DE112015006315B4

DE112015006315B4 - Ladungsteilchenstrahleinrichtung und Evakuierungsverfahren dafür

Info

Publication number: DE112015006315B4
Application number: DE112015006315.3T
Authority: DE
Inventors: Yuuta Ebine; Mitsuo Akatsu
Original assignee: Hitachi High Tech Corp
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 2015-04-15
Filing date: 2015-04-15
Publication date: 2021-09-23
Anticipated expiration: 2035-04-16
Also published as: US20180082819A1; CN107430972A; JP6407411B2; JPWO2016166825A1; CN107430972B; US10304655B2; DE112015006315T5; WO2016166825A1

Abstract

Ladungsteilchenstrahlvorrichtung (100), umfassend:eine Ladungsteilchenkanonenkammer (1), die eine Ladungsteilchenquelle aufnimmt, welche einen Ladungsteilchenstrahl auf eine Probe abstrahlt;eine Probenkammer (18), in der sich die Probe befindet;eine Turbomolekularpumpe (6), die die Ladungsteilchenkanonenkammer (1) und die Probenkammer (18) vakuumevakuiert;ein erstes Evakuierungsrohr (4), das einen Haupteinlassdurchgang (11) der Turbomolekularpumpe (6) mit der Ladungsteilchenkanonenkammer (1) verbindet;ein zweites Evakuierungsrohr (5), das einen Zwischeneinlassdurchgang der Turbomolekularpumpe (6) mit der Probenkammer (18) verbindet;ein drittes Evakuierungsrohr, das die Probenkammer (18) mit dem ersten Evakuierungsrohr (4) verbindet;ein erstes Ventil, das das zweite Evakuierungsrohr (5) öffnet und schließt; undein zweites Ventil, das das dritte Evakuierungsrohr öffnet und schließt, wobei die Ladungsteilchenstrahlvorrichtung (100) weiter umfasst:eine Ölrotationspumpe, die eine Gegendruckevakuierung der Turbomolekularpumpe (6) durchführt, wobeidie Ölrotationspumpe die Ladungsteilchenkanonenkammer (1) oder die Probenkammer (18) nicht vakuumevakuiert, wobei die Ladungsteilchenstrahlvorrichtung (100) dadurch gekennzeichnet ist, dass sie ein viertes Evakuierungsrohr umfasst, das einen zweiten Zwischeneinlassdurchgang in einer Position, die in der Turbomolekularpumpe (6) näher am Haupteinlassdurchgang (11) als am Zwischeneinlassdurchgang liegt, mit einer Zwischenkammer verbindet, die die Ladungsteilchenkanonenkammer (1) mit der Probenkammer (18) verbindet.

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Ladungsteilchenstrahlvorrichtung, die in der Lage ist, eine Hochvakuumevakuierung und eine Grobvakuumevakuierung durchzuführen.
Stand der Technik
Als Ladungsteilchenstrahlvorrichtung, die in der Lage ist, eine Hochvakuumevakuierung und eine Grobvakuumevakuierung durchzuführen, gibt es zum Beispiel ein Grobvakuum-Rasterelektronenmikroskop, das ein Vakuumevakuierungssystem aufweist, das in der folgenden Patentliteratur offenbart ist.
JP 2007 - 141 633 A (Patentliteratur 1) offenbart ein Vakuumevakuierungssystem, das in der Lage ist, eine Hochvakuumevakuierung und eine Grobvakuumevakuierung einer Elektronenkanonenkammer mittels minimaler Pumpen durchzuführen, und das eine Konfiguration hat, die eine erste Pumpe (eine Turbomolekularpumpe), welche eine Hochvakuumevakuierung der Elektronenkanonenkammer durchführt, und eine zweite Pumpe (eine Ölrotationspumpe) aufweist, die eine Gegendruckevakuierung der ersten Pumpe und auch eine Grobvakuumevakuierung einer Probenkammer durchführt.
JP 2011 - 034 744 A (Patentliteratur 2) offenbart ein Evakuierungssystem, das eine Mehrzahl von Zwischenkammern aufweist, durch die Elektronenstrahlen zwischen einer Elektronenkanonenkammer und einer Probenkammer hindurchgeleitet werden, umfasst Ventile in Öffnungen zwischen der Mehrzahl von Zwischenkammern und führt eine Evakuierung durch, so dass Drücke der Zwischenkammer, die sich näher an der Probenkammer als am Ventil befindet, und der Probenkammer höher als Drücke der Zwischenkammer, die sich näher an der Elektronenquelle als am Ventil befindet, und der Elektronenkanonenkammer sind, um eine Verbesserung in Bezug auf einen Durchsatz vom Probenwechsel bis zur Betrachtung zu erreichen, da es üblich ist, die Probenkammer, die Zwischenkammern und die Elektronenkanonenkammer zur Zeit des Wechselns einer Probe im Grobvakuum-Rasterelektronenmikroskop der Patentliteratur 1 oder dergleichen der Atmosphäre auszusetzen. Weiterhin offenbart die Druckschrift 3 eine Vorrichtung zur Analyse, welche mit Elektronen arbeitet und in welcher eine Rotationsvakuumpumpe Gas oder Luft aus einer Probenaustauschkammer evakuiert, und insbesondere auf eine Vorrichtung zur Analyse, welche mit Elektronen arbeitet und in welcher verhindert wird, dass die evakuierte Seite der Vorrichtung durch ein Vakuumpumpenöl kontaminiert wird. Schließlich offenbart die Druckschrift 4 ein Teilchenstrahlgerät mit einer im Ultrahochvakuum zu betreibenden Teilchenquelle sowie eine kaskadenförmige Pumpanordnung für ein Teilchenstrahlgerät.
Literaturstellenliste
Druckschriften

Druckschrift 1: JP 2007 - 141 633 A
Druckschrift 2: JP 2011 - 034 744 A
Druckschrift 3: DE 38 55 843 T2
Druckschrift 4: US 6872 956 B2

Zusammenfassung der Erfindung
Technisches Problem
Die Erfinder der vorliegenden Beschreibung haben gründlich ein kleines Vakuumevakuierungssystem untersucht, das eine Hochvakuumevakuierung und eine Grobvakuumevakuierung deutlich realisiert, und haben die folgenden Ergebnisse gefolgert.
Wie in den 1 und 2 veranschaulicht, wird in der Patentliteratur 1 der Vakuumgrad im Inneren einer Probenkammer 10 gemessen, wird ein Ventil V4 geöffnet, wenn der Vakuumgrad gleich oder kleiner als ein vorbestimmter Vakuumgrad ist, wird eine Vakuumkammer durch die Ölrotationspumpe vakuumevakuiert und geht ein Hochvakuummodus schnell in einen Grobvakuummodus über.
Allerdings fließt Öl, das aus der Ölrotationspumpe verdampft, die ein einleitendes Evakuieren im Inneren der Vakuumkammer durchführt, zu der Probenkammer oder dem Vakuumevakuierungsrohr und kontaminiert das Innere einer Vorrichtung, wie beispielsweise einer Probenkammer oder einem Vakuumevakuierungsrohr. Durch Abstrahlen eines Elektronenstrahls auf eine Betrachtungsprobe, die sich im Inneren der kontaminierten Probenkammer befindet, besteht die Möglichkeit, dass die Betrachtungsprobe kontaminiert wird. Wenn die Vorrichtung für eine lange Zeit verwendet wird und die Elektronenkanonenkammer auch kontaminiert wird, besteht die Möglichkeit, dass die Elektronenkanonenkammer das vorbestimmte Hochvakuum nicht erreicht.
Selbst in der Patentliteratur 2, bei der es sich um eine Verbesserungserfindung der Patentliteratur 1 handelt, wie in den 1 bis 5 veranschaulicht, werden eine Vakuumkammer 7 und eine zweite Zwischenkammer 4 einleitend mittels einer Hilfsvakuumpumpe 11 evakuiert, um eine Evakuierungszeit zu verkürzen, und wird eine Verbesserung in Bezug auf einen Durchsatz von einem Probenwechsel bis zu einer Grobvakuumbetrachtung erzielt. Daher kontaminiert die Ölverdampfung aus der Ölrotationspumpe, die die einleitende Evakuierung der Vakuumkammer durchführt, das Innere der Vorrichtung.
Demgegenüber wird ein Verfahren zum Verhindern einer Kontamination im Inneren der Vorrichtung durch Verwenden einer Trockenpumpe als Hilfsvakuumpumpe in Betracht gezogen. Allerdings ist der Einbauraum der Trockenpumpe generell größer als bei der Ölrotationspumpe, und es gibt die nachteilige Wirkung, wie beispielsweise hohe Kosten.
Eine Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Hochvakuumevakuierung und Grobvakuumevakuierung durchzuführen, ohne das Innere einer Vorrichtung zu kontaminieren.
Lösung des Problems
Die Erfindung betrifft eine Vakuumevakuierung einer Ladungsteilchenkanonenkammer und einer Probenkammer durch einen Haupteinlassdurchgang einer Turbomolekularpumpe zur Zeit des Durchführens einer Hochvakuumevakuierung, und eine Vakuumevakuierung der Probenkammer durch einen Zwischeneinlassdurchgang der Turbomolekularpumpe, während die Ladungsteilchenkanonenkammer zur Zeit des Durchführens der Grobvakuumevakuierung durch den Haupteinlassdurchgang vakuumevakuiert wird. Die Erfindung betrifft eine Ölrotationspumpe, die die Ladungsteilchenkanonenkammer oder die Probenkammer nicht vakuumevakuiert.
Vorteilhafte Wirkungen der Erfindung
Da eine Kontamination im Inneren der Vorrichtung in einer Hochvakuumevakuierung oder Grobvakuumevakuierung verhindert werden kann, kann gemäß der Erfindung eine Kontamination einer Betrachtungsprobe verhindert werden, so dass es möglich ist, eine Verschlechterung im endgültigen Vakuum im Verlauf der Zeit zu reduzieren.
Figurenliste

1 ist eine Seitenansicht, die eine Konfiguration einer Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 100 gemäß einer ersten Ausführungsform veranschaulicht.
2 ist ein Fließdiagramm, das eine Evakuierungsablaufsteuerung veranschaulicht, wenn die Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 100 eine Grobvakuumbetrachtung durchführt.
3 ist eine Seitenansicht, die eine Konfiguration einer Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 100 gemäß einer zweiten Ausführungsform veranschaulicht.
4 ist eine Seitenansicht, die eine Konfiguration einer Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 100 gemäß einer dritten Ausführungsform veranschaulicht.
5 ist eine Seitenansicht, die eine Konfiguration einer Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 100 gemäß einer vierten Ausführungsform veranschaulicht.
6 ist eine Seitenansicht, die eine Konfiguration einer Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 100 gemäß einer fünften Ausführungsform veranschaulicht.

Beschreibung von Ausführungsformen
Erste Ausführungsform
1 ist eine Seitenansicht, die eine Konfiguration einer Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 100 gemäß der vorliegenden Ausführungsform veranschaulicht. Die Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 100 umfasst eine Ladungsteilchenkanonenkammer 1, eine Zwischenkammer 15 und eine Objektivlinse 2 sowie eine Probenkammer 18. Die Ladungsteilchenkanonenkammer 1 nimmt eine Ladungsteilchenquelle auf, die einen Ladungsteilchenstrahl auf eine Probe abstrahlt. Die Zwischenkammer 15 nimmt ein Elektronenoptiksystem auf, und der von der Ladungsteilchenkanonenkammer 1 auf die Probe abgestrahlte Ladungsteilchenstrahl wird hindurchgeleitet. Die Objektivlinse 2 verschmälert den Ladungsteilchenstrahl und strahlt den verschmälerten Ladungsteilchenstrahl auf die Probe ab. Die Probenkammer 18 nimmt die Probe auf. Die Objektlinse 2 umfasst ein Loch 3, das die Menge an Gas beschränkt, das aus der Probenkammer 18 bläst, da eine unterschiedliche Evakuierung zwischen der Probenkammer 18 und der Zwischenkammer 15 durchgeführt wird. Die Ladungsteilchenkanonenkammer 1, die Zwischenkammer 15 und die Probenkammer 18 werden durch eine Verbund-Turbomolekularpumpe 6 vakuumevakuiert.
Die Verbund-Turbomolekularpumpe 6 weist einen Haupteinlassdurchgang 11, einen ersten Zwischeneinlassdurchgang 13 und einen zweiten Zwischeneinlassdurchgang 12 auf. In der Verbund-Turbomolekularpumpe 6 ist der Vakuumgrad mit der Entfernung vom Haupteinlassdurchgang 11 geringer. Der erste Zwischeneinlassdurchgang 13 ist so angeordnet, dass er vom Haupteinlassdurchgang 11 weiter als der zweite Zwischeneinlassdurchgang 12 entfernt ist, und weist daher einen Vakuumgrad auf, der geringer als der zweite Zwischeneinlassdurchgang 12 ist. Der zweite Zwischeneinlassdurchgang 12 ist so angeordnet, dass er näher am Haupteinlassdurchgang 11 als der erste Zwischeneinlassdurchgang 13 ist, so dass er einen Vakuumgrad, der geringer als der Haupteinlassdurchgang 11 ist, und einen Vakuumgrad aufweist, der höher als der erste Zwischeneinlassdurchgang 13 ist. Mit anderen Worten hat der Haupteinlassdurchgang 11 den höchsten Vakuumgrad, der erste Zwischeneinlassdurchgang 13 hat den geringsten Vakuumgrad und der zweite Zwischeneinlassdurchgang hat einen Vakuumgrad, der zwischen den Vakuumgraden liegt.
Die Ladungsteilchenkanonenkammer 1 ist mit dem Haupteinlassdurchgang 11 der Verbund-Turbomolekularpumpe 6 über ein Vakuumevakuierungsrohr4 verbunden. Im Vakuumevakuierungsrohr 4 ist ein Vakuummesser 8a so angeordnet, dass er den Vakuumgrad der Ladungsteilchenkanonenkammer 1 überwacht. Die Probenkammer 18 ist mit dem Haupteinlassdurchgang 11 über ein Evakuierungsrohr verbunden, das vom Vakuumevakuierungsrohr 4 abzweigt. Die Probenkammer 18 ist weiter mit dem ersten Zwischeneinlassdurchgang 13 der Verbund-Turbomolekularpumpe 6 über ein Vakuumevakuierungsrohr 22 verbunden. Die Zwischenkammer 15 ist mit dem zweiten Einlassdurchgang 12 der Verbund-Turbomolekularpumpe 6 über ein Vakuumevakuierungsrohr 5 verbunden. Ein Vakuummesser 8b überwacht den Vakuumgrad der Probenkammer 18.
Ein Ventil mit variablem Durchfluss NV stellt eine Menge an Gas ein, das in die Probenkammer 18 eingeführt wird, um den Vakuumgrad der Probenkammer 18 zu variieren. Das Ventil mit variablem Durchfluss NV ist mit der Probenkammer 18 über ein Vakuumevakuierungsrohr 22 verbunden, das vom Vakuumevakuierungsrohr 22 abzweigt.
Ein Ventil BV1 öffnet und schließt ein Evakuierungsrohr zwischen der Probenkammer 18 und dem Haupteinlassdurchgang 11. Ein Ventil SV2 öffnet und schließt das Vakuumevakuierungsrohr 22. Ein Ventil SV3 öffnet und schließt ein Evakuierungsrohr zwischen einem Evakuierungsdurchgang der Verbund-Turbomolekularpumpe 6 und einer Hilfsvakuumpumpe 7. Ein Ventil SV4 öffnet und schließt zwischen der Probenkammer 18 und dem Ventil mit variablem Durchfluss NV. Ein Leckventil LV1 setzt die Ladungsteilchenkanonenkammer 1, die Zwischenkammer 15 und die Probenkammer 18 der Atmosphäre aus. Ein Leckventil LV2 setzt eine Gegendruckevakuierungsseite der Verbund-Turbomolekularpumpe 6 der Atmosphäre aus.
Die Hilfsvakuumpumpe 7 ist mit der Gegendruckevakuierungsseite der Verbund-Turbomolekularpumpe 6 verbunden und führt eine Gegendruckevakuierung der Verbund-Turbomolekularpumpe 6 durch. Die Hilfsvakuumpumpe 7 kann zum Beispiel mittels einer relativ günstigen Pumpe, wie beispielsweise einer Ölrotationspumpe, gestaltet sein kann.
Eine Steuereinheit 110 steuert einen Betrieb der gesamten Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 100, wie beispielsweise jedes Ventil, jede Pumpe und ein Elektronenoptiksystem. Die Steuereinheit 110 kann so gestaltet sein, dass sie zum Beispiel eine Recheneinrichtung, wie beispielsweise einen Mikrocomputer, oder eine zentrale Verarbeitungseinheit (CPU) verwendet.
Um notwendigerweise den Druck der Ladungsteilchenkanonenkammer 1 so niedrig wie möglich zu halten, wird der Durchmesser des Vakuumevakuierungsrohrs 4, das mit dem Haupteinlassdurchgang 11 der Verbund-Turbomolekularpumpe 6 verbunden ist, so eingestellt, dass er groß ist, so dass die Leitfähigkeit verbessert wird. Auf diese Weise wird ein niedriger endgültiger Druck erhalten.
Die Probenkammer 18 nimmt viele Komponenten auf, wie beispielsweise einen Probentisch, auf dem eine Probe gelagert ist und der das Betrachtungssichtfeld verschiebt, und einen Detektor, der ein Signal von einer Betrachtungsprobe detektiert. Da die Probenkammer 18 ein relativ großes Volumen im Vergleich zur Ladungsteilchenkanonenkammer 1 oder Zwischenkammer 15 hat, wird daher der Durchmesser des Evakuierungsrohrs, das vom Vakuumevakuierungsrohr 4 abzweigt und mit der Probenkammer 18 verbunden ist, so eingestellt, dass er groß ist, so dass die Leitfähigkeit verbessert wird. Daher wird die Evakuierungszeit verkürzt und ein niedriger endgültiger Druck erhalten.
Unterschiedliche Evakuierungsdrosseln sind zwischen der Ladungsteilchenkanonenkammer 1 und der Zwischenkammer 15 und zwischen der Zwischenkammer 15 und der Probenkammer 18 angeordnet. Wenn die Probenkammer 18 sich in einem Grobvakuumzustand befindet, - bläst ein Gas aus der Probenkammer 18 durch das Loch 3 zur Zwischenkammer 15. Durch Evakuieren der Zwischenkammer 15 über den zweiten Zwischeneinlassdurchgang 12 ist es möglich zu verhindern, dass das Gas von der Zwischenkammer 15 zur Ladungsteilchenkanonenkammer 1 bläst. Daher wird die Ladungsteilchenkanonenkammer 1 in einem Hochvakuumzustand gehalten. Um eine unterschiedliche Evakuierung durchzuführen, wird der Durchmesser des Vakuumevakuierungsrohrs 5 so eingestellt, dass er kleiner als der Durchmesser des Evakuierungsrohrs 4 ist.
Da der Druck der Probenkammer 18 höher als der Druck der Ladungsteilchenkanonenkammer 1 oder der Druck der Zwischenkammer 15 ist, wird die Probenkammer 18 mit dem ersten Zwischeneinlassdurchgang 13 verbunden, der vom Haupteinlassdurchgang 11 entfernt ist. Daher wird die Ladungsteilchenkanonenkammer 1 im Hochvakuumzustand gehalten. Das Vakuumevakuierungsrohr 22 wird für eine nachfolgend beschriebene Grobvakuumevakuierungsfolge verwendet. Dadurch, dass der Durchmesser eines Abschnitts, der das Vakuumevakuierungsrohr 22 mit dem ersten Zwischeneinlassdurchgang 13 verbindet, so eingestellt wird, dass er kleiner als der Durchmesser des Vakuumevakuierungsrohrs 5 ist, ist daher die Leitfähigkeit kleiner als in den anderen Evakuierungsrohren.
Wenn eine Hochvakuumbetrachtung durchgeführt wird, öffnet die Steuereinheit 110 die Ventile BV1 und SV3 und schließt die Ventile SV2, SV4, LV1, LV2 und NV. Im Ergebnis werden die Ladungsteilchenkanonenkammer 1 und die Probenkammer 18 über den Haupteinlassdurchgang 11 der Verbund-Turbomolekularpumpe 6 evakuiert und die Zwischenkammer 15 wird über den zweiten Zwischeneinlassdurchgang 12 der Verbund-Turbomolekularpumpe 6 evakuiert. Die Zwischenkammer15 befindet sich in einer Position, in der ein Ladungsteilchenstrahl, der von der Ladungsteilchenkanonenkammer 1 zur Probenkammer abgestrahlt wird, hindurchgeleitet wird, so dass ein Einfluss des Vakuumgrads hier bei einer Betrachtung ziemlich gering ist. Demgemäß wird die Zwischenkammer 15 durch den zweiten Zwischeneinlassdurchgang 12 evakuiert und wird das durch den Haupteinlassdurchgang 11 evakuierte Volumen auf diesen Umfang gesenkt und wird die Evakuierungszeit der Ladungsteilchenkanonenkammer 1 und der Probenkammer 18 verkürzt.
2 ist ein Fließdiagram,das die Evakuierungsfolgensteuerung veranschaulicht, wenn die Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 100 eine Betrachtung im Grobvakuum durchführt. Nachfolgend werden die Schritte der 2 beschrieben.
(Figur 2: Schritt S201)
Die Steuereinheit 110 startet einen Atmosphärenaussetzmodus. Im Atmosphärenaussetzmodus schließt die Steuereinheit 110 zuerst die Ventile SV2, SV3 und SV4 und stoppt die Verbund-Turbomolekularpumpe 6. Danach öffnet die Steuereinheit 110 das Leckventil LV1, um die Ladungsteilchenkanonenkammer 1, die Zwischenkammer 15 und die Probenkammer 18 der Atmosphäre auszusetzen.
(Figur 2: Schritt 202)
Wenn der Benutzer eine Probe im Inneren der Probenkammer 18 gewechselt hat, beginnt die Steuereinheit 110 mit einem nachfolgend beschriebenen Grobvakuumevakuierungsmodus.
(Figur 2: Schritte S203 bis S205)
Die Steuereinheit 110 schließt die Ventile LV1, SV2 und SV4 und öffnet die Ventile BV1 und SV3 (S203). Die Steuereinheit 110 startet das Evakuieren der Ladungsteilchenkanonenkammer 1, der Zwischenkammer 15 und der Probenkammer 18 mittels der Verbund-Turbomolekularpumpe 6 (S204). Die Steuereinheit 110 setzt die Evakuierung fort, bis ein durch den Vakuummesser 8b gemessener Wert einen voreingestellten Vakuumgrad, zum Beispiel 500 Pa, erreicht (S205).
(Figur 2: Schritt S204: Ergänzung)
In diesem Schritt werden die Ladungsteilchenkanonenkammer 1 und die Probenkammer 18 über den Haupteinlassdurchgang 11 evakuiert, und die Zwischenkammer 15 wird über den zweiten Zwischeneinlassdurchgang 12 evakuiert.
(Figur 2: Schritt S206)
Wenn der eingestellte Vakuumgrad erhalten wird, schließt die Steuereinheit 110 zuerst das Ventil BV1. Die Steuereinheit 110 öffnet anschließend das Ventil SV2 und evakuiert die Probenkammer 18 über den ersten Zwischeneinlassdurchgang 13 der Verbund-Turbomolekularpumpe 6. Die Steuereinheit 110 öffnet anschließend das Ventil SV4 und startet die Steuerung des Ventils mit variablem Durchlass NV. Die Steuereinheit 110 stellt den Vakuumgrad der Probenkammer 18 mittels des Ventils mit variablem Durchlass NV ein. Die Steuereinheit 110 kann normalerweise einen Wert des Vakuummessers 8b so lesen, dass die Durchflussmenge des Ventils mit variablem Durchlass NV automatisch gesteuert wird. Der Druck im Inneren der Probenkammer 18 kann zusammen mit der Evakuierung über das Ventil mit variablem Durchlass NV und den ersten Zwischeneinlassdurchgang 13 genau eingestellt werden.
(Figur 2: Schritt S207)
Der Benutzer beginnt eine Grobvakuumbetrachtung der Probe zu einem Zeitpunkt, zu dem der Vakuumgrad in der Probenkammer 18 einen gewünschtes niedrigen Vakuumgrad erreicht. Zur Zeit der Grobvakuumbetrachtung wird der Druck der Probenkammer 18 in Schritt S206 so eingestellt, dass der Druck der Probenkammer 18 zum Beispiel 1 bis 270 Pa beträgt.
Die Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 100 gemäß der vorliegenden Ausführungsform evakuiert die Probenkammer 18 über den ersten Zwischeneinlassdurchgang 13 der Verbund-Turbomolekularpumpe 6, wenn die Grobvakuumevakuierung durchgeführt wird. Selbst in einem Fall, in dem die Ölrotationspumpe als Hilfsvakuumpumpe 7 verwendet wird, ist es daher möglich zu verhindern, dass das Öl, das aus der Ölrotationspumpe verdampft, im Inneren der Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 100 (der Probenkammer 18, der Ladungsteilchenkanonenkammer 1, des Elektronenoptiksystems und dergleichen) fließt. Im Ergebnis ist es möglich zu verhindern, dass das Innere der Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 100 oder die Betrachtungsprobe kontaminiert wird, so dass es möglich ist, eine eindeutigere Evakuierung als in der verwandten Technik durchzuführen.
In der vorliegenden Ausführungsform wird die Zwischenkammer 15 normalerweise durch den zweiten Zwischeneinlassdurchgang 12 evakuiert. Daher kann die Hochvakuumevakuierung in kurzer Zeit durchgeführt werden, und die Zwischenkammer 15 benötigt kein Ventil, das den zweiten Zwischeneinlassdurchgang 12 öffnet und schließt, so dass es eine vorteilhafte Wirkung in Bezug auf die Verkleinerung eines Evakuierungssystems gibt.
In der ersten Ausführungsform wird die Verbund-Tumormolekularpumpe 6 zur Zeit des Wechsels einer Probe gestoppt. Da ein Ventil, das das Vakuum der Verbund-Turbomolekularpumpe 6 aufrechterhält, nicht notwendig ist, gibt es den vorteilhaften Effekt in Bezug auf die Verkleinerung eines Evakuierungssystems.
Zweite Ausführungsform
3 ist eine Seitenansicht, die eine Konfiguration einer Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 100 gemäß der vorliegenden Ausführungsform veranschaulicht. Die Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 100 gemäß der vorliegenden Ausführungsform weist zusätzlich zur in der ersten Ausführungsform beschriebenen Konfiguration eine zweite Zwischenkammer 16 und ein Vakuumevakuierungsrohr 21 auf. Die Verbund-Turbomolekularpumpe 6 weist einen dritten Zwischeneinlassdurchgang 14 zusätzlich zur in der ersten Ausführungsform beschriebenen Konfiguration auf. Der dritte Zwischeneinlassdurchgang 14 befindet sich in einer Position, die näher am Haupteinlassdurchgang 11 als der erste Zwischeneinlassdurchgang 13 ist, und befindet sich in einer Position, die im Vergleich zum zweiten Zwischeneinlassdurchgang 12 vom Haupteinlassdurchgang 11 entfernt ist. Das heißt, dass der dritte Zwischeneinlassdurchgang 14 den Vakuumgrad zwischen dem ersten Zwischeneinlassdurchgang 13 und dem zweiten Zwischeneinlassdurchgang 12 aufweist. Das Vakuumevakuierungsrohr 21 verbindet die zweite Zwischenkammer 16 mit dem dritten Zwischeneinlassdurchgang 14. Ein Loch zum Durchführen einer unterschiedlichen Evakuierung wird zwischen der Zwischenkammer 15 und der zweiten Zwischenkammer 16 gebildet. Die andere verbleibende Konfiguration ist die gleiche wie bei der ersten Ausführungsform.
Die zweite Zwischenkammer 16 kann zusammen mit der Zwischenkammer 15 über den dritten Zwischeneinlassdurchgang 14 evakuiert werden. Um eine unterschiedliche Evakuierungswirkung zu verbessern, kann der Durchmesser des Evakuierungsrohrs 21 so eingestellt werden, dass er zum Beispiel kleiner als der Durchesser des Vakuumevakuierungsrohrs 5 und größer als der Durchmesser eines Abschnitts des Vakuumevakuierungsrohrs 22 eingestellt wird, das mit dem ersten Zwischeneinlassdurchgang 13 verbunden ist.
Die Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 100 gemäß der Ausführungsform weist die Mehrzahl von Zwischenkammern auf und kann daher die unterschiedliche Evakuierung entlang eines Pfads durchführen, der von der Probenkammer 18 zur Ladungsteilchenkanonenkammer 1 führt. Daher ist es möglich, den Vakuumgrad der Ladungsteilchenkanonenkammer 1 stärker aufrechtzuerhalten, während dieselben vorteilhaften Wirkungen wie bei der ersten Ausführungsform erhalten werden.
Dritte Ausführungsform
4 ist eine Seitenansicht, die eine Konfiguration einer Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 100 gemäß der vorliegenden Ausführungsform veranschaulicht. Die Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 100 gemäß der vorliegenden Ausführungsform weist zusätzlich zur in der ersten Ausführungsform beschriebenen Konfiguration ein Umgehungsrohr auf, das die Zwischenkammer 15 mit der Probenkammer 18 verbindet. Die Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 100 weist weiter ein Ventil SV5, das das Vakuumevakuierungsrohr 5 öffnet und schließt, und ein Ventil SV6 auf, das das Umgehungsrohr öffnet und schließt. Die andere verbleibende Konfiguration ist die gleiche wie die in der ersten Ausführungsform.
Um die Hochvakuumbetrachtung in der vorliegenden Ausführungsform durchzuführen, öffnet die Steuereinheit 110 die Ventile BV1, SV3 und SV6 und schließt die Ventile SV2, SV4, SV5, LV1, LV2 und NV. Im Ergebnis werden die Ladungsteilchenkanonenkammer 1 und die Probenkammer 18 über den Haupteinlassdurchgang 11 evakuiert, und die Zwischenkammer 15 wird in ähnlicher Weise durch den Haupteinlassdurchgang 11 über das Umgehungsrohr und die Probenkammer 18 evakuiert.
Um eine Grobvakuumbetrachtung i in der vorliegenden Ausführungsform durchzuführen, schließt nach dem Durchführen der Schritte S201 bis S205 die Steuereinheit 110 die Ventile BV1 und SV6 und öffnet die Ventile SV2 und SV5, um die Probenkammer 18 über den ersten Zwischeneinlassdurchgang 13 zu evakuieren und die Zwischenkammer 15 über den zweiten Zwischeneinlassdurchgang 12 zu evakuieren. Danach stellt die Steuereinheit 110 den Vakuumgrad der Probenkammer 18 mittels Ventils mit variablem Durchlass NV wie in der ersten Ausführungsform ein. Das anschließende Verfahren ist dasselbe wie das der ersten Ausführungsform.
Die Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 100 gemäß der vorliegenden Ausführungsform evakuiert die Zwischenkammer 15 durch den Haupteinlassdurchgang 11 über das Umgehungsrohr und die Probenkammer 18 zur Zeit der Hochvakuumbetrachtung. Daher ist es möglich, den Vakuumgrad der Zwischenkammer 15 im Vergleich zur ersten Ausführungsform weiter zu verbessern. Da das Volumen der Zwischenkammer 15 kleiner als das Volumen der Probenkammer 18 ist, ist ein Einfluss der Verschlechterung im Vakuumgrad aufgrund einer Zunahme im Volumen gering und wird der Vakuumgrad der Probenkammer 18 kaum verändert. Demgemäß ist es in einer bevorzugten Verwendung besonders nützlich, den Vakuumgrad in der Zwischenkammer 15 zu verbessern.
Ein Umgehungsrohr, das mit der Ladungsteilchenkanonenkammer 1 verbunden ist, kann anstelle des Umgehungsrohrs enthalten sein, das mit der Probenkammer 18 verbunden ist, um die Zwischenkammer 15 über die Ladungsteilchenkanonenkammer 1 zu evakuieren. Da die Ladungsteilchenkanonenkammer 1 ein Volumen hat, das geringer als das der Probenkammer 18 ist, und das Gesamtvolumen der Ladungsteilchenkanonenkammer 1 und der Zwischenkammer 15 klein ist, ist es möglich, den Vakuumgrad der Zwischenkammer 15 weiter zu verbessern.
Vierte Ausführungsform
5 ist eine Seitenansicht, die eine Konfiguration einer Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 100 gemäß der vorliegenden Ausführungsform veranschaulicht. In der Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 100 gemäß der vorliegenden Ausführungsform umfasst die Verbund-Turbomolekularpumpe 6 nicht den zweiten Zwischeneinlassdurchgang 12, der in der ersten Ausführungsform beschrieben ist. Ein Evakuierungsrohr, das vom Vakuumevakuierungsrohr 4 abzweigt (oder dem Evakuierungsrohr, das das Vakuumevakuierungsrohr 4 mit der Probenkammer 18 verbindet) verbindet die Zwischenkammer 15 mit der Verbund-Turbomolekularpumpe 6. Die andere verbleibende Konfiguration ist dieselbe wie die der ersten Ausführungsform.
Ein Betrieb der Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 100 gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist der gleiche wie der der ersten Ausführungsform. In der vorliegenden Ausführungsform ist allerdings der zweite Zwischeneinlassdurchgang 12 nicht umfasst. Daher wird entweder zur Zeit der Hochvakuumbetrachtung oder zur Zeit der Grobvakuumbetrachtung die Zwischenkammer 15 über den Haupteinlassdurchgang 11 der Verbund-Turbomolekularpumpe 6 evakuiert. In der vierten Ausführungsform gibt es, da der zweite Zwischeneinlassdurchgang 12 nicht umfasst ist, die vorteilhafte Wirkung, dass die Struktur der Verbund-Turbomolekularpumpe 6 vereinfacht ist.
Fünfte Ausführungsform
6 ist eine Seitenansicht, die eine Konfiguration einer Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 100 gemäß der vorliegenden Ausführungsform veranschaulicht. Die Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 100 gemäß der vorliegenden Ausführungsform weist eine zweite Probenkammer 18a im Inneren der Probenkammer 18 auf. Ein Dünnfilm 18a befindet sich zwischen der Probenkammer 18 und der zweiten Probenkammer 18a. Der Dünnfilm 18b ist so gestaltet, dass ein Ladungsteilchenstrahl, der von der Ladungsteilchenkanonenkammer 1 abgegeben wird, hindurchgeleitet wird und auch die Rolle hat, Vakuumzustände der Probenkammer 18 und der zweiten Probenkammer 18a voneinander zu trennen.
In der vorliegenden Ausführungsform wird zum Betrachten einer Probe die Probe im Inneren der zweiten Probenkammer 18a angeordnet, wird die Probenkammer 18 evakuiert und wird die zweite Probenkammer 18a der Atmosphäre ausgesetzt. Zum Beispiel kann in einem Fall, in dem die Probe unter der Vakuumatmosphäre geschädigt wird, die Probe mittels der zweiten Probenkammer 18a betrachtet werden (zum Beispiel JP-A-2012 - 221766 ).
Die zweite Probenkammer 18a kann auch nach Bedarf drucklos gemacht (oder vakuumevakuiert) werden. In diesem Fall wird zum Beispiel die zweite Probenkammer 18a mit der Hilfsvakuumpumpe 7 über ein Evakuierungsrohr verbunden und weist ein Ventil SV7 auf, das das Evakuierungsrohr öffnet und schließt. Durch das Öffnen und Schließen des Ventils SV7 ist es möglich auszuwählen, ob die zweite Probenkammer 18a drucklos gemacht wird.
Modifikationsbeispiel der Erfindung
Die Erfindung ist nicht auf die vorstehenden Ausführungsformen beschränkt und weist verschiedene Modifikationsbeispiele auf. Die vorstehenden Ausführungsformen werden ausführlich beschrieben, um die Erfindung einfach zu beschreiben und sind nicht notwendigerweise darauf beschränkt, dass sie alle beschriebenen Konfigurationen aufweisen. Ein Teil der Konfiguration einer bestimmten Ausführungsform kann durch die Konfiguration einer anderen Ausführungsform ersetzt werden. Die Konfiguration einer anderen Ausführungsform kann auch der Konfiguration einer bestimmten Ausführungsform hinzugefügt werden. Eine andere Ausführungsform kann auch hinzugefügt, gelöscht oder mit einem Teil der Konfiguration jeder Ausführungsform ausgetauscht werden.
In den vorstehenden Ausführungsformen wird das Konfigurationsbeispiel des Grobvakuum-Rasterelektronenmikroskops, das eine Probe in einer Vakuumumgebung (oder bei atmosphärischem Druck) betrachtet, beschrieben. Selbst wenn die Probenkammer in einem Rastertransmissionselektronenmikroskop, einem Transmissionselektronenmikroskop oder einer fokussierten lonenstrahlvorrichtung vakuumevakuiert wird, können die gleichen Konfigurationen verwendet werden.
Bezugszeichenliste

1: Ladungspartikelkanonenkammer
2: Objektivlinse
3: Loch
4, 5: Vakuumevakuierungsrohr
6: Verbund-Turbomolekularpumpe
7: Hilfsvakuumpumpe
8a, 8b: Vakuummesser
11: Haupteinlassdurchgang
12: zweiter Haupteinlassdurchgang
13: erster Zwischeneinlassdurchgang
14: dritter Zwischeneinlassdurchgang
15: Zwischenkammer
16: zweite Zwischenkammer
18: Probenkammer
18a: zweite Probenkammer
18b: Dünnfilm
21, 22: Vakuumevakuierungsrohr
100: Ladungsteilchenstrahlvorrichtung
BV1, SV1 bis SV7: Ventil
NV: Ventil mit variablem Durchfluss

Claims

Ladungsteilchenstrahlvorrichtung (100), umfassend: eine Ladungsteilchenkanonenkammer (1), die eine Ladungsteilchenquelle aufnimmt, welche einen Ladungsteilchenstrahl auf eine Probe abstrahlt; eine Probenkammer (18), in der sich die Probe befindet; eine Turbomolekularpumpe (6), die die Ladungsteilchenkanonenkammer (1) und die Probenkammer (18) vakuumevakuiert; ein erstes Evakuierungsrohr (4), das einen Haupteinlassdurchgang (11) der Turbomolekularpumpe (6) mit der Ladungsteilchenkanonenkammer (1) verbindet; ein zweites Evakuierungsrohr (5), das einen Zwischeneinlassdurchgang der Turbomolekularpumpe (6) mit der Probenkammer (18) verbindet; ein drittes Evakuierungsrohr, das die Probenkammer (18) mit dem ersten Evakuierungsrohr (4) verbindet; ein erstes Ventil, das das zweite Evakuierungsrohr (5) öffnet und schließt; und ein zweites Ventil, das das dritte Evakuierungsrohr öffnet und schließt, wobei die Ladungsteilchenstrahlvorrichtung (100) weiter umfasst: eine Ölrotationspumpe, die eine Gegendruckevakuierung der Turbomolekularpumpe (6) durchführt, wobei die Ölrotationspumpe die Ladungsteilchenkanonenkammer (1) oder die Probenkammer (18) nicht vakuumevakuiert, wobei die Ladungsteilchenstrahlvorrichtung (100) dadurch gekennzeichnet ist, dass sie ein viertes Evakuierungsrohr umfasst, das einen zweiten Zwischeneinlassdurchgang in einer Position, die in der Turbomolekularpumpe (6) näher am Haupteinlassdurchgang (11) als am Zwischeneinlassdurchgang liegt, mit einer Zwischenkammer verbindet, die die Ladungsteilchenkanonenkammer (1) mit der Probenkammer (18) verbindet.
Ladungsteilchenstrahlvorrichtung (100) nach Anspruch 1, weiter umfassend: eine Steuereinheit, die das erste Ventil, das zweite Ventil und die Turbomolekularpumpe (6) steuert, wobei, wenn die Probenkammer (18) auf einen hohen Vakuumgrad evakuiert wird, der höher als ein vorbestimmter Vakuumgrad ist, die Steuereinheit dazu eingerichtet ist, das erste Ventil zu schließen und das zweite Ventil zu öffnen und dann die Ladungsteilchenkanonenkammer (1) und die Probenkammer (18) durch den Haupteinlassdurchgang (11) der Turbomolekularpumpe (6) zu evakuieren, und wobei, wenn die Probenkammer (18) auf einen niedrigen Vakuumgrad evakuiert wird, der niedriger als der vorbestimmte Vakuumgrad ist, die Steuereinheit dazu eingerichtet ist, das erste Ventil zu öffnen und das zweite Ventil zu schließen und dann die Ladungsteilchenkanonenkammer (1) durch den Haupteinlassdurchgang (11) der Turbomolekularpumpe (6) zu vakuumevakuieren und die Probenkammer (18) durch den Zwischeneinlassdurchgang zu evakuieren.
Ladungsteilchenstrahlvorrichtung (100) nach Anspruch 2, wobei, wenn die Probenkammer (18) auf den geringen Vakuumgrad evakuiert wird, der geringer als der vorbestimmte Vakuumgrad ist, die Steuereinheit dazu eingerichtet ist, das erste Ventil zu schließen und das zweite Ventil zu öffnen und dann eine einleitende Evakuierung der Probenkammer (18) durch den Haupteinlassdurchgang (11) der Turbomolekularpumpe (6) durchzuführen und anschließend das erste Ventil zu öffnen und das zweite Ventil zu schließen, und dann die Probenkammer (18) durch den Zwischeneinlassdurchgang der Turbomolekularpumpe (6) zu evakuieren.
Ladungsteilchenstrahlvorrichtung (100) nach Anspruch 1, wobei der Durchmesser eines Abschnitts, der das erste Evakuierungsrohr (4) mit dem Haupteinlassdurchgang (11) verbindet, so eingestellt ist, dass er größer als der Durchmesser eines Abschnitts ist, der das vierte Evakuierungsrohr mit dem zweiten Zwischeneinlassdurchgang verbindet, und wobei der Durchmesser des Abschnitts, der das vierte Evakuierungsrohr mit dem zweiten Zwischeneinlassdurchgang verbindet, so eingestellt ist, dass er größer als der Durchesser eines Abschnitts ist, der das zweite Evakuierungsrohr (5) mit dem Zwischeneinlassdurchgang verbindet.
Ladungsteilchenstrahlvorrichtung (100) nach Anspruch 1, weiter umfassend: ein drittes Ventil, das das dritte Evakuierungsrohr öffnet und schließt, und ein Umgehungsrohr, das die Ladungsteilchenkanonenkammer (1) oder die Probenkammer (18) mit der Zwischenkammer verbindet.
Ladungsteilchenstrahlvorrichtung (100) nach Anspruch 1, weiter umfassend: ein viertes Evakuierungsrohr, das eine Zwischenkammer, die die Ladungsteilchenkanonenkammer (1) mit der Probenkammer (18) verbindet, mit dem ersten Evakuierungsrohr (4) verbindet.
Ladungsteilchenstrahlvorrichtung (100) nach Anspruch 1, weiter umfassend: eine zweite Probenkammer (18a), bei der sich die Probe im Inneren der Probenkammer (18) befindet, wobei sich in der zweiten Probenkammer (18a) ein Film (18b) befindet, der einen auf die Probe abgestrahlten Ladungsteilchenstrahl hindurchleitet und einen Vakuumzustand der zweiten Probenkammer (18a) von einem Vakuumzustand der Probenkammer (18) trennt.
Ladungsteilchenstrahlvorrichtung (100) nach Anspruch 2, weiter umfassend: ein fünftes Evakuierungsrohr, das vom zweiten Evakuierungsrohr (5) abzweigt; und ein Ventil mit variablem Durchfluss, das eine Durchflussmenge eines Fluids einstellt, das durch das fünfte Evakuierungsrohr strömt.
Evakuierungsverfahren zum Evakuieren einer Ladungsteilchenkanonenkammer (1) und einer Probenkammer (18) einer Ladungsteilchenstrahlvorrichtung (100), wobei das Evakuierungsverfahren umfasst: Blockieren eines Zwischeneinlassdurchgangs einer Turbomolekularpumpe (6) und der Probenkammer (18), darauffolgendes Verbinden eines Haupteinlassdurchgangs (11) der Turbomolekularpumpe (6) mit der Ladungsteilchenkanonenkammer (1) und der Probenkammer (18), und Vakuumevakuieren der Ladungsteilchenkanonenkammer (1) und der Probenkammer (18) durch den Haupteinlassdurchgang (11), wenn die Probenkammer (18) auf einen höheren Vakuumgrad als ein vorbestimmter Vakuumgrad evakuiert wird; und Blockieren des Haupteinlassdurchgangs (11) und der Probenkammer (18), darauffolgendes Verbinden des Haupteinlassdurchgangs (11) mit der Probenkammer (18), weiterhin Verbinden des Zwischeneinlassdurchgangs mit der Probenkammer (18) und Vakuumevakuieren der Probenkammer (18) durch den Zwischeneinlassdurchgang, während die Ladungsteilchenkanonenkammer (1) durch den Haupteinlassdurchgang (11) vakuumevakuiert wird, wenn die Probenkammer (18) auf einen geringeren Vakuumgrad als dem vorbestimmten Vakuumgrad evakuiert wird, wobei, während eine Ölrotationspumpe eine Gegendruckevakuierung der Turbomolekularpumpe (6) durchführt, die Ölrotationspumpe die Ladungsteilchenkanonenkammer (1) oder die Probenkammer (18) nicht vakuumevakuiert, gekennzeichnet durch Verbinden eines vierten Evakuierungsrohrs, das einen zweiten Zwischeneinlassdurchgang in einer Position, die in der Turbomolekularpumpe (6) näher am Haupteinlassdurchgang (11) als am Zwischeneinlassdurchgang liegt, mit einer Zwischenkammer, die die Ladungsteilchenkanonenkammer (1) mit der Probenkammer (18) verbindet.
Evakuierungsverfahren nach Anspruch 9, wobei, wenn die Probenkammer (18) auf den geringeren Vakuumgrad im Vergleich zum vorbestimmten Vakuumgrad evakuiert wird, der Zwischeneinlassdurchgang und die Probenkammer (18) blockiert werden, der Haupteinlassdurchgang (11) dann mit der Ladungsteilchenkanonenkammer (1) und der Probenkammer (18) verbunden wird, die Probenkammer (18) durch den Haupteinlassdurchgang (11) einleitend evakuiert wird, anschließend der Haupteinlassdurchgang (11) und die Probenkammer (18) blockiert werden, der Zwischeneinlassdurchgang dann mit der Probenkammer (18) verbunden wird und die Probenkammer (18) durch den Zwischeneinlassdurchgang vakuumevakuiert wird.
Evakuierungsverfahren nach Anspruch 9, wobei ein zweiter Zwischeneinlassdurchgang in einer Position, die dem Haupteinlassdurchgang (11) näher als dem Zwischeneinlassdurchgang in der Turbomolekularpumpe (6) ist, normalerweise mit einer Zwischenkammer verbunden ist, die die Ladungsteilchenkanonenkammer (1) mit der Probenkammer (18) verbindet, und die Zwischenkammer durch den zweiten Zwischeneinlassdurchgang vakuumevakuiert wird.
Evakuierungsverfahren nach Anspruch 9, wobei, wenn die Probenkammer (18) auf den höheren Vakuumgrad im Vergleich zum vorbestimmten Vakuumgrad evakuiert wird, ein zweiter Zwischeneinlassdurchgang in einer Position, die näher am Haupteinlassdurchgang (11) als am Zwischeneinlassdurchgang in der Turbomolekularpumpe (6) ist, und eine Zwischenkammer, die die Ladungsteilchenkanonenkammer (1) mit der Probenkammer (18) verbindet, blockiert werden, die Ladungsteilchenkanonenkammer (1) oder die Probenkammer (18) dann mit der Zwischenkammer verbunden wird und die Zwischenkammer durch den Haupteinlassdurchgang (11) evakuiert wird, und wobei, wenn die Probenkammer (18) auf den geringeren Vakuumgrad im Vergleich zum vorbestimmten Vakuumgrad evakuiert wird, die Ladungsteilchenkanonenkammer (1) oder die Probenkammer (18) und die Zwischenkammer blockiert werden, der zweite Zwischeneinlassdurchgang dann mit der Probenkammer (18) verbunden wird und die Zwischenkammer durch den zweiten Zwischeneinlassdurchgang vakuumevakuiert wird.
Evakuierungsverfahren nach Anspruch 9, wobei eine Zwischenkammer, die die Ladungsteilchenkanonenkammer (1) mit der Probenkammer (18) verbindet, normalerweise mit dem Haupteinlassdurchgang (11) verbunden ist und die Zwischenkammer durch den Haupteinlassdurchgang (11) vakuumevakuiert wird.
Evakuierungsverfahren nach Anspruch 9, wobei eine zweite Probenkammer (18a), die von einem Vakuumzustand der Probenkammer (18) getrennt wird, mit der Ölrotationspumpe verbunden wird und die zweite Probenkammer (18a) durch die Ölrotationspumpe drucklos gemacht oder vakuumevakuiert wird.
Evakuierungsverfahren nach Anspruch 9, wobei, wenn die Probenkammer (18) auf den geringeren Vakuumgrad im Vergleich zum vorbestimmten Vakuumgrad evakuiert wird, die Durchflussmenge eines Fluids, das in der Probenkammer (18) strömt, durch ein Ventil mit variablem Durchfluss eingestellt wird.