DE1216581B - Stabilisierungsschaltung fuer Hochfrequenzmassenspektrometerroehren - Google Patents

Stabilisierungsschaltung fuer Hochfrequenzmassenspektrometerroehren

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DE1216581B
DE1216581B DEL38589A DEL0038589A DE1216581B DE 1216581 B DE1216581 B DE 1216581B DE L38589 A DEL38589 A DE L38589A DE L0038589 A DEL0038589 A DE L0038589A DE 1216581 B DE1216581 B DE 1216581B
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Germany
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voltage
frequency
mass spectrometer
high frequency
stabilization circuit
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DEL38589A
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English (en)
Inventor
Dipl-Phys Dr Guenter Reich
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Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Original Assignee
E Leybolds Nachfolger AG
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/26Mass spectrometers or separator tubes
    • H01J49/34Dynamic spectrometers
    • H01J49/36Radio frequency spectrometers, e.g. Bennett-type spectrometers, Redhead-type spectrometers

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)

Description

  • Stabilisierungsschaltung für Hochfrequenzmassenspektrometerröhren Die Erfindung betrifft eine Stabilisierungsschaltung für Hochfrequenzmassenspektrometerröhren zum Ausgleich der durch Schwankungen der Betriebsspannungen hervorgerufenen Änderungen der Meßgrößen.
  • Bei den bekannten Hochfrequenzmassenspektrometern ist es sehr nachteilig, daß schon kleine Änderungen der an den einzelnen Elektroden der HF-Spektrometerröhre anliegenden Gleichspannungen erhebliche Änderungen im Betriebsverhalten der Röhre zur Folge haben können. Diese Spannungsschwankungen beeinflussen sowohl das Auflösungsvermögen als auch die Empfindlichkeit der Meßanordnung. üblicherweise werden die an den Elektroden anliegenden Gleichspannungen aus verschiedenen Spannungsversorgungsgeräten der Netzspannung entnommen. Dabei bewirken schon geringe Spannungsschwankungen eine so wesentliche Änderung der Ionenstrahlintensität, daß es selbst bei Entnahme der Spannungen aus hochstabilisierten getrennten Netzgeräten kaum gelingt, mit den bekannten Hochfrequenzmassenspektrometern hinreichend genaue und reproduzierbare Messungen durchzuführen. So ist beispielsweise durch umfangreiche Untersuchungen ermittelt worden, daß Veränderungen der Bremsspannung und der Hoch-. frequenztrennspannung mit 1% je für sich Empfindlichkeitsänderungen in der Größenordnung von 20% hervorrufen können.
  • Die Erfindung geht daher von der Aufgabenstellung aus, eine Hochfrequenzmassenspektrometerröhre auf einfache Art und Weise in ihrem Betriebsverhalten zu stabilisieren. Eingehende Untersuchungen zeigten nämlich, daß sich die Spannungsabhängigkeiten zum Teil gegenseitig derart kompensieren, daß die Änderung des Ionenstromes bei der Änderung der Spannung an der einen Elektrode durch die Wirkung der gleichsinnigen Spannungsänderung an einer anderen Elektrode weitgehend ausgeglichen wird. Das Kennzeichnende an einer Höchfrequenzmassenspektrometerröhre nach der Erfindung wird daher darin gesehen, daß alle Elektrodengleichpotentiale in an sich bekannter Weise von einem durch eine einzige Gleichspannungsquelle gespeisten Spannungsteilerwiderstand - abgegriffen werden und daß ferner von diesem Spannungsteilerwiderstand eine Vergleichspannung für die Amplitudenregelung der Hochfrequenzspannung des Trennsystems abgenommen wird, welcher die durch Gleichrichtung der Hochfrequenz erzeugte Richtspannung durch eine gleichfalls vorbekannte Regelanordnung nachgeführt wird. Es hat sich nämlich gezeigt, daß wenn man die Hochfrequenztrennspannung mit den übrigen Gleichspannungen der Elektroden koppelt, welche von einem gemeinsamen Spannnügsteilerwiderstand abgegriffen werden, sich überraschenderweise bei Schwankungen der gemeinsamen Eingangsspannung eine Schwankung der Empfindlichkeit von nur maximal 2 bis 3 % in dem in Frage kommenden Arbeitsbereich ergibt.
  • Es ist nun keineswegs naheliegend, die Hochfrequenztrennspannung in der Weise mit den Gleichspannungspotentialen zu -koppeln, daß von dem gemeinsamen Spannungsteilerwiderstand eine Gleichspannung abgegriffen wird, welche als Vergleichsgröße für die Richtspannung der Hochfrequenzspannung dient. Zur Lösung der der Erfindung zugrunde liegenden technischen Aufgabe ergibt sich aber eine automatische Anpassung der Hochfrequenzamplitude an die Änderung der Gleichspannungspotentiale, und zwar überraschenderweise in der Richtung, daß eine weitgehende Kompensation der Empfindlichkeitsschwankung eintritt. Da die Einflüsse der einzelnen Potentiale nicht ohne weiteres abzuschätzen sind, fehlt für die Verwertung des bekannten Standes der allgemeinen Schaltungstechnik und Übertragung dieses Standes der Technik auf das Gebiet der Hochfrequenzmassenspektrometerröhren jede Voraussetzung.
  • Zum Stand der Technik sind lediglich bekanntgeworden Formeln der Elektronenoptik, mit Hilfe deren komplizierte Sachverhalte bei Hochfrequenzmassenspektrometerröhren nur sehr näherungsweise geklärt werden könnten und eine übersichtliche Vorausberechnung der Einflüsse bei Spannungsänderungen an mehreren Elektroden auch weder nahegelegt noch ermöglicht werden (Brüche -S c h e r z e r, »Geometrische Elektronenoptik«, 1934, S.84). Zu den übrigen, etwa aus dem Stand der Technik zu entnehmenden Sachverhalten ist auszuführen, daß im ATM-Blatt J 386-1, Dez. 1950, Blatt 3, linke Spalte, Maßnahmen beschrieben werden, die eine Stabilisierung des Gleichstromverstärkers erreichen sollen. Solche Maßnahmen werden in der Anmeldung nicht beansprucht. Eine Stabilisierung der Nullpunktwanderung des Gleichstromverstärkers kann durch die beanspruchten Maßnahmen nicht erreicht werden. Durch die nachfolgend beschriebenen Maßnahmen soll verhindert werden, daß bei Massenspektrometern, die mit mehreren Auffängern gleichzeitig mehrere Massen nachweisen, durch Änderung der Beschleunigungsspannung oder der Feldstärke des Magneten eine Verschiebung der Linien auftritt. Im Fall des Hochfrequenzmassenspektrometers ist eine Linienverschiebung nur durch Frequenzänderung möglich. Eine Stabilisierung der Frequenz wurde in der Anmeldung nicht beansprucht.
  • In der USA.-Patentschrift 2 844 726 werden zwar die Potentiale der Elektroden 10, 29 und 30 bis 37 einer gemeinsamen Spannungsquelle entnommen, nicht aber die der Kathode 55 und der Anode 56.
  • Aus der USA.-Patentschrift 2 945123 ist nicht zu erkennen, daß die vom RF-Oszillator 43 erzeugte HF-Spannung 47 durch das Gleichspannungsnetzgerät 21 geregelt wird. Das gleiche gilt für die USA: Patentschrift 2 959 676.
  • Aus den vorgenannten Angaben zum Stand der Technik ergibt sich, daß für die angegebene Kopplung zwischen den Gleichspannungspotentialen und der Richtspannung der Hochfrequenztrennspannung keine Hinweise bekannt sind.
  • Außer von den Gleichspannungen an den Elektroden der Röhre hängt die Empfindlichkeit der Massenanzeige noch in hohem Maß von der Hochfrequenzspannung an den Gittern des Trennsystems ab. Bei gegebenen Werten der Elektrodenpotentiale muß daher ein bestimmter Wert der Hochfreqenzamplitude eingehalten werden, wenn man optimale Betriebseigenschaften erzielen will. Bei bekannten Hochfrequenzmassenspektrometern wird daher durch Gleichrichter der für das Trennsystem bestimmten Hochfrequenzspannung eine Richtspannung erzeugt und mit einer konstant vorgegebenen Vergleichsgleichspannung in einer Brückenschaltung verglichen. Entsprechend dem Unterschied zwischen der Vergleichsgleichspannung und der Richtspannung erfolgt eine Regelung der Hochfrequenzamplitude des Hochfrequenzgenerators, die beispielsweise durch Änderung der Anodenspannung herbeigeführt werden kann.
  • Überschreitet in einem bestimmten Betriebszustand die Richtspannung die Vergleichsgleichspannung und ist somit die Hochfrequenzspannungsamplitude höher als der gewünschte Optimalwert, so wird über ein entsprechendes Schaltelement eine Herabsetzung der Anodenspannung des Hochfrequenzgenerators bewirkt und damit der Optimalzustand hergestellt. Bei einer entgegengesetzten Abweichung bewirkt die Regelung eine entsprechende Spannungserhöhung. Da jedoch die Optimalampli-Lude der Hochfrequenzspannung mit der Gleichspannung an den Elektroden zusammenhängt, wird gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung vorgeschlagen, die zur Amplitudenregelung benötigte Vergleichsgleichspannung von demselben Spannungsteilerwiderstand abzugreifen, an dem bereits die Abgriffe der übrigen Elektrodengleichpotentiale liegen.
  • In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel, eine Stabilisierungsschaltung nach der Erfindung, schematisch dargestellt. Man erkennt den Querschnitt einer zylinderförmigen Hochfrequenzmassenspektrometerröhre 1, welche mit einem Stutzen 2 an eine nicht dargestellte Vakuumapparatur angeschlossen werden kann. In der Röhre 1 sind eine Glühkathode 3, eine Ionenquelle 4 (gleichzeitig Anode), Abschirmgitter 5 und 6, ein Bremsgitter 7, ein Ionenfänger 8 und ein aus elf Gittern 9 bis 19 bestehendes Trennsystem angeordnet. Die Glühkathode 3 wird mittels einer Heizbatterie 20 geheizt. Die Hochfrequenzspannung für die Gitter 9 bis 19 des Trennsystems liefert ein abstimmbarer Hochfrequenzgenerator 21. Der zum Ionenfänger 8 gelangende Ionenstrom wird durch ein einseitig geerdetes Meßinstrument 22 angezeigt. Alle an den Elektroden 3 bis 19 auftretenden Gleichspannungen werden gemäß der Erfindung von einem Spannungsteilerwiderstand 23 abgegriffen, der seinerseits von einer Gleichstromquelle 24 gespeist wird. Von der Glühkathode 3, die den Erdungspunkt des Spannungsteilers bei 231 festlegt, werden emittierte Elektronen gegen die Ionenquelle 4 dadurch beschleunigt, daß die Ionenquelle 4 bei 232 auf ein höheres Potential, das Anodenpotential, gelegt ist. Die Elektronen ionisieren dabei in der Ionenquelle 4 das in der Meßröhre 1 enthaltene Gas. Die Ionen werden nun durch das hoch negativ vorgespannte Abschirmgitter 5, dessen Potential bei 233 abgegriffen wird, aus der Ionenquelle 4 herausgezogen und gegen die das Trennsystem bildenden Gitter 9 bis 19 beschleunigt. Das Abschirmgitter 5 treibt ferner Elektronen, die die Anode 4 passiert haben sollen, wieder zurück. Das aus den Gittern 9 bis 19 bestehende Trennsystem liegt mit seinem Fußpunkt 234 an einer gegenüber der Kathode 3 negativen Gleichspannung. Das am Ende der von den Gittern 9 bis 19 gebildeten Trennstrecke gelegene Bremsgitter 7 ist posistiv vorgespannt und an den Abgriff 235 gelegt. Es läßt nur diejenigen Ionen zum Ionenfänger 8 gelangen, die die Resonanzbedingung erfüllten und daher genügend Energie aufnehmen konnten. Mit Hilfe des hoch negativ vorgespannten Abschirmgitters 6, dessen Fußpunkt bei 236 liegt, werden alle Sekundäreffekte, die einen zu hohen Ionenstrom vortäuschen könnten, unterdrückt. Erfindungsgemäß entnimmt man dem Spannungsteilerwiderstand bei 237 und 238 auch noch die Vergleichsgleichspannung zur Regelung der Hochfrequenzamplitude.

Claims (1)

  1. Patentanspruch: Stabilisierungsschaltung für Hochfrequenzmassenspektrometerröhren zum Ausgleich der durch Schwankungen der Betriebsspannungen hervorgerufenen Änderungen der Meßgrößen, dadurch gekennzeichnet, daß alle Elektrodengleichpotentiale in an sich bekannter Weise von einem durch eine einzige Gleichspannungsquelle gespeisten Spannungsteilerwiderstand abgegriffen werden und daß ferner von diesem Spannungsteilerwiderstand eine Vergleichsgleichspannung für die Amplitudenregelung der Hochfrequenzspannung des Trennsystems abgenommen wird, welcher die durch Gleichrichtung der Hochfrequenzspannung erzeugte Richtspannung durch eine gleichfalls vorbekannte Regelanordnung nachgeführt wird. In Betracht gezogene Druckschriften: Patentschrift Nr. 12 907 des Amtes für Erfindungs-und Patentwesen in der sowjetischen Besatzungszone Deutschlands; USA.-Patentschriften Nr. 2 945123, 2 959 676, 2 844 726; ATM-Blatt 7 386-1, Dezember 1950, insbesondere Blatt 3 und 4; Brüche-Scherzer, »Geometrische Elektronenoptik«, 1934, S: 84 und 85.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004014583A1 (de) * 2004-03-25 2005-10-20 Bruker Daltonik Gmbh Gleichspannungszuführung zu Hochfrequenz-Elektrodensystemen

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE12907C (de) * J. schlenter in Aachen, Augustastrafse 18 Mundstück mit Ventilverschlufs für Strahlrohre
US2844726A (en) * 1955-05-18 1958-07-22 Cons Electrodynamics Corp Mass spectrometry
US2945123A (en) * 1954-04-30 1960-07-12 Phillips Petroleum Co Mass spectrometer
US2959676A (en) * 1957-07-29 1960-11-08 Phillips Petroleum Co Mass spectrometer

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