DE1248819B - - Google Patents
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- H01J41/20—Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps with ionisation by means of cold cathodes using gettering substances
Description
DEUTSCHES
PATENTAMT
AUSLEGESCHRIFT
Int. Cl.:
HOIj
Deutsche Kl.: 21g-13/30
Nummer: 1 248 819
Aktenzeichen: B 66185 VIII c/21 g
Anmeldetag: 2. März 1962
Auslegetag: 31. August 1967
Die Erfindung betrifft eine mit Hochvakuum arbeitende Elektronenröhre, die in dem Hauptfeld einer
Magnetanordnung angeordnet ist.
Hochvakuumelektronenröhren der hier zur Erörterung stehenden Art umfassen Schwingungs- 5
erzeugungsröhren und Verstärkerröhren und Modulatorröhren, insoweit solche Röhren mit einem außerhalb
der Röhre erzeugten Magnetfeld arbeiten und die Arbeitsweise einer solchen Röhre im wesentlichen
auf der Elektronenemission im Hochvakuum beruht.
Die Lebensdauer derartiger Röhren wird dadurch begrenzt, daß störende Gase, die in den Metallteilen
der Röhre okkludiert sind, frei gemacht werden. Vergiftungserscheinungen der Kathoden, Zerstäubung
derselben, schlechte Ausgangsleistung und viele andere zu beanstandende Erscheinungen ergaben
sich unter diesen Verhältnissen. Die Beseitigung schädlicher frei gemachter Gase im Wege des
Vakuumpumpverfahrens ist in letzter Zeit wesentlich verbessert worden, wenn jedoch die Röhre fertig
hergestellt ist und abgeschmolzen ist, ergab sich bisher keine Möglichkeit, frei werdende Gase zu beseitigen.
Zu dem Zweck, die Lebensdauer der Hoch-Vakuumelektronenröhre zu verbessern, sieht die
Erfindung vor, daß mit dem Hochvakuumraum der Röhre eine in dem Streufeld der Magnetanordnung
angeordnete Ionengetter-Vakuumpumpe verbunden ist. Es ist bereits bekannt, eine mit einer Ionenentladung
in einem Magnetfeld arbeitende Pumpenanordnung oder Vakuummeßanordnung unmittelbar
an einer Röntgenröhre vorzusehen. Die Erfindung schafft jedoch eine selbstpumpende Elektronenröhre,
bei der eine gesonderte Magnetanordnung für die Ionengetter-Vakuumpumpe eingespart wird. Die
Pumpenanordnung kann außerordentlich klein sein und wird allein durch eine zugeführte Gleichspannung
betrieben. Die Erfindung ist besonders bei gedrängt ausgebildeten Elektronenröhren von Interesse.
Übliche Elektronenröhren können so wieder nach Betrieb oder nach längerer Lagerung auf ihre
gewünschte Spitzenleistung gebracht werden, wenn eine Messung des Vakuums gezeigt hat, daß schädliche
Gase sich entwickelt haben. Röhren, die jetzt nach einer bestimmten Betriebszeit ersetzt werden,
können bei Anwendung der Erfindung eine längere Zeit betrieben werden, wobei die Betriebszeitdauer
durch die Sättigung der Pumpenanordnung begrenzt ist. Infolge der erhöhten Lebensdauer und des besseren
maximalen Wirkungsgrades lassen sich beträchtliche Ersparnisse bei dem Ersatz der Röhren erzielen.
Hochvakuumelektronenröhre mit
Magnetanordnung
Magnetanordnung
Anmelder:
Bomac Laboratories, Inc.,
Beverly, Mass. (V. St. A.)
Vertreter:
Dr. phil. G. B. Hagen, Patentanwalt,
München-Solln, Franz-Hals-Str. 21
Als Erfinder benannt:
Herbert Hinquon Chun,
Marblehead, Mass. (V. St. A.)
Herbert Hinquon Chun,
Marblehead, Mass. (V. St. A.)
Beanspruchte Priorität:
V. St. v. Amerika vom 6. März 1961 (93 399)
Räumlich besonders vorteilhaft bei einem Magnetron ist eine Anordnung gemäß der Erfindung,
bei der die Magnetanordnung aus einander gegenüberliegend angeordneten U-Permanentmagneten besteht,
die mit ihren Polschuhstirnflächen an das Gehäuse der Magnetronröhre angesetzt sind, und die
Ionengetterpumpe in dem U-Innenraum eines der Permanentmagneten angeordnet ist.
Vorteilhaft ist die Ionengetterpumpe zylindrisch ausgebildet.
Die Erfindung wird im folgenden an Hand schematischer Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt
F i g. 1 eine schematische Seitenansicht einer Ausführungsform
der Erfindung, wobei es sich um eine Magnetronröhre handelt, wobei die Röhre von der
Ausgangsseite her betrachtet ist,
F i g. 2 eine um 90° versetzte Darstellung der in F i g. 1 dargestellten Anordnung, wobei ein Teil der
Magnetanordnung abgeschnitten dargestellt ist, und
F i g. 3 eine perspektivische Darstellung des Ausführungsbeispiels
der Erfindung.
709 639/418
Die Zeichnungen zeigen eine Magnetron-Schwingungserzeugerröhre, die aus einem hochevakuierten
Vakuumgefäß 1 besteht, in welchem die Kathode und die unterteilte Anode an sich bekannter Bauart
untergebracht sind.
Äußere Magneten 3 und 4 stoßen an das Gehäuse der Vakuumröhre an und sind im wesentlichen
von U-Form und liefern das magnetische Feld, welches für den Betrieb einer solchen Röhre erforderlich
ist. Der Auskoppelflansch 2 ist üblicher Bauart, und ein Ansatzstutzen für die Glühkathode ist
mit 5 bezeichnet; mit 6 sind Kühlrippen bezeichnet, und 7 ist eine Abstimmvorrichtung, die ein Zahnrad
8 umfaßt.
Bei der Röhre gemäß der Erfindung ist eine aus nur einer Zelle bestehende ionische Getterpumpe 9
vorgesehen und in dem Innenraum der parallelen Schenkel des Magneten 4 angeordnet. Die Pumpe 9
steht mit dem Inneren des Röhrengehäuses 1 durch ein Verbindungsrohr 12 in Verbindung. Die Pumpenanordnung
9 ist innerhalb des Magneten 4 dargestellt, es kann jedoch der Innenraum des Magneten
3 in ähnlicher Weise ausgenutzt werden. Gegebenenfalls können zwei oder mehr Pumpen
Anwendung finden.
Die Arbeitsweise der ionischen Getterpumpe soll im nachstehenden kurz erörtert werden. Derartige
Pumpen sind in ihren Einzelheiten in dem Aufsatz von L. D. Hall in der Zeitschrift »Review Scientific
Instruments«, Mai i958, S. 367 bis 370, beschrieben.
Es wird eine Glimmentladung an einer kalten Kathode erzeugt und zwischen einer Anode und
einer Mehrzahl plattenförmiger Kathoden aufrechterhalten, wobei eine geeignete positive Spannung an
die Anode gelegt wird. Die plattenförmige Kathodenanordnung und das Gehäuse der Röhre befinden sich
auf Erdpotential. Die Elektrodenteile der Pumpenanordnung bestehen aus chemisch reaktivem Material,
beispielsweise aus Titan, und es ist ein magnetisches Feld von mindestens 1000 Gauß oder mehr
vorgesehen, welches senkrecht die Kathodenplatten durchsetzt. Die zu der Anode fließenden Elektronen
werden unter dem Einfluß des elektrischen Feldes und eines starken magnetischen Feldes in Spiralbahnen
gebracht. Die beträchtlich vergrößerte Weglänge der Elektronen erhöht die Wahrscheinlichkeit
des Zusammenstoßes zwischen Elektronen und Gasmolekülen. Diese Zusammenstöße erzeugen Gasionen
und setzen in großer Menge Elektronen frei. Die freien Elektronen wiederum stoßen mit anderen
Gasmolekülen zusammen und setzen Ionen und Elektronen frei. Die positiv geladenen Gasionen
treffen auf die. aus Titan bestehende plattenförmig
ausgebildete Kathode, so daß Titan-Atome zerstäuben und sich auf der Anode niederschlagen. Die
frisch niedergeschlagenen Titan-Atome bilden chemische Kombinationen mit aktivem Gas, wodurch
stabile Verbindungen erzeugt werden. Chemisch inerte Gasatome werden ebenfalls dadurch entfernt,
daß dieselben in der Kathode eingegraben werden und an der Anode eingefangen werden.
Bei der Röhre nach der Erfindung wird ein äußerer magnetischer Kreis verwendet, der in seinem Streufeld
eine magnetische Feldstärke von 1000 bis 1500 Gauß liefert, und zwar an der mit 15 bezeichneten
Stelle. Unter Anwendung eines derartigen Magneten wird eine nur eine Anode besitzende
ionische Getter-Vakuumpumpe 9 in die Nähe der Kühlrippen 6 gebracht, wo die größte magnetische
Feldstärke herrscht. Das Verbindungsrohr 12 hatte einen Durchmessser von etwa 5 mm und die Pumpgeschwindigkeit
betrug etwa 0,2 1 pro Sekunde, wobei eine positive Gleichspannung von 1000.bis 4000 Volt
an die Klemme 11 des Fortsatzes 10 gelegt wurde.
Die zusammengesetzte Elektronenröhre wird unter Anwendung sämtlicher Evakuierungsschritte in üblicher
Weise evakuiert, wobei eine geeignete Pumpenanordnung an den Pumpstutzen 13 angeschlossen
wurde, bis ein Druck von 10~7 mm Hg gemessen wurde. Es wurde dann die Pumpleitung abgezogen
und an der Stelle 14 verschlossen, so daß eine vollständige betriebsfähige Röhre entsteht, an die eine
äußere Ionengetterpumpe angeschlossen ist. Eine beachtliche Eigenschaft einer ionischen Getterpumpe
liegt darin, daß der Pumpstrom in linearer Beziehung zur Dichtigkeit der Gasmoleküle in dem Vakuumgefäß
steht. Durch Anwendung eines empfindlichen Mikro-Amperemeters zum Bestimmen des Pumpstromes
kann daher der Gasgehalt in der Vakuumröhre direkt angezeigt werden.
Da der Wirkungsgrad sämtlicher Hochvakuum-Elektronenröhren bei Anwesenheit des Gases in der
Elektronenröhre verschlechtert wird und die Lebensdauer verringert wird, kann die angesetzte äußere
Pumpe dem Zwecke dienen, lediglich durch Zuführen einer positiven Gleichspannung das ursprüngliche
Vakuum in der Röhre zu verbessern. Die Versuche haben gezeigt, daß es unmittelbar erforderlich ist,
den Druck auf den Betrag von 10~7 mm Hg oder besser zu verringern, wenn die Ablesung des Entladungsstromes
auf einen Druck von 10~4 bis 10~5 mm Hg schließen läßt. Die hohe Lebensdauer
einer solchen Pumpe ist ebenfalls von Wichtigkeit, es hat sich nämlich gezeigt, daß kommerziell brauchbare
ionische Getterpumpen mit Titan-Elektroden eine praktisch unbegrenzte Lebensdauer bis zu
100 000 Stunden haben.
Es ist offensichtlich, daß elektronische Entladungsröhren,
die mit einem äußeren Magnetfeld arbeiten, gemäß der Erfindung mit einer höheren Lebensdauer
betrieben werden können und länger gelagert werden können, als dies bisher der Fall war. Abgesehen von
Magnetronröhren, können angesetzte Pumpen auch bei Röhren mit sich kreuzenden Feldern, Amplitronröhren
oder Stabilitronröhren verwendet werden, wo ein hinreichender Platz in dem Streufeld von
1000 Gauß oder mehr eines Magneten vorhanden ist.
Im vorstehenden Zusammenhang wurde eine nur aus einer Zelle bestehende Ionengetterpumpe erörtert;
es können jedoch in der Pumpe auch Elektrodenanordnungen verwendet werden, die aus einer Vielzahl
Zellen bestehen, wenn es sich um Röhren eines größeren Innenvolumens handelt.
Claims (2)
1. Hochvakuumelektronenröhre, die in dem Hauptfeld einer Magnetanordnung angeordnet ist,
dadurch gekennzeichnet, daß mit dem Hochvakuumraum der Röhre (1) eine in dem Streufeld der Magnetanordnung (4) angeordnete
Ionengetter-Vakuumpumpe (9) verbunden ist.
2. Hochvakuumelektronenröhre nach Anspruch 1, wobei die Röhre als Magnetron ausgebildet
ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetenanordnung aus einander gegenüberlie-
gend angeordneten U-Permanentmagneten (3, 4) besteht, die mit ihren Polschuhstirnflächen an das
Gehäuse der Magnetronröhre angesetzt sind, und daß die Ionengetterpumpe (9) in dem U-Innenraum
eines der Permanentmagneten angeordnet ist.
3. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Ionengetterpumpe
(9) zylinderförmig ausgebildet ist.
In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschrift Nr. 634 981.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
709 639/418 8. 67
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