DE112017006952T5

DE112017006952T5 - Flüssigkeitsringvakuumpumpe

Info

Publication number: DE112017006952T5
Application number: DE112017006952.1T
Authority: DE
Inventors: Hiroyuki Kawasaki; Nozomu Sasaki
Original assignee: Ebara Corp
Current assignee: Ebara Corp
Priority date: 2017-01-30
Filing date: 2017-12-08
Publication date: 2019-10-31
Also published as: CN110199125B; CN113202764B; US11143186B2; CN113202764A; US20200141410A1; CN110199125A; WO2018139070A1

Abstract

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe, bei der Laufräder von zwei Stufen an einem axialen Endteil einer Hauptwelle (sich drehende Welle) eines Motors angebracht sind. Die zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe weist ein Laufrad (4) einer ersten Stufe auf, welches in einer Pumpenkammer (1) einer ersten Stufe vorgesehen ist, weiter ein Laufrad (5) einer zweiten Stufe, welches in einer Pumpenkammer (2) der zweiten Stufe vorgesehen ist, eine einzige, sich drehende Welle (7), an der das Laufrad (4) der ersten Stufe und das Laufrad (5) der zweiten Stufe befestigt sind, und wobei ein Auslassanschluss (Pd) der Pumpenkammer 1 der ersten Stufe und ein Einlassanschluss (Ps) der Pumpenkammer 2 der zweiten Stufe miteinander in Verbindung stehen. Ein Außendurchmesser des Laufrades (4) der ersten Stufe ist größer als ein Außendurchmesser des Laufrades (5) der zweiten Stufe.

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe, bei der zweistufige Laufräder bzw. Laufräder in zwei Stufen an einem axialen Endteil einer Hauptwelle (sich drehende Welle) eines Motors angebracht sind. Weiterhin bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine Flüssigkeitsringvakuumpumpe, die ein kreisförmiges Gehäuse hat, weiter ein Laufrad, welches exzentrisch bezüglich einer Mitte des kreisförmigen Gehäuses angebracht ist, und einen Wellendichtungsteil, der in einem Teil vorgesehen ist, wo die Hauptwelle durch das Gehäuse verläuft, um das Laufrad zu tragen.
Technischer Hintergrund
Eine Flüssigkeitsringvakuumpumpe ist bekannt, die ein kreisförmiges Gehäuse und ein Laufrad hat, welches exzentrisch bezüglich einer Mitte des kreisförmigen Gehäuses angebracht ist, wobei Wasser oder eine andere Flüssigkeit in dem Gehäuse eingeschlossen ist, wobei ein Flüssigkeitsfilm (Flüssigkeitsring) entlang einer Innenwand des Gehäuses durch eine Zentrifugalkraft gebildet wird, die durch eine Drehung des Laufrades verursacht wird, und wobei eine Pumpwirkung ausgeführt bzw. erreicht wird durch Verwendung einer volumetrischen Änderung einer Schaufelkammer, die durch den Flüssigkeitsfilm und zwei benachbarte Schaufeln gebildet wird.
In dem Fall, wo eine Flüssigkeitsringvakuumpumpe für hohes Vakuum ausgelegt wird, werden zweistufige Laufräder oder ein Ejektor verwendet. Jedoch werden beide davon bezüglich Größe und Masse groß. Insbesondere im Fall von den zweistufigen Laufrädern wird in vielen Fällen eine sich drehende Welle bzw. Drehwelle, an der zwei Laufräder befestigt sind, an beiden axialen Endteilen der sich drehenden Welle durch Lager getragen, wobei diese somit in einer Gesamtlänge der Vakuumpumpe lang wird.
In dem Fall, wo eine Pumpe mit kleiner Größe und hohes Vakuum ausgelegt wird, wird bei einer herkömmlichen Pumpenstruktur, bei der die sich drehende Welle an ihren beiden Endteilen gelagert ist, bezüglich der Größe groß. Daher sind in einigen Fällen zweistufige Laufräder an einem axialen Endteil einer sich drehenden Welle eines direkt wirkenden Motors vorgesehen, um die Vakuumpumpe klein zu machen und ein Gewicht der Vakuumpumpe zu verringern.
In dem Fall, wo eine zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe ausgelegt wird, ist es übliche Praxis, eine Breite eines Laufrades der ersten Stufe auf einer Vakuumseite größer zu machen als jene eines Laufrades der zweiten Stufe auf einer Atmosphärendruckseite, wodurch eine Auslassgeschwindigkeit vergrößert wird.
Das Patentdokument 1 (Japanisches Gebrauchsmuster, Registrierungsnummer 2508668) offenbart eine zweistufige Wasserringvakuumpumpe, welche eine Vakuumpumpe mit Laufrädern in zwei Stufen aufweist, die an einem axialen Endteil einer sich drehenden Welle eines direkt wirkenden Motors vorgesehen sind, wobei ein Laufrad (106) der ersten Stufe in einer Pumpenkammer (105) der ersten Stufe vorgesehen ist, und wobei ein Laufrad (108) der zweiten Stufe in einer Pumpenkammer (107) der zweiten Stufe vorgesehen ist, die an der gleichen sich drehenden Welle befestigt sind, und wobei ein Auslassanschluss der Pumpenkammer (105) der ersten Stufe mit einem Einlassanschluss der Pumpenkammer (107) der zweiten Stufe in Verbindung steht.
Weiterhin ist die Flüssigkeitsringvakuumpumpe mit einer Hauptwelle eines Motors verbunden, der separat angeordnet ist, und wird durch einen solchen Motor angetrieben, oder die Flüssigkeitsringvakuumpumpe, deren Laufrad an einer Hauptwelle eines direkt wirkenden Motors angebracht ist, wird durch einen solchen direkt wirkenden Motor angetrieben. Weiterhin wird eine Wellendichtungskomponente, wie beispielsweise eine mechanische Dichtung bzw. Gleitringdichtung zum Ausführen einer Wellenabdichtung in einem Teil vorgesehen, wo die Hauptwelle zum Tragen des Laufrades durch ein Gehäuse an einer Auslassseite verläuft.
Es ist bekannt, dass das Erhöhen einer Geschwindigkeit bzw. Drehzahl der Vakuumpumpe einen Durchmesser des Laufrades kleiner machen kann, um die Vakuumpumpe kleiner zu machen und somit ein Gewicht der Vakuumpumpe zu verringern. Wenn beispielsweise der Motor zum Antreiben der Vakuumpumpe von einem vierpoligen Motor auf einen zweipoligen Motor umgewechselt wird, hat der zweipolige Motor eine höhere Rotationsgeschwindigkeit als der vierpolige Motor, und somit ist ein Durchmesser des Laufrades, welches durch den zweipoligen Motor angetrieben wird, so ausgelegt, dass er kleiner ist als jener des Laufrades, welches durch den vierpoligen Motor angetrieben wird, so dass eine Wellenleistung nicht übermäßig groß wird. Um ein Volumen der Schaufelkammer, welche durch die zwei benachbarten Schaufeln gebildet wird, möglichst groß zu machen, während der Durchmesser des Laufrades klein gehalten wird, wird ein Ansatzdurchmesser bzw. Nabendurchmesser des Laufrades klein gemacht. Bei der Flüssigkeitsringvakuumpumpe ist es nötig, den Flüssigkeitsfilm zu bilden, während ein seitliches Spiel zwischen dem Laufrad und dem Gehäuse schmäler gemacht wird, um das Einlassen und das Auslassen eines Gases in einem Raum auszuführen der durch das Laufrad gebildet wird.
Zitierungsliste
Patentliteratur

Patentdokument 1: Japanisches Gebrauchsmuster Registrierungsnummer 2508668
Patentdokument 2: Offengelegtes japanisches Patent Veröffentlichungsnummer 2015-175322

Zusammenfassung der Erfindung
Technisches Problem
Bezüglich der obigen zweistufigen Wasserringvakuumpumpe wird die folgende Beschreibung in Absatz [0004] des Patentdokuments 1 dargelegt.
„Bei der obigen zweistufigen Wasserringpumpe wird Einlassluft in der Pumpenkammer (105) der ersten Stufe komprimiert und fließt dann in die Pumpenkammer (107) der zweiten Stufe in einem Zustand, wo ein Volumen der Luft verringert ist. Daher ist es nötig, dass eine Flussrate der Luft in der Pumpenkammer (107) der zweiten Stufe abhängig von einem Ausmaß der Kompression kleiner gemacht wird als eine Flussrate der Luft in der Pumpenkammer (105) der ersten Stufe. Somit spricht im Allgemeinen nur eine Änderung der Breitenabmessungen von beiden Laufrädern (106, 108) die Änderungen der Flussrate der Luft an bzw. beeinflusst diese.“
Wie in dem Patentdokument 1 beschrieben, hat insbesondere bei der herkömmlichen zweistufigen Wasserringvakuumpumpe nur eine Änderung der Breitenabmessungen von beiden Laufrädern die Änderungen der Flussrate der Luft angesprochen, die durch die Kompression verursacht wurde, während die Außendurchmesser von beiden Laufrädern gleichgehalten wurden.
Auf diese Weise wird der Grund, warum nur eine Änderung der Breitenabmessungen von beiden Laufrädern bei der herkömmlichen zweistufigen Wasserringvakuumpumpe ausgeführt worden ist, während die Außendurchmesser von beiden Laufrädern gleich gehalten wurden, als folgender angesehen: mehrere Konstruktionen von Querschnitten senkrecht zu einer Achse der sich drehende Welle sind erforderlich, wenn die Außendurchmesser der Laufräder beim Zeitpunkt der Auslegung der Laufräder voneinander abweichen, jedoch ist nur eine einzige Ansicht des Querschnittes senkrecht zur Achse der sich drehenden Welle erforderlich, wenn die Breitenabmessungen der Laufräder verändert werden, was somit den Konstruktions- bzw. Auslegungsvorgang einfacher macht.
Bei dem herkömmlichen Verfahren jedoch, bei dem nur die Breitenabmessungen von beiden Laufrädern verändert werden, während die Außendurchmesser von beiden Laufrädern bei der zweistufigen Wasserringvakuumpumpe gleichgehalten werden, wird die sich drehende Welle in einem Fall, wo die zweistufige Wasserflüssigkeitsringvakuumpumpe eine fliegende Lagerung hat bzw. fliegend strukturiert ist, bei der die Laufräder der zwei Stufen an einem axialen Endteil einer sich drehenden Welle eines Motors angebracht sind, lang, wenn sie eine fliegende Lagerung hat bzw. fliegend strukturiert ist, was eine Wirbelschwingung der sich drehenden Welle bewirkt, was eine Leistungsverschlechterung der Vakuumpumpe zur Folge hat.
Weiterhin ist es bei dem herkömmlichen Verfahren, bei dem nur eine Veränderung der Breitenabmessungen von beiden Laufrädern ausgeführt wird, während die Außendurchmesser von beiden Laufrädern gleich bleiben, nötig, die Breitenabmessungen von beiden Laufrädern der zwei Stufen zu vergrößern, wenn die Auslassgeschwindigkeit vergrößert wird, um das letztendliche Vakuum zu verbessern, was somit einen sich drehenden Körper länger macht, der die sich drehende Welle mit fliegender Lagerung bzw. einseitig gelagerte, sich drehende Welle aufweist. Da in diesem Fall die fliegend strukturierte, sich drehende Welle länger wird, werden Eigenfrequenzen des sich drehenden Körpers einschließlich der sich drehenden Welle niedriger. Wenn die sich drehende Welle mit einer höheren Drehzahl gedreht wird, ist es daher wahrscheinlich, dass die Frequenz der sich drehenden Welle näher an die Eigenfrequenz (kritische Drehzahl) kommt, was somit wahrscheinlich eine Resonanz verursacht.
Andererseits wird, wie oben beschrieben, im Fall der Beschleunigung der Vakuumpumpe der Durchmesser der Hauptwelle so weit wie möglich mit ausreichendem Sicherheitsrahmen für Festigkeit vergrößert, um zu verhindern, dass das Laufrad durch Auslenkung der Hauptwelle auf Grund des Eigengewichtes des sich drehenden Körpers in Kontakt mit dem Gehäuse kommt. Die Abmessung der Wellendichtungskomponente, wie beispielsweise einer mechanischen Dichtung bzw. Gleitringdichtung, wird durch den Durchmesser der Hauptwelle bestimmt. Wenn daher, wie oben beschrieben, die Hauptwelle so ausgelegt ist, dass ihr Durchmesser so weit wie möglich vergrößert wird, wird ein Innendurchmesser eines Gehäuseraums für das Gehäuse der Gleitringdichtungskomponente größer als ein Ansatz- bzw. Nabendurchmesser des Laufrades an einer Auslassseite, und somit stehen jeweilige Schaufelkammern miteinander durch den Gehäuseraum zur Aufnahme der Gleitringdichtungskomponente in Verbindung, und entsprechend können die Schaufelkammern als abgedichtete Räume nicht geformt werden.
11 ist eine schematische Ansicht, welche Hauptelemente einer herkömmlichen Flüssigkeitsringvakuumpumpe zeigt. Wie in 11 gezeigt, ist eine Wellendichtungskomponente 10B, wie beispielsweise eine mechanische Dichtung bzw. Gleitringdichtung zum Ausführen einer Wellenabdichtung in einem Teil vorgesehen, wo eine Hauptwelle (sich drehende Welle) 7 zum Tragen eines Laufrades 4 einer ersten Stufe auf einer Einlassseite und eines Laufrades 5 einer zweiten Stufe auf einer Auslassseite durch ein Auslassgehäuse 9 verläuft. Um zu verhindern, dass das Laufrad durch Druckfluktuation in einer Schaufelkammer während des Betriebs oder durch Auslenkung der Hauptwelle aufgrund des Eigengewichtes eines sich drehenden Körpers in Kontakt mit dem Gehäuse gebracht wird, wird ein Durchmesser der Hauptwelle so weit wie möglich vergrößert, und zwar mit ausreichendem Sicherheitsrahmen für die Festigkeit. Daher wird ein Innendurchmesser D3 eines Gehäuseraums zur Aufnahme der Gleitringdichtungskomponente 10B in dem Auslassgehäuse 9 größer als ein Nabendurchmesser D4 des Laufrades 5 der zweiten Stufe an einer Auslassseite, und somit stehen jeweilige Schaufelkammern, welche durch beide Seitenwände des Gehäuses, den Flüssigkeitsfilm und die benachbarten zwei Schaufeln gebildet werden, miteinander durch den Gehäuseraum zur Aufnahme der Wellendichtungskomponente 10B in Verbindung, und entsprechend können die Schaufelkammern als abgedichtete Räume nicht gebildet werden.
Um das obige Problem zu lösen, ist es gewöhnlicherweise notwendig gewesen, die Vakuumpumpe in einer derartigen Weise auszulegen, dass das Auslassgehäuse in eine Vielzahl von Segmenten aufgeteilt ist, wobei der Durchmesser der Hauptwelle kleiner gemacht wird, wobei der Nabendurchmesser des Laufrades größer gemacht wird, und wobei eine weitere Komponente in dem Gehäuseraum zur Aufnahme der Wellendichtungskomponente eingefügt wird. Jedoch haben solche herkömmlichen Maßnahmen Nachteile, wie beispielsweise die Zunahme der Anzahl der Teile oder der Pumpengröße, eine Resonanz auf Grund von schlechter Festigkeit oder eine Verringerung der Auslassgeschwindigkeit.
Die vorliegende Erfindung ist im Hinblick auf die obigen Nachteile gemacht worden. Es ist daher ein Ziel der vorliegende Erfindung, eine zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe vorzusehen, welche eine fliegend gelagerte Struktur hat, wobei Laufräder von zwei Stufen an einem axialen Endteil einer sich drehenden Welle eines Motors angebracht sind, was die Länge der sich drehenden Welle verkürzen kann, um Verwirbelungsschwingungen der sich drehenden Welle zu verhindern, und was eine hohe Eigenfrequenz eines sich drehenden Körpers einrichten kann, der die sich drehende Welle mit einschließt.
Außerdem ist es ein weiteres Ziel der vorliegende Erfindung eine Flüssigkeitsringvakuumpumpe vorzusehen, die verhindern kann, dass jeweilige Schaufelkammern miteinander durch einen Gehäuseraum zur Aufnahme einer Wellendichtungskomponente in Verbindung kommen, und welche die Schaufelkammern als abgedichtete Räume in dem Laufrad ohne irgendeine derartige Konstruktionsmaßnahme formen kann, wie das Aufteilen eines Auslassgehäuses, eine Verringerung eines Durchmessers einer Hauptwelle oder eine Vergrößerung eines Nabendurchmessers des Laufrades.
Lösung für das Problem
Um das obige Ziel zu erreichen, wird gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung eine zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe vorgesehen, die Folgendes aufweist: ein Laufrad der ersten Stufe, welches in einer Pumpenkammer der ersten Stufe vorgesehen ist; ein Laufrad der zweiten Stufe, welches in einer Pumpenkammer der zweiten Stufe vorgesehen ist; eine einzelne sich drehende Welle, an welcher das Laufrad der ersten Stufe und das Laufrad der zweiten Stufe befestigt sind; und einen Auslassanschluss der Pumpenkammer der ersten Stufe und einen Einlassanschluss der Pumpenkammer der zweiten Stufe, die miteinander in Verbindung stehen, wobei ein Außendurchmesser des Laufrades der ersten Stufe größer ist als ein Außendurchmesser des Laufrades der zweiten Stufe.
Als Erstes wird eine technische Idee von unterschiedlichen Durchmessern von Laufrädern in der zweistufigen Flüssigkeitsringvakuumpumpe beschrieben.
Die Flüssigkeitsringvakuumpumpe ist derart konfiguriert, dass Wasser oder eine andere Flüssigkeit in einem kreisförmigen Gehäuse eingeschlossen ist, welches exzentrisch bezüglich einer Achse eines Laufrades angebracht ist, und zwar ungefähr bei der Hälfte des Gehäuses, wobei ein Flüssigkeitsfilm entlang einer Innenwand des Gehäuses durch eine Zentrifugalkraft gebildet wird, die durch eine Drehung des Laufrades während des Betriebs verursacht wird, und wobei eine Pumpwirkung durch eine volumetrische Änderung bzw. Volumenänderung von jeder Schaufelkammer ausgeführt wird, die an ihrem Umfangsteil durch den Flüssigkeitsfilm abgedichtet ist.
Als Konstruktionsspezifikationen für das Laufrad, welches bei der Flüssigkeitsringvakuumpumpe verwendet wird, werden hauptsächlich ein Außendurchmesser eines Laufrades, die Anzahl der Schaufeln, eine Dicke der Schaufel, eine Breite des Laufrades (axiale Abmessung), ein Durchmesser einer Welle, ein Passfederteil, eine Drehzahl, ein Ausmaß der Exzentrizität usw. festgelegt, und eine Auslassgeschwindigkeit und eine Auslassleistung werden durch die obigen Spezifikationen bestimmt. Die Auslassgeschwindigkeit wird hauptsächlich durch ein Volumen einer Schaufelkammer, einer Booster- bzw. Verstärkungspumpe (Laufrad an einer Einlassseite: Laufrad der ersten Stufe) bestimmt, und die obigen Spezifikationen werden bestimmt, um eine angestrebte Auslassgeschwindigkeit zu erreichen.
Eine Hauptpumpe (Laufrad an einer Auslassseite: Laufrad der zweiten Stufe) hat ein kleineres Volumen einer Schaufelkammer als ein Volumen einer Schaufelkammer einer Verstärkungspumpe (Laufrad an einer Einlassseite: Laufrad der ersten Stufe), weil die Hauptpumpe (Laufrad der zweiten Stufe) Einlass und Auslass des Gases ausführt, welches durch die Verstärkungspumpe (Laufrad der ersten Stufe) komprimiert wird. Üblicherweise ist nur die Breite der Verstärkungspumpe (Laufrad an einer Einlassseite: Laufrad der ersten Stufe) verändert worden, und zwar aus Gründen der Vereinfachung der Konstruktion bzw. Auslegung, und das Laufrad, welches eine veränderte Breite hat, ist verwendet worden. Daher ist es nötig gewesen, das Laufrad der ersten Stufe bzw. das Laufrad der zweiten Stufe so bereitzustellen, dass diese für die Spezifikationen zugeschnitten sind, wie beispielsweise bezüglich Ausgangsleistung, einer Frequenz oder einer Auslassgeschwindigkeit.
Die vorliegenden Erfinder richten ihr Augenmerk auf die Idee, dass es nicht unvermeidbar ist, dass die Verstärkungspumpe (Laufrad an einer Einlassseite: Laufrad der ersten Stufe) und die Hauptpumpe (Laufrad an einer Auslassseite: Laufrad der zweiten Stufe) die gleichen Laufradspezifikationen haben, außer der Breite, und dass die Verstärkungspumpe (Laufrad an einer Einlassseite: Laufrad der ersten Stufe) und die Hauptpumpe (Laufrad an einer Auslassseite: Laufrad der zweiten Stufe) unterschiedliche Außendurchmesser haben können, wenn das Volumen der Schaufelkammer verändert werden kann. Die Laufradspezifikationen, wie beispielsweise das Ausmaß der Exzentrizität, die Anzahl der Schaufeln und eine Dicke einer Schaufel, außer den Außendurchmessern, können in jeweiligen Laufrädern unterschiedlich ausgelegt sein.
Gemäß der vorliegenden Erfindung ist der Außendurchmesser des Laufrades der ersten Stufe auf einer Einlassseite größer als jener von dem Laufrad der zweiten Stufe an einer Auslassseite, um die Auslassgeschwindigkeit zu vergrößern. In diesem Fall sollte die Breite des Laufrades der ersten Stufe gleich der oder größer als die Breite des Laufrades der zweiten Stufe sein. Als ein Effekt des Verfahrens zum Erreichen einer Vergrößerung der Auslassgeschwindigkeit, indem der Außendurchmesser des Laufrades der ersten Stufe größer gemacht wird, ohne die Breite des Laufrades der ersten Stufe größer zu machen, kann die Länge der sich drehenden Welle verkürzt werden, und die Eigenfrequenz des sich drehenden Körpers, welcher die sich drehende Welle einschließt, kann auf einen höheren Wert gesetzt werden, und zwar im Vergleich zu dem Fall, wo die Breite des Laufrades der ersten Stufe größer gemacht wird, wobei somit ein stabiler Rotationszustand des sich drehenden Körpers in einfacher Weise erreicht wird.
In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ist eine axiale Breite des Laufrades der ersten Stufe gleich einer oder größer als eine axiale Breite des Laufrades der zweiten Stufe.
In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ist ein Außendurchmesser eines Gehäuseteils eines Gehäuses zur Aufnahme des Laufrades der ersten Stufe größer als ein Außendurchmesser eines Gehäuseteils eines Gehäuses zur Aufnahme des Laufrades der zweiten Stufe.
In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ist ein Außendurchmesser eines Nabenteils des Laufrades der ersten Stufe gleich einem oder größer als ein Außendurchmesser eines Nabenteils des Laufrades der zweiten Stufe.
In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung verwenden die Laufräder der zweiten Stufe bei einer Vielzahl von Typen von Vakuumpumpen mit unterschiedlichen Auslassgeschwindigkeiten ein gemeinsames Laufrad.
Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Flüssigkeitsringvakuumpumpe vorgesehen, welche Folgendes aufweist:
Ein Gehäuse zur Aufnahme einer Dichtungsflüssigkeit; zumindest ein Laufrad, welches in dem Gehäuse aufgenommen ist; und eine Wellendichtungskomponente, die in einem Teil vorgesehen ist, wo eine Hauptwelle zum Tragen des Laufrades durch das Gehäuse verläuft; wobei das Laufrad einen zylindrischen Nabenteil mit einem Loch aufweist, um zu gestatten, dass die Hauptwelle darin eingeführt wird, wobei eine Vielzahl von Schaufeln sich von dem Nabenteil radial nach außen erstreckt, und wobei eine kreisförmige ringförmige Seitenplatte sich von einem Außenumfang des Nabenteils radial nach außen erstreckt und an einer Seite positioniert ist, die zu der Wellendichtungskomponente weist; und wobei ein Außendurchmesser der Seitenplatte größer ist als ein Innendurchmesser eines Gehäuseraums zur Aufnahme der Wellendichtungskomponente, der in dem Gehäuse geformt ist.
In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung hat die Seitenplatte zumindest eine Endfläche, die parallel zu einer Ebene ist, die senkrecht zu einer Axialrichtung der Hauptwellle ist.
In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ist die Seitenplatte mit einer Endfläche in einer Breitenrichtung von jeder Schaufel und einem inneren Ende in radialer Richtung von jeder Schaufel verbunden.
In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung sind das Laufrad mit dem Nabenteil, die Vielzahl von Schaufeln und die Seitenplatte integral durch Gießen geformt.
In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung weist die Flüssigkeitsringvakuumpumpe weiter einen Verbindungsring auf, der in einer Kreisringform geformt ist, um die Vielzahl von Schaufeln in einem Zustand zu verbinden, wo benachbarte zwei Schaufeln miteinander verbunden sind; wobei der Verbindungsring an einem Endteil in Breitenrichtung von jeder Schaufel positioniert ist und radial außerhalb der Seitenplatte positioniert ist.
In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung hat der Verbindungsring eine verjüngte Querschnittsform, die von einer Endteilseite in Breitenrichtung von jeder Schaufel zu einer Innenseite in Breitenrichtung von jeder Schaufel verjüngt ist.
In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung weist die Flüssigkeitsringvakuumpumpe eine zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe auf, die ein Laufrad der ersten Stufe an einer Einlassseite und ein Laufrad der zweiten Stufe an einer Auslassseite hat; und wobei die Seitenplatte an dem Laufrad der zweiten Stufe vorgesehen ist.
Vorteilhafte Effekte der Erfindung
Gemäß der zweistufigen Flüssigkeitsringvakuumpumpe der vorliegenden Erfindung kann die Breite des Laufrades der ersten Stufe verringert werden, indem der Außendurchmesser des Laufrades der ersten Stufe an einer Einlassseite größer gemacht wird. Daher kann die Länge der fliegend gelagerten sich drehenden Welle verkürzt werden, und zwar im Vergleich zu dem herkömmlichen Verfahren, bei dem nur eine Veränderung der Breitenabmessungen von beiden Laufrädern ausgeführt wird, während die Außendurchmesser von beiden Laufrädern gleich gehalten werden. Somit kann eine Verwirbelungsschwingung der sich drehenden Welle verhindert werden, und es gibt keine Befürchtungen bezüglich einer Verschlechterung der Leistung der Vakuumpumpe. Weiterhin kann die Eigenfrequenz des sich drehenden Körpers, der die sich drehende Welle einschließt, auf einen hohen Wert gebracht werden, und somit besteht keine Befürchtung, dass man nahe an die kritische Drehzahl kommt, auch wenn die sich drehende Welle mit einer hohen Drehzahl gedreht wird, was somit keine Resonanz verursacht. Daher kann ein stabiler Rotationszustand des sich drehenden Körpers, der die sich drehende Welle einschließt, in einfacher Weise realisiert werden.
Gemäß der Flüssigkeitsringvakuumpumpe der vorliegenden Erfindung kann verhindert werden, dass jeweilige Schaufelkammern miteinander durch einen Gehäuseraum zur Aufnahme einer Wellendichtungskomponente in Verbindung stehen, und die jeweiligen Schaufelkammern als abgedichtete Räume können in dem Laufrad ohne irgendeine Konstruktionsmaßnahme gebildet werden, wie beispielsweise eine Aufteilung eines Auslassgehäuses, eine Verringerung eines Durchmessers der Hauptwelle oder eine Vergrößerung eines Nabendurchmessers des Laufrades.
Figurenliste

1 ist eine schematische Querschnittsansicht, die ein Ausführungsbeispiel einer zweistufigen Flüssigkeitsringvakuumpumpe gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung zeigt;
2 ist eine Ansicht, welche Details einer Pumpenkammer der ersten Stufe und eines Laufrades der ersten Stufe, das in der Pumpenkammer der ersten Stufe angeordnet ist, und eine Querschnittsansicht zeigt, die entlang einer Linie II-II der 1 aufgenommen ist;
3 ist eine schematische Querschnittsansicht, welche ein Ausführungsbeispiel zeigt, bei welchem ein Außendurchmesser eines Nabenteils des Laufrades der ersten Stufe größer ist als jener eines Nabenteils des Laufrades der zweiten Stufe;
4 ist eine schematische Querschnittsansicht, welche ein Ausführungsbeispiel zeigt, bei dem ein Außendurchmesser eines Nabenteils des Laufrades der ersten Stufe größer ist als jener eines Nabenteils des Laufrades der zweiten Stufe;
5A ist eine schematische Ansicht, welche eine herkömmliche zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe zeigt, wobei nur Breitenabmessungen von beiden Laufrädern verändert werden, während die Außendurchmesser von beiden Laufrädern gleich gehalten werden;
5B ist eine schematische Ansicht, welche eine zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt, wobei ein Außendurchmesser des Laufrades der ersten Stufe an einer Vakuumseite (Einlassseite) größer ist als jener des Laufrades der zweiten Stufe an einer Atmosphärendruckseite (Auslassseite);
6A ist eine Ansicht, welche eine zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe zeigt, bei der eine Auslassgeschwindigkeit der Vakuumpumpe größer ist als Auslassgeschwindigkeiten von den Vakuumpumpen, die in den 5A und 5B gezeigt sind, und eine schematische Ansicht, welche eine herkömmliche zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe zeigt, bei der nur die Breitenabmessungen von beiden Laufrädern verändert werden;
6B ist eine schematische Ansicht, welche eine zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt, wobei der Außendurchmesser des Laufrades der ersten Stufe auf einer Vakuumseite (Einlassseite) größer ist als jener des Laufrades der zweiten Stufe auf einer Atmosphärendruckseite (Auslassseite);
7 ist eine schematische Querschnittsansicht, die ein Ausführungsbeispiel einer Flüssigkeitsringvakuumpumpe gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung zeigt;
8 ist eine Ansicht, welche Details einer Pumpenkammer der zweiten Stufe und eines Laufrades der zweiten Stufe, das in der Pumpenkammer der zweiten Stufe angeordnet ist, und eine Querschnittsansicht zeigt, die entlang einer Linie VIII-VIII der 7 aufgenommen ist;
9A ist eine perspektivische Ansicht, die das Laufrad der zweiten Stufe gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt, welches in 7 und 8 gezeigt ist;
9B ist eine perspektivische Ansicht, die ein herkömmliches Laufrad der zweiten Stufe zeigt, wie in 11 gezeigt;
10A ist eine perspektivische Ansicht, die ein Laufrad der zweiten Stufe gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt;
10B ist eine schematische Ansicht, die Querschnittsformen eines Teils A der 10A zeigt;
10C ist eine schematische Ansicht, die Querschnittsformen eines Teils B der 10A zeigt; und
11 ist eine schematische Ansicht, welche Hauptelemente einer herkömmlichen Flüssigkeitsringvakuumpumpe zeigt.

Beschreibung von Ausführungsbeispielen
Eine zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird unten unter Bezugnahme auf die 1 bis 6B beschrieben. Gleiche oder entsprechende strukturelle Elemente werden in den 1 bis 6B durch gleiche oder entsprechende Bezugszeichen bezeichnet und werden unten nicht doppelt beschrieben.
1 ist eine schematische Querschnittsansicht, die eine zweistufige Querschnittsansicht, die eine zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt. Wie in 1 gezeigt, weist die zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe ein Gehäuse 3 zum Formen einer Pumpenkammer 1 einer ersten Stufe und einer Pumpenkammer 2 der zweiten Stufe darin auf. Ein Laufrad 4 der ersten Stufe ist in der Pumpenkammer 1 der ersten Stufe vorgesehen, und ein Laufrad 5 der zweiten Stufe ist in der Pumpenkammer 2 der zweiten Stufe vorgesehen. Das Laufrad 4 der ersten Stufe und das Laufrad 5 der zweiten Stufe sind an der gleichen sich drehenden Welle 7 eines direkt wirkenden Motors 6 befestigt. Eine Unterteilungswand 3p, die sich radial nach innen erstreckt, ist an einem mittleren Teil des Gehäuses 3 geformt, und die Pumpenkammer 1 der ersten Stufe und die Pumpenkammer 2 der zweiten Stufe sind mit der Unterteilungswand 3p unterteilt. Ein Auslassanschluss Pd der Pumpenkammer 1 der ersten Stufe und ein Einlassanschluss Ps der Pumpenkammer 2 der zweiten Stufe sind in der Unterteilungswand 3p geformt, und die Pumpenkammer 1 der ersten Stufe und die Pumpenkammer 2 der zweiten Stufe stehen miteinander durch den Auslassanschluss Pd und den Einlassanschluss Ps in Verbindung.
Ein Öffnungsteil an einer vorderen Endseite des Gehäuses 3 ist mit einer Einlassseitenabdeckung 8 bedeckt, und die Pumpenkammer 1 der ersten Stufe wird durch die Einlassseitenabdeckung 8 als ein abgedichteter Raum gebildet. Ein Öffnungsteil an einer hinteren Endseite des Gehäuses 3 ist mit einem Auslassgehäuse 9 bedeckt, und die Pumpenkammer 2 der zweiten Stufe wird durch das Auslassgehäuse 9 als ein abgedichteter Raum gebildet. Ein Ansauganschluss 8s ist in der Einlassseitenabdeckung 8 geformt, und ein Gas (beispielsweise Luft) wird aus dem Ansauganschluss 8s in die Pumpenkammer 1 der ersten Stufe gezogen. Ein Auslassanschluss Pd der Pumpenkammer 2 der zweiten Stufe ist in dem Auslassgehäuse 9 geformt. Weiterhin ist ein Auslassanschluss 9d in dem Auslassgehäuse 9 geformt, und ein Gas, welches aus der Pumpenkammer 2 der zweiten Stufe durch den Auslassanschluss Pd ausgelassen wird, wird aus dem Auslassanschluss 9d nach außen ausgelassen. Eine mechanische Dichtung bzw. Gleitringdichtung 10A als eine Wellendichtungsvorrichtung ist in einem Teil installiert, wo die sich drehende Welle 7 durch das Auslassgehäuse 9 verläuft. Ein Öffnungsteil des Auslassgehäuses 9 ist mit einem Motorflansch 12 bedeckt.
Wie in 1 gezeigt, sind das Laufrad 4 der ersten Stufe und das Laufrad 5 der zweiten Stufe an einem axialen Endteil der sich drehenden Welle 7 des Motors 6 angebracht. Die sich drehende Welle 7 zum Tragen des Laufrades 4 der ersten Stufe und des Laufrades 5 der zweiten Stufe wird in einer fliegenden Lagerung (überhängende Struktur) durch ein Lager 14 getragen, welches in einem Motorgehäuse 13 des Motors 6 vorgesehen ist. Ein Außendurchmesser D1 des Laufrades 4 der ersten Stufe auf einer Vakuumseite (Einlassseite) ist so eingestellt, dass er größer ist als ein Außendurchmesser D2 des Laufrades 5 der zweiten Stufe auf einer Atmosphärendruckseite (Auslassseite). In 1 ist das Gehäuse zur Aufnahme des Laufrades 4 der ersten Stufe und des Laufrades 5 der zweiten Stufe als ein einzelnes Gehäuse 3 veranschaulicht. In dem einzelnen Gehäuse 3 ist ein Außendurchmesser eines Gehäuseteils zur Aufnahme des Laufrades 4 der ersten Stufe so eingestellt, dass er größer ist als ein Außendurchmesser eines Gehäuseteils zur Aufnahme des Laufrades 5 der zweiten Stufe. Wenn das Laufrad 4 der ersten Stufe und das Laufrad 5 der zweiten Stufe jeweils durch separate Gehäuse aufgenommen sind, ist ein Außendurchmesser des Gehäuses zur Aufnahme des Laufrades 4 der ersten Stufe so eingestellt, dass er größer als ein Außendurchmesser des Gehäuses zur Aufnahme des Laufrades 5 der zweiten Stufe ist.
2 ist eine Ansicht, welche Details der Pumpenkammer 1 der ersten Stufe und des Laufrades 4 der ersten Stufe zeigt, welches in der Pumpenkammer 1 der erste Stufe angeordnet ist, und eine Querschnittsansicht, die entlang einer Linie II-II der 1 aufgenommen ist. Wie in 2 gezeigt, hat das Gehäuse 3 einen kreisförmigen Innenraum darin, und der Innenraum bildet den Pumpenraum 1 der ersten Stufe. Das Laufrad 4 der ersten Stufe ist an der sich drehenden Welle 7 befestigt, und das Laufrad 4 der ersten Stufe ist exzentrisch bezüglich des kreisförmigen Innenraums (Pumpenkammer 1 der ersten Stufe) des Gehäuses 3 positioniert. Das Laufrad 4 der ersten Stufe weist einen zylindrischen Nabenteil 41 mit einer großen Dicke auf, und eine Vielzahl von Schaufeln 42, welche sich radial von dem Nabenteil 41 in regelmäßigen Intervallen erstrecken. In 2 wird das Laufrad 4 der ersten Stufe in einer Richtung gegen den Uhrzeigersinn gedreht. Jede der Vielzahl von Schaufeln 42 hat einen radial äußeren Teil, der zu einer Drehrichtung gekrümmt ist. Der Innenraum des Gehäuses 3 wird mit einer Flüssigkeit (beispielsweise Wasser) versorgt, die eine Menge aufweist, welche ungefähr die Hälfte eines Volumens des Innenraums des Gehäuses 3 füllt. Wenn das Laufrad 4 der ersten Stufe gedreht wird, schiebt die Vielzahl von Schaufeln 42 die Flüssigkeit in eine Außenumfangsrichtung des Laufrades 4 der ersten Stufe, wodurch die Flüssigkeit sich durch eine Zentrifugalkraft entlang einer Innenfläche des Gehäuses 3 dreht, wobei somit ein ringförmiger Flüssigkeitsfilm (Flüssigkeitsring) LF gebildet wird. In der Pumpenkammer 1 der ersten Stufe wird eine Pumpwirkung ausgeführt, wobei das Gas durch Verwendung einer volumetrischen Änderung bzw. Volumenänderung jeder Schaufelkammer komprimiert wird, die durch den Flüssigkeitsfilm LF und die benachbarten zwei Schaufeln 42 geformt wird. Obwohl die Pumpenkammer 1 der ersten Stufe und das Laufrad 4 der ersten Stufe in 2 gezeigt sind, haben die Pumpenkammer 2 der zweiten Stufe und das Laufrad 5 der zweiten Stufe die gleiche Konfiguration, obwohl die Größen der Pumpenkammer 2 der zweiten Stufe und des Laufrades 5 der zweiten Stufe (Innendurchmesser der Pumpenkammer, Außendurchmesser des Laufrades) anders sind als jene der Pumpenkammer 1 der ersten Stufe und des Laufrades 4 der ersten Stufe.
Ein Außendurchmesser des Nabenteils 41 des Laufrades 4 der ersten Stufe ist größer oder gleich einem Außendurchmesser des Nabenteils des Laufrades 5 der zweiten Stufe. Obwohl die 1 und 2 des Ausführungsbeispiels zeigen, in welchen der Außendurchmesser des Nabenteils 41 des Laufrades 4 der ersten Stufe gleich dem Außendurchmesser des Nabenteils 41 des Laufrades 5 der zweiten Stufe ist, sind die 3 und 4 schematische Querschnittsansichten, welche Ausführungsbeispiele zeigen, in welchen ein Außendurchmesser des Nabenteils 41 des Laufrades 4 der ersten Stufe größer ist als ein Außendurchmesser des Nabenteils 41 des Laufrades 5 der zweiten Stufe.
In dem in 3 gezeigten Ausführungsbeispiel ist ein Außendurchmesser des Nabenteils 41 des Laufrades 4 der ersten Stufe größer als ein Außendurchmesser des Nabenteils 41 des Laufrades 5 der zweiten Stufe, und der Auslassanschluss Pd und der Einlassanschluss Ps, die in der Unterteilungswand 3p ausgebildet sind, stehen in schräger Weise miteinander in Verbindung.
In dem in 4 gezeigten Ausführungsbeispiel ist ein Außendurchmesser des Nabenteils 41 des Laufrades 4 der ersten Stufe größer als ein Außendurchmesser des Nabenteils 41 des Laufrades 5 der zweiten Stufe, und der Auslassanschluss Pd und der Einlassanschluss Ps, die in dem Wandteil 3p ausgebildet sind, stehen miteinander in einem Zustand in Verbindung, wo ihre Mittelachsen voneinander abweichen.
5A und 5B sind schematische Ansichten, welche eine herkömmliche zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe (5A) zeigen, wobei nur Breitenabmessungen von beiden Laufrädern verändert werden, wobei die Außendurchmesser von beiden Laufrädern gleich gehalten werden, und welche eine zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe (5B) gemäß der vorliegenden Erfindung zeigen, wobei der Außendurchmesser des Laufrades 4 der ersten Stufe auf einer Vakuumseite (Einlassseite) größer ist als jener des Laufrades 5 der zweiten Stufe auf einer Atmosphärendruckseite (Auslassseite). In den 5A und 5B sind zwei Laufräder schematisch in einem Zustand gezeigt, wo beide Vakuumpumpen die gleiche Auslassgeschwindigkeit haben.
Bei der herkömmlichen zweistufigen Flüssigkeitsringvakuumpumpe, die in 5A gezeigt ist, haben das Laufrad 4 der ersten Stufe auf einer Vakuumseite und das Laufrad 5 der zweiten Stufe auf einer Atmosphärendruckseite den gleichen Außendurchmesser D und eine Breite W1 des Laufrades 4 der ersten Stufe ist größer als eine Breite W2 des Laufrades 5 der zweiten Stufe. Auf diese Weise werden bei der herkömmlichen zweistufigen Flüssigkeitsringvakuumpumpe, wie sie in dem Patentdokument 1 beschrieben wird, nur die Breitenabmessungen von beiden Laufrädern 4, 5 verändert, um mit den Veränderungen der Flussrate der Luft zurechtzukommen.
Bei der zweistufigen Flüssigkeitsringvakuumpumpe gemäß der vorliegenden Erfindung, die in 5B gezeigt ist, ist ein Außendurchmesser D1 des Laufrades 4 der ersten Stufe an einer Vakuumseite (Einlassseite) größer als ein Außendurchmesser D2 des Laufrades 5 der zweiten Stufe auf einer Atmosphärendruckseite (Auslassseite). Auf diese Weise ist gemäß der vorliegenden Erfindung der Außendurchmesser des Laufrades 4 der ersten Stufe größer als der Außendurchmesser 5 der zweiten Stufe, um mit den Veränderungen der Flussrate der Luft zurecht zu kommen. Wie in 5B gezeigt, kann somit eine Breite W1 des Laufrades 4 der ersten Stufe kleiner sein als die Breite W1 des herkömmlichen Laufrades 4 der ersten Stufe, das in 5A gezeigt ist, und somit kann die Länge L der fliegend strukturierten, sich drehenden Welle 7 verkürzt werden.
6A und 6B sind Ansichten, welche zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpen zeigen, bei denen Auslassgeschwindigkeiten der Vakuumpumpen größer sind als jene der Vakuumpumpen, die in den 5A und 5B gezeigt sind, und schematische Ansichten zeigen eine herkömmliche zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe (6A), bei der nur die Breitenabmessungen von beiden Laufrädern verändert werden, und sie zeigen eine zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe (6B) gemäß der vorliegenden Erfindung, bei der der Außendurchmesser des Laufrades 4 der ersten Stufe auf einer Vakuumseite (Einlassseite) größer ist als jener des Laufrades 5 der zweiten Stufe auf einer Atmosphärendruckseite (Auslassseite). In den 6A und 6B sind zwei Laufräder schematisch in einem Zustand gezeigt, wo beide Vakuumpumpen jeweils die gleiche Auslassgeschwindigkeit haben.
Bei der herkömmlichen zweistufigen Flüssigkeitsringvakuumpumpe, die in 6A gezeigt ist, haben das Laufrad 4 der ersten Stufe auf einer Vakuumseite (Einlassseite) und das Laufrad 5 der zweiten Stufe auf einer Atmosphärendruckseite (Auslassseite) den gleichen Außendurchmesser D, und eine Breite W1 des Laufrades 4 der ersten Stufe ist größer als eine Breite W2 des Laufrades 5 der zweiten Stufe. Auf diese Weise werden bei der herkömmlichen zweistufigen Flüssigkeitsringvakuumpumpe nur die Breitenabmessungen von beiden Laufrädern 4, 5 verändert, um mit den Veränderungen der Flussrate der Luft zurechtzukommen.
Da die Auslassgeschwindigkeit der in 6A gezeigten Vakuumpumpe so eingestellt ist, dass sie größer ist als jene der in 5A gezeigten Vakuumpumpe, werden weiter die Breite W1 des Laufrades 4 der ersten Stufe und die Breite W2 des Laufrades 5 der zweiten Stufe in der in 6A gezeigten Vakuumpumpe jeweils im Vergleich zu der in 5A gezeigten Vakuumpumpe vergrößert.
Bei der zweistufigen Flüssigkeitsringvakuumpumpe gemäß der vorliegenden Erfindung, die in 6B gezeigt ist, ist ein Außendurchmesser D1 des Laufrades 4 der ersten Stufe auf einer Vakuumseite (Einlassseite) größer als ein Außendurchmesser D2 des Laufrades 5 der zweiten Stufe auf einer Atmosphärendruckseite (Auslassseite). Auf diese Weise ist gemäß der vorliegenden Erfindung der Außendurchmesser des Laufrades 4 der ersten Stufe größer als der Außendurchmesser des Laufrades 5 der zweiten Stufe, um mit den Veränderungen der Flussrate der Luft zurechtzukommen. Wie in 6B gezeigt, kann somit eine Breite W1 des Laufrades 4 der ersten Stufe kleiner sein als die Breite W1 des herkömmlichen Laufrades 4 der ersten Stufe, welches in 6A gezeigt ist, und somit kann die Länge L der fliegend gelagerten, sich drehenden Welle 7 verkürzt werden.
Weil weiter die Auslassgeschwindigkeit der in 6B gezeigten Vakuumpumpe so eingestellt ist, dass sie größer ist als jene der in 5B gezeigten Vakuumpumpe, wird weiter die Breite W1 des Laufrades 4 der ersten Stufe vergrößert, und zwar im Vergleich zu der in 5B gezeigten Vakuumpumpe. Jedoch gemäß der vorliegenden Erfindung verwenden die in 5B gezeigte Vakuumpumpe und die in 6B gezeigte Vakuumpumpe bezüglich des Laufrades 5 der zweiten Stufe das gemeinsame bzw. gleiche Laufrad 5 der zweiten Stufe.
Wie aus den 5A und 5B sowie den 6A und 6B klar wird, kann die Breite W1 des Laufrades 4 der ersten Stufe verringert werden, indem der Außendurchmesser des Laufrades 4 der ersten Stufe auf einer Vakuumseite groß gemacht wird. Daher kann die Länge der fliegend gelagerten, sich drehenden Welle 7 verkürzt werden, und zwar im Vergleich zu dem herkömmlichen Verfahren, bei welchem nur die Breitenabmessungen von beiden Laufrädern verändert werden, während die Außendurchmesser von beiden Laufrädern gleichgehalten werden. Somit kann eine Verwirbelungsschwingung der sich drehenden Welle 7 verhindert werden, und es gibt keine Befürchtung bezüglich einer Verschlechterung der Leistung der Vakuumpumpe. Weiterhin kann die Eigenfrequenz des sich drehenden Körpers, welcher die sich drehende Welle 7 einschließt, auf einen hohen Wert eingestellt werden, und somit gibt es keine Befürchtungen, dass man nahe an die kritische Drehzahl kommt, auch wenn die sich drehende Welle 7 mit einer hohen Drehzahl gedreht wird, was somit keine Resonanz verursacht. Daher kann ein stabiler Rotationszustand des sich drehenden Körpers einschließlich der sich drehenden Welle 7 in einfacher Weise realisiert werden.
Wie in den 5B und 6B gezeigt, können die Laufräder 5 der zweiten Stufe in den zwei Vakuumpumpen gemäß der vorliegenden Erfindung das gleiche Laufrad verwenden, auch wenn die Auslassgeschwindigkeit der Vakuumpumpe verändert wird. Insbesondere können die mehreren Typen von Vakuumpumpen, welche unterschiedliche Auslassgeschwindigkeiten haben, das gleiche Laufrad 5 der zweiten Stufe verwenden wie die Hauptpumpe (Laufrad der Auslassseite). Daher können das Laufrad 5 der zweiten Stufe und Komponenten, wie beispielsweise ein Gehäuse zur Aufnahme des Laufrades 5 der zweiten Stufe, bei der Vielzahl von Typen von Vakuumpumpen gemeinsam verwendet werden.
Eine Flüssigkeitsringvakuumpumpe gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird unten mit Bezugnahme auf die 7 bis 10C beschrieben. Gleiche oder entsprechende strukturelle Elemente werden in den 7 bis 10C durch gleiche oder entsprechende Bezugszeichen bezeichnet, und werden unten nicht doppelt beschrieben.
7 ist eine schematische Querschnittsansicht, welche ein Ausführungsbeispiel einer Flüssigkeitsringvakuumpumpe gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt. In 7 ist eine zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe als ein Beispiel der Flüssigkeitsringvakuumpumpe gezeigt. Wie in 7 gezeigt, weist die zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe ein Gehäuse 3 auf, um eine Pumpenkammer 1 der ersten Stufe und eine Pumpenkammer 2 der zweiten Stufe darin zu formen. Ein Laufrad 4 der ersten Stufe auf einer Einlassseite ist in der Pumpenkammer 1 der ersten Stufe vorgesehen, und ein Laufrad 5 der zweiten Stufe an einer Auslassseite ist in der Pumpenkammer 2 der zweiten Stufe vorgesehen. Das Laufrad 4 der ersten Stufe und das Laufrad 5 der zweiten Stufe sind an der gleichen Hauptwelle (sich drehende Welle) 7 eines direkt wirkenden Motors 6 befestigt. Eine Unterteilungswand 3p, welche sich radial nach innen erstreckt, ist an einem mittigen Teil des Gehäuses 3 geformt, und die Pumpenkammer 1 der ersten Stufe und die Pumpenkammer 2 der zweiten Stufe sind mit der Unterteilungswand 3p unterteilt. Ein Auslassanschluss Pd der Pumpenkammer 1 der ersten Stufe und ein Einlassanschluss Ps der Pumpenkammer 2 der zweiten Stufe sind in der Unterteilungswand 3p geformt, und die Pumpenkammer 1 der ersten Stufe und die Pumpenkammer 2 der zweiten Stufe stehen miteinander durch den Auslassanschluss Pd und den Einlassanschluss Ps in Verbindung.
Ein Öffnungsteil an einer vorderen Endseite des Gehäuses 3 ist mit einer Einlassseitenabdeckung 8 bedeckt, und die Pumpenkammer 1 der ersten Stufe wird durch die Einlassseitenabdeckung 8 als ein abgedichteter Raum gebildet. Ein Öffnungsteil an einer hinteren Endseite des Gehäuses 3 ist mit einem Auslassgehäuse 9 bedeckt, und die Pumpenkammer 2 der zweiten Stufe wird durch das Auslassgehäuse 9 als ein abgedichteter Raum gebildet. Ein Ansauganschluss 8s ist in der Einlassseitenabdeckung 8 geformt, und ein Gas (beispielsweise Luft) wird von dem Ansauganschluss 8s in die Pumpenkammer 1 der ersten Stufe gezogen. Ein Auslassanschluss Pd der Pumpenkammer 2 der zweiten Stufe ist in dem Auslassgehäuse 9 geformt. Weiterhin ist ein Auslassanschluss 9d in dem Auslassgehäuse 9 geformt, und das Abgas, welches von der Pumpenkammer 2 der zweiten Stufe durch den Auslassanschluss Pd ausgelassen wird, wird aus dem Auslassanschluss 9d des Auslassgehäuses 9 nach außen ausgelassen. Eine Wellendichtungskomponente 10B, wie beispielsweise eine mechanische Dichtung bzw. Gleitringdichtung zum Ausführen einer Wellenabdichtung ist in einem Teil installiert, wo die Hauptwelle 7 durch das Auslassgehäuse 9 verläuft. Ein Öffnungsteil des Auslassgehäuses 9 ist mit einem Motorflansch 12 abgedeckt.
Wie in 7 gezeigt, weisen das Laufrad 4 der ersten Stufe und das Laufrad 5 der zweiten Stufe einen zylindrischen Nabenteil 41 und eine Vielzahl von Schaufeln 42 auf, die sich jeweils radial von dem Nabenteil 41 in regelmäßigen Intervallen erstrecken. Eine kreisförmige ringförmige Seitenplatte 43, welche sich radial von einem Außenumfang des Nabenteils 41 nach außen erstreckt, ist an dem Nabenteil 41 des Laufrades 5 der zweiten Stufe auf einer Auslassseite geformt, und die kreisförmige ringförmige Seitenplatte 43 ist an einer Seite positioniert, die zu einem Gehäuseraum zur Aufnahme der Wellendichtungskomponente 10B weist. Ein Außendurchmesser D5 der Seitenplatte 43 ist so eingestellt, dass er größer ist als ein Innendurchmesser D3 des Gehäuseraums zur Aufnahme der Wellendichtungskomponente 10B. Insbesondere ist die Beziehung zwischen dem Innendurchmesser D3 des Gehäuseraums zur Aufnahme der Wellendichtungskomponente 10B, einem Nabendurchmesser D4 des Laufrades 5 der zweiten Stufe und dem Außendurchmesser D5 der Seitenplatte 43 bei dem Laufrad 5 der zweiten Stufe so eingestellt, dass gilt, D5>D3>D4. Daher sind eine Seite, welche zu dem Gehäuseraum zur Aufnahme der Wellendichtungskomponente 10B in jeder Schaufelkammer weist, die durch den Flüssigkeitsfilm und die benachbarten zwei Schaufeln 42 gebildet wird, und eine Nabenteilseite (Basisseite) mit der Seitenplatte 43 bedeckt, die den Außendurchmesser D5 hat, der größer ist als der Innendurchmesser D3 des Gehäuseraums zur Aufnahme der Wellendichtungskomponente 10B. Somit stehen die jeweiligen Schaufelkammern, die jeweils durch beide Seitenwände des Gehäuses, der Flüssigkeitsring und die zwei benachbarten Schaufeln 42 gebildet werden, nicht miteinander durch den Gehäuseraum zur Aufnahme der Wellendichtungskomponente 10B in Verbindung, wodurch die jeweiligen Schaufelkammern als abgedichtete Räume gebildet werden können.
Wie in 7 gezeigt, sind das Laufrad 4 der ersten Stufe und das Laufrad 5 der zweiten Stufe an einem axialen Endteil der Hauptwelle 7 des Motors 6 angebracht. Die Hauptwelle 7 zum Tragen des Laufrades 4 der ersten Stufe und des Laufrades 5 der zweiten Stufe ist in einer fliegend gelagerten Struktur (überhängende Struktur) durch ein Lager 14 gelagert, welches in einem Motorgehäuse 13 des Motors 6 vorgesehen ist. Obwohl in 7 das Gehäuse zur Aufnahme des Laufrades 4 der ersten Stufe und des Laufrades 5 der zweiten Stufe als ein einzelnes bzw. einheitliches Gehäuse 3 veranschaulicht ist, können das Laufrad 4 der ersten Stufe und das Laufrad 5 der zweiten Stufe in jeweiligen separaten Gehäusen aufgenommen sein.
8 ist eine Ansicht, welche Details der Pumpenkammer 2 der zweiten Stufe und des Laufrades 5 der zweiten Stufe zeigt, welches in der Pumpenkammer 2 der zweiten Stufe angeordnet ist, und eine Querschnittsansicht, die entlang einer Linie VIII-VIII der 7 aufgenommen ist. Wie in 8 gezeigt, hat das Gehäuse 3 einen kreisförmigen Innenraum darin, und der Innenraum bildet die Pumpenkammer 2 der zweiten Stufe. Das Laufrad 5 der zweiten Stufe ist an der Hauptwelle 7 befestigt, und das Laufrad 5 der zweiten Stufe ist exzentrisch bezüglich des kreisförmigen Innenraums (Pumpenkammer 2 der zweiten Stufe) positioniert. Das Laufrad 5 der zweiten Stufe weist einen zylindrischen Nabenteil 41 und eine Vielzahl von Schaufeln 42 auf, die sich radial von dem Nabenteil 41 in regelmäßigen Intervallen erstrecken. In 8 wird der Innenraum des Gehäuses 3 mit einer Flüssigkeit (beispielsweise Wasser) beliefert, und zwar in einer Menge, die ungefähr die Hälfte eines Volumens des Innenraums des Gehäuses 3 füllt. Wenn das Laufrad 5 der zweiten Stufe gedreht wird, schieben die Vielzahl von Schaufeln 42 die Flüssigkeit in einer Außenumfangsrichtung des Laufrades 5 der zweiten Stufe, wodurch die Flüssigkeit sich durch eine Zentrifugalkraft entlang einer Innenfläche des Gehäuses 3 dreht, wobei somit ein ringförmiger Flüssigkeitsfilm (Flüssigkeitsring LF) gebildet wird. In der Pumpenkammer 2 der zweiten Stufe wird ein Pumpvorgang ausgeführt, bei dem das Gas durch Verwendung einer volumetrischen Änderung bzw. Volumenänderung von jeder Schaufelkammer Rb komprimiert wird, die durch beide Seitenwände des Gehäuses, den Flüssigkeitsfilm LF und die benachbarten zwei Schaufeln 42 gebildet wird.
Die 9A und 9B sind perspektivische Ansichten, welche das Laufrad 5 der zweiten Stufe (9A) gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt, welches in 7 und 8 gezeigt ist, und welche das herkömmliche Laufrad 5 der zweiten Stufe (9B) zeigen, das in 11 gezeigt ist.
Wie in 9A gezeigt, weist das Laufrad 5 der zweiten Stufe gemäß der vorliegenden Erfindung einen zylindrischen Nabenteil 41, eine Vielzahl von Schaufeln 42, welche sich in regelmäßigen Intervallen radial von dem Nabenteil 41 erstrecken, und eine kreisförmige, ringförmige Seitenplatte 43 auf, die sich von dem Nabenteil 41 radial nach außen erstreckt. Das Laufrad 5 der zweiten Stufe, welches den Nabenteil 41, die Vielzahl von Schaufeln 42 und die Seitenplatte 43 aufweist, ist in integraler Weise durch ein Gussverfahren geformt. Die Seitenplatte 43 ist an einem Endteil des Nabenteils 41 vorgesehen und ist an einer Seite positioniert, die zu dem Gehäuseraum zur Aufnahme der Wellendichtungskomponente 10B weist. Weiterhin ist die Seitenplatte 43 mit einer Endfläche 42A in einer Breitenrichtung von jeder Schaufel 42 und einem inneren Ende 42B in einer radialen Richtung von jeder Schaufel 42 verbunden (s. 7). Weiterhin sind ein Durchgangsloch 41h, um zu gestatten, dass die Hauptwelle 7 damit zusammengepasst wird, eine Federnut 41k, um zu gestatten, dass eine Passfeder darin eingesetzt wird usw., in dem Nabenteil 41 geformt.
Obwohl das herkömmliche Laufrad 5 der zweiten Stufe, wie in 9B gezeigt, nicht die Seitenplatte 43 hat, wie sie in 11 gezeigt ist, hat das herkömmliche Laufrad 5 der zweiten Stufe einen Verbindungsring 44, der in einer kreisförmigen Ringform gebildet ist, um die benachbarten zwei Schaufeln 42 miteinander zu verbinden. Der Verbindungsring 44 ist an einem vorderen Endteil von jeder Schaufel 42 vorgesehen, und ist an einem mittleren Teil in einer Breitenrichtung von jeder Schaufel 42 positioniert. Das herkömmliche Laufrad 5 der zweiten Stufe ist anders als das Laufrad 5 der zweiten Stufe gemäß der vorliegenden Erfindung, welches in 9A gezeigt ist, und zwar dahingehend, dass das herkömmliche Laufrad 5 der zweiten Stufe nicht die Seitenplatte 43 hat, sondern den Verbindungsring 44.
Bei dem herkömmlichen Laufrad 5 der zweiten Stufe ist der Verbindungsring 44 vorgesehen, um die Steifigkeit von jeder Schaufel 42 zu vergrößern. Jedoch kann bei dem Laufrad 5 der zweiten Stufe gemäß der vorliegenden Erfindung der Verbindungsring 44 weggelassen werden, weil die Steifigkeit von jeder Schaufel 42 durch die Seitenplatte 43 vergrößert werden kann.
10A ist eine perspektivische Ansicht, welche ein Laufrad 5 der zweiten Stufe gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt. 10B ist eine schematische Ansicht, welche Querschnittsformen eines Teils A der 10A zeigt. 10C ist eine schematische Ansicht, welche Querschnittsformen eines Teils B der 10A zeigt.
Wie in 10A gezeigt, hat das Laufrad 5 der zweiten Stufe gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel einen Verbindungsring 44, der in einer kreisförmigen Ringform gebildet ist, um die benachbarten zwei Schaufeln miteinander zu verbinden. Insbesondere verwendet das Laufrad 5 der zweiten Stufe gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel den Verbindungsring 44 und die Seitenplatte 43 zusammen. Der Verbindungsring 44 ist an einem vorderen Endteil von jeder Schaufel 42 vorgesehen, und an einem Endteil in Breitenrichtung von jeder Schaufel 42 positioniert. Weiterhin ist der Verbindungsring 44 radial außerhalb der Seitenplatte 43 angeordnet. Das Laufrad 5 der zweiten Stufe, welches in 10A gezeigt ist, hat andere Elemente, die identisch mit oder ähnlich jenen des Laufrades 5 der zweiten Stufe sind, welches in 9A gezeigt ist.
10B ist eine Ansicht, welche Querschnittsformen des Verbindungsrings 44 zeigt. Wie in 10B gezeigt, weist die Querschnittsform des Verbindungsrings 44 einen Halbkreis (linkes Ende), ein Dreieck (zweites vom linken Ende), ein Trapez (drittes vom linken Ende), eine Halbellipse mit einer Hauptachse in einer vertikalen Richtung (viertes vom linken Ende), eine Halbellipse mit einer Hauptachse in einer horizontalen Richtung (rechtes Ende) usw. auf. Jede Querschnittsform des Verbindungsrings 44 hat eine verjüngte Form, die von einem Endteil in einer Breitenrichtung der Schaufel 42 (linke Seite in 10B) zu einer Innenseite in der Breitenrichtung der Schaufel 42 (rechte Seite in 10B) verjüngt ist.
10C ist eine Ansicht, welche Querschnittsformen der Seitenplatte 43 zeigt. Wie in 10C gezeigt, weist die Querschnittsform der Seitenplatte 43 ein Dreieck (linke Seite), ein Trapez (rechte Seite) usw. auf. Die Querschnittsform der Seitenplatte 43, die auf der rechten Seite der 10C gezeigt ist, hat eine verjüngte Form, die von dem Nabenteil 41 zu einer Außenumfangsseite der Schaufel 42 verjüngt ist.
Das herkömmliche Laufrad 5 der zweiten Stufe, welches in 9B gezeigt ist, und das Laufrad 5 der zweiten Stufe gemäß der vorliegenden Erfindung, welches in 10A gezeigt ist, werden unten vom Standpunkt des Gussvorgangs beschrieben.
Bei dem herkömmlichen Laufrad, wie in 9B gezeigt, ist der Verbindungsring 44 parallel mit einer Ebene senkrecht zu der axialen Richtung der Hauptwellle 7 und an einem mittleren Teil in der Breitenrichtung des Laufrades positioniert. Daher ist der Gussvorgang in solcher Weise ausgeführt worden, dass eine Teilungsebene einer oberen Form und einer unteren Form bei dem Ringteil festgelegt ist.
In dem Fall, wo der Verbindungsring 44 und die Seitenplatte 43 zusammen verwendet werden, kann die Teilungsebene der Formen nicht eingerichtet werden, wenn der Verbindungsring an einem mittleren Teil in der Breitenrichtung des Laufrades geformt wird, wie bei dem herkömmlichen Laufrad, was eine Schwierigkeit bei der Herstellung des Laufrades bewirkt. Daher sind die Seitenplatte 43 und der Verbindungsring 44 an einer Auslassseite des Laufrades 5 der zweiten Stufe vorgesehen, und die Querschnittsform des Verbindungsrings 44 ist als ein Halbkreis festgelegt, wie bei dem Laufrad gemäß der vorliegenden Erfindung, das in 10A gezeigt ist, wodurch die Teilung der Formen ausgeführt werden kann. Wie in 10B gezeigt, kann die Querschnittsform des Verbindungsrings 44 auf eine willkürliche Form festgelegt sein, wie beispielsweise ein Polygon, was ein Dreieck und ein Trapez oder eine Halbellipse einschließt, solang die Querschnittsform aus der Form so ausgewählt ist, dass die Teilung der Formen bzw. Formteilung ausgeführt werden kann.
Obwohl die zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe mit den Laufrädern in zwei Stufen in Ausführungsbeispielen beschrieben worden ist, sei bemerkt, dass die vorliegende Erfindung auf eine Flüssigkeitsringvakuumpumpe angewendet werden kann, die ein einzelnes Laufrad hat.
Obwohl die bevorzugten Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung oben beschrieben worden sind, sei bemerkt, dass die vorliegende Erfindung nicht auf die obigen Ausführungsbeispiele eingeschränkt ist, sondern dass Veränderungen und Modifikationen an den Ausführungsbeispielen vorgenommen werden können, ohne vom Umfang der beigefügten Ansprüche abzuweichen.
Industrielle Anwendbarkeit
Die vorliegende Erfindung ist auf eine zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe anwendbar, bei der Laufräder in zwei Stufen an einem axialen Endteil einer Hauptwelle (sich drehende Welle) eines Motors angebracht sind. Weiterhin ist die vorliegende Erfindung auf eine Flüssigkeitsringvakuumpumpe anwendbar, die ein kreisförmiges Gehäuse hat, weiter ein Laufrad, welches exzentrisch bezüglich einer Mitte des kreisförmigen Gehäuses angebracht ist, und einen Wellendichtungsteil, der in einem Teil vorgesehen ist, wo die Hauptwelle zum Tragen des Laufrades durch das Gehäuse verläuft.
Bezugszeichenliste

1: Pumpenkammer der ersten Stufe
2: Pumpenkammer der zweiten Stufe
3: Gehäuse
3p: Unterteilungswand
4: Laufrad der ersten Stufe
5: Laufrad der zweiten Stufe
6: Motor
7: sich drehende Welle (Hauptwelle)
8: Einlassseitenabdeckung
8s: Ansauganschluss
9: Auslassgehäuse
9d: Auslassanschluss
10A: mechanische Dichtung bzw. Gleitringdichtung
10B: Wellendichtungskomponente
12: Motorflansch
13: Motorgehäuse
14: Lager
41: Nabenteil
41h: Durchgangsloch
41k: Federnut
42: Schaufel
42a: Endfläche in Breitenrichtung
42b: inneres Ende in radialer Richtung
43: Seitenplatte
44: Verbindungsring
D1: Außendurchmesser des Laufrades der ersten Stufe
D2: Außendurchmesser des Laufrades der zweiten Stufe
D3: Innendurchmesser eines Raums zur Aufnahme der Wel lendichtungskomponente
D4: Nabendurchmesser des Laufrades der zweiten Stufe
D5: Außendurchmesser der Seitenplatte
LF: Flüssigkeitsfilm (Flüssigkeitsring)
Pd: Auslassanschluss
Ps: Einlassanschluss
Rb: Schaufelkammer
W1: Breite des Laufrades der ersten Stufe
W2: Breite des Laufrades der zweiten Stufe

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

JP 2015175322 [0008]

Claims

Zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe, welche Folgendes aufweist: ein Laufrad einer ersten Stufe, welches in einer Pumpenkammer der ersten Stufe vorgesehen ist; ein Laufrad einer zweiten Stufe, welches in einer Pumpenkammer der zweiten Stufe vorgesehen ist; eine einzige, sich drehende Welle, an welcher das Laufrad der ersten Stufe und das Laufrad der zweiten Stufe befestigt sind; und einen Auslassanschluss der Pumpenkammer der ersten Stufe und einen Einlassanschluss der Pumpenkammer der zweiten Stufe, die miteinander in Verbindung stehen; wobei ein Außendurchmesser des Laufrades der ersten Stufe größer ist als ein Außendurchmesser des Laufrades der zweiten Stufe.
Zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe nach Anspruch 1, wobei eine axiale Breite des Laufrades der ersten Stufe gleich einer axialen Breite des Laufrades der zweiten Stufe oder größer als diese ist.
Zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe nach Anspruch 1, wobei ein Außendurchmesser eines Gehäuseteils eines Gehäuses zur Aufnahme des Laufrades der ersten Stufe größer ist als ein Außendurchmesser eines Gehäuseteils des Gehäuses zur Aufnahme des Laufrades der zweiten Stufe.
Zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe nach Anspruch 1, wobei ein Außendurchmesser eines Nabenteils des Laufrades der ersten Stufe gleich einem Außendurchmesser eines Nabenteils des Laufrades der zweiten Stufe oder größer als dieser ist.
Zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei eine Vielzahl von Typen von Vakuumpumpen mit unterschiedlichen Auslassgeschwindigkeiten für die Laufräder der zweiten Stufe ein gemeinsames Laufrad verwenden.
Flüssigkeitsringvakuumpumpe, die Folgendes aufweist: ein Gehäuse zum Aufnehmen einer Abdichtungsflüssigkeit; zumindest ein Laufrad, welches in dem Gehäuse aufgenommen ist; und eine Wellendichtungskomponente, die in einem Teil vorgesehen ist, wo eine Hauptwelle zum Tragen des Laufrades durch das Gehäuse verläuft; wobei das Laufrad einen zylindrischen Nabenteil mit einem Loch aufweist, um zu gestatten, dass die Hauptwelle darin eingeführt wird, weiter eine Vielzahl von Schaufeln, die sich von dem Nabenteil radial nach außen erstrecken, und eine kreisförmige, ringförmige Seitenplatte, welche sich radial von einem Außenumfang des Nabenteils nach außen erstreckt und auf einer Seite positioniert ist, die zu der Wellendichtungskomponente weist; wobei ein Außendurchmesser der Seitenplatte größer ist als ein Innendurchmesser des Gehäuseraums zur Aufnahme der Wellendichtungskomponente, der in dem Gehäuse ausgebildet ist.
Flüssigkeitsringvakuumpumpe nach Anspruch 6, wobei die Seitenplatte zumindest eine Endfläche hat, die parallel zu einer Ebene senkrecht zu einer Axialrichtung der Hauptwelle ist.
Flüssigkeitsringvakuumpumpe nach Anspruch 6 oder 7, wobei die Seitenplatte mit einer Endfläche in einer Breitenrichtung von jeder Schaufel und mit einem inneren Ende in einer radialen Richtung von jeder Schaufel verbunden ist.
Flüssigkeitsringvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 6 bis 8, wobei das Laufrad mit dem Nabenteil, die Vielzahl von Schaufeln und die Seitenplatte integral durch einen Gussvorgang geformt sind.
Flüssigkeitsringvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 6 bis 9, die weiter einen Verbindungsring aufweist, der in einer kreisförmigen Ringform gebildet ist, um die Vielzahl von Schaufeln in einem Zustand zu verbinden, in dem benachbarte zwei Schaufeln miteinander verbunden sind; wobei der Verbindungsring an einem Endteil in einer Breitenrichtung von jeder Schaufel positioniert ist und radial außerhalb der Seitenplatte positioniert ist.
Flüssigkeitsringvakuumpumpe nach Anspruch 10, wobei der Verbindungsring eine verjüngte Querschnittsform hat, die von einer Endteilseite in einer Breitenrichtung von jeder Schaufel zu einer inneren Seite in Breitenrichtung von jeder Schaufel verjüngt ist.
Flüssigkeitsringvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 6 bis 11, wobei die Flüssigkeitsringvakuumpumpe eine zweistufige Flüssigkeitsringvakuumpumpe mit einem Laufrad der ersten Stufe an einer Einlassseite und einem Laufrad der zweiten Stufe an einer Auslassseite geformt ist; und wobei die Seitenplatte an dem Laufrad der zweiten Stufe vorgesehen ist.