JP7488224B2 - 表面粗さ測定方法、表面粗さ測定装置、及びプログラム - Google Patents
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Description
測定対象表面にレーザビームを入射させ、前記測定対象表面からの散乱光強度の角度分布を検出して散乱光強度の角度分布を測定し、
粗さ指標の暫定値を用いて計算により求められた散乱光強度の角度分布と、測定により求められた散乱光強度の角度分布とが、第1フィッティング条件を満たすまで、前記粗さ指標の暫定値を修正し、
前記第1フィッティング条件が満たされたときの前記粗さ指標の暫定値を、前記測定対象表面の前記粗さ指標の値として決定し、
Kコリレーションモデルのパラメータの暫定値を用いて、Kコリレーションモデルにより計算された自己共分散と、前記第1フィッティング条件が満たされたときの前記粗さ指標の暫定値から求めた自己共分散とが、第2フィッティング条件を満たすまで、前記パラメータの暫定値を修正し、
前記第2フィッティング条件が満たされたときの、前記パラメータの暫定値に基づいて、前記測定対象表面の二乗平均平方根傾斜を算出する表面粗さ測定方法が提供される。
測定対象表面にレーザビームを入射させて測定された散乱光の強度が入力され、入力された測定値に基づいて、散乱光強度の角度分布を生成する散乱光強度分布実測値算出部と、
粗さ指標の暫定値を用いて計算された散乱光強度の角度分布と、前記散乱光強度分布実測値算出部で生成された散乱光強度の角度分布とが、第1フィッティング条件を満たすまで、前記粗さ指標の暫定値を修正し、前記第1フィッティング条件が満たされたときの前記粗さ指標の暫定値を、前記測定対象表面の前記粗さ指標の値として決定する粗さ指標算出部と
を備え、
前記粗さ指標は、前記測定対象表面の形状の表面相関長を含み、
前記粗さ指標算出部は、
Kコリレーションモデルのパラメータの暫定値を用いて、Kコリレーションモデルにより計算された自己共分散と、前記第1フィッティング条件が満たされたときの前記粗さ指標の暫定値から求めた自己共分散とが、第2フィッティング条件を満たすまで、前記パラメータの暫定値を修正し、
前記第2フィッティング条件が満たされたときの、前記パラメータの暫定値に基づいて、前記測定対象表面の二乗平均平方根傾斜を算出する表面粗さ測定装置が提供される。
測定対象表面にレーザビームを入射させて前記測定対象表面から散乱した散乱光の強度を測定して得られた散乱光強度の角度分布を取得する手順と、
粗さ指標の暫定値を用いて計算された散乱光強度の角度分布と、測定された散乱光強度の角度分布とが、第1フィッティング条件を満たすまで、前記粗さ指標の暫定値を修正する手順と、
前記第1フィッティング条件が満たされたときの前記粗さ指標の暫定値を、前記測定対象表面の前記粗さ指標の値として出力する手順と、
Kコリレーションモデルのパラメータの暫定値を用いて、Kコリレーションモデルにより計算された自己共分散と、前記第1フィッティング条件が満たされたときの前記粗さ指標の暫定値から求めた自己共分散とが、第2フィッティング条件を満たすまで、前記パラメータの暫定値を修正する手順と、
前記第2フィッティング条件が満たされたときの、前記パラメータの暫定値に基づいて、前記測定対象表面の二乗平均平方根傾斜を算出する手順と
をコンピュータに実行させるプログラムが提供される。
図2は、測定対象表面30Aの二乗平均平方根粗さRq及び表面相関長Lcの算出方法を示すフローチャートである。測定対象表面30Aは、ガウシアン自己共分散によって記述されると仮定する。粗面の自己共分散Csは、以下の式で記述される。
次に、GHS理論によるBRDFモデルを用いて散乱光強度分布計算値を算出する方法について簡単に説明する。なお、GHS理論によるBRDFモデルについては、V. E. Johansen, "Preparing the generalized Harvey-Schack rough surface scattering method for use with the discrete ordinates method", J. of Optical Society of America, Vol.32, No.2, February 2015に詳細に説明されている。
第1フィッティング条件を満たすか否かの判定を行う前に、散乱光強度分布実測値に対してノイズ除去処理を行う。ノイズ除去を行う方法の候補として、フーリエ解析法、多重解像度解析法、特異スペクトル解析法等が挙げられる。
図3は、二乗平均平方根傾斜Rdqの算出方法を示すフローチャートである。二乗平均平方根傾斜Rdqの算出に、Kコリレーションモデルを用いる。まず、Kコリレーションモデルのパラメータの暫定値を決定する(ステップSB1)。この暫定値の初期値は、例えば入出力装置25から入力される。
11 支持機構
15 光強度分布測定器
16 ガイド
17 光検出器
18 レンズ
19 カメラ
20 処理装置
21 データ取得部
22 散乱光強度分布実測値算出部
23 粗さ指標算出部
25 入出力装置
30 測定対象物
30A 測定対象表面
33 散乱光
Claims (10)
- 測定対象表面にレーザビームを入射させ、前記測定対象表面からの散乱光強度の角度分布を検出して散乱光強度の角度分布を測定し、
粗さ指標の暫定値を用いて計算により求められた散乱光強度の角度分布と、測定により求められた散乱光強度の角度分布とが、第1フィッティング条件を満たすまで、前記粗さ指標の暫定値を修正し、
前記第1フィッティング条件が満たされたときの前記粗さ指標の暫定値を、前記測定対象表面の前記粗さ指標の値として決定し、
Kコリレーションモデルのパラメータの暫定値を用いて、Kコリレーションモデルにより計算された自己共分散と、前記第1フィッティング条件が満たされたときの前記粗さ指標の暫定値から求めた自己共分散とが、第2フィッティング条件を満たすまで、前記パラメータの暫定値を修正し、
前記第2フィッティング条件が満たされたときの、前記パラメータの暫定値に基づいて、前記測定対象表面の二乗平均平方根傾斜を算出する表面粗さ測定方法。 - 測定対象表面にレーザビームを入射させ、前記測定対象表面からの散乱光強度の角度分布を検出して散乱光強度の角度分布を測定し、
粗さ指標の暫定値を用いて計算により求められた散乱光強度の角度分布と、測定により求められた散乱光強度の角度分布とが、第1フィッティング条件を満たすまで、前記粗さ指標の暫定値を修正し、
前記第1フィッティング条件が満たされたときの前記粗さ指標の暫定値を、前記測定対象表面の前記粗さ指標の値として決定し、
前記第1フィッティング条件が満たされるか否かの判定において、測定された散乱光強度の角度分布に対して特異スペクトル解析を用いてノイズ除去を行い、ノイズ除去された散乱光強度の角度分布と、計算により求められた散乱光強度の角度分布とを比較する表面粗さ測定方法。 - 前記粗さ指標は、二乗平均平方根粗さを含む請求項2に記載の表面粗さ測定方法。
- 前記粗さ指標は、前記測定対象表面の形状の表面相関長を含む請求項2に記載の表面粗さ測定方法。
- 測定された散乱光強度の角度分布に対して特異スペクトル解析を用いてノイズ除去を行う際に、特異スペクトル解析に用いる決定係数及び窓サイズを、赤池情報量基準を用いて決定する請求項2乃至4のいずれか1項に記載の表面粗さ測定方法。
- 測定対象表面にレーザビームを入射させて測定された散乱光の強度が入力され、入力された測定値に基づいて、散乱光強度の角度分布を生成する散乱光強度分布実測値算出部と、
粗さ指標の暫定値を用いて計算された散乱光強度の角度分布と、前記散乱光強度分布実測値算出部で生成された散乱光強度の角度分布とが、第1フィッティング条件を満たすまで、前記粗さ指標の暫定値を修正し、前記第1フィッティング条件が満たされたときの前記粗さ指標の暫定値を、前記測定対象表面の前記粗さ指標の値として決定する粗さ指標算出部と
を備え、
前記粗さ指標は、前記測定対象表面の形状の表面相関長を含み、
前記粗さ指標算出部は、
Kコリレーションモデルのパラメータの暫定値を用いて、Kコリレーションモデルにより計算された自己共分散と、前記第1フィッティング条件が満たされたときの前記粗さ指標の暫定値から求めた自己共分散とが、第2フィッティング条件を満たすまで、前記パラメータの暫定値を修正し、
前記第2フィッティング条件が満たされたときの、前記パラメータの暫定値に基づいて、前記測定対象表面の二乗平均平方根傾斜を算出する表面粗さ測定装置。 - 前記粗さ指標は、二乗平均平方根粗さを含む請求項6に記載の表面粗さ測定装置。
- 前記粗さ指標算出部は、
前記第1フィッティング条件が満たされるか否かの判定において、測定された散乱光強度の角度分布に対して特異スペクトル解析を用いてノイズ除去を行い、ノイズ除去された散乱光強度の角度分布と、粗さ指標の暫定値を用いて計算された散乱光強度の角度分布とを比較する請求項6または7に記載の表面粗さ測定装置。 - 測定対象表面にレーザビームを入射させて測定された散乱光の強度が入力され、入力された測定値に基づいて、散乱光強度の角度分布を生成する散乱光強度分布実測値算出部と、
粗さ指標の暫定値を用いて計算された散乱光強度の角度分布と、前記散乱光強度分布実測値算出部で生成された散乱光強度の角度分布とが、第1フィッティング条件を満たすまで、前記粗さ指標の暫定値を修正し、前記第1フィッティング条件が満たされたときの前記粗さ指標の暫定値を、前記測定対象表面の前記粗さ指標の値として決定する粗さ指標算出部と
を備え、
前記粗さ指標算出部は、
前記第1フィッティング条件が満たされるか否かの判定において、測定された散乱光強度の角度分布に対して特異スペクトル解析を用いてノイズ除去を行い、ノイズ除去された散乱光強度の角度分布と、粗さ指標の暫定値を用いて計算された散乱光強度の角度分布とを比較し、
前記粗さ指標算出部は、
測定された散乱光強度の角度分布に対して特異スペクトル解析を用いてノイズ除去を行う際に、特異スペクトル解析に用いる決定係数及び窓サイズを、赤池情報量基準を用いて決定する表面粗さ測定装置。 - 測定対象表面にレーザビームを入射させて前記測定対象表面から散乱した散乱光の強度を測定して得られた散乱光強度の角度分布を取得する手順と、
粗さ指標の暫定値を用いて計算された散乱光強度の角度分布と、測定された散乱光強度の角度分布とが、第1フィッティング条件を満たすまで、前記粗さ指標の暫定値を修正する手順と、
前記第1フィッティング条件が満たされたときの前記粗さ指標の暫定値を、前記測定対象表面の前記粗さ指標の値として出力する手順と、
Kコリレーションモデルのパラメータの暫定値を用いて、Kコリレーションモデルにより計算された自己共分散と、前記第1フィッティング条件が満たされたときの前記粗さ指標の暫定値から求めた自己共分散とが、第2フィッティング条件を満たすまで、前記パラメータの暫定値を修正する手順と、
前記第2フィッティング条件が満たされたときの、前記パラメータの暫定値に基づいて、前記測定対象表面の二乗平均平方根傾斜を算出する手順と
をコンピュータに実行させるプログラム。
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