DE1464282A1 - Regelvorrichtung zum Korrigieren von Bildfehlern eines elektronenoptischen Systems - Google Patents

Regelvorrichtung zum Korrigieren von Bildfehlern eines elektronenoptischen Systems

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DE19621464282
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Franken Adrianus Jacobus Jozef
Dorsten Adrianus Cornelis Van
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Philips Gloeilampenfabrieken NV
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/153—Electron-optical or ion-optical arrangements for the correction of image defects, e.g. stigmators

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