DE112013002935T5 - Lenkmoment-Winkelsensor mit einem Prozessor und einem magneto-resistiven Element ausgebildet in einer monolithischen Architektur - Google Patents
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Abstract
Eine elektronische Einrichtung zur Messung eines Magnetfeldwinkels in einer Fahrzeuglenkanordnung. Die elektronische Einrichtung enthält einen Halbleiterchip mit einem Umriss, ein magneto-resistives Sensorelement, das in dem Chip ausgebildet ist und nahe dem Umriss des Halbleiterchips angeordnet ist und einen Prozessorschaltkreis, der in dem Chip ausgebildet ist. Der Prozessorschaltkreis ist elektrisch mit dem magneto-resistiven Sensorelement verbunden und so konfiguriert, dass er ein Signal erzeugt, das mindestens einen Magnetfeldwinkel und ein Lenkmoment anzeigt. Ein nicht-leitfähiges Material kapselt den Halbleiterchip ein. Elektrische Anschlüsse sind elektrisch mit dem Chip verbunden und passieren das nicht-leitfähige Material, das den Halbleiterchip einkapselt. Die elektrischen Anschlüsse sind so konfiguriert, dass sie elektrisch mit einer Leiterbahnplatte verbunden sind. Der Halbleiterchip ist nahe dem Umriss der Packung angeordnet, um das magneto-resistive Sensorelement nahe dem Umriss der Packung zu positionieren.
Description
- EINBEZOGENE ANMELDUNGEN
- Die vorliegende Anmeldung beansprucht die Priorität der US-Patentanmeldung Nr. 13/566,022, eingereicht am 3. August 2012 und die vorläufige US-Patentanmeldung Nr. 61/660,491 eingereicht am 15. Juni 2012, wobei der gesamte Inhalt beider Anmeldungen durch Bezugnahme eingefügt ist.
- HINTERGRUND
- Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Sensoren, die in Fahrzeugsteuerungssystemen verwendet werden, um die Lenkeingabe eines Fahrers zu erfassen. Inbesondere bezieht sich die Erfindung auf Fahrzeuglenksystemsensoren, die ausgelegt sind, um Änderungen des Winkels eines magnetischen Feldes zu erfassen.
- Sensoren, die dazu ausgelegt sind, die Bewegung rotierender Komponenten zu erfassen, sind im allgemeinen gut bekannt. So können beispielsweise Hall-Effekt-Sensoren verwendet werden, um die Geschwindigkeit und Drehrichtung einer Welle oder von Rädern zu erfassen. Sensoren, die in der Lage sind, eine Lenkeingabe in Personenkraftwagen oder ähnlichen Fahrzeugen zu erfassen, sind ebenfalls allgemein bekannt. Beispielsweise ist es bei einem Lenksystem möglich, Änderungen eines magnetischen Winkels zu erfassen und ein Eingangsdrehmoment zu bestimmen, das 1) eine Eingangswelle (beispielsweise verbunden mit einem Lenkrad), 2) eine Ausgangswelle (beispielsweise verbunden mit einer Zahnstange oder einem anderen Element, das zum Bewegen oder Steuern der Räder eines Fahrzeuges verwendet wird), und 3) eine nachgiebige Welle bzw. einen Torsionsstab, der die beiden Wellen verbindet, aufweist. Insbesondere ist ein Magnet auf einer Welle angeordnet und ein Magneterfassungselement (beispielsweise ein magneto-resistives Sensorelement) auf der anderen Welle befestigt. Der Torsionsstab hat eine bekannte Federkonstante oder Torsionssteifigkeit. Die Drehbewegung der Eingangswelle bezüglich der Ausgangswelle erzeugt eine relative Winkelverschiebung zwischen dem Magneten und dem magnetischen Sensorelement. Der Winkelversatz wird dann mit bekannten magnetischen Grundsätzen gemessen. Insbesondere ist der Winkelversatz proportional dem auf die Eingangswelle ausgeübten Drehmoment. Somit kann das Lenkmoment aus der von den Magnetsensorelementen bereitgestellten Information abgeleitet werden.
- ZUSAMMENFASSUNG
- Obwohl Sensoren in der Lage sind, Informationen betreffend das Lenkdrehmoment zur Verfügung zu stellen, verfügbar sind, sind sie nicht völlig zufriedenstellend. In vielen herkömmlichen Konstruktionen müssen mehrere Vorrichtungen verwendet werden, um einen Sensor zu schaffen, der in der Lage ist, sowohl Änderungen des magnetischen Feld-Winkels zu zensieren und ein Ausgangssignal zu erzeugen, das das Eingangsdrehmoment anzeigt. Beispielsweise enthalten den Erfindern bekannte Sensoren ein Magnetsensorelement (beispielsweise einen Schaltkreis, der von Personen mit Erfahrung bei magnetischer Sensierung entwickelt wurden) und einen Prozessor (beispielsweise eine anwendungsspezifische integrierte Schaltung, die von Personen mit Erfahrung bei der Herstellung von Halbleitern und integrierten Schaltungen entwickelt wurden). Die beiden Einrichtungen sind auf eine Leiterbahnplatte montiert und verdrahtet und dann miteinander durch Leiterbahnen verbunden.
- Vor relativ kurzer Zeit wurden gepackte integrierte Schaltungen gebaut, die eine Verarbeitungskomponente und ein Magnetsensorelement in einer Packung enthielten. Allerdings verwenden diese Einrichtungen oft Hall-Effekt-Sensoren. Generell sind Hall-Effekt-Sensoren in der Lage, nur die Stärke eines Magnetfeldes zu messen. Infolgedessen müssen mehrere Hall-Effekt-Sensoren verwendet werden, wenn versucht wird, den Winkel eines Magnetfeldes zu messen. Daher enthalten verfügbare integrierte Schaltungen generell mindestens zwei Hall-Effekt-Sensoren und diese Hall-Effekt-Sensoren enthalten üblicherweise mehrere Hall-Effekt-Sensorelemente. Darüber hinaus platzieren bekannte Einzelpackungseinrichtungen die Hall-Effekt-Sensorelemente in einer zentralen und symmetrischen Position der Packung.
- Im Gegensatz zu diesen derzeitigen Konstruktionen schaffen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung, unter anderem einen Lenkmomentwinkelsensor, der einen Prozessor (wie etwa eine anwendungsspezifische integrierte Schaltung (”ASIC”)) und ein magneto-resistives (”MR”) Sensorelement enthält. Der ASIC und das MR-Sensorelement sind Teil eines einzigen Halbleiterchips (d. h. der ASIC und das MR-Sensorelement bilden eine monolithische Einrichtung). Der Chip hat einen aktiven Umriss und das MR Sensorelement in ungefähr koplanar mit dem aktiven Umriss des Chips angeordnet. Vorzugsweise wird der Chip durch Drahtbonden mit einem oder mehreren elektrischen Anschlüssen verbunden (einem Leitungsgerüst). Die Verbindungen sind mit dem Chip verbunden und die Verbindungen und der Chip sind in einem isolierenden Material (wie z. B. Plastik) eingekapselt oder ”verpackt”, um eine integrierte Einrichtung zu schaffen, die auf einer Leiterbahnplatte oberflächenmontiert (surface mounted) angebracht werden kann. Der Chip ist nahe des Umrisses der integrierten Einrichtung positioniert, um das MR-Sensorelement nahe dem Magnet zu positionieren, der nahe der integrierten Schaltung angeordnet ist. In einigen Ausführungsbeispielen wird das MR-Sensorelement innerhalb der integrierten Einrichtung so positioniert, dass es innerhalb des Sättigungsmagnetfeldes (z. B. 25 kA/m), das von dem Magnet erzeugt wird, angeordnet ist.
- In einer anderen Ausführungsform schafft die Erfindung eine elektronische Einrichtung zum Messen des Magnetfeldwinkels innerhalb einer Fahrzeugsteuereinrichtung. Die elektronische Einrichtung enthält einen Halbleiterchip mit einem Umriss. Ein magneto-resistives Sensorelement ist in dem Chip ausgebildet und nahe dem Umriss des Halbleiterchips angeordnet. Ein Prozessorschaltkreis ist ebenfalls in dem Chip ausgebildet. Die Prozessoreinheit ist elektrisch mit dem magneto-resistiven Sensorelement verbunden und so konfiguriert, dass sie ein Signal erzeugt, das mindestens einen Magnetfeldwinkel und ein Lenkmoment zeigt. Ein nicht-leitfähiges Material kapselt den Halbleiterchip ein. Elektrische Verbindungen sind mit dem Chip elektrisch verbunden und gelangen durch das nicht leitfähige Material, das den Halbleiterchip einkapselt, hindurch. Die elektrischen Verbindungen sind so konfiguriert, dass sie elektrisch mit der gedruckten Leiterbahnplatte verbunden sind.
- In noch einem anderen Ausführungsbeispiel stellt die Erfindung eine Anordnung zur Messung des relativen Winkels zwischen einer ersten und einer zweiten Welle einer Fahrzeuglenkanordnung zur Verfügung. Die Sensoranordnung enthält einen Magnet, der mit der ersten Welle verbunden ist und eine elektronische Einrichtung, wie im vorherigen Paragraphen beschrieben. Das elektronische Einrichtung ist mit der zweiten Welle verbunden, so dass das in der elektronischen Einrichtung enthaltene magneto-resistive Sensorelement nahe dem Magneten liegt.
- In noch einem anderen Ausführungsbeispiel schafft die Erfindung eine Sensoranordnung zum Messen eines Magnetfeldwinkels in einer Fahrzeuglenkanordnung. Die Sensoranordnung enthält eine erste elektronische Einrichtung, wie in Paragraph [0007] beschrieben und eine zweite elektronische Einrichtung, wie in Paragraph [0007] beschrieben. Die zweite elektronische Einrichtung ist nahe der ersten elektronischen Einrichtung auf der Leiterbahnplatte angeordnet.
- Weitere Aspekte der Erfindung werden im Zusammenhang mit der ausführlichen Beschreibung und der beigefügten Zeichnung erläutert.
- KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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1 ist eine perspektivische Ansicht einer Fahrzeuglenkvorrichtung, die eine Drehmomentwinkelsensoranordnung zur Messung des Lenkwellendrehmomentes hält. -
2 ist eine perspektivische Vorderansicht der Drehmomentwinkelsensoranordnung der1 . -
3a zeigt schematisch die Drehwinkelsensoranordnung gemäß1 . -
3b zeigt schematisch eine Drehwinkelsensoranordnung gemäß1 . -
3c zeigt schematisch eine elektronische Einrichtung, die in der Drehmomentwinkelanordnung der1 enthalten ist gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der Erfindung. -
3d ist eine Seitenansicht der elektronischen Einrichtung der3b . -
3e ist eine Endansicht der elektronischen Einrichtung der3b . -
4 zeigt schematisch ein Magnetfeld, das von dem Magneten der Drehmomentwinkelsensoranordnung der1 erzeugt wird. -
5 zeigt schematisch eine alternative Ausführungsform der Erfindung in Form einer elektronischen Einrichtung mit zwei Magnetsensorelementen. -
6 zeigt schematisch eine Konfiguration für eine Drehmomentwinkelsensoranordnung, bei der zwei elektronische Einrichtungen in Nähe zu einem Magneten positioniert sind. - DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
- Bevor irgendwelche Ausführungsformen der Erfindung im Detail erläutert werden, sei darauf hingewiesen, dass die Erfindung in ihrer Anwendung nicht auf Konstruktionsdetails und die Anordnung von Komponenten, wie sie in der nachfolgenden Beschreibung oder in den nachfolgenden Zeichnungen beschrieben ist, beschränkt ist. Die Erfindung ist auch in der Lage, für andere Ausführungsformen und in anderen Weisen praktiziert oder ausgeführt zu werden.
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1 zeigt ein Fahrzeuglenkungsanordnung10 . Die Anordnung10 enthält eine Eingangswelle12 und eine Ausgangswelle14 . Die Eingangswelle12 verbindet ein Steuerrad (nicht dargestellt) und die Ausgangswelle14 verbindet eine Zahnstange oder eine Getriebebox (nicht dargestellt), die verwendet werden, Räder des Fahrzeuges zu bewegen oder zu lenken. Die Eingangswelle12 ist durch eine Torsionsstange (nicht dargestellt) mit der Ausgangswelle14 verbunden. Die Torsionsstange ist koaxial mit den Wellen12 und14 ausgerichtet und hat eine bekannte Torsionssteifigkeit oder Federkonstante. Die Torsionsstange überträgt die Last von der Eingangswelle12 zu der Ausgangswelle14 . Insbesondere biegt oder verdreht sich die Torsionsstange, um eine relative Winkelverschiebung der Eingangswelle12 relativ zur Ausgangswelle14 in Proportion zu dem an die Eingangswelle12 angelegten Drehmoment. Die Differenz der relativen Verdrehung der Eingangswelle12 zur Ausgangswelle14 ist proportional der Größe des an das Steuerrad angelegten Drehmomentes. - Eine Drehmomentwinkelsensoranordnung
16 misst das Lenkwellendrehmoment durch Messung des relativen Winkels zwischen einem ersten und einem zweiten Ende der Torsionsstange. Insbesondere, wie in3 dargestellt, enthält die Sensoranordnung16 einen ringförmigen Magnet18 , der an ein axiales Ende der Eingangswelle12 , das mit dem ersten Ende der Torsionsstange verbunden ist, angebracht ist. Folglich dreht sich der Magnet18 mit der Eingangswelle12 und dem ersten Ende der Torsionsstange. - Die Drehmomentwinkelsensoranordnung
16 umfasst auch eine elektronische Einrichtung20 . Die elektronische Einrichtung20 ist stationär relativ zu dem Magneten18 positioniert. Folglich, wenn sich die Torsionsstange verdreht, dreht sich der Magnet18 relativ zu der Einrichtung20 . In einigen Ausführungsformen ist die Sensoranordnung16 mit einem axialen Ende der Ausgangswelle14 verbunden, die mit dem zweiten Ende der Torsionsstange verbunden ist. In anderen Ausführungsformen ist die elektronische Einrichtung20 konzentrisch zu der Torsionsstange positioniert, jedoch nicht mit der Torsionsstange oder der Ausgangswelle14 verbunden. - Wie schematisch in
3a dargestellt, hat die elektronische Einrichtung20 einen Umriss21 und enthält einen Halbleiterchip30 mit einem Umriss32 . Ein Prozessor (wie z. B. ein anwendungsspezifischer integrierter Schaltkreis (”ASIC”))33 ist auch in dem Chip30 ausgebildet. In manchen Ausführungsformen ist der Prozessor33 innerhalb eines aktiven Bereiches34 des Chips30 ausgebildet und in anderen Ausführungsformen verbraucht er den gesamten aktiven Bereich34 . Ein magneto-resistives (”MR”) Sensorelement35 mit einem Umriss36 ist ebenfalls in dem Chip30 ausgebildet. Wie in3a dargestellt, ist das MR-Sensorelement35 oberhalb des Prozessors33 positioniert und mit dem Prozessor33 elektrisch verbunden (z. B. über Verbindungen, die in dem Chip30 ausgebildet sind). In manchen Ausführungsformen ist das MR-Sensorelement25 dadurch gebildet, dass zusätzliche Schichten (z. B. Metallschichten) auf einen kleinen Bereich auf der Oberseite des Prozessors33 hinzugefügt sind. - In einigen Ausführungsformen enthält das MR-Sensorelement
35 einen anisotropen magneto-resistiven (”AMR”) Winkelsensor. In anderen Ausführungsformen enthält das MR-Sensorelement35 einen Riesenmagnetowiderstand(”GMR”)-Winkelsensor oder einen Tunnelmagnetowiderstand(”TMR”)-Winkelsensor. Das MR-Sensorelement35 ist so konfiguriert, dass es eine oder mehrere Charakteristiken eines Magnetfeldes misst, das durch den Magnet18 erzeugt wird, wie z. B. einen Winkel (oder Richtung) und/oder Stärke (oder Größe). - Der Prozessor
33 ist so konfiguriert, dass er Signale oder Daten von dem MR-Sensorelement35 zu analogen oder digitalen Signalen aufbereitet, die dazu verwendet werden können, eine Information über den Winkel des Magnetfeldes zu erzeugen, das von dem Magnet18 generiert wurde. In manchen Ausführungsformen ist der Prozessor33 auch so konfiguriert, dass er eine Information über den Winkel des Magnetfeldes zu einem Drehmoment übersetzt, das an die Eingangswelle12 angelegt wird. Der Prozessor33 enthält auch einen Schaltkreis zur Kommunikation einer Magnetfeldwinkelinformation (oder Drehmomentinformation) gemäß einem vorbestimmten Kommunikationsprotokoll (z. B. ein Analogsignalprotokoll, ein pulsweitenmoduliertes Signalprotokoll, ein SENT-Protokoll (single edge nibble transmission) oder andere Spannungs-basierte oder Strom-modulierte digitale Kommunikationsprotokolle). - Elektrische Anschlüsse oder Kontaktstifte
38 sind elektrisch mit dem Chip30 verbunden, was ermöglicht, dass der Chip30 auf einer Leiterbahnplatte39 montiert werden kann (vgl.1 und2 ). Der Halbleiterchip30 und die elektrischen Verbindungen38 sind in ein nicht leitfähiges Material eingekapselt, wie z. B. Plastik, um eine monolithische Packung40 zu bilden, die zumindest einen Teil des Umrisses21 der elektronischen Einrichtung20 definiert. Die Anschlüsse38 passieren allerdings durch das nicht leitfähige Material hindurch. Es sei darauf hingewiesen, dass, obwohl in den Figuren nur eine 8-Pin-Packung dargestellt ist, auch andere Packungen40 mit weniger oder mehr Anschlüssen38 verwendet werden können. - Wie in
3a dargestellt, ist das MR-Sensorelement35 nahe dem Umriss32 des Chips30 positioniert und der Chip30 ist nahe dem Umriss21 der elektronischen Einrichtung20 positioniert, was das MR-Sensorelement35 nahe dem Umriss21 der elektronischen Einrichtung20 positioniert. In dieser Position ist das MR-Sensorelement35 nahe einem Teil42 des Umrisses32 positioniert und einem Teil44 des Umrisses21 , die beide möglichst nahe oder benachbart dem Magneten18 positioniert sind. Wie in3 dargestellt, ist in dieser Position das MR-Sensorelement35 exzentrisch bezüglich des Umrisses21 der Einrichtung20 positioniert und während des Betriebs der Sensoranordnung16 nahe dem Magneten18 positioniert. - Insbesondere kann in einigen Ausführungsformen das MR-Sensorelement
35 so positioniert sein, dass ein Teil des Umrisses36 des MR-Sensorelementes35 ungefähr koplanar mit dem aktiven Bereich34 des Chips30 ist (z. B. definiert durch den Prozessor33 ). Der aktive Bereich34 des Chips30 ist um eine marginale Distanz zu dem Umriss32 des Chips30 versetzt, um ein Abschneiden des Chips30 während der Herstellung zu ermöglichen. Die marginale Verschiebung zwischen dem aktiven Bereich34 des Chips30 und dem physikalischen Umriss32 des Chips30 ist in der Halbleiterherstellung wohl bekannt und in einigen Ausführungsformen, erstreckt sich über Bereiche von ungefähr 0,5 Millimeter bis ungefähr 0,1 Millimeter. In anderen Ausführungsformen ist das MR-Sensorelement35 ungefähr koplanar zu dem physikalischen Umriss32 des Chips30 positioniert. - Auch in einigen Ausführungsformen ist ein Zentrum des MR-Sensorelementes
35 ungefähr 1,75 Millimeter oder weniger zu dem Umriss21 der elektronischen Einrichtung20 positioniert (d. h. ein Bereich42 ) und, in einigen Ausführungsformen ist es weniger als ungefähr 1,0 Millimeter zu dem Umriss21 der elektronischen Einrichtung20 (d. h. einen Bereich44 ) positioniert. Allerdings sind, wie unten beschrieben, andere Dimensionen und Konfigurationen der elektronischen Einrichtung20 möglich, womit eine integrierte Packung geschaffen wird, die ein MR-Sensorelement nahe einem externen Magneten positioniert. - Insbesondere veranschaulicht
3b eine Konfiguration der elektronischen Einrichtung20 . Wie in3b dargestellt, ist das Zentrum des MR-Sensorelementes35 ungefähr 0,5 Millimeter oder weniger zu dem Bereich42 positioniert. Der Bereich42 ist ebenfalls ungefähr 1,25 Millimeter oder weniger zu dem Bereich44 positioniert. In dieser Position ist der Abstand von dem Zentrum des MR-Sensorelementes35 zu dem Bereich44 ungefähr 1,75 Millimeter oder weniger. In dieser Position ist der radiale Abstand zwischen dem MR-Sensorelement35 und dem Magnet18 minimiert und das MR-Sensorelement35 ist nahe dem Magneten18 angeordnet, wenn sich der Magnet18 dreht. In anderen Ausführungsformen, wie in3c dargestellt, ist das Zentrum des MR-Sensorelementes35 weniger als 1,0 Millimeter zu dem Abschnitt44 angeordnet. - Wie in
4 dargestellt, ist der Magnet18 so polarisiert, dass sich der Magnetfeldwinkel an dem MR-Sensorelement35 ändert, wenn sich der Magnet18 relativ zu dem Sensorelement35 dreht. Insbesondere ist das MR-Sensorelement35 normalerweise aus einigen resistiven Elementen gebildet, die in einer oder mehreren Brückenkonfigurationen angeordnet sind. Der Widerstand der resistiven Elemente und folglich der Ausgang der resistiven Brücke ändert sich, wenn sich der Winkel des Magnetfeldes an dem Sensorelement35 ändert. Folglich ändert sich der Ausgang des MR-Sensorelementes35 , wenn sich der Magnet18 relativ zu der elektronischen Einrichtung20 dreht. - Die monolithische Packung
40 verbessert die Sensorleistung und verringert die Montagekosten der Sensoranordnung16 . Insbesondere verringert die Packung40 die Anzahl von Montageschritten für die Sensoranordnung16 . Beispielsweise sind die beiden Schritte des separaten Installierens des MR-Sensorelementes35 und des Prozessors33 durch einen einzigen Schritt des Installierens der Packung40 ersetzt. Zusätzlich können, wenn das MR-Sensorelement35 und der Prozessor33 separat als reine Chips installiert werden, diese auf der Leiterbahnplatte draht-gebondet werden, was ein relativ teurer Prozess ist, weil er Reinraumumgebungen verlangt. Im Gegensatz dazu ist die Packung40 unter Verwendung herkömmlicher Oberseitenmontagetechniken (SMD-Technik) weniger teuer. Zusätzlich werden weitere Komponenten auf der Leiterbahnplatte39 oberseitenmontiert (surface mounted). Folglich fügt das Installieren der monolithischen Packung40 auf der Leiterbahnplatte39 nur ein zusätzliches Platzieren einer oberseitenmontierten Komponente zu den bereits existierenden Oberseitenmontierungsschritt hinzu. Folglich, selbst wenn die Packung40 teurer in der Herstellung ist, als die reine Chipherstellung, die bisher für den Prozessor33 verwendet wurde, sind die Kosten für die integrierte Packung geringer und eine kürzere Zykluszeit verringert die Gesamtkosten der Sensoranordnung16 . - Darüber hinaus kann durch Anordnen des MR-Sensorelementes
35 an oder nahe dem Umriss32 des Chips30 möglichst nahe zu dem Magnet18 (d. h. dem Bereich42 ) und an oder nahe dem Umriss21 der Einrichtung20 möglichst nahe zu dem Magnet (d. h. dem Bereich44 ), das MR-Sensorelement35 möglichst nahe zu der Seite des Magneten18 positioniert werden. In dieser Position ist das MR-Sensorelement35 innerhalb eines starken Teiles des Magnetfeldes, das von dem Magneten18 erzeugt wird, positioniert, was dem Sensorelement35 erlaubt, genauere Feldwinkelmesswerte zu erhalten. - Des weiteren verringert die Integration des Sensorelementes
35 und des Prozessors33 in dem einzelnen Chip30 auch Temperatur-Offset-Effekte. Insbesondere kann der Offset des MR-Sensorelementes35 über die Temperatur durch den Prozessor33 kompensiert werden. - Es sei darauf hingewiesen, dass in manchen Ausführungsformen die oben beschriebene elektronische Vorrichtung
20 zwei MR-Sensorelemente35 enthalten kann. Zum Beispiel illustriert5 schematisch eine alternative elektronische Einrichtung20 für die Drehmomentsensoranordnung16 . Die elektronische Einrichtung20 enthält ein erstes MR-Sensorelement35a , das in einem ersten Chip30a ausgebildet ist und ein zweites MR-Sensorelement35b , das in einem zweiten Chip30b ausgebildet ist. Ein Prozessor (wie z. B. ein oder mehrere ASICs)33a und33b sind ebenfalls in den Chips30a und30b ausgebildet. - Wie in
5 dargestellt, sind beide Sensorelemente35a und35b nahe dem Umriss32 ihrer entsprechenden Chips30a und30b (d. h. Bereiche42a und42b ) positioniert und die Chips30a und30b sind nahe dem Umriss21 der Einrichtung20 (d. h. des Bereiches44 ) positioniert. In manchen Ausführungsformen sind die Chips30a und30b nebeneinander in der Einrichtung20 positioniert, wie in5 dargestellt. In anderen Ausführungsformen können die Chips30a und30b übereinander gestapelt werden und in einer einzigen Packung platziert werden. Andere Konfigurationen der MR-Sensorelemente35a und35b und der Chips30a und30b sind ebenfalls möglich. - In manchen Ausführungsformen erfasst das erste MR Sensorelement
35a unterschiedliche magnetische Eigenschaften als das zweite MR-Sensorelement35b . In anderen Ausführungsformen erfassen das erste Sensorelement35a und das zweite Sensorelement35b dieselbe magnetische Eigenschaft. In beiden Ausführungsformen schaffen das erste MR-Sensorelement35a und das zweite MR-Sensorelement35b ein redundantes Sensorsystem. Zusätzlich zur Schaffung eines redundanten Sensorsystems, das unabhängige Schaltkreise enthält (z. B. zum Überprüfen des Schaltkreises auf Fehler zusätzlich zu den Sensorelementen35a und35b ), kann ein System oder eine Konfiguration70 , wie in6 dargestellt, verwendet werden. Die Konfiguration70 enthält zwei elektronische Einrichtungen20 , die nebeneinander auf einer Leiterbahnplatte angeordnet sind (wie in6 dargestellt). Alternativ kann jede Packung40 an gegenüberliegenden Seiten der Leiterbahnplatte positioniert sein. Der Ausgang jeder Packung40 kann verglichen werden (z. B. durch den Prozessor33 oder eine separate Prozessorkomponente oder System), um Probleme oder Fehler innerhalb der Packung40 zu identifizieren. - Somit stellt die Erfindung unter anderem eine monolithische Packung bereit, die ein MR-Sensorelement und einen Prozessor in einem einzigen Chip enthält. Die integrierte Konfiguration der Packung reduziert Montagekosten und verbessert die Erfassung des Drehmomentes. Es sei darauf hingewiesen, dass die Formen und Konfigurationen der monolithischen Packung und der in der Packung enthaltenen Komponenten als schematische Illustrationen dargestellt sind und dass andere Formen und Konfigurationen möglich sind. Beispielsweise hat in einer anderen Ausführungsform das MR-Sensorelement eine rechteckige Form anstatt einer in den Figuren dargestellten Kreisform.
- Verschiedene Merkmale und Vorteile der Erfindung sind in den nachfolgenden Ansprüchen dargelegt.
Claims (35)
- Elektronische Einrichtung zur Messung eines Magnetfeldwinkels in einer Fahrzeuglenkvorrichtung, wobei die elektronische Einrichtung enthält: einen Halbleiterchip mit einem Umriss; ein magneto-resistives Sensorelement, das in dem Chip gebildet ist und nahe dem Umriss des Halbleiterchips angeordnet ist; ein Prozessorschaltkreis, der in dem Chip ausgebildet ist und elektrisch mit dem magneto-resistiven Sensorelement verbunden ist, wobei die Prozessoreinheit so konfiguriert ist, dass sie ein Signal erzeugt, das mindestens einen Magnetfeldwinkel und ein Lenkmoment bezeichnet; ein nicht-leitendes Material, das den Halbleiterchip einkapselt und eine Packung bildet, die einen Umriss hat; und elektrische Anschlüsse, die mit dem Chip verbunden sind, durch das nicht-leitende Material, das den Halbleiterchip einkapselt, hindurchgehen und konfiguriert sind, um mit einer Leiterbahnplatte verbunden zu werden, wobei der Halbleiterchip nahe dem Umriss der Packung angeordnet ist, um das magneto-resistive Sensorelement nahe dem Umriss der Packung zu positionieren.
- Die elektronische Einrichtung nach Anspruch 1, bei der das magneto-resistive Sensorelement mindestens einen anisotropen Magnetowiderstandswinkelsensor beinhaltet.
- Die elektronische Einrichtung nach Anspruch 1, bei der das magneto-resistive Sensorelement mindestens einen Riesen-Magnetwiderstandswinkelsensor und einen Tunnelmagnetwiderstands-Winkelsensor beinhaltet.
- Die elektronische Einrichtung nach Anspruch 1, bei der der Umriss des magneto-resistiven Sensorelementes im wesentlichen koplanar zu dem Umriss des Halbleiterchips angeordnet ist.
- Die elektronische Einrichtung nach Anspruch 4, bei der ein Zentrum des magneto-resistiven Sensorelementes ungefähr 1,75 Millimeter oder weniger vom Umriss der Packung entfernt angeordnet ist.
- Die elektronische Einrichtung nach Anspruch 1, bei der ein Umriss des magneto-resistiven Sensorelementes im wesentlichen koplanar zu einem Umriss eines aktiven Bereiches des Halbleiterchips angeordnet ist.
- Die elektronische Einrichtung nach Anspruch 6, bei der ein Zentrum des magneto-resistiven Sensorelementes ungefähr 1,75 Millimeter oder weniger gegenüber dem Umriss der Packung angeordnet ist.
- Die elektronische Einrichtung nach Anspruch 1, bei der ein Umriss des magneto-resistiven Sensorelementes von ungefähr 0,5 Millimeter bis ungefähr 0,1 Millimeter entfernt von dem Umriss des Halbleiterchips angeordnet ist.
- Die elektronische Einrichtung nach Anspruch 8, bei der ein Zentrum des magneto-resistiven Sensorelementes ungefähr 1,75 Millimeter oder weniger gegenüber dem Umriss der Packung angeordnet ist.
- Die elektronische Einrichtung nach Anspruch 1, bei der ein Zentrum des magneto-resistiven Sensorelementes ungefähr 1,75 Millimeter oder weniger gegenüber dem Umriss der Packung angeordnet ist.
- Die elektronische Einrichtung nach Anspruch 10, bei der das magneto-resistive Sensorelement nahe einem Teil des Umrisses des Halbleiterchips angeordnet ist, der nächst gelegen zu einem Magnet positioniert ist, der extern zur elektronischen Einrichtung angeordnet ist.
- Die elektronische Einrichtung nach Anspruch 11, bei der das magneto-resistive Sensorelement nahe einem Teil des Umrisses der Packung nächst gelegen zu einem Magnet angeordnet ist, der extern zur elektronischen Einrichtung angeordnet ist.
- Die elektronische Einrichtung nach Anspruch 1, bei der die elektrischen Verbindungen so konfiguriert sind, dass sie auf der Leiterbahnplatte oberflächenmontiert werden können.
- Die elektronische Einrichtung nach Anspruch 1, die zusätzlich ein zweites magneto-resistives Sensorelement aufweist, das auf einem zweiten Halbleiterchip ausgebildet ist und nahe einem Umriss des zweiten Halbleiterchips angeordnet ist.
- Die elektronische Einrichtung nach Anspruch 14, die zusätzlich einen zweiten Prozessorschaltkreis aufweist, der in dem zweiten Halbleiterchip ausgebildet ist und elektrisch mit dem zweiten magneto-resistiven Sensorelement verbunden ist, wobei der zweite Prozessorschaltkreis so konfiguriert ist, dass er ein Signal erzeugt, das mindestens einen magnetischen Feldwinkel und ein Lenkmoment anzeigt.
- Die elektronische Einrichtung nach Anspruch 14, bei der ein Umriss des zweiten magneto-resistiven Sensorelementes im wesentlichen koplanar zu dem Umriss des zweiten Halbleiterchips angeordnet ist.
- Die elektronische Einrichtung nach Anspruch 16, bei der ein Zentrum des zweiten magneto-resistiven Sensorelementes ungefähr 1,75 Millimeter oder weniger gegenüber dem Umriss der Packung versetzt angeordnet ist.
- Die elektronische Einrichtung nach Anspruch 14, bei der ein Umriss des zweiten magneto-resistiven Sensorelementes im wesentlichen koplanar mit einem Umriss eines aktiven Bereiches des zweiten Halbleiterchips angeordnet ist.
- Die elektronische Einrichtung nach Anspruch 18, bei der ein Zentrum des zweiten magneto-resistiven Sensorelementes ungefährt 1,75 Millimeter oder weniger von dem Umriss der Packung angeordnet ist.
- Die elektronische Einrichtung nach Anspruch 14, bei der ein Umriss des zweiten magneto-resistiven Sensorelementes ungefähr 0,5 Millimeter bis ungefähr 0,1 Millimeter von dem Umriss des zweiten Halbleiterchips angeordnet ist.
- Die elektronische Einrichtung nach Anspruch 20, bei der ein Zentrum des zweiten magneto-resistiven Sensorelementes ungefähr 1,75 Millimeter oder weniger von dem Umriss der Packung angeordnet ist.
- Die elektronische Einrichtung nach Anspruch 14, bei der ein Zentrum des zweiten magneto-resistiven Sensorelementes ungefähr 1,75 Millimeter oder weniger von dem Umriss der Packung angeordnet ist.
- Die elektronische Einrichtung nach Anspruch 22, bei der das zweite magneto-resistive Sensorelement nahe einem Abschnitt des Umrisses des zweiten Halbleiterchips angeordnet ist, der nächst gelegen zu einem Mangneten positioniert ist, der extern zu der elektronischen Einrichtung angeordnet ist.
- Die elektronische Einrichtung nach Anspruch 23, bei der das zweite magneto-resistive Sensorelement nahe eines Teiles des Umrisses der Packung angeordnet ist, die nächst möglich zu einem Magneten positioniert ist, der extern zur elektronischen Einrichtung angeorndet ist.
- Die elektronische Einrichtung nach Anspruch 14, bei der der zweite Halbleiterchip benachbart zu dem ersten Halbleiterchip positioniert ist.
- Die elektronische Einrichtung nach Anspruch 14, bei der der zweite Halbleiterchip auf dem ersten Halbleiterchip gestapelt ist.
- Sensoranordnung zur Messung eines Magnetfeldwinkels in einer Fahrzeug-Lenkanordnung, wobei die Sensoranordnung aufweist: eine erste elektronische Einrichtung gemäß Anspruch 1; und eine zweite elektronische Einrichtung gemäß Anspruch 1, wobei die zweite elektronische Einrichtung nahe der ersten elektronischen Einrichtung auf einer Leiterbahnplatte positioniert ist.
- Eine Sensoranordnung zum Messen des relativen Winkels zwischen einer ersten und einer zweiten Welle einer Fahrzeuglenkvorrichtung, wobei die Sensoranordnung aufweist: einen Magnet, der mit der ersten Welle gekoppelt ist; eine elektronische Einrichtung nach Anspruch 1, die mit der zweiten Welle gekoppelt ist, wobei das magneto-resistive Sensorelement nahe eines Teiles des Umrisses des Halbleiterchips angeordnet ist, die nächst möglich zu dem Magnet positioniert und nahe einem Teil des Umrisses der Packung, die nächst möglich zu dem Magnet positioniert ist, angeordnet ist.
- Die Sensoranordnung nach Anspruch 28, bei der das magnetoresistive Sensorelement mindestens einen anisotropen Magnetwiderstands-Winkelsensor, einen Riesenmagnetwiderstand-Winkelsensor und einen Tunnelmagnetwiderstands-Winkelsensor enthält.
- Die Sensoranordnung nach Anspruch 29, wobei ein Umriss des magneto-resistiven Sensorelementes im wesentlichen koplanar zu dem Umriss des Halbleiterchips angeordnet ist.
- Die Sensoranordnung nach Anspruch 30, bei der ein Zentrum des magneto-resistiven Sensorelementes ungefähr 1,75 Millimeter oder weniger zu dem Umriss der Packung angeordnet ist.
- Die Sensoranordnung nach Anspruch 29, bei der ein Umriss des magneto-resistiven Sensorelementes von ungefähr 0,5 Millimeter bis ungefähr 0,1 Millimeter zu dem Umriss des Halbleiterchips angeordnet ist.
- Die Sensoranordnung nach Anspruch 32, bei der ein Zentrum des magneto-resistiven Sensorelementes ungefähr 1,75 Millimeter oder weniger zu dem Umriss der Packung angeordnet ist.
- Die Sensoranordnung nach Anspruch 29, bei der ein Umriss des magneto-resistiven Sensorelementes im wesentlichen koplanar zu einem Umriss eines aktiven Bereiches des Halbleiterchips angeordnet ist.
- Die Sensoranordnung nach Anspruch 34, bei der ein Zentrum des magneto-resistiven Sensorelementes ungefähr 1,75 Millimeter oder weniger zu dem Umriss der Packung angeordnet ist.
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