DE112015001955T5

DE112015001955T5 - Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen, Messverfahren, Programm und Aufnahmemedium

Info

Publication number: DE112015001955T5
Application number: DE112015001955.3T
Authority: DE
Inventors: Fumikazu Takayanagi; Akiyoshi IRISAWA
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2014-04-22
Filing date: 2015-04-21
Publication date: 2017-01-19
Also published as: JP6246909B2; JPWO2015163298A1; DE112015001956T5; US20170074803A1; JPWO2015163299A1; US20170074804A1; WO2015163299A1; WO2015163298A1; JP6246908B2

Abstract

Gemäß der vorliegenden Erfindung beinhaltet eine Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen eine Ausgabevorrichtung für elektromagnetische Wellen und einen Detektor für elektromagnetische Wellen. Die Ausgabevorrichtung für elektromagnetische Wellen gibt eine elektromagnetische Welle aus, welche eine Frequenz hat gleich oder größer als 0,01 [THz] und gleich oder kleiner als 100 [THz], in Richtung einer Probe, die erhalten wird durch Aneinanderkleben einer Vielzahl von Probekörpern durch einen Klebstoff und eines reflektierenden Körpers, welcher hinter der Probe angeordnet ist. Der Detektor für elektromagnetische Wellen detektiert eine reflektierte elektromagnetische Welle, welche die elektromagnetische Welle ist, die von einem von der Probe und dem reflektierenden Körper reflektiert wurde. Die Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen bestimmt ob eine Verbindung durch einen Klebstoff ausgezeichnet ist oder nicht, basierend auf der detektierten reflektierten elektromagnetischen Welle.

Description

GEBIET DER ERFINDUNG
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Messung von einer Probe, welche eine Schichtstruktur hat, beinhaltend mindestens zwei Schichten (wie z. B. Papier und Folie), durch Verwendung einer elektromagnetischen Welle (mit einer Frequenz, welche gleich oder größer ist als 0,01 [THz] und gleich oder kleiner ist als 100 [THz]) (wie z. B. eine Terahertz-Welle (mit einer Frequenz, welche gleich oder größer ist als 0,03 [THz] und gleich oder kleiner ist als 10 [THz])).
TECHNISCHER HINTERGRUND
Üblicherweise tritt eine fehlerhafte Verbindung, welche visuell schwierig zu überprüfen ist, wegen eines fehlerhaften Aufbringens eines Klebstoffs auf oder wegen eines Eintritts von Luft in eine Schnittstelle, wenn Probekörper miteinander verbunden werden. Ein Beispiel eines herkömmlichen Überprüfungsverfahrens für die fehlerhafte Verbindung, die durch die kontaktlose Art verursacht wurde, ist eine Transmissionsmessung unter Benutzung eines Strahls im nahen Infrarot. Die fehlerhafte Verbindung kann detektiert werden durch ein Einstrahlen eines nahen Infrarotstrahls auf die Probekörper und überprüfen einer Änderung in der Transmissions-Lichtintensität, die durch den Klebstoff verursacht wurde.
(Verzeichnisse der Quellenangaben)

(Patentliteratur 1) Japanische Offenlegungsschrift (Kokai) Nr. 2004-028618
(Patentliteratur 2) PCT Schrift WO2009/050830
(Patentliteratur 3) Japanische Offenlegungsschrift (Kokai) Nr. 2008-076159

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Jedoch wird die Detektion der fehlerhaften Verbindung schwierig, wenn die Transmissionsintensität abnimmt, abhängig von einer Dicke oder einer Art der Probekörper oder des Klebstoffs.
Es ist daher eine Aufgabe der vorlegenden Erfindung die Abnahme in der Transmissionsintensität, abhängig von der Dicke oder der Art der Probekörper und des Klebstoffs, zu verringern verglichen mit dem Fall der Verwendung des nahen Infrarots.
Eine Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen gemäß der vorliegenden Erfindung ist eine Vorrichtung, die zumindest eines überwacht von einem Spektrum, einer Pulsamplitude und einer Pulsverzögerungszeit einer übertragenen Welle oder einer reflektierten Welle einer elektromagnetischen Welle (wie z. B. einer Terahertz-Welle) mit einer Frequenz gleich oder größer als 0,01 [THz] und gleich oder kleiner als 100 [THz], die zum Einfall auf eine Probe (Probekörper, die durch einen Klebstoff aneinandergeklebt sind) gebracht wird, und zumindest eines überwacht von einer Änderung eines Spektrums, einer Pulsamplitudenabschwächung und einer Änderung der Pulsverzögerungszeit durch den Klebstoff, der auf die Probekörper aufgebracht ist.
Die Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen gemäß der vorliegenden Erfindung kann eine Messung zum Abbilden einer fehlerhaften Verbindung ermöglichen, durch Abtasten der Probekörper oder einen Sensor (ein Generator für elektromagnetische Wellen und einen Detektor für elektromagnetische Wellen).
Eine erste Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen (in Bezug auf 1) gemäß der vorliegenden Erfindung kann den Generator für elektromagnetische Wellen beinhalten und den Detektor für elektromagnetische Wellen, die einander gegenüber liegen, kann die übertragene Welle messen, welche die elektromagnetische Welle ist, die vom Generator für elektromagnetische Wellen generiert wurde und die durch die Probekörper übertragen wurde, und kann eine Änderung des Spektrums der übertragenden Welle oder eine Amplitudenabschwächung oder die Änderung der Verzögerungszeit eines übertragenen Pulses, verursacht durch den Klebstoff, überwachen und dadurch die fehlerhafte Verbindung detektieren.
Eine zweite Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen gemäß der vorliegenden Erfindung (siehe 2) kann eine Welle messen, die von den Probekörpern reflektiert wurde, und eine übertragene und reflektierte Welle, welche durch die Probekörper übertragen wurde und dann weiter reflektiert wird von einem reflektierenden Spiegel der hinteren Oberfläche oder einer Metallplatte und kann eine Amplitudenabschwächung, eine Verzögerungszeit oder eine Änderung des Spektrums der übertragenen und reflektierten Welle von dem reflektierenden Spiegel der hinteren Oberfläche oder der Metallplatte, verursacht durch den Klebstoff, überwachen und dadurch die fehlerhafte Verbindung detektieren.
Die zweite Messvorrichtung für magnetische Wellen (siehe 2) gemäß der vorliegenden Erfindung kann eine Intensität überwachen von der übertragenen Welle und von der Welle, die von dem reflektierenden Spiegel der hinteren Oberfläche oder der Metallplatte reflektiert wird, normalisiert unter Berücksichtigung eines Oberflächen-Reflexionsgrades und eines Schnittstellen-Reflexionsgrades der Probekörper um dadurch die fehlerhafte Verbindung zu überprüfen.
Die zweite Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen (siehe 2) gemäß der vorliegenden Erfindung kann eine Reflexionsintensität der Schnittstelle überwachen, normalisiert unter Berücksichtigung des Oberflächen-Reflexionsgrades der Probekörper, um dadurch eine Überprüfung der Detektion der defekten Verbindung durchzuführen.
Gemäß der vorliegenden Erfindung beinhaltet eine Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen: eine Ausgabevorrichtung für elektromagnetische Wellen, die eine elektromagnetische Welle ausgibt, welche eine Frequenz hat, gleich oder größer als 0,01 [THz] und gleich oder kleiner als 100 [THz], in Richtung einer Probe, die erlangt wurde durch Aneinanderkleben einer Vielzahl von Probekörpern durch einen Klebstoff; und einen Detektor für elektromagnetische Wellen, der eine übertragene elektromagnetische Welle detektiert, welche die elektromagnetische Welle ist, die durch die Probe übertragen wurde, wobei bestimmt wird, ob eine Verbindung durch den Klebstoff ausgezeichnet ist oder nicht, basierend auf der detektierten übertragenen elektromagnetischen Welle.
Gemäß der so aufgebauten Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen, gibt eine Ausgabevorrichtung für elektromagnetische Wellen, eine elektromagnetische Welle aus, welche eine Frequenz hat, gleich oder größer als 0,01 [THz] und gleich oder kleiner als 100 [THz], in Richtung einer Probe, die erlangt wurde durch Aneinanderkleben einer Vielzahl von Probekörpern durch einen Klebstoff. Ein Detektor für elektromagnetische Wellen detektiert eine übertragene elektromagnetische Welle, welche die elektromagnetische Welle ist, die durch die Probe übertragen wurde. Die Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen bestimmt ob eine Verbindung durch den Klebstoff ausgezeichnet ist oder nicht, basierend auf der detektierten übertragenen elektromagnetischen Welle.
Gemäß der Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen der vorliegenden Erfindung kann die übertragene elektromagnetische Welle ein Puls sein.
Gemäß der Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen der vorliegenden Erfindung kann bestimmt werden, ob die Verbindung durch den Klebstoff ausgezeichnet ist oder nicht, basierend auf einer zeitlichen Wellenform der detektierten übertragenen elektromagnetischen Welle.
Gemäß der Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen der vorliegenden Erfindung kann bestimmt werden, ob die Verbindung durch den Klebstoff ausgezeichnet ist oder nicht, basierend auf einer Spitze der zeitlichen Wellenform der detektierten übertragenen elektromagnetischen Welle.
Gemäß der Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen der vorliegenden Erfindung kann die Verbindung durch den Klebstoff als ausgezeichnet bestimmt werden, wenn die Spitze der zeitlichen Wellenform, der detektierten übertragenen elektromagnetischen Welle, kleiner ist als ein Grenzwert.
Gemäß der Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen der vorliegenden Erfindung kann der Grenzwert kleiner eingestellt werden als eine Spitze einer zeitlichen Wellenform einer übertragenen elektromagnetischen Welle, welche die elektromagnetische Welle ist, die durch die Vielzahl von Probekörpern übertragen wurde, die aufeinandergestapelt sind ohne durch den Klebstoff aneinander geklebt zu sein.
Gemäß der Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen der vorliegenden Erfindung kann bestimmt werden, ob die Verbindung durch den Klebstoff ausgezeichnet ist oder nicht, basierend auf einem Zeitpunkt, bei welchem die zeitliche Wellenform der detektierten übertragenen elektromagnetischen Welle die Spitze aufweist.
Gemäß der Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen der vorliegenden Erfindung kann die Verbindung durch den Klebstoff als ausgezeichnet bestimmt werden, wenn der Zeitpunkt, bei welchem die zeitliche Wellenform der detektierten übertragenen elektromagnetischen Welle die Spitze später aufweist als ein Grenzwert.
Gemäß der Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen der vorliegenden Erfindung kann der Grenzwert später eingestellt werden als ein Zeitpunkt, bei welchem eine zeitliche Wellenform einer übertragenen elektromagnetischen Welle, welche die elektromagnetische Welle ist, die durch die Vielzahl von Probekörpern übertragen wurde, die aufeinandergestapelt sind ohne durch den Klebstoff aneinander geklebt zu sein, eine Spitze aufweist.
Gemäß der Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen der vorliegenden Erfindung kann bestimmt werden, ob die Verbindung durch den Klebstoff ausgezeichnet ist oder nicht, basierend auf einem Frequenzspektrum der detektierten übertragenen elektromagnetischen Welle.
Gemäß der Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen der vorliegenden Erfindung kann bestimmt werden, ob die Verbindung durch den Klebstoff ausgezeichnet ist oder nicht, basierend auf einem Frequenzkomponentenwert, entsprechend einer vorbestimmten Frequenz des Frequenzspektrums der detektierten übertragenen elektromagnetischen Welle.
Gemäß der Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen der vorliegenden Erfindung kann der Frequenzkomponentenwert ein Absorptionsgrad sein und die Verbindung durch den Klebstoff als ausgezeichnet bestimmt werden, wenn der Frequenzkomponentenwert gleich oder größer ist als ein Grenzwert.
Gemäß der Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen der vorliegenden Erfindung kann der Grenzwert größer eingestellt werden als ein Wert, entsprechend der vorbestimmten Frequenz eines Frequenzspektrums einer übertragenen elektromagnetischen Welle, welches die elektromagnetische Welle ist, die durch die Vielzahl von Probekörpern übertragen wurde, die aufeinandergestapelt sind ohne durch den Klebstoff aneinander geklebt zu sein.
Gemäß der Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen der vorliegenden Erfindung kann der Frequenzkomponentenwert eine Phasenverzögerung sein und die Verbindung durch den Klebstoff als ausgezeichnet bestimmt werden, wenn der Frequenzkomponentenwert gleich oder größer ist als ein Grenzwert.
Gemäß der Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen der vorliegenden Erfindung kann der Grenzwert größer eingestellt werden als ein Wert, entsprechend der vorbestimmten Frequenz eines Frequenzspektrums einer übertragenen elektromagnetischen Welle, welche die elektromagnetische Welle ist, die durch die Vielzahl von Probekörpern übertragen wurde, die aufeinandergestapelt sind ohne durch den Klebstoff aneinander geklebt zu sein.
Gemäß der Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen der vorliegenden Erfindung kann der Frequenzkomponentenwert eine Gruppenverzögerung sein und die Verbindung durch den Klebstoff als ausgezeichnet bestimmt werden, wenn der Frequenzkomponentenwert kleiner ist als ein Grenzwert.
Gemäß der Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen der vorliegenden Erfindung kann der Grenzwert kleiner eingestellt werden als ein Wert, entsprechend der vorbestimmten Frequenz eines Frequenzspektrums einer übertragenen elektromagnetischen Welle, welche die elektromagnetische Welle ist, die durch die Vielzahl von Probekörpern übertragen wurde, die aufeinandergestapelt sind ohne durch den Klebstoff aneinandergeklebt zu sein.
Gemäß der Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen der vorliegenden Erfindung beinhaltet eine Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen, eine Ausgabevorrichtung für elektromagnetische Wellen, die eine elektromagnetische Welle ausgibt, welche eine Frequenz hat, gleich oder größer als 0,01 [THz] und gleich oder kleiner als 100 [THz], in Richtung einer Probe, die erlangt wurde durch Aneinanderkleben einer Vielzahl von Probekörpern durch einen Klebstoff und eines reflektierenden Körpers, welcher hinter der Probe angeordnet ist und ein Detektor für elektromagnetische Wellen, der eine reflektierte elektromagnetische Welle detektiert, welche die elektromagnetische Welle ist, die von einem von der Probe und dem reflektierenden Körper reflektiert wurde, wobei bestimmt wird, ob eine Verbindung durch den Klebstoff ausgezeichnet ist oder nicht, basierend auf der detektierten reflektierten elektromagnetischen Welle.
Gemäß der auf diese Weise ausgebildeten Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen gibt eine Ausgabevorrichtung für elektromagnetische Wellen eine elektromagnetische Welle aus, welche eine Frequenz hat, gleich oder größer als 0,01 [THz] und gleich oder kleiner als 100 [THz], in Richtung einer Probe, die erlangt wurde durch Aneinanderkleben einer Vielzahl von Probekörpern durch einen Klebstoff und eines reflektierenden Körpers, welcher hinter der Probe angeordnet ist. Ein Detektor für elektromagnetische Wellen detektiert eine reflektierte elektromagnetische Welle, welche die elektromagnetische Welle ist, die von einem von der Probe und dem reflektierenden Körper reflektiert wurde. Die Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen bestimmt, ob eine Verbindung durch den Klebstoff ausgezeichnet ist oder nicht, basierend auf der detektierten reflektierten elektromagnetischen Welle.
Gemäß der Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen der vorliegenden Erfindung kann bestimmt werden, ob die Verbindung durch den Klebstoff ausgezeichnet ist oder nicht, basierend auf einem Transmissionsgrad des Klebstoffs, der erlangt wurde basierend auf einem Transmissionsgrad der Probekörper, einer Intensität der detektierten reflektierten elektromagnetischen Welle und einer Intensität der elektromagnetischen Welle.
Gemäß der Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen der vorliegenden Erfindung kann bestimmt werden, ob die Verbindung durch den Klebstoff ausgezeichnet ist oder nicht, basierend auf dem Transmissionsgrad des Klebstoffs und einer Intensität der detektierten elektromagnetischen Welle, die an einer Schnittstelle zwischen zumindest von einem von den Probekörpern und dem Klebstoff reflektiert wird.
Gemäß der Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen der vorliegenden Erfindung kann die Verbindung durch den Klebstoff als ausgezeichnet bestimmt werden, wenn der Transmissionsgrad des Klebstoffs kleiner ist als ein Grenzwert Gemäß der Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen der vorliegenden Erfindung kann bestimmt werden, ob die Verbindung durch den Klebstoff ausgezeichnet ist oder nicht, basierend auf einem Unterschied in einem Zeitpunkt, bei welchem die reflektierte elektromagnetische Welle detektiert wird.
Gemäß der vorliegenden Erfindung beinhaltet ein Messverfahren für elektromagnetische Wellen einen Ausgabeschritt für elektromagnetische Wellen, bei dem eine elektromagnetische Welle ausgegeben wird, welche eine Frequenz hat, gleich oder größer als 0,01 [THz] und gleich oder kleiner als 100 [THz], in Richtung einer Probe, die erlangt wurde durch Aneinanderkleben einer Vielzahl von Probekörpern durch einen Klebstoff; einen Detektionsschritt für elektromagnetische Wellen, bei dem eine übertragene elektromagnetische Welle detektiert wird, welche die elektromagnetische Welle ist, die durch die Probe übertragen wurde; und einen Bestimmungsschritt, bei dem bestimmt wird, ob eine Verbindung durch den Klebstoff ausgezeichnet ist oder nicht, basierend auf der detektierten übertragenen elektromagnetischen Welle.
Gemäß der vorliegenden Erfindung beinhaltet ein Messverfahren für elektromagnetische Wellen: einen Ausgabeschritt für elektromagnetische Wellen, bei dem eine elektromagnetische Welle ausgegeben wird, welche eine Frequenz hat, gleich oder größer als 0,01 [THz] und gleich oder kleiner als 100 [THz], in Richtung einer Probe, die erlangt wurde durch Aneinanderkleben einer Vielzahl von Probekörpern durch einen Klebstoff und eines reflektierenden Körpers, welcher hinter der Probe angeordnet ist; einen Detektionsschritt für elektromagnetische Wellen, bei dem eine reflektierte elektromagnetische Welle detektiert wird, welche die elektromagnetische Welle ist, die von einem von der Probe und dem reflektierenden Körper reflektiert wurde; und einen Bestimmungsschritt, bei dem bestimmt wird, ob eine Verbindung durch den Klebstoff ausgezeichnet ist oder nicht, basierend auf der detektierten reflektierten elektromagnetischen Welle.
Die vorliegende Erfindung ist ein Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer um ein Messverfahren durchzuführen, unter Benutzung einer Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen, die eine Ausgabevorrichtung für elektromagnetische Wellen hat, die eine elektromagnetische Welle ausgibt, welche eine Frequenz hat, gleich oder größer als 0,01 [THz] und gleich oder kleiner als 100 [THz], in Richtung einer Probe, die erlangt wurde durch Aneinanderkleben einer Vielzahl von Probekörpern durch einen Klebstoff und eines Detektors für elektromagnetische Wellen, der eine übertragene elektromagnetische Welle detektiert, welche die elektromagnetische Welk ist, die durch die Probe übertragen wurde, wobei das Messverfahren beinhaltet: einen Bestimmungsschritt, bei dem bestimmt wird, ob eine Verbindung durch den Klebstoff ausgezeichnet ist oder nicht, basierend auf der detektierten übertragenen elektromagnetischen Welle.
Die vorliegende Erfindung ist ein Programm mit Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer um ein Messverfahren durchzuführen, unter Benutzung einer Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen, die eine Ausgabevorrichtung für elektromagnetische Wellen hat, die eine elektromagnetische Welle ausgibt, welche eine Frequenz hat, gleich oder größer als 0,01 [THz] und gleich oder kleiner als 100 [THz], in Richtung einer Probe, die erlangt wurde durch Aneinanderkleben einer Vielzahl von Probekörpern durch einen Klebstoff und eines reflektierenden Körpers, welcher hinter der Probe angeordnet ist; und einen Detektor für elektromagnetische Wellen, der eine reflektierte elektromagnetische Welle detektiert, welche die elektromagnetische Welle ist, die von einem von der Probe und dem reflektierenden Körper reflektiert wurde, wobei das Messverfahren beinhaltet: ein Bestimmungsschritt, bei dem bestimmt wird, ob eine Verbindung durch den Klebstoff ausgezeichnet ist oder nicht, basierend auf der detektierten reflektierten elektromagnetischen Welle.
Die vorliegende Erfindung ist ein computerlesbares Medium, das ein Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer aufweist, um ein Messverfahren durchzuführen, unter Benutzung einer Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen, welche eine Ausgabevorrichtung für elektromagnetische Wellen hat, die eine elektromagnetische Welle ausgibt, die eine Frequenz hat, gleich oder größer als 0,01 [THz] und gleich oder kleiner als 100 [THz], in Richtung einer Probe, die erlangt wurde durch Aneinanderkleben einer Vielzahl von Probekörpern durch einen Klebstoff und eines Detektors für elektromagnetische Wellen, der eine übertragene elektromagnetische Welk detektiert, welche die elektromagnetische Welle ist, die durch die Probe übertragen wurde, wobei das Messverfahren beinhaltet: ein Bestimmungsschritt, bei dem bestimmt wird, ob eine Verbindung durch den Klebstoff ausgezeichnet ist oder nicht, basierend auf der detektierten übertragenen elektromagnetischen Welle.
Die vorliegende Erfindung ist ein computerlesbares Medium, das ein Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer aufweist um ein Messverfahren durchzuführen, unter Benutzung einer Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen, welche eine Ausgabevorrichtung für elektromagnetische Wellen hat, die eine elektromagnetische Welle ausgibt, die eine Frequenz hat, gleich oder größer als 0,01 [THz] und gleich oder kleiner als 100 [THz], in Richtung einer Probe, die erlangt wurde durch Aneinanderkleben einer Vielzahl von Probekörpern durch einen Klebstoff und eines reflektierenden Körpers, welcher hinter der Probe angeordnet ist; und eines Detektors für elektromagnetische Wellen, der eine reflektierte elektromagnetische Welle detektiert, welche die elektromagnetische Welk ist, die von einem von der Probe und dem reflektierenden Körper reflektiert wurde, wobei das Messverfahren beinhaltet: ein Bestimmungsschritt, bei dem bestimmt wird, ob eine Verbindung durch den Klebstoff ausgezeichnet ist oder nicht, basierend auf der detektierten reflektierten elektromagnetischen Welle.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 ist ein Schaubild, das eine Konfiguration einer ersten Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen zeigt gemäß der vorliegenden Erfindung;
2 ist ein Schaubild, das eine Konfiguration einer zweiten Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen zeigt gemäß der vorliegenden Erfindung;
3 ist ein Schaubild, das eine Konfiguration einer Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen zeigt gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
4 ist ein Diagramm, das ein Messergebnis von einer Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen zeigt gemäß der ersten Ausführungsform der vorlegenden Erfindung;
5 ist ein Schaubild, das eine Konfiguration der Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen zeigt gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
6 ist ein Diagramm, das das Messergebnis von einer Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen zeigt gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
7 ist ein Diagramm, das eine zeitliche Wellenform (bezeichnet mit „ohne Klebstoff”) eines Terahertz-Pulses veranschaulicht, welcher durch einen Probekörper 1 und einen Probekörper 2 übertragen wurde, die einfach aufeinandergestapelt sind (ohne Anhaftung) und einer zeitlichen Wellenform (bezeichnet mit „mit Klebstoff”) eines Terahertz-Pulses, welcher durch eine Probe übertragen wurde.
8 ist ein Diagramm, das ein Absorptionsspektrum (bezeichnet mit „ohne Klebstoff”) des Terahertz-Pulses veranschaulicht, welcher durch den Probekörper 1 und den Probekörper 2 übertragen wurde, die einfach aufeinandergestapelt sind (ohne Anhaftung), und ein Absorptionsspektrum (bezeichnet mit „mit Klebstoff”) der Terahertz-Welle, welche durch die Probe übertragen wurde;
9 ist ein Diagramm, das eine Phasenverzögerung (bezeichnet mit „ohne Klebstoff”) des Terahertz-Pulses veranschaulicht, welcher durch den Probekörper 1 und den Probekörper 2 übertragen wurde, die einfach aufeinandergestapelt sind (ohne Anhaftung), und eine Phasenverzögerung (bezeichnet mit „mit Klebstoff”) der Terahertz-Welle, welche durch die Probe übertragen wurde;
10 ist ein Diagramm, welches eine Gruppenverzögerung (bezeichnet mit „ohne Klebstoff”) des Terahertz-Pulses veranschaulicht, welcher durch den Probekörper 1 und den Probekörper 2 übertragen wurde, die einfach aufeinandergestapelt sind (ohne Anhaftung), und einer Gruppenverzögerung (bezeichnet mit „mit Klebstoff”) der Terahertz-Welle, welche durch die Probe übertragen wurde; und
11 ist ein Schaubild, das ein Beispiel der Bestimmung für die Verbindung zeigt, basierend auf dem Transmissionsgrad β des Klebstoffs.
Formen zur Ausführung der Erfindung
Eine Beschreibung von Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung wird nun mit Bezug auf die Zeichnungen gegeben werden.
Erste Ausführungsform
3 ist ein Schaubild, das eine Konfiguration einer Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen zeigt gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 4 ist ein Diagramm, das ein Messergebnis durch die Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen zeigt gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
Die Frequenz einer elektromagnetischen Welle, die in Richtung von Probekörpern ausgegeben wird beinhaltet ein Terahertz-Wellenband (beispielsweise gleich oder größer als 0,03 [THz] und gleich oder kleiner als 10 [THz]). Gemäß aller Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung wird angenommen, dass eine Terahertz-Welle als ein Beispiel für die elektromagnetische Welle eingesetzt wird.
Die Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beinhaltet einen Generator für Terahertz-Wellen und einen Detektor für Terahertz-Wellen.
Der Generator und der Detektor der Terahertz-Welle sind sich gegenüberliegend angeordnet und eine Probe (erlangt durch Aneinanderkleben des Probekörpers 1 und des Probekörpers 2 durch den Klebstoff) ist zwischen dem Generator und dem Detektor angeordnet, um dadurch die Terahertz-Welle, welche durch die Probe übertragen wurde, mit dem Detektor für die Messung zu detektieren.
Eine Abbildungsanalyse zum Analysieren eines Teils, wo die fehlerhafte Verbindung erzeugt wurde, kann ausgeführt werden durch Abtasten der Probe oder des Sensors (der Generator für elektromagnetische Wellen und der Detektor für elektromagnetische Wellen) und durch Ausführen von kontinuierlicher Messung.
Wenn der Terahertz-Puls, der von dem Generator generiert wurde, durch die Probe übertragen wird, werden eine Abschwächung in der Pulsamplitude und eine Verzögerung des Pulses generiert durch die Probekörper und den Klebstoff.
Eine Menge der Pulsamplitudenabschwächung und eine Pulsverzögerungszeit (wie z. B. eine Verzögerungszeit der Pulsspitze) nehmen zu wie eine Anwendungsmenge des Klebstoffs und werden überwacht, um die fehlerhafte Verbindung zu detektieren. Es sollte angemerkt werden, dass 4(b) eine zeitliche Wellenform eines Terahertz-Pulses veranschaulicht, welcher durch die Probe übertragen wurde. 7 ist ein Diagramm, das eine zeitliche Wellenform (bezeichnet mit „ohne Klebstoff”) des Terahertz-Pulses veranschaulicht, welcher durch den Probekörper 1 und den Probekörper 2 übertragen wurde, die einfach aufeinandergestapelt sind (ohne Anhaftung), und eine zeitliche Wellenform (bezeichnet mit „mit Klebstoff”) eines Terahertz-Pulses, welcher durch die Probe übertragen wurde.
Zum Beispiel in Bezug auf 7 wird die Verbindung des Klebstoffs als ausgezeichnet bestimmt, wenn die Spitze der zeitlichen Wellenform des Terahertz-Pulses, welcher durch die Probe übertragen wurde, kleiner ist, als ein Grenzwert der Pulsamplitude. Außerdem wird die Verbindung durch den Klebstoff als ausgezeichnet bestimmt, wenn die Spitze der zeitlichen Wellenform der Terahertz-Welle, welche durch die Probe übertragen wurde, später ist als ein Grenzwert der Pulsverzögerung.
Die Spitze der zeitlichen Wellenform des Terahertz-Pulses welcher durch die Probe und ähnliches übertragen wurde ist kleiner in dem Fall mit dem Klebstoff als in dem Fall ohne den Klebstoff, aufgrund der Abschwächung der Pulsamplitude durch den Klebstoff. Der Grenzwert für die Pulsamplitude wird daher kleiner bestimmt, als die Spitze der zeitlichen Wellenform in dem Fall ohne den Klebstoff (siehe 7). Außerdem ist die Spitze der zeitlichen Wellenform des Terahertz-Pulses, welcher durch die Probe und ähnliches übertragen wurde, stärker verzögert in dem Fall mit dem Klebstoff als die in dem Fall ohne den Klebstoff, aufgrund der Verzögerung des Pulses durch den Klebstoff. Der Grenzwert für die Pulsverzögerung wird daher später bestimmt als ein Zeitpunkt, bei welchem die zeitliche Wellenform in dem Fall ohne den Klebstoff die Spitze aufweist (siehe 7).
Außerdem kann die fehlerhafte Verbindung durch Überwachung einer Änderung in der Basislinie oder einer Absorptionsspitze eines Spektrums detektiert werden, welches erhalten werden kann, durch Anwenden der FFT auf den Terahertz-Puls, welcher durch die Probe übertragen wurde. 4(a) zeigt ein Absorptionsspektrum eines Terahertz-Pulses, welcher durch die Probe übertragen wurde. 8 ist ein Diagramm, das ein Absorptionsspektrum (bezeichnet mit „ohne Klebstoff”) eines Terahertz-Pulses veranschaulicht, welcher durch den Probenkörper 1 und den Probenkörper 2 übertragen wurde, die einfach aufeinandergestapelt sind (ohne Anhaftung) und ein Absorptionsspektrum (bezeichnet mit „mit Klebstoff”) der Terahertz-Welle welche durch die Probe übertragen wurde;
Bezugnehmend auf 8 wird beispielsweise ein Wert als ein Grenzwert eingestellt, der erhalten wird, durch Zugabe einer vorbestimmten Menge von Absorptionsvermögen, unter Berücksichtigung einer Absorption des Terahertz-Pulses durch den Klebstoff, zu einem Absorptionsgrad für „ohne Klebstoff” bei einer vorbestimmten Frequenz (wie z. B. 1,5 THz) des Terahertz-Pulses, welcher durch die Probe übertragen wurde. Wenn „mit Klebstoff” einen Absorptionsgrad hat, gleich oder größer als der Grenzwert bei der vorbestimmten Frequenz (wie z. B. 1,5 THz), wird die Verbindung als ausgezeichnet bestimmt.
Obwohl die Verzögerungszeit der Pulsspitze von der Anwendungsmenge des Klebstoffs abhängt, hängt die Verzögerungszeit der Pulsspitze nicht von einer Änderung der Intensität bei einem Eintritt in das Innere des Probenkörpers, verursacht durch die Oberflächenreflexion, ab. Daher kann die fehlerhafte Verbindung selbst dann fehlerfrei detektiert werden, wenn ein Muster vorliegt, dass unterschiedliche Reflexionsgrade von Oberflächen hat, verursacht durch Aufdrucke oder ähnliches auf die Oberflächen der Probekörper.
Es sollte verstanden werden, dass die Pulsspitzenverzögerungszeit berechnet werden kann durch die Phasenverzögerung und die Gruppenverzögerung. 9 ist ein Diagramm, das eine Phasenverzögerung (bezeichnet mit „ohne Klebstoff”) des Terahertz-Pulses veranschaulicht, welcher durch den Probekörper 1 und den Probekörper 2, die einfach aufeinandergestapelt sind (ohne Anhaftung), übertragen wurde und eine Phasenverzögerung (bezeichnet mit „mit Klebstoff”) der Terahertz-Welle, welche durch die Probe übertragen wurde. 10 ist ein Diagramm, das eine Gruppenverzögerung (bezeichnet mit „ohne Klebstoff”) des Terahertz-Pulses veranschaulicht, welcher durch den Probekörper 1 und den Probekörper 2, die einfach aufeinandergestapelt sind (ohne Anhaftung), übertragen wurde und einer Gruppenverzögerung (bezeichnet mit „mit Klebstoff”) der Terahertz-Welle, welche durch die Probe übertragen wurde.
Bezugnehmend auf 9 ist z. B. ein Wert als ein Grenzwert eingestellt, der erhalten wurde durch Hinzufügen einer vorbestimmten Menge von Phasenverzögerung unter Berücksichtigung der Verzögerung des Terahertz-Pulses durch den Klebstoff, zu einer Phasenverzögerung (Phasenverschiebung) für „ohne Klebstoff” bei einer vorbestimmten Frequenz (wie z. B. ungefähr 0,96 THz) des Terahertz-Pulses, der durch die Probe übertragen wurde. Wenn „mit Klebstoff” eine Phasenverzögerung hat, gleich oder größer als der Grenzwert bei der vorbestimmten Frequenz (wie z. B. ungefähr 0,96 THz), wird die Verbindung als ausgezeichnet bestimmt.
Bezugnehmend auf 10 ist z. B. ein Wert als ein Grenzwert eingestellt, der erhalten wurde durch Abziehen einer vorbestimmten Menge einer Gruppenverzögerung, unter Berücksichtigung einer Gruppenverzögerung des Terahertz-Pulses durch den Klebstoff, von einer Gruppenverzögerung für „ohne Klebstoff” bei einer vorbestimmten Frequenz (wie z. B. ungefähr 0,95 THz) des Terahertz-Pulses, der durch die Probe übertragen wurde. Wenn „mit Klebstoff” eine Gruppenverzögerung hat, die kleiner ist als der Grenzwert bei der vorbestimmten Frequenz (wie z. B. ungefähr 0,95 THz), wird die Verbindung als ausgezeichnet bestimmt.
Außerdem ist die Terahertz-Welle im Transmissionsgrad höher als ein Strahl des Nahen Infrarot und kann Überprüfungen für ein breites Spektrum von Dicken und Arten der Probekörper und des Klebstoffs ermöglichen. Außerdem kann die Terahertz-Welle, die in Form eines Pulses generiert wurde, im Hinblick auf die Pulsverzögerungszeit ausgewertet werden, zusätzlich zu der Pulsamplitude, was in einer hochpräzisen Überprüfung resultiert, in Anbetracht der Information über die Struktur der Probe.
Weiter kann die Terahertz-Welle die fehlerhafte Verbindung in der kontaktfreien Art und Weise hochpräzise überprüfen, für ein breites Spektrum von Dicken und Arten der Probekörper und des Klebstoffs.
Außerdem hängt die Pulsverzögerungszeit nicht von dem Reflexionsgrad der Oberfläche und dem Reflexionsgrad der Schnittstelle ab und Änderungen abhängig von der fehlerhaften Verbindung und die fehlerhafte Verbindung kann unabhängig von dem Reflexionsgrad der Oberflächen der Probekörper überprüft werden.
Zweite Ausführungsform
Die Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beinhaltet den Generator für Terahertz-Wellen und den Detektor für Terahertz-Wellen.
5 ist ein Schaubild, das die Konfiguration der Messvorrichtung für Terahertz-Pulse zeigt gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 6 ist ein Diagramm, dass das Messergebnis durch die Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen zeigt gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Es sollte verstanden werden, dass der Klebstoff äußerst dünn ist, im Vergleich zu den Probekörpern 1 und 2 und eine Brechung des Terahertz-Pulses durch den Klebstoff wird daher in der Zeichnung im Sinne der Darstellbarkeit in 5 vernachlässigt.
Der Detektor ist an einer Position angeordnet, die ein Detektieren von Reflexionen des Terahertz-Pulses ermöglicht, welcher durch den Generator zum Einfall gebracht wurde, von den Probekörpern und von dem reflektierenden Spiegel der hinteren Oberfläche oder der Metallplatte (reflektierender Körper), die an der hinteren Oberfläche der Probe angeordnet sind in der Messvorrichtung für magnetische Wellen gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
Eine abbildende Analyse kann ausgeführt werden zum Analysieren eines Teils, wo die fehlerhafte Verbindung generiert wird, durch Abtasten der Probe oder des Sensors (der Generator für elektromagnetische Wellen und der Detektor für elektromagnetische Wellen) und durch Ausführen von kontinuierlicher Messung.
Wenn der Terahertz-Puls zum Einfall auf die Probe (erhalten durch Aneinanderkleben von dem Probekörper 1 und dem Probekörper 2 durch den Klebstoff) gebracht wird, bezugnehmend auf 6, werden ein Puls (1), welcher reflektiert wird an der Oberfläche der Probe, ein Puls (2), welcher durch den Probekörper 1 übertragen wurde und an einer Schnittstelle zwischen dem Probekörper 1 und dem Klebstoff reflektiert wird, ein Puls (3), welcher durch den Probekörper 1 und den Klebstoff übertragen wurde und an der Schnittstelle zwischen dem Probekörper 2 und dem Klebstoff reflektiert wird, ein Puls (4), welcher durch den Probekörper 1 und den Klebstoff übertragen wurde und weiter in den Probekörper 2 fortgeschritten ist und durch die hintere Oberfläche des Probenkörpers 2 reflektiert wird und ein Puls (5), welcher durch den reflektierenden Spiegel der hinteren Oberfläche oder der Metallplatte reflektiert wird, durch den Detektor detektiert.
Eine detektierte Intensität I1 des Pulses (5), der von dem reflektierenden Spiegel der hinteren Oberfläche oder der Metallplatte (reflektierender Körper) reflektiert wurde, wird dargestellt durch die folgende Gleichung unter Benutzung der folgenden Parameter.
Intensität des Lichts, das auf die Oberfläche der Probe einfällt: I0
Reflexionsgrad der Oberfläche der Probe: r1
Reflexionsgrad der Schnittstelle zwischen Probekörper 1 und Klebstoff: r2
Reflexionsgrad der Schnittstelle zwischen Klebstoff und Probekörper 2: r3
Reflexionsgrad der hinteren Oberfläche von Probekörper 2: r4
Reflexionsgrad des reflektierenden Spiegels oder Metallplatte (reflektierender Körper): R ≒ 1
Transmissionsgrad des Probekörpers 1: α1
Transmissionsgrad des Probekörpers 2: α2
Transmissionsgrad des Klebstoffs: β I1 = I0 × (1 – r1) × α1 × (1 – r2) × β × (1 – r3) × α2 × (1 – r4) × R × (1 – r4) × a2 × (1 – r3) × β × (1 – r2) × α1 × (1 – r1) = I0[α1α2β(1 – r1)(1 – r2)(1 – r3)(1 – r4)]²
Wenn die Auftragungsmenge des Klebstoffs zwischen den Probekörpern sich ändert, ändert sich β in der Gleichung. Jedoch hängt der Wert von I1 auch von r1, r2, r3 und r4 ab. Daher ist es z. B. schwierig zu bestimmen, ob die Änderung in I1 durch den Klebstoff oder den Reflexionsgrad der Oberfläche verursacht wurde, wenn dort ein Muster vorhanden ist, dass in dem Reflexionsgrad r1 der Oberfläche auf der Probenoberfläche unterschiedlich ist.
Jedoch können die Reflexionsgrade der Oberflächen r1, r2, r3 und r4 berechnet werden, durch Verwendung der Intensitäten der von den Oberflächen und den Schnittstellen reflektierten Pulse (1), (2), (3) und (4), wie sie in den reflektierten Wellenformen beobachtet werden. Daher kann r1, r2, r3 und r4 gleichzeitig mit der Beobachtung von I1 hergeleitet werden.
Außerdem kann I0 erhalten werden durch den Detektor, der eine Intensität des Terahertz-Pulses detektiert, welcher von dem Generator emittiert wird und dann von einem Referenzspiegel (nicht gezeigt) reflektiert wird.
Daher kann der Transmissionsgrad β des Klebstoffs erlangt werden durch Verwendung der folgenden Gleichung für I1. In diesem Fall hat α1 einen konstanten Wert, wenn der Probekörper 1 aus einem einheitlichen Material hergestellt ist und eine einheitliche Dicke hat. In ähnlicher Art und Weise hat α2 einen konstanten Wert, wenn der Probenkörper 2 aus einem einheitlichen Material hergestellt ist und eine einheitliche Dicke hat. β = (I1/I0)^0,5/[(1 – r1)(1 – r2)(1 – r3)(1 – r4) × α1 × α2] (1)
Die fehlerhafte Verbindung kann detektiert werden durch Überwachung des Wertes β, der aufgrund von Gleichung (1) erlangt werden kann. Mit anderen Worten ist es möglich zu bestimmen, ob die Verbindung durch den Klebstoff ausgezeichnet ist oder nicht, basierend auf dem Transmissionsgrad β des Klebstoffs, der erlangt wird, basierend auf den Transmissionsgraden α1 und α2 der Probekörper 1 und 2, der Intensität I1 der detektierten reflektierten elektromagnetischen Welle, den Oberflächenreflexionsgraden r1, r2, r3 und r4, die berechnet werden, basierend auf den Intensitäten der reflektierten Pulse (1), (2), (3) und (4) (reflektierte elektromagnetische Wellen) und der Intensität I0 der elektromagnetischen Welle.
11 ist ein Schaubild, dass ein Beispiel der Bestimmung der Verbindung, basierend auf dem Transmissionsgrad β des Klebstoffs, zeigt. Bezugnehmend auf 11 wird die Verbindung als fehlerhaft bestimmt, wenn der Transmissionsgrad β des Klebstoffs größer ist als der Grenzwert (wie z. B. 15%) und wird als ausgezeichnet bestimmt, wenn der Transmissionsgrad β kleiner ist als der Grenzwert.
Wenn α1 oder α2 an 1 angenähert werden, kann das Durchführen einer Multiplikation durch α1 oder α2 in Gleichung (1) weggelassen werden. Wenn r1, r2, r3, oder r4 ausreichend kleiner als 1 sind, kann das Durchführen einer Multiplikation durch 1 – r1, 1 – r2, 1 – r3 oder 1 – r4 in Gleichung (1) weggelassen werden.
Außerdem kann das Durchführen der Multiplikation durch α1 oder α2 in Gleichung (1) weggelassen werden, da es genügt eine Änderung in β während der Messung zu erlangen, wenn sich α1 oder α2 während der Messung nicht ändern. In ähnlicher Art und Weise kann das Durchführen der Multiplikation durch 1 – r1, 1 – r2, 1 – r3 oder 1 – r4 in Gleichung (1) weggelassen werden, wenn sich r1, r2, r3 oder r4 während der Messung nicht ändern.
Außerdem erhöht sich die Intensität von entweder einem oder beiden von dem Puls (2) und dem Puls (3), wenn die Luft in die Schnittstelle zwischen dem Kleber und dem Probekörper 1 oder der Schnittstelle zwischen dem Kleber und dem Probekörper 2 eindringt. Die fehlerhafte Verbindung kann daher detektiert werden, durch die Überwachung von β, welcher erlangt wird, basierend auf Gleichung (1), sowie den Intensitäten des Pulses (2) und des Pulses (3) (daher der Reflexionsgrad der Schnittstelle zwischen dem Klebstoff und dem Probekörper 1 und der Reflexionsgrad der Schnittstelle zwischen dem Klebstoff und dem Probekörper 2).
Weiter können Informationen des Klebstoffs (wie z. B. die fehlerhafte Verbindung durch den Klebstoff) extrahiert werden, durch Überwachung der Verzögerungszeit von jedem reflektierten Puls (wie z. B. einer Zeit der Verzögerung von jedem der Pulse (2), (3), (4) und (5) mit Bezug auf den Puls (1)).
Ein Zeitunterschied (Verzögerungszeit) zwischen dem Puls (1) und dem Puls (5) vergrößert sich, abhängig von der aufgebrachten Menge des Klebstoffs zwischen dem Probekörper 1 und dem Probekörper 2, und die fehlerhafte Verbindung kann detektiert werden durch Überwachung der Verzögerungszeit.
Gemäß der zweiten Ausführungsform werden dieselben Effekte wie in der ersten Ausführungsform erhalten.
Weiter werden, da der Terahertz-Puls den Klebstoff zweifach durchläuft, gemäß der zweiten Ausführungsform, die Amplitudenabschwächung des Pulses und die Änderung der Verzögerungszeit des Pulses verdoppelt, im Vergleich zu der einfachen Transmissionsmessung und selbst wenn die Amplitudenabschwächung und die Änderung der Verzögerungszeit durch den Klebstoff oder die Probenkörper klein sind, kann die fehlerhafte Verbindung hoch empfindlich detektiert werden.
Es sollte verstanden werden, dass es denkbar ist ein fremdes Material innerhalb eines Probenkörpers zu untersuchen, die sich voneinander unterscheidende Muster von Oberflächen-Reflexionsgraden haben.
Außerdem kann die oben beschriebene Ausführungsform in der folgenden Art und Weise durchgeführt werden. Ein Computer wird mit einer CPU bereitgestellt, einer Festplatte und einem Medien-(wie z. B. eine Floppy-Disk (eingetragene Marke) und eine CD-ROM)Lesegerät und wobei das Medienlesegerät zum Lesen eines Mediums veranlasst wurde, welches ein Programm aufzeichnet, welches die oben beschriebenen entsprechenden Komponenten realisiert, und dadurch das Programm auf der Festplatte installiert. Dieses Verfahren kann auch die oben beschriebenen Funktionen verwirklichen.

Claims

Eine Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen aufweisend: eine Ausgabevorrichtung für elektromagnetische Wellen, die eine elektromagnetische Welle ausgibt, welche eine Frequenz hat, gleich oder größer als 0,01 [THz] und gleich oder kleiner als 100 [THz], in Richtung einer Probe, die erlangt wurde durch Aneinanderkleben einer Vielzahl von Probekörpern durch einen Klebstoff und eines reflektierenden Körpers, welcher hinter der Probe angeordnet ist; und ein Detektor für elektromagnetische Wellen, der eine reflektierte elektromagnetische Welle detektiert, welche die elektromagnetische Welle ist, die von einem von der Probe und dem reflektierenden Körper reflektiert wurde, wobei bestimmt wird, ob eine Verbindung durch den Klebstoff ausgezeichnet ist oder nicht, basierend auf der detektierten reflektierten elektromagnetischen Welle.
Die Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen gemäß Anspruch 1, wobei bestimmt wird, ob die Verbindung durch den Klebstoff ausgezeichnet ist oder nicht, basierend auf einem Transmissionsgrad des Klebstoffs, der erlangt wurde basierend auf einem Transmissionsgrad des Probekörpers, einer Intensität der detektierten reflektierten elektromagnetischen Welle und einer Intensität der elektromagnetischen Welle.
Die Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen gemäß Anspruch 2, wobei bestimmt wird, ob die Verbindung durch den Klebstoff ausgezeichnet ist oder nicht, basierend auf dem Transmissionsgrad des Klebstoffs und einer Intensität der detektierten elektromagnetischen Welle, die an einer Schnittstelle zwischen zumindest von einem von den Probekörpern und dem Klebstoff reflektiert wird.
Die Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen gemäß Anspruch 2, wobei die Verbindung durch den Klebstoff als ausgezeichnet bestimmt wird, wenn der Transmissionsgrad des Klebstoffs kleiner ist als ein Grenzwert.
Die Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen gemäß Anspruch 1, wobei bestimmt wird, ob die Verbindung durch den Klebstoff ausgezeichnet ist oder nicht, basierend auf einem Unterschied in einem Zeitpunkt, bei welchem die reflektierte elektromagnetische Welle detektiert wird.
Ein Messverfahren für elektromagnetische Wellen aufweisend: einen Ausgabeschritt für elektromagnetische Wellen, bei dem eine elektromagnetische Welle ausgegeben wird, welche eine Frequenz hat, gleich oder größer als 0,01 [THz] und gleich oder kleiner als 100 [THz], in Richtung einer Probe, die erlangt wurde durch Aneinanderkleben einer Vielzahl von Probekörpern durch einen Klebstoff und eines reflektierenden Körpers, welcher hinter der Probe angeordnet ist; ein Detektionsschritt für elektromagnetische Wellen, bei dem eine reflektierte Welle detektiert wird, welche die elektromagnetische Welle ist, die von einem von der Probe und dem reflektierenden Körper reflektiert wurde; und ein Bestimmungsschritt, bei dem bestimmt wird, ob eine Verbindung durch den Klebstoff ausgezeichnet ist oder nicht, basierend auf der detektierten reflektierten elektromagnetischen Welle.
Ein Programm mit Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer um ein Messverfahren durchzuführen, unter Benutzung einer Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen, die eine Ausgabevorrichtung für elektromagnetische Wellen hat, die eine elektromagnetische Welle ausgibt, welche eine Frequenz hat, gleich oder größer als 0,01 [THz] und gleich oder kleiner als 100 [THz], in Richtung einer Probe, die erlangt wurde durch Aneinanderkleben einer Vielzahl von Probekörpern durch einen Klebstoff und eines reflektierenden Körpers, welcher hinter der Probe angeordnet ist; und einen Detektor für elektromagnetische Wellen, der eine reflektierte elektromagnetische Welle detektiert, welche die elektromagnetische Welle ist, die von einem von der Probe und dem reflektierenden Körper reflektiert wurde, wobei das Messverfahren aufweist: ein Bestimmungsschritt, bei dem bestimmt wird, ob eine Verbindung durch den Klebstoff ausgezeichnet ist oder nicht, basierend auf der detektierten reflektierten elektromagnetischen Welle.
Ein computerlesbares Medium, das ein Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer aufweist um ein Messverfahren durchzuführen, unter Benutzung einer Messvorrichtung für elektromagnetische Wellen, welche eine Ausgabevorrichtung für elektromagnetische Wellen hat, die eine elektromagnetische Welle ausgibt, die eine Frequenz hat, gleich oder größer als 0,01 [THz] und gleich oder kleiner als 100 [THz], in Richtung einer Probe, die erlangt wurde durch Aneinanderkleben einer Vielzahl von Probekörpern durch einen Klebstoff und eines reflektierenden Körpers, welcher hinter der Probe angeordnet ist; und eines Detektors für elektromagnetische Wellen, der eine reflektierte elektromagnetische Welle detektiert, welche die elektromagnetische Welle ist, die von einem von der Probe und dem reflektierenden Körper reflektiert wurde, wobei das Messverfahren aufweist: ein Bestimmungsschritt, bei dem bestimmt wird, ob eine Verbindung durch den Klebstoff ausgezeichnet ist oder nicht, basierend auf der detektierten reflektierten elektromagnetischen Welle.