühlanordnung für Halbleiterbauelemente mit verschiedenen elektrischen Potentialen Expired DE1489690C3 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEB0082620 1965-06-30

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE1489690A1 DE1489690A1 (de) 1969-05-08
DE1489690B2 DE1489690B2 (de) 1973-06-28
DE1489690C3 true DE1489690C3 (de) 1974-01-17

Family

ID=6981570

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19651489690 Expired DE1489690C3 (de) 1965-06-30 1965-06-30 Kühlanordnung für Halbleiterbauelemente mit verschiedenen elektrischen Potentialen

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE1489690C3 (de)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2160001C2 (de) * 1971-12-03 1974-01-10 Siemens Ag, 1000 Berlin U. 8000 Muenchen Halbleiteranordnung, insbesondere Thyristorbaugruppe

Also Published As

Publication number Publication date
DE1489690A1 (de) 1969-05-08
DE1489690B2 (de) 1973-06-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0142678B1 (de) Halbleiterventil
DE2204589A1 (de) Kuehlanordnung fuer flache halbleiterbauelemente
DE1589808C3 (de) Vorrichtung zur Materialverformung durch magnetische Kräfte
DE112009004685B4 (de) Leiter einer elektrischen Hochspannungsvorrichtung
DE3215192A1 (de) Einspannvorrichtung fuer scheibenfoermige halbleiter-bauelemente
EP0234021B1 (de) Vorrichtung für eine Flüssigkeitskühlung eines elektrischen Bauelementes, insbesondere Halbleiter-Bauelementes
DE102017120725A1 (de) Entwärmungsvorrichtung für eine elektrische leitung, damit ausgestattete leitungsanordnung und verfahren zum entwärmen einer elektrischen leitung
DE1489690C3 (de) Kühlanordnung für Halbleiterbauelemente mit verschiedenen elektrischen Potentialen
DE2415893A1 (de) Kuehlvorrichtung
DE3001809A1 (de) Leistungskondensator mit hoher waermeableitung
DE2951521A1 (de) Fluessigkeitsgekuehlte halbleitereinrichtung
DE2257720C3 (de) Wassergekühlte Kabelanlage
DE4420564C2 (de) Spannverband eines Stromrichters zur Flüssigkeitskühlung elektrischer Bauelemente
AT254946B (de) Baueinheit für Geräte der Nachrichtentechnik
DE3132112A1 (de) Kuehlvorrichtung fuer schaltungselemente, die waerme erzeugen
DE102011119755A1 (de) Kühlvorrichtung und Kühlsystem
DD205300A1 (de) Kuehlanordnung fuer wassergekuehlte halbleiterbauelemente mit verschiedenen elektrischen potentialen
DE1514511C3 (de) Anordnung mit elektrisch zwangsgekühlten Halbleiterbauelementen
DE3126790A1 (de) Kuehlkoerper zur kombinierten kuehlung von luft und einem fluessigen medium mit einem gemeinsamen kuehlmedium
DE1614521C3 (de) Kühlvorrichtung für Halbleiterkörper
DE4025885C2 (de) Halbleitersäule
DE1301853B (de) Hochleistungssicherung
DE2103982B2 (de) Mit isolierender Flüssigkeit gekühlter Stromrichter
DE3130896C2 (de) Anordnung zur Kühlung von Halbleitern über Kühlkörper
DE2608021C2 (de) Drehstromkabelsystem für innen wassergekühlte Hochleistungskabel ohne getrennteKühlmittelrückführung

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
E77 Valid patent as to the heymanns-index 1977
EHJ Ceased/non-payment of the annual fee