DE1236900B - Device for producing metallic coatings on plate-shaped bodies or workpiece carriers by vacuum evaporation - Google Patents
Device for producing metallic coatings on plate-shaped bodies or workpiece carriers by vacuum evaporationInfo
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
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- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
Description
Vorrichtung zum Herstellen von metallischen überzögen auf plattenförmigen Körpern oder Werkstückträgern durch Vakuum-Aufdampfen Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Herstellen von metallischen überzögen auf plattenförmigen Körpern oder plattenförmigen Werk stückträgern durch Aufdampfen im Hochvakuum, in welcher die Platten in einem Vakuumbehälter von einem Stapel durch eine Fördereinrichtung einzeln erfaßt und über eine Anzahl von Verdampfungsquellen geführt werden.Device for the production of metallic coatings on plate-shaped Bodies or workpiece carriers by vacuum deposition The present invention relates to a device for the production of metallic coatings on plate-shaped Bodies or plate-shaped workpiece carriers by vapor deposition in a high vacuum, in which the plates in a vacuum container from a stack by a conveyor individually detected and passed through a number of evaporation sources.
Bei den bekannten Vorrichtungen dieser Art ist innerhalb des Vakuumbehälters nur eine kleine Zahl von Platten untergebracht, die unter Vakuum bedampft werden sollen. Der Verdampfungsvorgang geht in verhältnismäßig kurzer Zeit vonstatten. Anschließend werden dann die Behälter geöffnet und die Platten herausgenommen und durch neue ersetzt. Der Hauptzeitaufwand beim Arbeiten mit diesen bekannten Vorrichtungen liegt beim Evakuieren, das zur Schaffung der Bedampfungsbedingungen erforderlich ist, während der Bedampfungsvorgang selbst nur einen Bruchteil dieser gesamten Behandlungszeit in Anspruch nimmt.In the known devices of this type is inside the vacuum container only a small number of plates accommodated, which are vapor-deposited under vacuum should. The evaporation process takes place in a relatively short time. Then the containers are then opened and the plates are removed and replaced by new ones. The main time spent working with these known devices lies in the evacuation, which is necessary to create the steaming conditions is, during the steaming process itself only a fraction of this total treatment time takes.
Das Ziel der vorliegenden Erfindung besteht nun darin, diesen Nachteil zu beseitigen.The aim of the present invention is now to overcome this disadvantage to eliminate.
Die Erfindung hat sich daher die Aufgabe gestellt, eine solche Vorrichtung so zu gestalten, daß nach der erfolgten Evakuierung des Vakuumbehälters eine Vielzahl von plattenförmigen Körpern bedampft werden kann.The invention has therefore set itself the task of providing such a device to be designed so that after the evacuation of the vacuum container a large number can be vaporized by plate-shaped bodies.
Diese Aufgabe. wird in der Weise gelöst, daß erfindungsgemäß der Vakuumbehälter durch eine Zwischenwand in zwei übereinanderliegende Räume unterteilt ist, wobei der untere Raum als Stapelraum und zum Einhängen der mit Leitrollen versehenen Platten auf Führungsschienen dient und eine Fördereinrichtung vorgesehen ist, welche die Platten an einem Stapelende einzeln erfaßt und sie in Form eines endlosen Bandes in waagerechter Lage über die im oberen Bedampfungsraum angeordneten Bedampfungsquellen und schließlich zum anderen Stapelende führt.This task. is solved in such a way that according to the invention the vacuum container is divided by a partition into two superimposed rooms, wherein the lower room as a stacking room and for hanging the panels with guide rollers is used on guide rails and a conveyor is provided which the Plates at one end of the stack grasped individually and they are in the form of an endless belt in a horizontal position over the steaming sources arranged in the upper steaming room and finally leads to the other end of the stack.
Bei einer bevorzugten Ausbildungsform der Erfindung besteht die Fördereinrichtung aus einer über Leitrollen geführten endlosen Förderkette, die Mitnehmer trägt, welche in Eingriff mit den entsprechenden seitlichen Ansätzen an den Platten gelangen.In a preferred embodiment of the invention, there is the conveying device from an endless conveyor chain, which is guided by guide rollers and which carries carriers come into engagement with the corresponding side lugs on the plates.
Die Vorrichtung kann jedoch auch in der Weise ausgebildet sein, daß zum Fördern der einzelnen, jeweils an ihren oberen und unteren Kanten gelenkartig zu einem endlosen Gliederband miteinander verbundenen Platten zwei vieleckige Drehtrommeln vorgesehen sind. Der Bedampfungszone kann eine Vorwärmezone mit Heizquellen vorgeschaltet sein.However, the device can also be designed in such a way that for conveying the individual, in each case articulated at their upper and lower edges Two polygonal rotating drums connected to one another to form an endless link belt are provided. A preheating zone with heat sources can be connected upstream of the steaming zone be.
Vorteilhaft ist es, wenn außer der Bedampfungszone eine unabhängig von den Bedampfungsquellen einschaltbare Glimmentladezone vorgeschaltet ist.It is advantageous if, in addition to the steaming zone, one is independent glow discharge zone that can be switched on by the vaporization sources is connected upstream.
Dabei können die in größerer Zahl angeordneten Bedampfungsquellen unabhängig voneinander ein-und ausschaltbar sein. Diese Anordnung ermöglicht es, mit sämtlichen Bedampfungsquellen gleichzeitig mit entsprechend mäßiger Verdampfungsgeschwindigkeit zu arbeiten oder aber die Bedampfungsquellen einzeln nacheinander zu betreiben, so daß mit Abnahme der Füllung der einen Bedampfungsquelle die nächste zugeschaltet werden kann bzw. die vorhergehende abgeschaltet wird.In this case, the vaporization sources arranged in a larger number can be used can be switched on and off independently of one another. This arrangement enables with all evaporation sources at the same time with a correspondingly moderate evaporation rate to work or to operate the steaming sources individually one after the other, so that as the filling of one vapor source decreases, the next is switched on can be switched off or the previous one is switched off.
Gemäß weiterer Ausbildung der Erfindung ist nach den Bedampfungsquellen eine Meßbrücke angeordnet, mit der durch Messen des elektrischen Widerstandes die Stärke der aufgedampften Schicht ermittelt wird.According to a further embodiment of the invention is after the vaporization sources arranged a measuring bridge, with which by measuring the electrical resistance Thickness of the vapor-deposited layer is determined.
Die einzeln nebeneinander angeordneten Bedampfungsquellen können innerhalb des Bedampfungsraumes in einen gemeinsamen Trägerrahmen. angeordnet sein, so daß sie leicht ausfahrbar sind.The vaporization sources, which are arranged individually next to one another, can be used within of the steaming room in a common support frame. be arranged so that they are easily deployable.
An Hand der Zeichnungen ist die Erfindung beispielsweise beschrieben und dargestellt. Es zeigt F i g. 1 einen Querschnitt durch eine erfindungsgemäße Vorrichtung, bei der die einzelnen Platten in einem Stapelraum auf Gleitschienen nebeneinander hängen, F i g. 2 einen Längsschnitt durch die gleiche Vorrichtung, F i g. 3 einen Querschnitt durch eine Vorrichtung, bei der die einzelnen Platten gelenkig miteinander verbunden sind, F i g. 4 einen Längsschnitt durch die gleiche Vorrichtung. Bei der in F i g. 1 und 2 gezeigten Vorrichtung ist der Vakuumbehälter 1 mit einer Beschickungstür 2 und Füßen 3 ausgerüstet. Erforderlichenfalls kann an der der Beschickungstür 2 gegenüberliegenden Stirnseite 1 eine weitere Tür angebracht sein.The invention is described, for example, with reference to the drawings and shown. It shows F i g. 1 shows a cross section through an inventive Device in which the individual panels are placed on slide rails in a stacking room hang side by side, F i g. 2 a longitudinal section through the same device, F i g. 3 shows a cross section through a device in which the individual plates are articulated together, F i g. 4 is a longitudinal section through the same Contraption. In the case of the in FIG. 1 and 2 is the device shown the vacuum container 1 is equipped with a loading door 2 and feet 3. If necessary On the end face 1 opposite the loading door 2, another door can be installed to be appropriate.
Der Innenraum des Behälters 1 wird durch eine horizontale Zwischenwand 4 in zwei Kammern 5 und 6 unterteilt. Der untere Raum 6 dient als Stapelraum. In ihm sind die zu bedampfenden Platten 7 bzw. die plattenförmigen Träger für kleinere zu bedampfende Gegenstände untergebracht. Wie insbesondere aus F i g. 1 ersichtlich ist, sind an den Platten 7 seitliche Ansätze 8 angebracht, die mit Gleitrollen 9 ausgerüstet sind. Diese Gleitrollen 9 laufen auf den Führungsschienen 10, die an den Seitenwandungen 11 des Stapelraumes 6 angebracht sind.The interior of the container 1 is divided into two chambers 5 and 6 by a horizontal partition 4. The lower room 6 serves as a stacking room. The plates 7 to be steamed or the plate-shaped supports for smaller objects to be steamed are accommodated in it. As in particular from FIG. 1 as can be seen, lateral lugs 8, which are equipped with sliding rollers 9, are attached to the plates 7. These sliding rollers 9 run on the guide rails 10 which are attached to the side walls 11 of the stacking space 6.
Wie aus F i g. 2 ersichtlich ist, sind im Stapelraum 6 eine ganze Anzahl derartiger Platten nebeneinander untergebracht. Die Entnahme dieser Platten 7 und ihr Transport vorbei an den Bedampfungsquellen 12 wird mit Hilfe einer endlosen Kette 13 bewirkt, die über eine Anzahl von größeren und kleineren Leitrollen 14 bzw. 15 läuft. Der Antrieb geht von der mit einem eingezeichneten Pfeil versehenen Leitrolle 14 aus und ist regelbar. Seitlich an dem Gelenkbolzen der Kette 13 sitzen Mitnehmer, die -die Ansätze 8 der Platten 7 untergreifen und die so gestaltet und gesteuert sind, daß jeweils die am weitesten rechts im Stapel angeordnete Platte 7 von ihnen erfaßt und mitgenommen wird. Die Platten hängen dabei zunächst noch senkrecht nach unten, sie gelangen aber dann durch entsprechende Führungseinrichtungen zunächst in eine schräge und dann eine waagerechte Lage, bis sie schließlich am rechten Umkehrende der Kette 13 wieder senkrecht nach unten durchhängen und auf die Gleitschienen 10 aufgeschoben werden.As shown in FIG. 2 as can be seen, a number of such plates are accommodated next to one another in the stacking space 6. The removal of these plates 7 and their transport past the steaming sources 12 is effected with the aid of an endless chain 13 which runs over a number of larger and smaller guide rollers 14 and 15, respectively. The drive is based on the guide roller 14 marked with an arrow and can be regulated. On the side of the hinge pin of the chain 13 are drivers that engage under the lugs 8 of the plates 7 and are designed and controlled in such a way that the plate 7 located furthest to the right in the stack is grasped and taken along by them. The plates are initially still hanging vertically downwards, but then by means of appropriate guide devices they are first in an inclined and then a horizontal position until they finally sag again vertically at the right end of the chain 13 and are pushed onto the slide rails 10.
In der auf der rechten Seite der F i g. 2 dargestellten Schräglage laufen die Platten 7 zwischen elektrischen Heizquellen 16 hindurch. Dabei werden sie zur Erreichung einer bestimmten Temperatur mit einer bestimmten Geschwindigkeit und in einer bestimmten Entfernung an diesen elektrischen Heizkörpern 16 vorbeigeführt und den elektrischen Wärmestrahlen ausgesetzt.In the right-hand side of FIG. In the inclined position shown in FIG. 2, the plates 7 run between electrical heating sources 16 . In order to achieve a certain temperature, they are guided past these electric heating elements 16 at a certain speed and at a certain distance and are exposed to the electric heat rays.
Nach dem Passieren der Heizzone werden die Platten 7 in waagerechter Lage an den Bedampfungsquellen 12 vorbeigeführt. Der Abstand derselben von der unteren Fläche der Platte 7 ist einstellbar, und die Beheizung erfolgt unabhängig voneinander.After passing through the heating zone, the plates 7 are in a horizontal position Position passed the vaporization sources 12. The distance of the same from the lower one The area of the plate 7 is adjustable, and the heating takes place independently of one another.
Diese nebeneinander angeordneten Bedampfungsquellen können in einem gemeinsamen Trägerrahmen angeordnet sein, der leicht ausfahrbar ist. In den einzelnen Bedampfungsquellen 12 können auch verschiedene Bedampfungsstoffe untergebracht sein.These vaporization sources arranged next to one another can be used in one be arranged common support frame, which is easily extendable. In each of Vaporizing sources 12 can also be accommodated for various vaporizing substances.
Die Seitenwandungen 11 des Stapelraumes 6 sind mit Durchbrechungen 17 versehen. In gleicher Weise ist die untere dem Stapelraum 6 abschließende Trennwand 18 mit Durchbrechungen 19 versehen. Ein Ventilator 29, der am Ende des unteren Kanals 21 angebracht ist, sorgt für den Umlauf der Luft innerhalb des Stapelraumes 6, wie es durch die eingezeichneten Pfeile veranschaulicht ist. Bei dieser Umwälzung der Luft, die vor der Evakuierung des Behälters 1 erfolgt, wird die Luft durch die Öffnungen 19 in der unteren Wand 18 abgesaugt und seitlich durch die Öffnungen 17 in den Seitenwandungen 11 in das Innere des Stapelraumes 6 eingeführt. Die Luft tritt dabei zwischen den beheizten Rohren 20, die als Heizschlange ausgebildet sind, hindurch.The side walls 11 of the stacking space 6 are provided with openings 17. In the same way, the lower partition 18 closing off the stacking space 6 is provided with openings 19. A fan 29, which is attached to the end of the lower channel 21 , ensures the circulation of the air within the stacking space 6, as is illustrated by the arrows shown. During this circulation of the air, which takes place before the evacuation of the container 1, the air is sucked out through the openings 19 in the lower wall 18 and introduced laterally through the openings 17 in the side walls 11 into the interior of the stacking space 6. The air passes between the heated pipes 20, which are designed as heating coils.
Diese Rohre 20 können auch mit einem Kühlmittel beschickt werden. Die Evakuierung des Behälters 1 kann an beliebiger Stelle erfolgen. Bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel ist zu diesem Zwecke der seitlich angebrachte Stutzen 22 vorgesehen.These tubes 20 can also be charged with a coolant. The evacuation of the container 1 can take place at any point. In the embodiment shown, the laterally attached connector 22 is provided for this purpose.
Durch das Rückführen je einer Platte 7 auf der linken Stapelseite wird durch die linke untere Umlenkrolle14 der ganze Stapel jeweils um eine Plattenstärke nach rechts verschoben unter der Voraussetzung, daß eine bestimmte Anzahl von Platten 7 im Stapelraum untergebracht ist.By returning one plate 7 on the left side of the stack the entire stack is increased by one plate thickness by means of the lower left pulley 14 shifted to the right provided that a certain number of plates 7 is housed in the stacking room.
Durch entsprechende Einstellung der beiden Leitrollen 15 (F i g. 2) wird mit Sicherheit nur jeweils die letzte Platte 7 des Stapels entnommen. Sie wird dann von den Mitnehmern mit Hilfe der Führungsschienen 14a schräg aufwärts und nach dem Vorbeilaufen an den Bedampfungsquellen 12 mit Hilfe der Führungsschienen schräg abwärts geführt. Die waagerechte Lage der Platten 7 im oberen Tram wird mit Hilfe der winkligen Ansätze 10a der Führungsschiene 10 gesichert. Die Abstände der Mitnehmer auf der Kette 13 entsprechen der Breite der Platten 7, so daß diese dann im oberen Trum dicht nebeneinanderliegen, wie es aus F i g. 2 ersichtlich ist.By appropriately setting the two guide rollers 15 (FIG. 2), only the last plate 7 of the stack is removed with certainty. It is then guided obliquely upwards by the drivers with the aid of the guide rails 14a and, after it has passed the steaming sources 12, obliquely downwards with the aid of the guide rails. The horizontal position of the plates 7 in the upper tram is secured with the help of the angled lugs 10a of the guide rail 10. The distances between the drivers on the chain 13 correspond to the width of the plates 7, so that they are then close to one another in the upper run, as shown in FIG. 2 can be seen.
Bei der in F i g. 3 und 4 gezeigten Ausbildung handelt es sich im wesentlichen um die gleichen Bauelemente, die auch bei der Vorrichtung gemäß F 1 g. 1 und 2 vorhanden sind. Es sind jedoch bei der Vorrichtung nach Fi.g. 3 und 4 die einzelnen Platten 7a an ihren oberen und unteren Enden gelenkartig miteinander verbunden. Sie liegen zwar innerhalb des Stapelraumes 6 mit ihren Leitrollen 9 in gleicher Weise auf den Führungsschienen 10 auf, hängen aber nicht senkrecht durch, sondern liegen, wie aus F i g. 4 ersichtlich ist, im Stapelraum 6 schräg nebeneinander, so daß sich von der Seite gesehen eine Zickzacklinie ergibt. Der Transport der einzelnen Platten 7a vorbei an den Bedampfungsquellen 12 und den elektrischen Heizquellen 16a erfolgt mit Hilfe der beiden vieleckigen Drehtrommeln 23, 24, die in der Pfeilrichtung in regelbarer Geschwindigkeit um ihre Achse 25, 26 umlaufen. Die Platten 7a legen sich dabei jeweils an die entsprechende Vieleckseite der Drehtrommeln 23, 24 an. Wenn sie an den Bedampfungsquellen 12 vorbeilaufen, liegen sie mit ihren Leitrollen 9 waagerecht auf den oberen Schienen 27 des Bedampfungsraumes 5 auf. Sie werden daher in waagerechter Lage an den Bedampfungsquellen 12 vorbeigeführt. Der Umlauf der Heizluft durch den Stapelraum 6 und die Evakuierung erfolgt in ähnlicher Weise wie bei der in F i g.1 und 2 gezeigten Vorrichtung.In the case of the in FIG. 3 and 4 are essentially the same components that are also used in the device according to F 1 g. 1 and 2 are present. However, in the device according to Fi.g. 3 and 4, the individual plates 7a are connected to one another in an articulated manner at their upper and lower ends. Although they lie within the stacking space 6 with their guide rollers 9 in the same way on the guide rails 10, they do not sag vertically, but lie, as shown in FIG. 4 can be seen, in the stacking space 6 diagonally next to each other, so that there is a zigzag line seen from the side. The transport of the individual plates 7a past the vaporization sources 12 and the electrical heating sources 16a takes place with the aid of the two polygonal rotating drums 23, 24, which rotate around their axis 25, 26 in the direction of the arrow at a controllable speed. The plates 7a each lie against the corresponding polygonal side of the rotary drums 23, 24. When they pass the steaming sources 12, they rest with their guide rollers 9 horizontally on the upper rails 27 of the steaming room 5. They are therefore moved past the steaming sources 12 in a horizontal position. The circulation of the heating air through the stacking space 6 and the evacuation takes place in a similar manner to the device shown in FIGS.
Gegebenenfalls werden die zu bedampfenden Platten 7 bzw. 7a vor der Bedampfung in an sich bekannter Weise ein oder mehrere Male an einer Glimmentladezone vorbeigeführt, die zusätzlich zur Bedampfungseinrichtung vorgesehen ist. Es wird auf diese Weise ein gleichmäßigeres und festeres Haften der aufgedampften Schicht erreicht.If necessary, the plates 7 or 7a to be vaporized are in front of the Vapor deposition in a manner known per se one or more times on a glow discharge zone passed, which is provided in addition to the steaming device. It will in this way a more even and stronger adhesion of the vapor-deposited layer achieved.
Claims (7)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE1959H0035859 DE1236900B (en) | 1959-03-13 | 1959-03-13 | Device for producing metallic coatings on plate-shaped bodies or workpiece carriers by vacuum evaporation |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE1959H0035859 DE1236900B (en) | 1959-03-13 | 1959-03-13 | Device for producing metallic coatings on plate-shaped bodies or workpiece carriers by vacuum evaporation |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE1236900B true DE1236900B (en) | 1967-03-16 |
Family
ID=7152827
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE1959H0035859 Pending DE1236900B (en) | 1959-03-13 | 1959-03-13 | Device for producing metallic coatings on plate-shaped bodies or workpiece carriers by vacuum evaporation |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE1236900B (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2105167A1 (en) * | 1970-02-05 | 1971-10-28 | Optical Coating Laboratory Inc | Method and device for multilayer vapor deposition |
| EP1715078A1 (en) * | 2005-04-20 | 2006-10-25 | Applied Films GmbH & Co. KG | Continuous OLED coating apparatus |
| US8361230B2 (en) | 2005-04-20 | 2013-01-29 | Applied Materials Gmbh & Co. Kg | Magnetic mask holder |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2768098A (en) * | 1950-09-12 | 1956-10-23 | Siemens Ag | Method and apparatus for precipitating metal from the vaporous state onto plates, particularly for the production of selenium coated rectifier plates |
-
1959
- 1959-03-13 DE DE1959H0035859 patent/DE1236900B/en active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2768098A (en) * | 1950-09-12 | 1956-10-23 | Siemens Ag | Method and apparatus for precipitating metal from the vaporous state onto plates, particularly for the production of selenium coated rectifier plates |
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