DE112023004143T5 - Oberflächenrauheits-berechnungsvorrichtung - Google Patents

Oberflächenrauheits-berechnungsvorrichtung

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Yoshitaka Igarashi
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Sumitomo Heavy Industries Ltd
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JP6105987B2 (ja) * 2013-03-15 2017-03-29 キヤノン株式会社 画像処理装置及びその制御方法
US9797716B2 (en) * 2015-01-09 2017-10-24 Ricoh Company, Ltd. Estimating surface properties using a plenoptic camera
JP2017071476A (ja) * 2015-10-07 2017-04-13 三菱レイヨン株式会社 ロールおよびウェブ搬送装置
JP7488224B2 (ja) * 2021-06-08 2024-05-21 住友重機械工業株式会社 表面粗さ測定方法、表面粗さ測定装置、及びプログラム

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