CH652833A5 - Stereoscopic microscope - Google Patents

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CH652833A5
CH652833A5 CH143780A CH143780A CH652833A5 CH 652833 A5 CH652833 A5 CH 652833A5 CH 143780 A CH143780 A CH 143780A CH 143780 A CH143780 A CH 143780A CH 652833 A5 CH652833 A5 CH 652833A5
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
plane
light
incidence
observation
illumination
Prior art date
Application number
CH143780A
Other languages
German (de)
Inventor
Hiroshi Takenaka
Katsuji Rikukawa
Yuichi Tamura
Original Assignee
Nippon Kogaku Kk
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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    • GPHYSICS
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    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/18Arrangements with more than one light path, e.g. for comparing two specimens
    • G02B21/20Binocular arrangements
    • G02B21/22Stereoscopic arrangements

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft ein Stereomikroskop der im Ober- Durchlässigkeit T und des Reflexionsvermögens R des Strah- The invention relates to a stereomicroscope with an upper transmittance T and a reflectivity R of the beam.

begriff des Anspruchs 1 angegebenen Art. lenteilers und Concept of claim 1 specified Art. divider and

Bei dem aus der US-PS 34 05 990 bekannten Stereomi- 55 Fig. 4 eine Querschnittsansicht durch die optischen Sy- 4 is a cross-sectional view through the optical system, as is known from US Pat.

kroskop mit einer koaxialen Auflicht-Beleuchtungseinrich- steme einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Er- Microscope with a coaxial incident light illuminating system of a second embodiment of the present invention.

tung werden ein Analysator und ein Polarisator verwendet, findung. an analyzer and a polarizer are used.

die so angeordnet sind, dass sie im rechten Winkel zueinander Fig. 1 zeigt schematisch einen Querschnitt durch die opti- which are arranged so that they are at right angles to one another. FIG. 1 schematically shows a cross section through the optically

verlaufende Polarisationsrichtungen haben, um die Erzeu- sehen Systeme eines Stereomikroskops: dabei sind ein erstes gung von Streulicht bzw. Reflexen an dem Okular durch das 60 Beobachtungssystem und ein erstes Beleuchtungssystem sym- In order to see the generated systems, polarization directions have systems of a stereomicroscope: a first generation of scattered light or reflections on the eyepiece by the 60 observation system and a first illumination system

an den Oberflächen der Objektivlinsen reflektierte Beleuch- metrisch in bezug auf die Mitte des Stereomikroskops zu ei- illumination metrically reflected on the surfaces of the objective lenses with respect to the center of the stereomicroscope to

tungslicht zu vermeiden. nem zweiten Beobachtungssystem und einem zweiten Be- avoid light. a second observation system and a second observation

Die dort erläuterte Konstruktion hat jedoch den Nachteil, leuchtungssystem angeordnet; das erste Beobachtungssystem dass ein relativ starker Verlust an Beleuchtungslicht auftritt; weist ein Objektiv 1 a, das beispielsweise durch eine Linse ge-ausserdem führt ein eventueller Unterschied im Polarisations- 65 bildet werden kann, und ein Okular 2a auf, während das erste zustand der beiden Beobachtungssysteme zu unterschied- Beleuchtungssystem eine Lichtquelle 3a und einen Strahlen- However, the construction explained there has the disadvantage of arranging the lighting system; the first observation system that a relatively large loss of illuminating light occurs; has an objective 1 a, which, for example, leads to a possible difference in polarization, and an eyepiece 2a, while the first state of the two observation systems is different - illumination system a light source 3 a and a radiation

lichen Helligkeitspegeln und zu unterschiedlichen Farben in teiler 4a enthält; das zweite Beobachtungssystem weist ein den beiden Beobachtungsfeldern, und zwar sogar dann, wenn Objektiv 1 b, das beispielsweise durch eine Linse gebildet wer- Lichen brightness levels and different colors in part 4a contains; the second observation system has one of the two observation fields, even when objective 1 b, which is formed, for example, by a lens

3 652 833 3,652,833

den kann, und ein Okular 2b auf, während das zweite Be- wie bei dem an dem Objektiv lb reflektierten Lichtstrahl an- and an eyepiece 2b, while the second loading, as with the light beam reflected on the objective 1b,

leuchtungssystem eine Lichtquelle 3b und einen Strahlenteiler wenden. lighting system turn a light source 3b and a beam splitter.

4b enthält. Die optische Achse Ya, des ersten Beleuchtungs- Fig. 3 zeigt schematisch die Spektral-Charakteristik bzw. systems kreuzt die optische Achse Xa des ersten Beobach- -Kennlinie der Durchlässigkeit T und des Reflexionsvermö-tungssystems im rechten Winkel in der Mitte des ersten 5 gens R der Strahlenteiler 4a, 4b, die bei dem Stereomikroskop Strahlenteilers 4a, während die optische Achse Yb des zweiten nach der vorliegenden Erfindung eingesetzt werden. Diese Beleuchtungssystems die optische Achse Xb des zweiten Strahlenteiler sind mit mehreren dielektrischen Schichten ver-Beobachtungssystems in der Mitte des zweiten Strahlenteilers sehen und zeigen in Abhängigkeit von der polarisierten Licht-4b im rechten Winkel kreuzt; alle optischen Achsen liegen in komponente wesentliche Unterschiede in ihrer Kennlinie. In der gleichen Ebene von Fig. 1 horizontal symmetrisch. Aus- 10 Fig. 3 stellen die Indizes p bzw. s an den Buchstaben T und R serdem ist eine Hilfsobjektivlinse 9 vorgesehen, um die opti- jeweils die Komponenten dar, die parallel bzw. senkrecht zu sehen Achsen der Objektive la und lb parallel zu machen. der Einfallsebene verlaufen. Wie man in Fig. 3 erkennen Das zweite Beleuchtungssystem liefert das Beleuchtungslicht kann, haben die Strahlenteiler für die senkrecht zu der Einfür eine Probe 5, die durch das erste Beobachtungssystem fallsebene verlaufende Komponente ein Reflexionsvermögen beobachtet werden soll, während das erste Beleuchtungssy- ìs R,., das bis zu ca. 90% reichen kann, während die Durchläs-stem in ähnlicher Weise das Beleuchtungssystem für die Beob- sigkeit TP für die zu der Einfallsebene parallele Komponente achtung durch das zweite Beobachtungssystem erzeugt. Zwi- bis zu ca. 90% betragen kann. Eine solche Kennlinie für pola-schen der Lichtquelle 3a und dem Strahlenteiler 4a des ersten risiertes Licht ist spezifisch für Strahlenteiler, die aus mehre-Beleuchtungssystems sowie zwischen der Lichtquelle 3b und ren dielektrischen Schichten bestehen; ausserdem sind solche dem Strahlenteiler 4b des zweiten Beleuchtungssystems sind 20 Strahlenteiler auch noch in Bezug auf ihren hohen Wirkungs-jeweils Polarisatoren 6a und 6b vorgesehen, deren Polari- grad zweckmässig, weil ihre Absorption relativ gering ist. sationsrichtung im rechten Winkel zu der Einfallsebene zu Bei dieser Konstruktion wird der den Polarisator 6a oder den beiden Strahlenteilern 4a und 4b verläuft; diese Einfalls- 6b passierende Beleuchtungsstrahl zu näherungsweise 90% ebene ist als die Ebene definiert, die den einfallenden Licht- an der Probe 5 reflektiert, während der den Strahlenteiler 4a strahl und den reflektierten Lichtstrahl enthält und deshalb 2s oder 4b nach zwei Durchgängen durch die y/4-Platte 8 vor mit der Ebene von Fig. 1 zusammenfällt. Ausserdem ist zwi- oder nach der Reflexion an der Probe 5 erreichende Strahl zu sehen dem Okular 2a des ersten Beobachtungssystems und näherungsweise 90% zu dem Okular 2a oder 2b durchgelas-dem Strahlenteiler 4a des ersten Beleuchtungssystems sowie sen wird. Damit ist also der von den beiden Strahlenteilern 4a zwischen dem Okular 2b des zweiten Beobachtungssystems und 4b erreichte Wirkungsgrad 90%-90% oder 81%, also we-und dem Strahlenteiler 4b des zweiten Beleuchtungssystems 30 sentlich höher als der Wirkungsgrad bei der herkömmlichen jeweils ein Analysator 7a und 7b vorgesehen, dessen Polarisa- Konstruktion nach der offengelegten japanischen Gebrauchs-tionsrichtung parallel zu der Einfallsebene zu den Strahlentei- musteranmeldung 53-52 154, bei der jeder Strahlenteiler eilern 4a und 4b verläuft, die mit der Ebene von Fig. 1 zusam- nen Lichtverlust von 50% hat, so dass sich insgesamt nur ein menfällt. Ausserdem ist zwischen den Objektiven la, lb und Wirkungsgrad von 50% • 50% oder 25% ergibt. In der Praxis der Probe 5 eine y/4-Platte 8 angeordnet, deren Achse in ei- 35 ist jedoch der tatsächliche Wirkungsgrad noch wesentlich ge-nem Winkel von 45° zu der Einfallsebene auf die Strahlentei- ringer als 25%, da ein herkömmlicher Strahlenteiler mit glei-ler verläuft. eher Durchlässigkeit und gleichem Reflexionsvermögen eine 4b contains. The optical axis Ya of the first illumination. FIG. 3 schematically shows the spectral characteristic or system crosses the optical axis Xa of the first observation characteristic of the transmittance T and the reflectivity system at a right angle in the middle of the first gene R is the beam splitter 4a, 4b used in the stereomicroscope beam splitter 4a, while the optical axis Yb of the second according to the present invention. These lighting systems see the optical axis Xb of the second beam splitter with multiple dielectric layers ver observation system in the middle of the second beam splitter and depending on the polarized light-4b crosses at right angles; All optical axes have significant component differences in their characteristic. In the same plane of Fig. 1 horizontally symmetrical. From FIG. 3, the indices p and s on the letters T and R are also provided an auxiliary objective lens 9 in order to represent the optical components, the axes of the objectives 1 a and 1 b parallel to one another, which can be seen parallel or perpendicular do. the plane of incidence. As can be seen in FIG. 3, the second lighting system can supply the illuminating light, the beam splitters have for the sample perpendicular to the one, a component that runs through the first observation system if the component is reflective, while the first illuminating system R, ., which can reach up to approx. 90%, while the transmission system in a similar way generates the illumination system for the observation TP for the component parallel to the plane of incidence by the second observation system. Can be up to about 90%. Such a characteristic curve for polar light source 3a and beam splitter 4a of the first light is specific to beam splitters which consist of multiple lighting systems and between light source 3b and the dielectric layers; in addition, those of the beam splitter 4b of the second lighting system are also provided with respect to their high efficiency, polarizers 6a and 6b, the polarity of which is expedient because their absorption is relatively low. sation direction at right angles to the plane of incidence in this construction, the polarizer 6a or the two beam splitters 4a and 4b runs; this incident 6b illumination beam passing through approximately 90% plane is defined as the plane that reflects the incident light on the sample 5, while containing the beam splitter 4a and the reflected light beam and therefore 2s or 4b after two passes through the y / 4-plate 8 coincides with the plane of FIG. 1. In addition, the beam reaching between or after the reflection on the sample 5 can be seen through the eyepiece 2a of the first observation system and approximately 90% is transmitted through to the eyepiece 2a or 2b — the beam splitter 4a of the first illumination system and is being read. Thus, the efficiency achieved by the two beam splitters 4a between the eyepiece 2b of the second observation system and 4b is 90% -90% or 81%, that is to say, and the beam splitter 4b of the second illumination system 30 is considerably higher than the efficiency in the conventional one Analyzer 7a and 7b provided, the Polarisa construction according to the Japanese direction of use disclosed parallel to the plane of incidence to the radiation part pattern application 53-52 154, in which each beam splitter hurries 4a and 4b, which coincides with the plane of FIG. 1 - has a light loss of 50%, so that only one menu falls. In addition, between the lenses la, lb and efficiency of 50% • 50% or 25% results. In the practice of sample 5, a y / 4 plate 8 is arranged, the axis of which in 35, however, the actual efficiency is still substantially at an angle of 45 ° to the plane of incidence on the radiation divider than 25%, since a conventional one Beam splitter runs with the same. rather permeability and the same reflectivity

Fig. 2 zeigt die Winkelbeziehung zwischen der Polari- erhöhte Absorption hat. Da bei der obigen Ausführungsform sationsrichtung P der Polarisatoren 6a, 6b, der Polarisations- der vorliegenden Erfindung die Strahlenteiler 4a, 4b eine ge-richtung A der Analysatoren 7a, 7b, der Achse H der y/4- «> ringe Durchlässigkeit Ts von ca. 10% für die senkrecht zu der Platte 8 und der Einfallsebene S auf die Strahlenteiler 4a, 4b. Einfallsebene verlaufende Komponente haben, wird nur un-Der von der Lichtquelle 3a des ersten Beleuchtungssystems gefähr 10% des an der Objektivlinse reflektierten Beleuch-zugeführte Beleuchtungsstrahl wird in der Richtung P senk- tungslichtes durch die Strahlenteiler zu den Analysatoren recht zu der Richtung S der Einfallsebene zu dem Strahlteiler durchgelassen. Auf diese Weise wird es möglich, die Wirkung 4a beim Durchgang durch den Polarisator 6a linear polari- ts der senkrecht angeordneten Polarisatoren 6a, 6b und Analysiert, dann an dem Strahlenteiler 4a nahezu total reflektiert, satoren 7a, 7b weiter zu erhöhen bzw. zu verstärken, um das durch die Objektivlinse 1 a, die Hilfsobjektivlinse 9 und die Streulicht zu erliminieren, das auf das an den Objektivlinsen y/4-Platte 8, deren Achse H in einem Winkel von 45° gerichtet reflektierte Licht zurückzuführen ist. Fig. 2 shows the angular relationship between the polar- increased absorption. Since in the above embodiment the direction P of the polarizers 6a, 6b, the polarization of the present invention, the beam splitters 4a, 4b have a direction A of the analyzers 7a, 7b, the axis H of the y / 4- "> ring transmission Ts of approx 10% for those perpendicular to the plate 8 and the plane of incidence S on the beam splitters 4a, 4b. Having a component that runs on the plane of incidence is only 10% of the illumination beam supplied by the light source 3a of the first lighting system and supplied to the illumination reflected from the objective lens becomes in the direction P of the downlight through the beam splitters to the analyzers right to the direction S of the plane of incidence passed to the beam splitter. In this way it becomes possible to further increase or increase the effect 4a when passing through the polarizer 6a linearly polarized of the vertically arranged polarizers 6a, 6b and analyzed, then almost totally reflected on the beam splitter 4a in order to eliminate the through the objective lens 1 a, the auxiliary objective lens 9 and the scattered light, which is due to the light reflected on the objective lens y / 4 plate 8, the axis H of which is directed at an angle of 45 °.

ist, durchgelassen, nach der Reflexion an der Probe 5 wieder Ausserdem kann die Konstruktion der vorliegenden Er- is let through after the reflection on the sample 5. Furthermore, the construction of the present invention

durch die y/4-Platte 8 und das Hilfsobjektiv 9 durchgelassen 50 findung auch für ein einfaches Polarisations-Stereomikro- passed through the y / 4 plate 8 and the auxiliary lens 9 even for a simple polarization stereo micro

und die Objektivlinse lb eingeführt. Die Polarisationsrich- skop für die stereoskopische Beobachtung des polarisierten tung dieses Strahls wird bei den beiden Durchgängen durch Zustandes der Probe durch geeignete Drehung der y/4-Platte die y/4-Platte 8, die äquivalent zu einem Durchgang durch 8 ausgenutzt werden, wenn die Polarisationsrichtung des eine Halbwellenlängen-Platte ist, um 90° gedreht. Als Folge durch das Okular verlaufenden Strahls in beiden Beobach- and the objective lens lb is inserted. The polarization directional scope for the stereoscopic observation of the polarized device of this beam becomes the y / 4 plate 8 in the two passes through the state of the sample by suitable rotation of the y / 4 plate, which are used equivalent to a pass through 8 if the direction of polarization of a half-wavelength plate is rotated by 90 °. As a result, the beam running through the eyepiece in both observers

hiervon wird der Strahl durch den Strahlenteiler 4b und aus- 55 tungssystemen gleich ist. of which the beam through beam splitter 4b and alignment systems is the same.

serdem total durch den Analysator 7b durchgelassen, da des- Bei der eben beschriebenen Ausführungsform ist die y/4-sen Polarisationsrichtung A mit der Polarisationsrichtung des Platte 8 auf der Probenseite der Objektive la, lb angeordnet Strahls zusammenfallt, so dass dieser Strahl das Okular 2b er- und dient im Strahlengang von einem Objektiv zu dem andereicht. Andererseits erreicht der Beleuchtungsstrahl des ersten ren durch die Reflexion an der Probe im wesentlichen als Beleuchtungssystems, der an dem Strahlenteiler 4a sowie an 60 Halbwellenlängen-Platte; diese y/4-Platte 8 kann jedoch der Objektivlinse 1 a reflektiert und durch den Strahlenteiler durch eine Halbwellenlängen (y/2)-Platte ersetzt werden, die 4a durchgelassen wird, nicht das Okular 2a, da dessen Polari- sich vor dem Objektiv befindet; durch Drehung der Halbwel-sationsrichtung P senkrecht zu der Polarisationsrichtung A lenlängen-Platte kann diese Konstruktion ebenfalls als Polades Analysators 7a verläuft. risations-Mikroskop eingesetzt werden. Furthermore, it is totally passed through the analyzer 7b, because in the embodiment just described, the y / 4-th polarization direction A coincides with the polarization direction of the plate 8 on the sample side of the objective la, lb arranged beam, so that this beam the eyepiece 2b and does not serve in the beam path from one lens to the other. On the other hand, the illumination beam of the first ren is achieved essentially by the reflection on the sample as an illumination system, that on the beam splitter 4a and on 60 half-wave plates; however, this y / 4 plate 8 can be reflected from the objective lens 1 a and replaced by the beam splitter by a half-wavelength (y / 2) plate which is passed through 4a, not the eyepiece 2a, since its polaris is in front of the objective ; by rotating the half-wave direction P perpendicular to the polarization direction length plate, this construction can also run as a polar analyzer 7a. risk microscope.

Die obige Erläuterung lässt sich auch bei dem von der 65 Wie oben erläutert wurde, wird ein koaxiales Auflicht- The above explanation can also be used in the case of the 65 As explained above, a coaxial incident light

Lichtquelle 3b des zweiten Beleuchtungssystems zugeführten Stereomikroskop angegeben, das bei verringertem Lichtver- Light source 3b of the second lighting system supplied stereomicroscope specified, which with reduced light

Lichtstrahl, der den Analysator 7a durch den Strahlenteiler lust gleiche Helligkeitspegel und gleiche Farben für beide Be- Light beam that the analyzer 7a through the beam splitter desire the same brightness level and the same colors for both

4b, die Probe 5 und wieder den Strahlenteiler 4b erreicht, so- trachtungsfelder liefern kann. 4b, the sample 5 and again the beam splitter 4b, can provide fields of view.

652 833 652 833

Obwohl die in Fig. 1 gezeigte Ausführungsform bei einem Stereomikroskop mit gemeinsamem Objektivsystem verwendet wird, können entsprechende Strahlteiler auch bei einem Stereomikroskop mit dem sogenannten «Greenough-System» eingesetzt werden. Although the embodiment shown in FIG. 1 is used in a stereo microscope with a common objective system, corresponding beam splitters can also be used in a stereo microscope with the so-called “Greenough system”.

Eine solche Ausführungsform ist in Fig. 4 dargestellt; dabei sind ein erstes Beobachtungssystem, das aus einer Objek-tivlinse 1 la und einer Objektivlinse 12a besteht, ein zweites Beobachtungssystem, das aus einer Objektivlinse IIb und einer Okularlinse 12b besteht, ein erstes Beleuchtungssystem, das aus einer Lichtquelle 13a und einem ersten Strahlenteiler 14a besteht, und ein zweites Beleuchtungssystem vorgesehen, Such an embodiment is shown in Fig. 4; a first observation system consisting of an objective lens 1a and an objective lens 12a, a second observation system consisting of an objective lens IIb and an eyepiece lens 12b, a first illumination system consisting of a light source 13a and a first beam splitter 14a , and a second lighting system is provided,

das aus einer Lichtquelle 13b und einem zweiten Strahlenteiler 14b besteht. Das Greenough-System zeichnet sich dadurch aus, dass die optischen Achsen Xa' und Xb' des ersten und zweiten Beobachtungssystems einander direkt auf der 5 Probe 5 kreuzen. Die optischen Achsen Xa', Xb' des ersten und zweiten Beobachtungssystems und die optischen Ya' und Yb' des ersten und zweiten Beleuchtungssystems Hegen gemeinsam in der Ebene von Fig. 2; die beiden Polarisatoren 16a, 16b und die beiden Analysatoren 17a, 17b haben den gleichen io Aufbau und die gleiche Funktion, wie sie bereits oben unter Bezugnahme auf die Ausführungsform nach Fig. 1 erläutert wurden. which consists of a light source 13b and a second beam splitter 14b. The Greenough system is characterized in that the optical axes Xa 'and Xb' of the first and second observation system cross each other directly on the 5 sample 5. The optical axes Xa ', Xb' of the first and second observation systems and the optical Ya 'and Yb' of the first and second illumination systems are common in the plane of FIG. 2; the two polarizers 16a, 16b and the two analyzers 17a, 17b have the same structure and the same function as were already explained above with reference to the embodiment according to FIG. 1.

C C.

2 Blatt Zeichnungen 2 sheets of drawings

Claims (2)

652 833 2 652 833 2 PATENTANSPRÜCHE die Probe selbst keine polarisierende Wirkung hat; dies ist PATENT CLAIMS the sample itself has no polarizing effect; This is 1. Stereomikroskop mit koaxialer Auflicht-Beleuchtung darauf zurückzuführen, dass die Polarisationsrichtungen der zur stereoskopen Beobachtung einer Probe mit einem ersten Beobachtungslichtstrahlen in beiden Beobachtungssystemen und einem zweiten Beobachtungssystem mit jeweils einer Ob- jeweils im rechten Winkel zueinander liegen. 1. Stereomicroscope with coaxial reflected light illumination due to the fact that the polarization directions for the stereoscopic observation of a sample with a first observation light beam in both observation systems and a second observation system are each at an angle to each other. jektivlinse und einer Okularlinse, die in gegenseitiger symme- 5 Aus der offengelegten, japanischen Gebrauchsmusteran-trischer Lage angeordnet sind, mit einem ersten und einem meidung 53-52 154 der Anmelderin ist eine Konstruktion ei-zweiten Beleuchtungssystem, die jeweils einen ersten und ei- nes Stereomikroskops bekannt, die im wesentlichen gleiche nen zweiten Strahlteiler umfassen, die symmetrisch zueinan- Helligkeitspegel und gleiche Farben für die beiden Beobach-der in den Beobachtungssystemen zwischen der Objektivlinse tungssysteme liefert; auch hier tritt jedoch der obenerwähnte und der Okularlinse angeordnet sind, um durch die Strahltei- 10 Nachteil des relativ starken Lichtverlustes auf. 1er Beleuchtungsstrahlen auf die Probe einzustrahlen, wobei Gemäss der DE-OS 28 47 962 ist auch bereits ein Stereo- ■ die optischen Achsen des ersten und des zweiten Beobach- mikroskop der eingangs erwähnten Art vorgeschlagen wor-tungssystems und die optischen Achsen des ersten und zwei- den, das zwei Beobachtungssysteme mit jeweils einer Objekten Beleuchtungssystems so angeordnet sind, dass sie in einer tivlinse, einer Okularlinse und einem Strahlteiler, der zwi-gemeinsamen, die Einfallsebene bildenden Ebene liegen, und 15 sehen dem Objektiv und dem Okular liegt, und zwei Beleuch-wobei der erste und der zweite Strahlteiler jeweils an den tungssystemen mit einer gemeinsamen Einfallsebene für die Schnittpunkten der optischen Achsen des ersten und zweiten beiden Strahlteiler aufweist. Als Strahlteiler werden hierbei Beobachtungssystems mit den optischen Achsen des ersten normale halbdurchlässige Spiegel verwendet. Das bedingt je-und zweiten Beleuchtungssystems liegen, mit Polarisatoren, doch, dass die Lichtverluste verhältnismässig gross sind und die jweils in den Strahlengängen des ersten und zweiten Be- 20 dass der Wirkungsgrad insgesamt verhältnismässig niedrig leuchtungssystems vor dem ersten und dem zweiten Strahltei- ist. The first lens and one eyelid 53-52 154 of the applicant is a construction of a second lighting system, each of which has a first and a second lens system. Nes known stereomicroscope, which comprise substantially the same NEN second beam splitter, which provides symmetrical to each other brightness levels and the same colors for the two observers in the observation systems between the objective lens systems; here, too, however, the above-mentioned and the ocular lens are arranged, due to the disadvantage of the relatively strong loss of light. To irradiate 1er illumination beams onto the sample, whereby according to DE-OS 28 47 962 a stereo word system is already proposed and the optical axes of the first and second observation microscopes of the type mentioned at the beginning and the optical axes of the first and two - that two observation systems, each with an object illumination system, are arranged in such a way that they lie in a tiv lens, an eyepiece lens and a beam splitter, which lie between the common plane forming the plane of incidence, and 15 see the objective and the eyepiece, and two Illumination - the first and the second beam splitter each having on the system with a common plane of incidence for the intersection of the optical axes of the first and second two beam splitters. Observation systems with the optical axes of the first normal semi-transparent mirror are used as beam splitters. The conditions for each and second lighting system lie, with polarizers, but that the light losses are comparatively large and that in the beam paths of the first and second beam 20, that the overall efficiency is relatively low lighting system before the first and the second beam part. 1er angeordnet sind, wobei die Polarisatoren derart angeord- Der vorliegenden Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zu-net sind, dass ihre Polarisationsrichtung senkrecht zu der Ein- gründe, ausgehend von dem bekannten, eingangs erwähnten fallsebene verläuft, mit entsprechenden Analysatoren, die in Stereomikroskop dieses derart zu verbessern, dass der Beden Strahlengängen des ersten und zweiten Beobachtungssy- 25 leuchtungswirkungsgrad wesentlich erhöht wird. The polarizers are arranged in such a way that their direction of polarization is perpendicular to the reasons, starting from the known case plane mentioned at the outset, with corresponding analyzers which are placed in a stereomicroscope to be improved in such a way that the beam path of the first and second observation lighting efficiency is significantly increased. stems zwischen dem ersten und dem zweiten Strahlteiler und Die Lösung dieser Aufgabe ergibt sich aus den kennzeich-den entsprechenden Okularlinsen angeordnet sind, wobei die nenden Merkmalen des Anspruchs 1. Aufgrund der besonde-Analysatoren derart angeordnet sind, dass ihre Polarisations- ren Ausbildung der Strahlungsteiler wird es möglich, die Verrichtung parallel zu der Einfallsebene verläuft, und mit einer luste an Beleuchtungslicht und Beobachtungslicht erheblich Wellenlängenplatte, die zwischen der Probe und wenigstens 30 zu reduzieren, so dass eine verbesserte Beleuchtung und eine einer der Objektivlinsen angeordnet ist und die eine Drehung verbesserte Beobachtung mit bemerkenswert leuchtstarken der Polarisationsrichtung in dem polarisierten Strahl, der stereoskopischen Bildern erhalten wird, wobei wenigstens ein durch eine Objektivlinse fällt, an der Probe reflektiert wird Wirkungsgrad von etwa 50% erzielt wird, was eine Verbessernd sodann durch die andere Objektivlinse hindurchgeht, um rung gegenüber den bereits bekannten Stereomikroskopen 90 Grad bewirkt, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahltei- 35 von etwa 100% bedeutet. stems between the first and the second beam splitter and the solution to this problem arises from the characterizing corresponding eyepiece lenses are arranged, the naming features of claim 1. Because of the special analyzers are arranged in such a way that their polarization forms the radiation splitter it becomes possible to run parallel to the plane of incidence, and with a burst of illumination light and observation light, significantly reduce the wavelength plate between the sample and at least 30, so that improved illumination and one of the objective lenses are arranged and which improve rotation Observation with remarkably bright polarization direction in the polarized beam obtained stereoscopic images, with at least one falling through an objective lens, reflecting on the sample, efficiency of about 50% is achieved, which is then improved by the other objective lens is about 90 degrees compared to the already known stereomicroscopes, characterized in that the beam portion 35 means about 100%. 1er (4a, 4b; 14a, 14b) derart ausgebildet sind, dass sie für senk- Eine besonders günstige und besonders vorteilhafte Ausrecht zur Einfallsebene polarisiertes Licht einen grossen Re- führung ergibt sich dann, wenn Strahlteiler verwendet wer-flexions- und einen kleinen Transmissionskoeffizienten und den, die wenigstens 90% des senkrecht zu der Einfallsebene für parallel zur Einfallsebene polarisiertes Licht einen grossen polarisierten Lichts reflektieren und wenigstens 90% des par-Transmissionskoeffizienten und einen kleinen Reflexionsko- 40 allei zu der Einfallsebene polarisierten Lichts durchlassen, effizienten aufweisen, wobei die Strahlteiler wenigstens 70% Hierdurch kann der Wirkungsgrad noch weiter bis auf über des senkrecht zu der Einfallsebene polarisierten Lichts reflek- 80% gesteigert werden. 1s (4a, 4b; 14a, 14b) are designed in such a way that they have a high degree of guiding for vertical light, which is particularly favorable and particularly advantageous for the plane of incidence, when beam splitters are used and a small transmission coefficient is used and which efficiently reflect at least 90% of the light perpendicular to the plane of incidence for light polarized parallel to the plane of incidence and which transmit at least 90% of the par transmission coefficient and a small reflection coefficient 40 polarized light to the plane of incidence, the Beam splitter at least 70%. As a result, the efficiency can be increased even further up to 80% above the light polarized perpendicular to the plane of incidence. tieren und wenigstens 70% des parallel zu der Einfallsebene Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausfüh- animals and at least 70% of the parallel to the plane of incidence. polarisierten Lichts durchlassen. rungsbeispielen unter Bezugnahme auf die schematischen Allow polarized light. Example with reference to the schematic 2. Stereomikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekenn- 45 Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt zeichnet,dass die Strahlteiler wenigstens 90% des senkrecht zu Fig. 1 einen Querschnitt durch das optische System einer der Einfallsebene polarisierten Lichts reflektieren und wenig- ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, 2. Stereomicroscope according to claim 1, characterized 45 marked drawings. It shows that the beam splitters reflect at least 90% of the cross section through the optical system of a light polarized on the plane of incidence perpendicular to FIG. 1 and at least a first embodiment of the present invention. stens 90% des parallel zu der Einfallsebene polarisierten Fig. 2 eine Ansicht der Beziehung zwischen der Polarisa- at least 90% of FIG. 2 polarized parallel to the plane of incidence is a view of the relationship between the polarization Lichts durchlassen. tionsrichtung P des Polarisators, dem Winkel der Achse H der Let light through. tion direction P of the polarizer, the angle of the axis H of the 50 y/4-Platte, dem Winkel der Einfallsebene S zu dem Strahlen- 50 y / 4 plate, the angle of the plane of incidence S to the radiation teiler und der Polarisationsrichtung A des Analysators, divider and the polarization direction A of the analyzer, Fig. 3 eine Kurvendarstellung der Spektralkennlinie der Fig. 3 is a graph of the spectral characteristic of
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