DE1230243B - Verfahren zum Vergueten eines Waermereflexionsfilters - Google Patents

Verfahren zum Vergueten eines Waermereflexionsfilters

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DE1230243B
DE1230243B DEN25686A DEN0025686A DE1230243B DE 1230243 B DE1230243 B DE 1230243B DE N25686 A DEN25686 A DE N25686A DE N0025686 A DEN0025686 A DE N0025686A DE 1230243 B DE1230243 B DE 1230243B
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metal layer
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metal
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Dipl-Phys Dr Erhard Kauer
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Koninklijke Philips NV
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Philips Gloeilampenfabrieken NV
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    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • G02B5/208Filters for use with infrared or ultraviolet radiation, e.g. for separating visible light from infrared and/or ultraviolet radiation

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Description

  • Verfahren zum Vergüten eines Wärinereflexionsfilters Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Vergüten eines für einen Teil des sichtbaren Spektrums durchlässigen Wärmereflexionsfilters, das auf einer durchsichtigen Unterlage eine einzige dünne Metallschicht aus einem Metall mit einer Leitfähigkeit von minde-StenS 5 . 104 Q-I CM-1 und einer solchen Dicke aufweist, daß der Flächenwiderstand der Metallschicht zwischen 2 und 20 n beträgt.
  • Unter Flächenwiderstand ist der spezifische Widerstand des Schichtmaterials dividiert durch die mittlere Dicke der Schicht zu verstehen. Der Flächenwiderstand ist also der Widerstand einer quadratischen Schicht beliebiger Abmessung und konstanter Dicke.
  • Derartige Wärmereflexionsfilter sollen einerseits die auf sie auffallende Wärmestrahlung möglichst völlig reflektieren, andererseits das sichtbare Licht, zumindest für eine Wellenlänge, möglichst völlig durchlassen. Solche Filter finden Anwendung in Verbindung mit Lichtquellen, wie z. B. mit Natriumdampfentladungslampen, Projektionslampen.
  • Für Filter dieser Art werden in erster Linie gut leitende Metalle verwendet, wie Gold, Silber, Kupfer und Aluminium, welche, wenn sie in dünner Schicht vorliegen, von Natur aus angenähert die gewünschten Eigenschaften besitzen. Die Dicke der Metallschicht solcher Filter liegt zweckmäßigerweise zwischen 60 und 300 A. Der Träger kann aus Glas, Quarz oder auch aus für sichtbares Licht durchlässigem Kunststoff bestehen. Die Metal%chicht kann z. B. durch Bedampfen des Trägers im Vakuum mit dem gewünschten Metall erhalten werden.
  • Filter mit einfachen Metallschichten haben den Nachteil, daß entweder bei guter Durchlässigkeit im sichtbaren Gebiet die Ultrarotreflexion gering ist oder aber bei guter Ultrarotreflexion die Durchlässigkeit der sichtbaren Strahlung infolge der Reflexionsverluste und/oder Absorptionsverluste nicht genügend hohe Werte erreicht.
  • Es ist daher bekannt, an Stelle der einfachen Metallschicht zur Wärmereflexion Metallinterferenzfilter oder Interferenzfilter auf der Basis dielektrischer Schichten zu verwenden. Siehe dazu z. B. die deutsche Patentschrift 716 153, in der zur Beseitigung der Schwierigkeiten, die bei einfachen Metallschichten auftreten, vorgeschlagen wird, mindestens zwei metallisch reflektierende Schichten übereinander anzuordnen unter Zwischenfügung mindestens einer nicht metallisch reflektierenden Schicht. (Vgl. dazu auch die deutsche Patentschrift 721849.) Diese Vorschläge haben jedoch in der Lichttechnik bisher nicht zu praktischen Anwendungen geführt.
  • Es läßt sich z. B. zeigen, daß das Metallinterferenzfilter keinen Vorteil gegenüber einer einfachen Metallschicht bietet wenn man langwellige Ultrarotstrahlung von sichtbarem Licht trennen möchte. Bei 95 0/" Ultrarotreflexion besitzt ein solches Filter aus z. B. zwei Goldschichten mit dazwischenliegendem Dielektrikum für gelbes Licht (A etwa 5900 Ä) eine Durchlässigkeit von nur 35 0/0. Mit einer einfachen Goldschicht (Schichtdicke etwa 200 A) läßt sich bei, 95 0/0 Reflexion für langwelliges Ultrarot (5 p.m) eine Durchlässigkeit für gelbes Licht von 40 0/, erreichen.
  • Die Herstellung solcher Interferenzfilter ist weiter im Hinblick auf die engen Schichtdickentoleranzen schwierig und kostspielig, insbesondere wenn es sich um die Herstellung solcher Schichten in sphärischer oder zylindrischer Form, z. B. auf Lampenkolben, handelt.
  • Die Erfindung bezweckt nun bei einem Filter, das aus einer einfachen Metallschicht auf einem für sichtbares Licht durchlässigen Träger besteht, eine Vergrößerung der Durchlässigkeit für sichtbares Licht, ohne daß die Reflexion der Wärmestrahlung beeinträchtigt wird. 4 Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Vereinigung der folgenden Merkmale gelöst, daß auf die Metallschicht eine Schicht eines dielektrischen Materials mit einer Brechungszahl zwischen 1,6 und 3, vorzugsweise zwischen 1,9 und 2,5, so lange aufgetragen wird, bis das erste Minimum der Reflexion für eine ausgewählte Wellenlänge im sichtbaren Teil des Spektrums erreicht ist.
  • Betrachtet man als Beispiel ein Filter, das aus einer Goldschicht mit einer Dicke von etwa 130 Ä auf einem Glasträger besteht. Fällt sichtbares Licht von der Metallschichtseite ein, so ist das optische Verhalten der Metallschicht-Glasträger-Kombination durch folgende Größen gekennzeichnet: Reflexion etwa 200/" Absorption etwa 25 0/" Durchlässigkeit etwa 55 0/" bei A = 0,6 #Lin.
  • Da Reflexion R, Absorption A und Durchlässigkeit D durch die Beziehung R + A + D = 1 verknüpft sind, ist erkennbar, daß die Durchlässigkeit durch Verringerung der Reflexion angehoben werden kann.
  • Es wurde nun gefunden, daß es möglich ist, durch Verwendung eines Antireflexbelages die Reflexion im sichtbaren Spektralgebiet bei einfachen Metallfiltern zu vermindern, ohne die Eigenschaften der Filter im nahen und weiteren Ultrarot grundsätzlich zu ändern. Der Belag kann so gewählt werden, daß nur im nahen Ultrarot die Eigenschaften des Filters sich geringfügig verändern. Von etwa 2 #tra aufwärts sind einfache und nach der Erfindung vergütete Metallschichtfilter gleichwertig.
  • Um die gewünschten hchttechnischen Eigenschaften zu erreichen, muß sowohl die Metallschicht als auch die dielektrische Deckschicht bestimmten Bedingungen genügen.
  • Die Metallschicht, welche im wesentlichen das hohe Ultrarotreßexionsvermögen bewirkt, muß einen Flächenwiderstand zwischen 2 und 20 Ü bei einer Leitfähigkeit von mindestens 5 - 104 ü-1 cm-' aufweisen.
  • Die untere Grenze des Flächenwiderstandes darf nicht überschritten werden, da erfahrungsgemäß die Durchlässigkeit der Metallschicht für sichtbares Licht dann sehr gering wird (beispielsweise geringer als 10 0/,). Wird die obere Grenze von 20 n des Flächenwiderstandes überschritten, so sinkt das Reßexionsvermögen im Ultraroten auf Werte unterhalb von 80 0/" wie sie sich bereits mit Einfachschichten auf der Basis hochdotierter Metalloxyde erreichen lassen.
  • Die Begrenzung in der Leitfähigkeit ist gleichbedeutend damit, daß als Metallschichten nur solche aus gutleitenden Metallen in Frage kommen.
  • Die Eigenschaften der dielektrischen Deckschicht hängen wesentlich von der Eigenschaft der unvergüteten Metallschicht-Träger-Kombination ab.
  • Die dielektrische Deckschicht bewirkt eine weitgehende oder sogar vollkommene Entspiegelung der Metallschicht, sofern ihre Brechungszahl und Dicke geeignet gewählt werden. Zur Entspiegelung von Metallschichten, die den obengenannten Forderungen genügen, hat die Brechungszahl des Dielektrikums zwischen 1,6 und 3 zu liegen. Erst dadurch ist gewährleistet, daß die an der Grenzfläche Luft-Dielektrikum und Dielektrikuni-Metallschicht reflektierten Amplituden annähernd gleich sind, was eine der notwendigen Bedingungen für Entspiegelung ist. Die beste Anpassung wird erreicht, wenn die Brechungszahl zwischen 1,9 und 2,5 liegt. Die Brechungszahlen, die zur Entspiegelungtder erwähnten Metallschichten notwendig sind, liegen, wie ersichtlich, wesentlich höher als diejenigen, die z. B. für die Entspiegelung von Gläsern mittels Ein anderer A/4-Schichten wesentlicher gemeinhin Unterschied üblich sind gegenüber (n etwa 1,3), der Entspiegelung von Dielektrika ist, daß die zu verwendenden optischen Schichtdicken der 0. Ordnung stets kleiner als Al, sind, wobei A die Wellenlänge ist, für welche maximale Entspiegelung angestrebt wird. Dies hängt zusammen mit der Phasendiehung des reflektierten Lichtes, die von der Grenze Dielektrikum-Metall hervorgerufen wird. Für lichttechnische Zwecke kommen aus praktischen Erwägungen nur Schichten von 0. Ordnung in Frage, und zwar aus folgenden Gründen. Die zur 0. Ordnung gehörenden kleinen Dicken machen das Filter breitbandig, was für die meisten Anwendungen erwünscht ist. Aber selbst, wenn Breitbandigkeit nicht verlangt wird, wie z. B. im Falle -der Natriumlampe, ist das Arbeiten in 0. Ordnung schon deshalb vorzuziehen, weil an die Genauigkeit der Schichtdicke wesentlich geringere Forderungen zu stellen sind, als beim Arbeiten in höheren Ordnungen.
  • Die Antireflexschichten können z. B. aus PbC1, (n = 2,2), Ti02 (n = 2,5), NiO (n 2,2), AgC1 (n = 2,1), SnO, (n = 2,0), Th0, (n 2,2), Zr02 (n # 2,3) oder ZiiS (n = 2,4) bestehen.
  • Diese Schichten können z. B. durch Aufdampfen oder Kathodenzerstäubung auf den Metallschichten angebracht werden. Während des Aufbringens der Entspiegelungsschicht kann die Entspiegelung visuell beobachtet werden. Wenn das gewünschte erste Minimum der Reflexion erreicht ist, wird das Aufbringverfahren eingestellt. Die in dieser Weise hergestellten Schichten sind im allgemeinen nicht gleich A/, oder Al. oder einem ganzzahligen Vielfachen davon.
  • Zwei Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nunmehr an Hand dei Zeichnung näher beschrieben. F i g. 1 zeigt das optische Verhalten einer Goldschicht-Glasträger- und einer Antire:flexbelag-Goldschicht-Glasträger-Kombination; F i g. 2 zeigt das optische Verhalten einer Silberschicht-Glasträger- und einer Antiieflexbelag-Süberschicht-Glasträger-Kombination. 1. Im Vakuum wurde auf einem Glasträger durch Bedampfen eine Goldschicht mit einer Dicke von etwa 130 A, einem Flächenwiderstand von 7 f2 und einer Leitfähigkeit von 1,1 - 101.Q-Icm-1 angebiacht. Kurve R der F i g. 1 zeigt die Reflexion dieses Filters in Abhängigkeit von der Wellenlänge, Kurve D zeigt die Durchlässigkeit dieses Filters.
  • Die Durchlässigkeit bei 0,6 [tm beträgt etwa 570/,. Es wurde die Goldschicht mit einer Zinksulfidschicht mit einer Dicke von 320 Ä und einem Brechungsindex n = 2,3 durch Aufdampfen im Vakuum bedeckt. Kurve RI zeigt die Reflexion, D' die Durchlässigkeit dieser Kombination. Es zeigt sich, daß die Durchlässigkeit bei 0,6 #tiii. auf etwa 77 0/0 gesteigert wurde, während die Rellexion des Ultraroten nicht grundsätzlich geändert wurde.
  • Ein solches Filter kann vorteilhaft in Verbindung mit einer Na-Dampf-Lampe verwendet werden.
  • 2. Statt einer Goldschicht wurde eine Silberschicht auf einem Glasträger durch Aufdampfen angebracht. Die Silberschicht hatte eine Dicke von etwa 110 A, einen Flächenwiderstand von 6 n und eine Leitfähigkeit von 1,5 - 10'Q-Icm-l. Es wurde eine Süberschicht mit einer Zinksulfidschicht mit einer Dicke von 1100 A durch Aufdampfen im Vakuum bedeckt. Kurve R der F i g. 2 zeigt die Reflexion dieses Filters in Abhängigkeit der Wellenlänge, Kurve D zeigt die Durchlässigkeit des Filters ohne Antireflexbelag, Kurve R' und D' zeigen die Reflexion bzw. die Durchlässigkeit des Süberfilters mit Antireflexbelag. Die Durchlässigkeit für Natriumlicht wird durch den Antireflexbelag von 50 auf 76 0/0 erhöht. Wie aus der Figur hervorgeht, wird wie im Falle der Goldschicht auch bei dieser Kombination das Ultrareflexionsvermögen durch die Antirellexschicht nicht beeinträchtigt.
  • Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbesondere darin, daß im Vergleich mit den bekannten Lösungen zur Beseitigung der Nachteile, welche den aus einer einfachen Metallschicht bestehenden Wärmereflexionsfiltern anhaften, in einfacher Weise eine Vergütung dieser Wärmereflexionsfilter vorgenommen werden kann.
  • Die Wärmereflexionsfilter nach der Erfindung können vorteilhaft für lichttechnische Zwecke, nämlich in Verbindung mit einer Lichtquelle verwendet werden. Insbesondere in Verbindung mit Lichtquellen, die nur ein oder mehrere Teile, oder bevorzugt ein oder mehrere Teile des sichtbaren Lichtes, ausstrahlen, können diese Filter erfolgreich eingesetzt werden. Es können jedoch auch in Verbindung mit Normalglühlampen sehr gute Ergebnisse erreicht werden. Im allgemeinen wird bei Einsatz der Filter gemäß der Erfindung eine größere Leistung in Lumen pro Watt erreicht, also eine Erhöhung des Wirkungsgrades.
  • Eine Verwendung der Filter gemäß der Erfindung in Verbindung mit Lichtquellen kommt weiter überall dort in Betracht, wo es darum geht, lichtbestiahlte Objekte gegen Hitzeeinfluß der Ultrarotstrahlung zu schützen, z. B. bei Projektionslampen.

Claims (1)

  1. Patentanspruch: Verfahren zum Vergüten eines für einen Teil des sichtbaren Spektrums durchlässigen Wärmereflexionsfilters, das auf einer durchsichtigen Unterlage eine einzige dünne Metallschicht aus einem Metall mit einer Leitfähigkeit von mindestens 5,1040-Icm7-1 und einer solchen Dicke aufweist, daß der Flächenwiderstand der Metallschicht zwischen 2 und 20 Q beträg g e k e n n z e i c hn e t d u r c h die Vereinigung der folgenden Merkmale, daß auf die Metallschicht eine Schicht eines dielektrischen Materials mit einer Brechungszahl zwischen 1,6 und 3, vorzugsweise zwischen 1,9 und 2,5, so lange aufgetragen wird, bis das erste Minimum der Reflexion für eine ausgewählte Wellenlänge im sichtbaren Teil des Spektrums erreicht ist. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschriften Nr. 716 153, 721849; deutsche Auslegeschrift Nr. 1153 189; J. Opt. Soe. Am., 45 (1955), S. 360; Druckschriften der Firma Jenaer Glaswerke Schott und Gen. Nr. 354/3, 0,25360 und 354/19, 0,5358.
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CH1412065A CH445891A (de) 1964-10-16 1965-10-13 Wärmereflexionsfilter
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