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Koninklijke Philips NV
Original Assignee
Philips Gloeilampenfabrieken NV
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Filing date
Publication date
Application filed by Philips Gloeilampenfabrieken NVfiledCriticalPhilips Gloeilampenfabrieken NV
Publication of DE1218065BpublicationCriticalpatent/DE1218065B/de
Verfahren zum Abtragen von Material von einem Halbleiterkoerper eines Halbleiter-bauelementes, z. B. eines Transistors oder einer Kristalldiode, durch Einwirkung eines strahlenfoermig aufgebrachten Abtragungsmittels
Verfahren zum Abtragen von Material von einem Halbleiterkoerper eines Halbleiter-bauelementes, z. B. eines Transistors oder einer Kristalldiode, durch Einwirkung eines strahlenfoermig aufgebrachten Abtragungsmittels
Verfahren zur Herstellung kleinflaechiger pn-UEbergaenge in Halbleiter-koerpern von einem Leitfaehigkeitstyp von Halbleiteranordnungen, z. B. Dioden oder Transistoren