-
Durchlicht-Interferenzmikroskop Die Erfindung betrifft ein Durchlicht-Interferenzmikroskop
mit zwei abbildenden Systemen, die im allgemeinen als Kondensor und Objektiv wirken,
und vom Objekt unbeeinflußtem Vergleichsstrahlengang-Es sind Interferenzmikroskope
bekannt, bei denen der Vergleichsstrahlengang vom Objekt unbeeinflußt ist. Darunter
werden solche Interferenzmikroskope verstanden, mit denen Objekte von der üblichen
Größe, wie sie etwa durch die Größe der handelsüblichen Deckgläser gegeben ist,
untersucht werden können, ohne daß der Vergleichsstrahlengang in irgendeiner Weise
mit dem Objekt in Berührung kommt. Bei den Shearing-, den Doppelfokus- und einigen
anderen Interferenzmikroskopen ist im Gegensatz dazu ein vom Objekt unbeeinflußter
Vergleichstrahlengang nur bei geeigneten Objekten, z. B. kleinen Einzelobjekten,
und nur in Bereichen, die kleiner oder etwa gleich dem Gesichtsfelddurchmesser des
Mikroskops sind, vorhanden, bei zusammenhängenden Objekten von der oben angeführten
üblichen Größe dagegen nicht. Diese Interferenzmikroskope werden nicht zu den Interferenzmikroskopen
mit einem vom Objekt unbeeinflußten Vergleichsstrahlengang gerechnet.
-
Die Interferenzmikroskope, bei denen der Vergleichsstrahlengang vom
Objekt unbeeinflußt ist, haben den Vorteil, daß das Interferenzbild auch bei den
am häufigsten vorkommenden ausgedehnten zusammenhängenden Objekten wesentlich einfacher
und sicherer zu deuten ist als bei den Shearing-, Doppelfokus- und anderen Verfahren.
-
Bei starken und stärksten Aperturen erscheint es bei Interferenzmikroskopen
mit vom Objekt unbeeinflußtem Vergleichsstrahlengang unvermeidbar, abbildende Systeme
wie Linsensystem oder Systeme nichtebener Spiegel in den einzelnen Zweigen des Interferometers
anzubringen. Diese abbildenden Systeme müssen jedoch hinsichtlich ihrer Brennweiten
und Glasdicken genauestens abgeglichen werden, was in der Praxis streng nicht zu
erreichen ist, sonst kann die bekannte Niveauliniendeutung der Interferenzen nicht
mehr streng angewandt werden, und damit ist keine exakte Formprüfung über den ganzen
Bereich des Gesichtsfeldes mehr möglich. Außerdem nimmt bei ungleichen Glasdicken
die Brillanz der Interferenzen im weißen Licht ab. Man versucht daher, die Zahl
der abbildenden Systeme im Interferometer möglichst zu vermindern.
-
Es sind Durchlicht-Interferenzmikroskope mit vom Objekt unbeeinflußtem
Vergleichsstrahlengang bekannt, bei denen sich im Interferometer vier abbildende
Systeme, zwei Objektive und zwei Kondensoren, befinden. Mit diesen lassen sich höchste
Beleuchtungs- und Beobachtungsaperturen erreichen, allerdings mit den erwähnten
Nachteilen der vier abbildenden Systeme im Interferometer.
-
Andererseits sind Durchlicht-Interferenzmikroskope mit vom Objekt
unbeeinflußtem Vergleichsstrahlengang bekannt, bei denen sich nur zwei abbildende
Systeme; und zwar zwei Objektive, im Interferometer befinden. Hier lassen sich zwar
höchste Beobachtungsaperturen erreichen, aber die Beleuchtungsapertur wird, weil
der Kondensor sich außerhalb des Interferometers befindet, wegen der langen Lichtwege
sehr klein, wodurch das Auflösungsvermögen verringert wird.
-
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, diese genannten Nachteile
zu beseitigen und ein Durchlicht-Interferenzmikroskop mit vom Objekt unbeeinflußtem
Vergleichsstrahlengang und nur zwei abbildenden Systemen im Interferometer, die
im allgemeinen als Kondensor und Objektiv wirken, zu schaffen, bei dem höchste Beleuchtungs-
und gleichzeitig höchste Beobachtungsaperturen erreicht werden. Dies geschieht erfindungsgemäß
durch eine senkrecht oder nahezu senkrecht zur optischen Achse angeordnete teildurchlässige
strahlenteilende Fläche in oder unmittelbar vor (in Richtung des einfallenden Lichts)
der Objektebene und durch eine Objektebene in oder nahe der Mitte zwischen den beiden
abbildenden Systemen im Interferometer mit Strahlenvereinigungsfläche außerhalb
dieser beiden abbildenden Systeme. Weiterhin kann sich erfindungsgemäß die teildurchlässige
strahlenteilende Fläche auch in oder nahe der Mitte zwischen der Frontlinse des
Kondensors und der Objektebene befinden, mit einer
vollverspiegelten
Fläche auf oder unmittelbar vor der Frontlinse des Kondensors.
-
Die Figur zeigt zwei Ausführungsbeispiele der Erfindung. Das einfallende
Licht 4 durchsetzt zunächst eine teildurchlässige Fläche 3 und sodann ein im allgemeinen
als Kondensor wirkendes abbildendes System 5 und wird an der teildurchlässigen Fläche
6, die in oder nahe der Mitte zwischen dem Kondensor 5 und dem im allgemeinen als
Objektiv wirkenden abbildenden System 8 gelegen ist, aufgeteilt. Der Objektstrahlengang
dringt durch die Fläche 6 hindurch, durchsetzt das unmittelbar darüberliegende Untersuchungsobjekt
7 und gelangt über das Objektiv 8 und den Spiegel 9 zur teildurchlässigen Fläche
2, an der er mit dem Vergleichsstrahlengang vereinigt wird, der an der teildurchlässigen
Fläche 6 reflektiert wurde und nach abermaligem Durchsetzen des Kondensors 5 über
die teildurchlässige Fläche 3 ebenfalls nach 2 gelangt, von wo er sich gemeinsam
mit dem Objektstrahlengang in Richtung 1 zum Okular hin bewegt. Links daneben
ist in einem Teilausschnitt ein zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt.
12 ist wieder eine teildurchlässige Fläche, an der der Objekt- und der Vergleichsstrahlengang
voneinander getrennt werden. Der Vergleichsstrahlengang gelangt nach Reflexion an
der Fläche 12 auf einen vollverspiegelten Fleck auf der Mitte der ebenen Frontfläche
der Frontlinse des Kondensors 5, wird von diesem abermals zur Fläche 12 reflektiert
und von dieser in den Kondensor 5. Der Objektstrahlengang durchsetzt nach
Durchgang durch die Fläche 12 die Objektebene 13. Die Anordnung hat den Vorteil,
daß die teildurchlässige Fläche 12,
die den Objekt- und den Vergleichsstrahlengang
voneinander trennt, fest im Gerät verbleiben kann, während bei der ersten Anordnung
die entsprechende Fläche 6 meist im Präparat angebracht ist, wie es in
10 dargestellt ist, wo das Untersuchungsobjekt sich zwischen zwei Deckgläsern
befindet, von denen das untere an seiner Oberseite teildurchlässig verspiegelt ist.