DE112007001927A5 - Vorrichtung und ein Verfahren zum sondermikroskopischen Untersuchen einer Probe - Google Patents
Vorrichtung und ein Verfahren zum sondermikroskopischen Untersuchen einer Probe Download PDFInfo
- Publication number
- DE112007001927A5 DE112007001927A5 DE112007001927T DE112007001927T DE112007001927A5 DE 112007001927 A5 DE112007001927 A5 DE 112007001927A5 DE 112007001927 T DE112007001927 T DE 112007001927T DE 112007001927 T DE112007001927 T DE 112007001927T DE 112007001927 A5 DE112007001927 A5 DE 112007001927A5
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- sample
- microscopic examination
- special microscopic
- special
- examination
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/06—Means for illuminating specimens
- G02B21/08—Condensers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y35/00—Methods or apparatus for measurement or analysis of nanostructures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q30/00—Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices
- G01Q30/02—Non-SPM analysing devices, e.g. SEM [Scanning Electron Microscope], spectrometer or optical microscope
- G01Q30/025—Optical microscopes coupled with SPM
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102006039149.7 | 2006-08-18 | ||
DE102006039149 | 2006-08-18 | ||
PCT/DE2007/001468 WO2008019679A1 (de) | 2006-08-18 | 2007-08-20 | Vorrichtung und ein verfahren zum sondenmikroskopischen untersuchen einer probe |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE112007001927A5 true DE112007001927A5 (de) | 2009-05-20 |
DE112007001927B4 DE112007001927B4 (de) | 2016-07-07 |
Family
ID=38657069
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE112007001927.1T Expired - Fee Related DE112007001927B4 (de) | 2006-08-18 | 2007-08-20 | Vorrichtung und Verfahren zum sondermikroskopischen Untersuchen einer Probe |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9063335B2 (de) |
DE (1) | DE112007001927B4 (de) |
WO (1) | WO2008019679A1 (de) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11506877B2 (en) | 2016-11-10 | 2022-11-22 | The Trustees Of Columbia University In The City Of New York | Imaging instrument having objective axis and light sheet or light beam projector axis intersecting at less than 90 degrees |
WO2023042444A1 (ja) * | 2021-09-14 | 2023-03-23 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4914293A (en) | 1988-03-04 | 1990-04-03 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Microscope apparatus |
US5260824A (en) | 1989-04-24 | 1993-11-09 | Olympus Optical Co., Ltd. | Atomic force microscope |
EP0509856B1 (de) | 1991-03-15 | 1998-08-12 | Nikon Corporation | Mikroskop bestehend aus Rastertunnelmikroskop kombiniert mit optischem Mikroskop |
JPH0540034A (ja) | 1991-08-08 | 1993-02-19 | Nikon Corp | 複合型顕微鏡 |
US5952562A (en) | 1995-11-22 | 1999-09-14 | Olympus Optical Co., Ltd. | Scanning probe microscope incorporating an optical microscope |
JPH09203864A (ja) | 1996-01-25 | 1997-08-05 | Nikon Corp | Nfm一体型顕微鏡 |
US5825020A (en) | 1996-09-06 | 1998-10-20 | The Regents Of The University Of California | Atomic force microscope for generating a small incident beam spot |
JP3793430B2 (ja) * | 2001-07-18 | 2006-07-05 | 株式会社日立製作所 | 近接場光を用いた光学装置 |
US7586583B2 (en) * | 2005-09-15 | 2009-09-08 | Franklin Mark Schellenberg | Nanolithography system |
-
2007
- 2007-08-20 DE DE112007001927.1T patent/DE112007001927B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2007-08-20 WO PCT/DE2007/001468 patent/WO2008019679A1/de active Application Filing
- 2007-08-20 US US12/377,709 patent/US9063335B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20100229262A1 (en) | 2010-09-09 |
DE112007001927B4 (de) | 2016-07-07 |
US9063335B2 (en) | 2015-06-23 |
WO2008019679A1 (de) | 2008-02-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE102005054924A8 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Extrahieren einer Abstrichprobe | |
DE602005019645D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Nachweis einer Substanz in einer biologischen Probe | |
GB2471048B (en) | Apparatus and method for analysis of a fluid sample | |
DE602006000922D1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Prüfung einer RAM | |
DE602007012636D1 (de) | Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung | |
DE602006009696D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur analyse der modellqualität in einer prozesssteuerungsumgebung | |
DE602005005550D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Ermüdungsprüfung | |
DE602005012670D1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Messung einer optischen Wellenform | |
DE602005012228D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Messung des Abstands einer Probe | |
DE602007012032D1 (de) | Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung | |
DE112006003790A5 (de) | Verfahren zum Betreiben eines Messsystems mit einem Rastersondenmikroskop und Messsystem | |
GB0503629D0 (en) | Method and apparatus for automated analysis of biological specimen | |
DE602006001507D1 (de) | Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung | |
ATE550638T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur prüfung eines probekörpers unter kombinierter umlaufbiege- und torsionsbeanspruchung | |
DE112009003438A5 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Fluidströmungsmessung | |
DE602007007722D1 (de) | System und Verfahren zur Analyse einer Probe | |
DE112005002526A5 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Schaffung einer evakuierten Tieftemperaturumgebung für eine Probe | |
DE602006014123D1 (de) | Vorrichtung und Verfahren um eine Schicht anzuhaften | |
ATE438847T1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur sicherstellung der rotation eines behälters während einer inspektion | |
DE102009038965A8 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand | |
ATE524743T1 (de) | Probenentnahmevorrichtung und verfahren für ein automatisiertes analysegerät | |
DE602007005540D1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur NMR-Messung an einem Zirkulationsfluss | |
DE602007001112D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Formmessung | |
DE602007008997D1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Testen eines Brennstoffflusses | |
DE102006061784A8 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Betrieb eines Magnet-Resonanz-Untersuchungsgerätes |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8125 | Change of the main classification |
Ipc: G02B 21/00 AFI20070820BHDE |
|
R016 | Response to examination communication | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R020 | Patent grant now final | ||
R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: BRUKER NANO GMBH, DE Free format text: FORMER OWNER: JPK INSTRUMENTS AG, 12435 BERLIN, DE |
|
R082 | Change of representative |
Representative=s name: BOEHMERT & BOEHMERT ANWALTSPARTNERSCHAFT MBB -, DE |
|
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |