DE112013006416T5 - Herstellungsverfahren für eine durchsichtige Verbundelektrode mit Kohlenstoff-Nanoröhrchen - Google Patents
Herstellungsverfahren für eine durchsichtige Verbundelektrode mit Kohlenstoff-Nanoröhrchen Download PDFInfo
- Publication number
- DE112013006416T5 DE112013006416T5 DE112013006416.2T DE112013006416T DE112013006416T5 DE 112013006416 T5 DE112013006416 T5 DE 112013006416T5 DE 112013006416 T DE112013006416 T DE 112013006416T DE 112013006416 T5 DE112013006416 T5 DE 112013006416T5
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- carbon nanotube
- film
- transparent
- composite electrode
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 73
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 title claims abstract description 68
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 68
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims abstract description 54
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 27
- 239000002238 carbon nanotube film Substances 0.000 claims abstract description 37
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 32
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 claims abstract description 24
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims description 12
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229920000307 polymer substrate Polymers 0.000 claims description 9
- GKWLILHTTGWKLQ-UHFFFAOYSA-N 2,3-dihydrothieno[3,4-b][1,4]dioxine Chemical compound O1CCOC2=CSC=C21 GKWLILHTTGWKLQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- WBIQQQGBSDOWNP-UHFFFAOYSA-N 2-dodecylbenzenesulfonic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCC1=CC=CC=C1S(O)(=O)=O WBIQQQGBSDOWNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229940060296 dodecylbenzenesulfonic acid Drugs 0.000 claims description 6
- 229920001467 poly(styrenesulfonates) Polymers 0.000 claims description 6
- MIOPJNTWMNEORI-GMSGAONNSA-N (S)-camphorsulfonic acid Chemical compound C1C[C@@]2(CS(O)(=O)=O)C(=O)C[C@@H]1C2(C)C MIOPJNTWMNEORI-GMSGAONNSA-N 0.000 claims description 3
- CTIFKKWVNGEOBU-UHFFFAOYSA-N 2-hexadecylbenzenesulfonic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCC1=CC=CC=C1S(O)(=O)=O CTIFKKWVNGEOBU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- FBPFZTCFMRRESA-FSIIMWSLSA-N D-Glucitol Natural products OC[C@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)CO FBPFZTCFMRRESA-FSIIMWSLSA-N 0.000 claims description 3
- FBPFZTCFMRRESA-JGWLITMVSA-N D-glucitol Chemical compound OC[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@H](O)CO FBPFZTCFMRRESA-JGWLITMVSA-N 0.000 claims description 3
- 229920000144 PEDOT:PSS Polymers 0.000 claims description 3
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 claims description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 claims description 3
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 claims description 3
- PSZYNBSKGUBXEH-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1-sulfonic acid Chemical compound C1=CC=C2C(S(=O)(=O)O)=CC=CC2=C1 PSZYNBSKGUBXEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229920001197 polyacetylene Polymers 0.000 claims description 3
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 claims description 3
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 claims description 3
- 229960002796 polystyrene sulfonate Drugs 0.000 claims description 3
- 239000011970 polystyrene sulfonate Substances 0.000 claims description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 3
- 239000000600 sorbitol Substances 0.000 claims description 3
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 2
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 abstract description 19
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 abstract description 5
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 abstract description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 abstract description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 52
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 5
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 5
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 238000002231 Czochralski process Methods 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 2
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 2
- 239000002109 single walled nanotube Substances 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 241001391944 Commicarpus scandens Species 0.000 description 1
- 238000001074 Langmuir--Blodgett assembly Methods 0.000 description 1
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 1
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000001962 electrophoresis Methods 0.000 description 1
- 238000001652 electrophoretic deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 229920005570 flexible polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000011112 process operation Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 229920006302 stretch film Polymers 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003828 vacuum filtration Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022466—Electrodes made of transparent conductive layers, e.g. TCO, ITO layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/1884—Manufacture of transparent electrodes, e.g. TCO, ITO
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
- G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
- G06F2203/04103—Manufacturing, i.e. details related to manufacturing processes specially suited for touch sensitive devices
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacturing Of Electric Cables (AREA)
- Non-Insulated Conductors (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft ein "Herstellungsverfahren für eine durchsichtige Verbundelektrode mit Kohlenstoff-Nanoröhrchen". In der vorliegenden Erfindung dient der ultra-ausgerichtete Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilm als leitfähiges Substrat, wobei leitfähiges Polymer als Träger dient, um eine einschichtige oder zweischichtige Schichtstruktur zu bilden. Der gebildete durchsichtige CNT-Verbundelektrodenfilm zeigt ausgezeichnete elektrische Leitfähigkeit, so dass unter Bedingungen bei Raumtemperatur die großflächigen durchsichtigen CNT-Verbundelektroden unter Verwendung von mechanischen Extrusionsverfahren wirtschaftlich und einfach hergestellt werden können. Die durchsichtige CNT-Verbundelektrode kann für flexible OLED-Anzeigevorrichtungen, Solarzellen, Flüssigkristallanzeigevorrichtung, Touchscreen-Paneel und andere Geräte verwendet werden.
Description
- Technisches Gebiet
- Die vorliegende Erfindung betrifft eine durchsichtige Verbundelektrode, insbesondere ein Herstellungsverfahren für durchsichtige Verbundelektrode mit dem Kohlenstoff-Nanoröhrchen.
- Stand der Technik
- In Flüssigkristallpaneelen, OLED-Paneelen, Touchbildschirmen, E-Papier, Solarzellen und anderen Anzeigevorrichtungen und photovoltaischen Geräten ist die durchsichtige Verbundelektrode ein unverzichtbarer Bauteil. Konventionelle Leistungsanforderungen an durchsichtige Verbundelektrode umfassen vor allem Durchlässigkeitsrate und Widerstandsrate, dabei wird es gefordert, dass die Durchlässigkeitsrate mehr als 80% ist und die Widerstandsrate der niedriger als 500Ω/sqm ist. Allerdings mit der Entwicklung der Technik und der Erhöhung der Nachfrage entwickelt sich die durchsichtige Verbundelektrode außer den Anforderungen an Durchlässigkeitsrate und Widerstandsrate in die flexible und biegbare Richtung. Es bietet eine hervorragende Durchlässigkeit und Leitfähigkeit, mit Fein-Zinnoxid (ITO) auf einem Glassubstrat ITO-Film zu formen, gegenwärtig hat die kommerzialisierte ITO-Elektrode eine beherrschende Stellung im Einsatzbereich der durchsichtigen Verbundelektrode. Mit der Diversifizierung des Einsatzbereichs der durchsichtigen Verbundelektrode muss die durchsichtige Verbundelektrode einen niedrigen Flächenwiderstand, eine gute Durchlässigkeitsrate im Bereich des sichtbaren Lichts und Flexibilität haben und fähig sein, das Verfahren der einfachen Betätigung für großflächige feine Anstrichfilmbildung zu realisieren, was dazu führt, dass im erweiterten Einsatz des ITO-Films technisch unüberwindbare Probleme bestehen, wie z.B. Hochtemperatur-Herstellungsverfahrensbedingungen für ITO-Elektrode (Evaporation oder Sputtern), leichter Bruch, schwere Reduzierung des Flächenwiderstandes, schlechte Einheitlichkeit, gelbe Farbe, schwere Durchlässigkeit des blauen Lichts etc., wenn ITO-Film zusammen mit flexiblem Substrat mit einem niedrigen Schmelzpunkt verwendet wird, kann die Absenkung nur bei einer niedrigen Temperatur erfolgen, so dass der hergestellte ITO-Leitefilm hohe Widerstandsrate, schlechte Durchsichtigkeit und niedrige Anhaftungskraft am flexiblem Substrat hat und bei der Biegung leicht zu brechen ist, so dass ein Ausfall des Geräts bewirkt wird. Weiter haben häufig benutzte flexible Polymersubstratmaterialien und ITO entgegengesetzte Wärmeausdehnungskoeffizienten. In Betrieb des Geräts werden thermischen Effekte des Geräts zum Lösen vom ITO-Leitefilm führen, dadurch wird ein Ausfall bewirkt. Weiter führt die Knappheit der Indium-Ressourcen für ITO-Film zur Erhöhung der Herstellkosten vom ITO-Film, das wird auch ein Impuls zur Entwicklung von neuen durchsichtigen leitfähigen Elektrodenmaterialien.
- Das Kohlenstoff-Nanoröhrchen ist ein Kohlenstoffmaterial mit typischem Schichtaufbaumerkmal, der das Kohlenstoff-Nanoröhrchen ausbildende Rohrkörper ist durch eine hexagonale Graphit-Kohlenstoffringstruktur ausgebildet, das ist ein eindimensionales Quantenmaterial mit einer besonderen Struktur (radiale Abmessung ist Nanometerklasse, axiale Abmessung ist Mikrometerklasse). Die Rohrwände des Kohlenstoff-Nanoröhrchens bilden koaxiale Rundröhrchen aus, die vor allem mehrschichtig bis dutzendschichtig sind. Zwischen den Schichten wird ein bestimmter Abstand beibehalten, der etwa 0,34 nm beträgt, wobei der Durchmesser in der Regel 2 bis 20 nm beträgt. Die P-Elektronen der Kohlenatome am Kohlenstoff-Nanoröhrchen formen eine großflächige delokalisierte π-Bindung, wegen der ausgeprägten konjugierten Auswirkung hat das Kohlenstoff-Nanoröhrchen einige besondere elektrische Eigenschaften. Da die Struktur des Kohlenstoff-Nanoröhrchen gleich wie lamellare Struktur vom Graphit ist, hat das Kohlenstoff-Nanoröhrchen sehr gute elektrische Eigenschaften. Wegen einer hohen Elektronenbeweglichkeit, eines niedrigen Widerstandes und einer guten Durchsichtigkeit wird das Kohlenstoff-Nanoröhrchen auf Forschungs- und Industriegebieten als Ersatz für durchsichtige Verbundelektrode mit ITO angesehen.
- Gegenwärtig bestehen mehr Verfahren zur Herstellung der durchsichtigen Verbundelektrode mit dem Kohlenstoff-Nanoröhrchen, dabei sind die Verfahren annähernd in in nasses und trockenes Herstellungsverfahren aufgeteilt.
- Zusammensetzung mit nassem Verfahren bedeutet hauptsächlich, Kohlenstoff-Nanoröhrenpulver gleichmäßig in der Lösung zu verteilen, um Filme herzustellen, umfassend Vakuumfiltration-Übertragungsverfahren [Green A A, Hersam M C. Colored Semitransparent Conductive Coatings Consisting of Monodisperse Metallic Single-Walled Carbon Nanotubes[J]. Nano Lett., 2008, 8(5): 1417–1422.], Spritzstreichenverfahren [Kang S J, Song Y, Yi Y, et al. Work-Function Engineering of Carbon Nanotube Transparent Conductive Films[J].Carbon, 2010, 48(2):520–524.], Drehstreichenverfahren [Kang S J, Song Y, Yi Y, et al. Work-Function Engineering of Carbon Nanotube Transparent Conductive Films[J].Carbon, 2010, 48(2):520–524.], Czochralski-Verfahren [Ng M H A, Hartadi L T, Tan H, et al. Efficient Coating of Transparent and Conductive Carbon Nanotube Thin Films on Plastic Substrates[J]. Nanotechnology, 2008, 19: 205703.], LB-Verfahren [Li X L, Zhang L, Wang X R, et al. Langmuir-Blodgett Assembly of Densely Aligned Single-Walled Carbon Nanotubes from Bulk Materials[J]. J. Am. Chem. Soc., 2007, 129(16): 4890–4891.], elektrophoretisches Verfahren [Pei S F, Du J H, Zeng Y, et al. The Fabrication of a Carbon Nanotube Transparent Conductive Film by Electrophoretic Deposition and Hot-Pressing Transfer[J]. Nanotechnology, 2009, 20:235707.] etc.; trockenes Herstellungsverfahren umfasst: Aerosoldirektsynthese-Verfahren [Fraser I S, Motta M S, Schmidt R K, et al. Continuous Production of Flexible Carbon Nanotube-Based Transparent Conductive Films[J]. Sci. Technol. Adv. Mater., 2010, 11(4), 045004.], Ultra-Matrix-Czochralski-Verfahren [Feng C, Liu K, Wu J S, et al. Flexible, Stretchable, Transparent Conducting Films Made from Superaligned Carbon Nanotubes [J]. Adv. Funct. Mater., 2010, 20(6):885–891.] etc.
- Die mit nassem Verfahren hergestellte durchsichtige Verbundelektrode mit dem Kohlenstoff-Nanoröhrchens hat das Problem mit der ungleichmäßigen Verteilung von Kohlenstoff-Nanoröhrchen. Partielle Fehler der hergestellten Elektrode wird zum Ausfall der Elektrode führen. Die aktuelle Forschung ist auf die Labor-Forschung beschränkt, so dass im großflächigen Einsatz noch große technische Herausforderungen bestehen.
- Trockenes Verfahren – Aerosoldirektsynthese-Verfahren für durchsichtige Verbundelektrode mit dem Kohlenstoff-Nanoröhrchen bedeutet, dass das im Gasphase-Abscheidungsofen erzeugte Aerosol auf das durchsichtige polymere Klebeband geschlagen wird und dann von Säulenform zur Flachfilmform zersetzt wird. Das Aussehen und die Qualität der mit dem Verfahren hergestellten durchsichtigen Verbundelektrode mit dem Kohlenstoff-Nanoröhrchen sind während des Reaktionsprozesses durch viele Faktoren beeinflusst, wie z.B. Temperatur des chemischen Gasphase-Abscheidungsofens, Fließgeschwindigkeit des Gasträgerwasserstoffs und Umgehungsgeschwindigkeit des flexiblen Substrats usw. Die Breite des Abscheidungsfilms wird durch den Durchmesser der Austrittsöffnung des Reaktionsofens beschränkt, dadurch wird die Herstellung der großflächigen durchsichtigen Verbundelektrode mit dem Kohlenstoff-Nanoröhrchen auch beschränkt.
- Das Ultra-Matrix-Czochralski-Verfahren verwendet die Dehnbarkeit des Kohlenstoff-Nanoröhrchens, dabei kann das Kohlenstoff-Nanoröhrchen zum endlosen Film gedehnt werden. Nach der Glühbehandlung der ultra-ausgerichteten Kohlenstoff-Nanoröhrchenanordnung wird die vertikale Anordnungsrichtung von CNT horizontal. Bei der Dehnung wird es zwischen dem flexiblen Substrat und dem Dehnungsfilm platziert und über zwei Rollen fest gepresst. Im Vergleich zum nassen Verbindungsverfahren hat das Ultra-Matrix-Czochralski-Verfahren einfachen Prozess, hohe Auslastungsrate von CNT, niedrigen Kosten und hohe Filmqualität, so dass das Verfahren für industrielle Massenproduktion geeignet ist. Jedoch ist die Verbindung zwischen dem Kohlenstoff-Nanoröhrchen und dem flexiblen Substrat nur, dass das Kohlenstoff-Nanoröhrchen über mechanisches Pressverfahren an der Oberfläche des flexiblen Substrats anhaftet. Zum bestimmten Grad kann die nicht feste Filmschicht des Kohlenstoff-Nanoröhrchens während des Bedienungsprozesses zur Beschränkung der Elektrodenqualität führen. Darüber hinaus ist es für das Verfahren nicht leicht, auf einem selben Substrat mehrmalige Bedienungen durchzuführen.
- Inhalt der Erfindung
- Die vorliegende Erfindung offenbart ein Herstellungsverfahren für eine neue durchsichtige Verbundelektrode mit dem Kohlenstoff-Nanoröhrchen. In der vorliegenden Erfindung dient der ultra-ausgerichteten Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilm [Feng C, Liu K, Wu J S, et al. Flexible, Stretchable, Transparent Conducting Films Made from Superaligned Carbon Nanotubes [J]. Adv. Funct. Mater., 2010, 20(6):885–891.] als leitfähiges Substrat, wobei leitfähiges Polymer als Träger dient, um eine einschichtige oder zweischichtige Schichtstruktur zu bilden, wobei der gebildete durchsichtige CNT-Verbundelektrodenfilm ausgezeichnete elektrische Leitfähigkeit zeigt, so dass unter Bedingungen bei Raumtemperatur die großflächigen durchsichtigen Verbundelektroden mit dem Kohlenstoff-Nanoröhrchen unter Verwendung von mechanischen Extrusionsverfahren hergestellt werden können. Die durchsichtige CNT-Verbundelektrode kann für flexible OLED-Anzeigevorrichtungen, Solarzellen, Flüssigkristallanzeige, Touch-Screen-Panel und andere Geräte angewendet werden.
- Die durchsichtige Verbundelektrode mit dem Kohlenstoff-Nanoröhrchen, aufweisend ein durchsichtiges Polymersubstrat und einen an der Oberfläche des durchsichtigen Substrats geformten CNT-Verbundfilm, wobei der CNT-Verbundfilm durch einen CNT-Film und einen leitfähigen Polymerfilm ausgebildet ist, und wobei sein Herstellungsverfahren folgende Schritte umfasst: (
1 ) Platzierung des ultra-ausgerichteten Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilms auf dem durchsichtigen Polymersubstrat, wobei vom Rand des ultra-ausgerichteten Kohlenstoff-Nanoröhrchens des auf der Si-Scheibe wachsenden Leitfilmelements eine Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilmschichte bestimmter Breite ausgezogen wird, und wobei dann die Filmschicht auf der Oberfläche des durchsichtigen Polymersubstrats flach aufgetragen wird, bis der benötigte Bereich vollständig aufgetragen wird, und wobei der Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilm mit Laser-Schneidverfahren oder Ethanolkontraktionsverfahren geschnittenen wird; (2 ) Durchgang des mit dem Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilm aufgetragenen Substrats durch ein Paar von zueinander gegenüber drehenden Walzen, so dass an der Oberfläche des Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilms eine Schicht vom leitfähigen Polymerfilm anhaftet, wobei die Oberfläche von einer oder zwei Walzen mit der leitfähigen Polymerlösung aufgetragen ist. - Die Oberflächenrauhigkeit der Walzen beträgt Ra 0.02 bis 0.01 µm.
- Der minimale Abstand des Spalts zwischen den Walzen ist die Dicke des Substrats.
- Die Viskosität der leitfähigen Polymerlösung ist 1–10 × 10–3PaS.
- Die Hauptbestandteile der leitfähigen Polymerlösung sind wie folgt: 1) Polyanilin, Poly-3,4-Ethylendioxythiophen, Polyacetylen und/oder Polypyrrol; 2) Lösungsvermittler: Polystyrolsulfonat-Camphersulfonsäure und deren Salze, Camphersulfonsäure, Dodecyl-Benzolsulfonsäure und deren Salze, Hexadecyl-Benzolsulfonsäure und deren Salze und/oder Naphthalinsulfonsäure und deren Salze; 3) modifizierte Additive: Propylenglykol, Sorbit, Dimethylsulfoxid und/oder N-N-Dimethylformamid, Ethylenglykol; 4) der Rest ist Wasser.
- Die leitfähige Polymerwasserlösung ist PEDOT:PSS-Wasserlösung von 1,8%, ihre spezifische Bestandteile sind wie folgt:
Poly-3,4-Ethylendioxythiophen PEDOT 0.5–1%, Polystyrolsulfonat PSS 0.8–1.3%, Dodecyl-Benzolsulfonsäure 0.01%–0.05%, Ethylenglykol 0.37%–0.44%, Wasser Wasser auf 100% zugeben. - Im Inneren der Walzen ist ein Heizelement angeordnet.
- Die vorliegende Erfindung offenbart ein Verfahren zur Herstellung der durchsichtigen leitfähigen Verbundelektrode mit Hilfe des Kohlenstoff-Nanoröhrchen(CNT)-Films. Die durchsichtige CNT-Filmelektrode weist ein durchsichtiges Polymersubstrat einen an der Oberfläche des durchsichtigen Substrats geformten CNT-Verbundfilm, wobei der CNT-Verbundfilm durch einen CNT-Film und einen leitfähigen Polymerfilm ausgebildet ist. Bei der vorliegenden Erfindung bilden der Kohlenstoff-Nanoröhrchenanordnungsfilm, der eine gute Haftungskraft am Substrat hat, und das leitfähige Fluidphasenpolymer beim technischen Pressen einen CNT-Verbundfilm aus. Die durchsichtige CNT-Verbundelektrode hat eine ausgezeichnete Leitfähigkeit. Es wird ermöglicht, unter Bedingungen bei der Raumtemperatur die durchsichtige CNT-Verbundelektrode mit Hilfe des nassen Verfahrens mit mechanischem Pressen herzustellen. In Form der Lösung haftet der leitfähige Polymerfilm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilms an. Es besteht eine gute Verbindungskraft zwischen dme leitfähigen Polymerfilm und dem Kohlenstoff-Nanoröhrchendehnungsfilm sowie dem Substrat, so dass es geeignet für den mehrschichtigen Prozessbetrieb. Der bei der vorliegenden Erfindung geformte Film ist ein einschichtiger oder zweischichtiger Verbundfilm. Da die Schicht des CNT-Films eigentlich relativ dünn ist, die Dicke einer CNT-Filmshicht beträgt einige oder Dutzende Nanometer, so dass beim Auftragen der Filmschicht eine partielle Beschädigung auftreten kann. Um die zweidimensionale oder dreidimensionale Leitfähigkiet der CNT-Leitschicht zu gewährleisten, können mehrere Filmschichten angeordnet werden. Das Herstellungsverfahren hat niedrige Kosten und kann die Herstellung von großflächigen durchsichtigen Verbundelektroden realisieren. Die durchsichtige CNT-Elektrode kann für die Herstellung von verschiedenen Geräten, die Durchlässigkeit und Leitfähigkeit benötigen, verwendet werden, wie z.B. flexiblen organischen elektrolumineszenten Anzeigevorrichtungen (OLED), Solarzellen, Flüssigkristallanzeigevorrichtung, Plasmaanzeigevorrichtung (PDP), Bildsensor, Touchscreen-Paneel usw.
- Die durchsichtige CNT-Verbundelektrode kann für die Herstellung von Elektrodenmaterialien der verschiedenen Geräte, die Durchlässigkeit und Leitfähigkeit benötigen, verwendet werden, wie z.B. flexiblen organischen elektrolumineszenten Anzeigevorrichtungen (OLED), Solarzellen, Flüssigkristallanzeigevorrichtung, Plasmaanzeigevorrichtung (PDP), Bildsensor, Touchscreen-Paneel usw.
- Kurze Beschreibung der Zeichnung
-
1 zeigt die Herstellung des Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilms auf der Si-Scheibe. -
2 zeigt eine schematische Darstellung dees Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilms auf dem durchsichtigen Substrat. -
3 zeigt eine schematische Darstellung für die Herstellung des Kohlenstoff-Nanoröhrchen-Polymerverbundfilms. -
4 zeigt eine schematische Darstellung des Kohlenstoff-Nanoröhrchen-Polymerverbundfilms. -
5 zeigt eine schematische Darstellung des mehrschichtigen Kohlenstoff-Nanoröhrchen-Polymerverbundfilms. - Bezugszeichenliste
-
- 1
- Durchsichtiges Substrat
- 2
- Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilm
- 3
- Kohlenstoff-Nanoröhrchen-Verbundfilm
- 4
- Mit Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilm aufgetragenes durchsichtiges Substrat
- 5
- Walze
- 6
- Si-Scheibe
- 7
- Leitfilmelement
- Ausführliche Ausführungsformen
- Die hauptsächliche Technik der Herstellung der durchsichtigen Verbundelektrode mit dem Kohlenstoff-Nanoröhrchen wird in zwei Teile aufgeteilt: (1) Die Anhaftung zwischen dem Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilm und dem Substrat wird durch die Oberflächenmoleküle-Kraftbindung zwischen der Oberfläche des Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilms
2 und dem durchsichtigen Substrat1 realisiert. Die schematische Darstellung der konkreten Filmgenerierung siehe1 . Um die Haftungskraft zwischen dem Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilm2 und dem durchsichtigen Substrat1 zu gewährleisten, kann der Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilm2 mit einer wie in2 dargestellten Form horizontal in Ethanolspray-Umgebung platziert werden, so dass ein Schrumpfen stattfindet. In Ethanolspray-Umgebung wird der nach einmaliger Filmdehnung geformte Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilm2 automatisch schrumpfen, so dass eine durch stabile lineare Kohlenstoff-Nanoröhrchenbunde ausgebildete Struktur geformt wird. Die Ethanolmoleküle werden an seiner Oberfläche anhaften, um die Oberflächenpolarität zu modifizieren, gleichzeitig wird die Verbindungskraft des Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilms2 und des durchsichtigen Substrats1 verstärkt, so dass der hergestellte Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilm2 nicht leicht während der Umgebungsförderung und Aufbewahrung beschädigt wird. Das in2 dargestellte und mit dem Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilm aufgetragene durchsichtige Substrat4 geht durch ein Paar von zueinander gegenüber drehenden Walzen5 . Es wird angefordert, dass die Oberflächenrauhigkeit der Walzen5 Ra 0.02 bis 0.01 µm beträgt. Der minimale Abstand des Spalts zwischen den Walzen5 ist die Dicke des durchsichtigen Substrats1 . An der Oberfläche der Walzen5 ist leitfähige Polymerlösung mit einer Viskosität von 1–10 × 10–3PaS aufgetragen. Falls nötig, können bestimmte Heizkomponenten hinzugefügt werden, um die Steuerung der Walzentemperatur zu realisieren, so dass die Viskosität des Polymers gewährleistet wird. An der sich oberhalb der Walzen5 heraus erstreckenden Oberfläche des Substrats ist ein leitfähiger Polymerverbundfilm3 mit dem Kohlenstoff-Nanoröhrchen geformt.3 ist eine schematische Darstellung für die Herstellung des Verbundfilms3 . Die Struktur der geformten Filmstruktur siehe4 . Nach Bedarf kann der Polymerfilm mit dem Kohlenstoff-Nanoröhrchen in4 wiederholt mit dem Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilm aufgetragen werden, dann haftet die leitfähige Polymerschicht an. Wiederholte Bedienungen sind möglich. - Bestandteile der leitfähigen Polymerlösung: 1) Polyanilin, Poly-3,4-Ethylendioxythiophen, Polyacetylen und/oder Polypyrrol; 2) Lösungsvermittler: Polystyrolsulfonat-Camphersulfonsäure und deren Salze, Camphersulfonsäure, Dodecyl-Benzolsulfonsäure und deren Salze, Hexadecyl-Benzolsulfonsäure und deren Salze und/oder Naphthalinsulfonsäure und deren Salze; 3) modifizierte Additive: Propylenglykol, Sorbit, Dimethylsulfoxid und/oder N-N-Dimethylformamid, Ethylenglykol; 4) der Rest ist Wasser.
- Herstellungsverfahren: nach bestimmtem Verhältnis werden alle Bestandteile gemischt und in bestimmter Lösung gelöst, dabei kann die Konzentration durch Hinzufügung von Wasser oder entsprechenden Lösungen eingestellt werden.
- Z.B.: leitfähige Polymerwasserlösung ist PEDOT:PSS-Wasserlösung von 1,8%.
Poly-3,4-Ethylendioxythiophen PEDOT 0.5–1% Polystyrolsulfonat PSS 0.8–1.3% Dodecyl-Benzolsulfonsäure 0.01%–0.05% Ethylenglykol 0.37%–0.44% Wasser Wasser auf 100% zugeben. - Die hergestellte durchsichtige Verbundelektrode mit dem Kohlenstoff-Nanoröhrchen:
Platzierung des ultra-ausgerichteten Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilms2 auf dem durchsichtigen Polymersubstrat1 , wobei vom Rand des ultra-ausgerichteten Kohlenstoff-Nanoröhrchens des auf der Si-Scheibe6 wachsenden Leitfilmelements7 eine Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilmschichte bestimmter Breite ausgezogen wird, und wobei dann die Filmschicht auf der Oberfläche des durchsichtigen Polymersubstrats1 flach aufgetragen wird, bis der benötigte Bereich vollständig aufgetragen wird, und wobei der Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilm2 mit Laser-Schneidverfahren oder Ethanolkontraktionsverfahren geschnittenen wird; (2 ) Durchgang des mit dem Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilm aufgetragenen Substrats4 durch ein Paar von zueinander gegenüber drehenden Walzen (Walzen sind mit leitfähigen Polymerwasserlösungen aufgetragen)5 , so dass an der Oberfläche des Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilms2 eine Schicht vom leitfähigen Polymerfilm anhaftet, um den Verbundfilm3 zu formen.
Claims (7)
- Durchsichtige Verbundelektrode mit Kohlenstoff-Nanoröhrchen, aufweisend ein durchsichtiges Polymersubstrat und einen an der Oberfläche des durchsichtigen Substrats geformten CNT-Verbundfilm, wobei der CNT-Verbundfilm durch einen CNT-Film und einen leitfähigen Polymerfilm ausgebildet ist, und wobei sein Herstellungsverfahren folgende Schritte umfasst: (
1 ) Platzierung des ultra-ausgerichteten Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilms auf dem durchsichtigen Polymersubstrat, wobei vom Rand des ultra-ausgerichteten Kohlenstoff-Nanoröhrchens des auf der Si-Scheibe wachsenden Leitfilmelements eine Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilmschicht bestimmter Breite ausgezogen wird, und wobei dann die Filmschicht auf der Oberfläche des durchsichtigen Polymersubstrats flach aufgetragen wird, bis der benötigte Bereich vollständig aufgetragen ist, und wobei der Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilm mit Laser-Schneidverfahren oder Ethanolkontraktionsverfahren geschnittenen wird; (2 ) Durchgang des Substrats mit dem aufgetragenen Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilm durch ein Paar von zueinander gegenüber drehenden Walzen, so dass an der Oberfläche des Kohlenstoff-Nanoröhrchenfilms eine Schicht von leitfähigem Polymerfilm anhaftet, wobei auf die Oberfläche von einer oder zwei Walzen die leitfähige Polymerwasserlösung aufgetragen ist. - Durchsichtige Verbundelektrode mit Kohlenstoff-Nanoröhrchen nach Anspruch 1, wobei die Oberflächenrauhigkeit der Walzen Ra 0.02 bis 0.01 µm beträgt.
- Durchsichtige Verbundelektrode mit Kohlenstoff-Nanoröhrchen nach Anspruch 1, wobei der minimale Abstand des Spalts zwischen den Walzen (
5 ) der Dicke des durchsichtigen Substrats (1 ) entspricht. - Durchsichtige Verbundelektrode mit Kohlenstoff-Nanoröhrchen nach Anspruch 1, wobei die Viskosität der leitfähigen Polymerlösung 1 – 10 × 10–3PaS ist.
- Durchsichtige Verbundelektrode mit Kohlenstoff-Nanoröhrchen nach Anspruch 1, wobei die Hauptbestandteile der leitfähigen Polymerlösung wie folgt sind: 1) Polyanilin, Poly-3,4-Ethylendioxythiophen, Polyacetylen und/oder Polypyrrol; 2) Lösungsvermittler: Polystyrolsulfonat-Camphersulfonsäure und deren Salze, Camphersulfonsäure, Dodecyl-Benzolsulfonsäure und deren Salze, Hexadecyl-Benzolsulfonsäure und deren Salze und/oder Naphthalinsulfonsäure und deren Salze; 3) modifizierte Additive: Propylenglykol, Sorbit, Dimethylsulfoxid und/oder N-N-Dimethylformamid, Ethylenglykol; 4) der Rest ist Wasser.
- Durchsichtige Verbundelektrode mit Kohlenstoff-Nanoröhrchen nach Anspruch 5, wobei die leitfähige Polymerwasserlösung eine PEDOT:PSS-Wasserlösung von 1,8% ist, und wobei ihre spezifischen Bestandteile wie folgt sind:
Poly-3,4-Ethylendioxythiophen PEDOT 0.5–1%, Polystyrolsulfonat PSS 0.8–1.3%, Dodecyl-Benzolsulfonsäure 0.01%–0.05%, Ethylenglykol 0.37%–0.44%, Wasser auf 100% zugeben. - Durchsichtige Verbundelektrode mit Kohlenstoff-Nanoröhrchen nach Anspruch 1, wobei im Inneren der Walzen ein Heizelement angeordnet ist.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310012106.9A CN103928637B (zh) | 2013-01-14 | 2013-01-14 | 碳纳米管透明复合电极的制备方法 |
CN201310012106.9 | 2013-01-14 | ||
PCT/CN2013/089463 WO2014108015A1 (zh) | 2013-01-14 | 2013-12-14 | 碳纳米管透明复合电极的制备方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE112013006416T5 true DE112013006416T5 (de) | 2015-10-15 |
Family
ID=51146785
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE112013006416.2T Withdrawn DE112013006416T5 (de) | 2013-01-14 | 2013-12-14 | Herstellungsverfahren für eine durchsichtige Verbundelektrode mit Kohlenstoff-Nanoröhrchen |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5965554B2 (de) |
KR (1) | KR101693774B1 (de) |
CN (1) | CN103928637B (de) |
DE (1) | DE112013006416T5 (de) |
HK (1) | HK1196996A1 (de) |
TW (1) | TWI553662B (de) |
WO (1) | WO2014108015A1 (de) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105321592B (zh) * | 2014-08-01 | 2017-03-22 | 广东阿格蕾雅光电材料有限公司 | 碳纳米管‑高分子层状复合透明柔性电极及其制备方法 |
CN105361977B (zh) * | 2014-08-26 | 2018-08-10 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 电阻式柔性透明关节部位电子皮肤及其制备方法和应用 |
CN104465993A (zh) * | 2014-10-28 | 2015-03-25 | 南昌大学 | 一种碳基复合透明电极及制备方法 |
CN104576321A (zh) * | 2015-01-30 | 2015-04-29 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种电极结构、其制作方法、显示基板及显示装置 |
CN104616838B (zh) | 2015-02-10 | 2018-02-06 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种电子器件的制作方法及电子器件 |
CN107249880B (zh) * | 2015-02-23 | 2020-08-04 | 琳得科美国股份有限公司 | 粘合片 |
CN105024015B (zh) * | 2015-06-24 | 2017-12-22 | 复旦大学 | 一种可拼接的钙钛矿太阳能电池及其制备方法 |
CN106601329B (zh) * | 2016-08-18 | 2019-04-16 | 北京纳米能源与系统研究所 | 一种柔性纳米摩擦发电机、制备方法及制成的传感器 |
CN106782774A (zh) * | 2017-01-10 | 2017-05-31 | 京东方科技集团股份有限公司 | 透明导电薄膜、其制备方法及装置 |
CN109428006B (zh) | 2017-08-30 | 2020-01-07 | 清华大学 | 有机发光二极管 |
CN109428009B (zh) | 2017-08-30 | 2020-05-15 | 清华大学 | 有机发光二极管的制备方法 |
CN109427982B (zh) * | 2017-08-30 | 2020-01-03 | 清华大学 | 有机发光二极管 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100992154B1 (ko) * | 2008-09-19 | 2010-11-05 | 한국전자통신연구원 | 탄소나노튜브를 이용한 투명 전도성 박막 및 그 제조 방법 |
CN102086035B (zh) | 2009-12-03 | 2013-06-19 | 北京富纳特创新科技有限公司 | 碳纳米管膜及其制备方法 |
JP5554552B2 (ja) * | 2009-12-09 | 2014-07-23 | アルプス電気株式会社 | 透明導電膜及びその製造方法 |
CN101923912B (zh) * | 2010-06-18 | 2013-12-11 | 北京富纳特创新科技有限公司 | 碳纳米管膜及基于该碳纳米管膜的复合膜 |
KR101272483B1 (ko) * | 2010-12-09 | 2013-06-10 | 한국과학기술원 | 탄소나노튜브와 전도성 고분자를 이용한 다층 구조의 투명 전도성 판재의 제조방법 |
CN102321323B (zh) * | 2011-05-27 | 2013-08-28 | 清华大学 | 透明碳纳米管复合膜的制备方法 |
JP2015067483A (ja) | 2013-09-30 | 2015-04-13 | 日立造船株式会社 | 繊維状カーボン材料の製造方法 |
-
2013
- 2013-01-14 CN CN201310012106.9A patent/CN103928637B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2013-12-14 KR KR1020157017465A patent/KR101693774B1/ko active IP Right Grant
- 2013-12-14 WO PCT/CN2013/089463 patent/WO2014108015A1/zh active Application Filing
- 2013-12-14 DE DE112013006416.2T patent/DE112013006416T5/de not_active Withdrawn
- 2013-12-14 JP JP2015551963A patent/JP5965554B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2014
- 2014-01-10 TW TW103100887A patent/TWI553662B/zh not_active IP Right Cessation
- 2014-10-16 HK HK14110367.8A patent/HK1196996A1/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016504738A (ja) | 2016-02-12 |
TWI553662B (zh) | 2016-10-11 |
WO2014108015A1 (zh) | 2014-07-17 |
TW201432718A (zh) | 2014-08-16 |
HK1196996A1 (zh) | 2014-12-24 |
KR101693774B1 (ko) | 2017-01-06 |
CN103928637B (zh) | 2016-05-04 |
KR20150118583A (ko) | 2015-10-22 |
JP5965554B2 (ja) | 2016-08-10 |
CN103928637A (zh) | 2014-07-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE112013006416T5 (de) | Herstellungsverfahren für eine durchsichtige Verbundelektrode mit Kohlenstoff-Nanoröhrchen | |
DE112014001525T5 (de) | Transparente leitfähige Kohlenstoffnanoröhre-Polymer-Komplex-Tinte und Verfahren zu deren Herstellung | |
JP5869627B2 (ja) | 透明導電膜の製造方法およびそれにより製造された透明導電膜 | |
US7727578B2 (en) | Transparent conductors and methods for fabricating transparent conductors | |
US7642463B2 (en) | Transparent conductors and methods for fabricating transparent conductors | |
CN106992031B (zh) | 一种纳米银线石墨烯涂布导电膜的制作方法及其导电膜 | |
Azuma et al. | Facile fabrication of transparent and conductive nanowire networks by wet chemical etching with an electrospun nanofiber mask template | |
KR20150085523A (ko) | 그래핀 소재와 전도성 중합체를 포함한 막 형성용 조성물 | |
KR20130133766A (ko) | 전도성 투명 필름용 신규 조성물 | |
DE112009000460T5 (de) | Transparente Dünnschichtelektrode | |
WO2016082338A1 (zh) | 导电柔性基板及其制作方法与oled显示装置及其制作方法 | |
WO2020206735A1 (zh) | 柔性导电薄膜及其制备方法、显示面板 | |
US20090191389A1 (en) | Transparent conductors that exhibit minimal scattering, methods for fabricating the same, and display devices comprising the same | |
Lee et al. | Smooth-surface silver nanowire electrode with high conductivity and transparency on functional layer coated flexible film | |
Raman et al. | Ag mesh network framework based nano composite for transparent conductive functional electrodes for capacitive touch sensor and thin film heater | |
Huh et al. | New approach for fabricating hybrid-structured metal mesh films for flexible transparent electrodes by the combination of electrospinning and metal deposition | |
CN214012530U (zh) | 一种导电结构及电子设备 | |
JP2009292664A (ja) | 薄膜の製造方法及びその装置、並びに電子装置の製造方法 | |
KR101349342B1 (ko) | 용매처리를 통해 형성된 투명 전도성 필름 및 그 제조방법 | |
KR101818341B1 (ko) | 금속 나노와이어를 이용한 유연 투명 전극 및 그 저온 공정 제작법 | |
Gan et al. | Gallic acid-reduced graphene oxide deposited with carbon nanotubes for transparent film heaters | |
TW201611040A (zh) | 導電奈米線之層的製備 | |
Hao et al. | Enhanced conductivity and color neutrality of transparent conductive electrodes based on CNT/PEDOT: PSS composite with a layer-by-layer structure | |
DE102013225902B4 (de) | Beschichtungsmittel, Verfahren zum Herstellen eines Beschichtungsmittels und einer elektrisch leitfähigen Schicht sowie Bauelement mit Schicht | |
CN114171241A (zh) | 一种导电结构及其制备方法、由其制备的电子设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R012 | Request for examination validly filed | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |