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TECHNISCHES
GEBIET
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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein mikrochemisches System und insbesondere
ein mikrochemisches System, das den Fluß einer Probenlösung in einem
Hauptkanal steuert.
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ALLGEMEINER
STAND DER TECHNIK
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Um
die Schnelligkeit von chemischen Reaktionen zu erhöhen oder
Reaktionen mit sehr kleinen Mengen an Chemikalien, Vor-Ort-Analyse
oder dergleichen durchzuführen,
hat die Integrationstechnologie zum Durchführen von chemischen Reaktionen in
sehr kleinen Räumen
bisher Aufmerksamkeit auf sich gezogen, und die Forschung ist in
der gesamten Welt mit Schwung durchgeführt worden.
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Sogenannte
mikrochemische Systeme zum Durchführen von Mischen, Reaktion,
Trennung, Extraktion, Detektion oder dergleichen an einer Probenlösung in
einem sehr dünnen
Kanal sind ein Beispiel für
solch eine Integrationstechnologie für chemische Reaktionen. Beispiele
für Reaktionen,
die in solch einem mikrochemischen System durchgeführt werden, sind
Diazotierungsreaktionen, Nitrierungsreaktionen und Antigen-Antikörper-Reaktionen.
Beispiele für
Extraktion/Trennung sind die Lösemittelextraktion,
elektrophoretische Trennung und Säulentrennung. Ein mikrochemisches
Systems kann benutzt werden, um nur eine Funktion bereitzustellen,
beispielsweise nur zur Trennung, oder es kann benutzt werden, um
eine Kombination von Funktionen bereitzustellen.
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Als
ein Beispiel für
ein mikrochemisches System – von
den obigen Funktionen – nur
zur Trennung ist eine Elektrophore sevorrichtung zum Analysieren
extrem kleiner Mengen von Proteinen, Nukleinsäuren oder dergleichen vorgeschlagen
worden (siehe z.B. die japanische Patent-Auslegeschrift (Kokai)
Nr. H8-178 897). Diese Elektrophoresevorrichtung weist einen mikrochemischen
Systemchip (im folgenden lediglich als ein „Mikrochip" bezeichnet) auf, der zwei Glassubstrate
umfaßt,
die miteinander verbunden sind. Da dieser Chip plattenförmig ist,
ist es weniger wahrscheinlich, daß ein Bruch erfolgt, als in
dem Fall eines Glaskapillarröhrchens
mit einem runden oder rechteckigen Querschnitt, und folglich ist die
Handhabung einfacher.
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Außerdem sind
als sogenannte Mikroventile zum Steuern des Flusses einer Probenlösung in
einem Kanal in solch einem Mikrochip solche offenbart worden, die
Strukturen wie die folgenden aufweisen.
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Beispielsweise
ist in einem ersten Stand der Technik ein Mikroschrittmotor mit
einer Mikronadel, die an einer Spitze davon befestigt ist, als ein
Mikroventil offenbart (siehe z.B. Keisuke Morishima et al., „Development
of Micro Needle-Head Slide Valve Unit for Microfluidic Devices", 7th International
Conference on Miniaturized Chemical and Biochemical Analysis Systems
(μ-TAS 2003)).
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Dieses
Mikroventil ist derart gestaltet, daß der Mikroschrittmotor 80 so
angetrieben wird, daß er die
Mikronadel 81 hebt/senkt (9A). Ein
Kanal 83 in einem Mikrochip 82 wird durch Bewegen
der Mikronadel 81 nach unten geschlossen (9B)
und durch Bewegen der Mikronadel 81 nach oben geöffnet (9C).
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Außerdem ist
beispielsweise in einem zweiten Stand der Technik ein mikrooptisches
Schaltventil, das die Fließrichtung
einer Probenlösung
in Kanälen
in einem Mikrochip lediglich durch Ein-/Ausschalten der Bestrahlung
mit Licht steuert, als ein Mikroventil offenbart (siehe z.B. Hidenori Nagai
et al., „Development
of a Micro Optical Switching Valve", Summary of Presentations at the 8th Meeting on Chemistry and Micro-Nano Systems,
P40, Presentation P2-03).
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Dieses
Mikroventil umfaßt
Kanäle
und einen He-Cd-Laser, wobei die Kanäle aus PDMS hergestellt sind,
weist eine T-förmige Rinne
auf und wird gebildet, indem es mit einem Quarzsubstrat, das mit Titanoxid
beschichtet ist, verbunden wird.
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Wie
in 10 dargestellt, wird von dem He-Cd-Laser (nicht
dargestellt) UV-Licht von der Seite einer Titanoxidwand 91 aus
nur auf einen Kanal 92 von den gebildeten Kanälen gestrahlt,
in den wünschenswerterweise
eine Probenlösung
fließen
soll, die von einem Kanal 90 aus eingespeist wird, wodurch
die Wand des Kanals 92 superhydrophil gemacht wird, derart,
daß die
Probenlösung,
die unter Benutzung einer Spritzenpumpe oder dergleichen eingespeist
wird, nur in den Kanal 92 fließt, der superhydrophil gemacht
wurde, d.h. Steuerung wird durchgeführt, derart, daß die Probenlösung nicht
in einen Kanal 93 fließt,
der nicht mit UV-Licht bestrahlt wurde.
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Ferner
ist in einem dritten Stand der Technik ein Verfahren zum Steuern
der Fließgeschwindigkeit eines
Fluids offenbart, das durch einen Kanal in einem Mikrochip fließt, in dem
eine Wand, die unter Benutzung des gleichen Verfahrens wie in dem
zweiten Stand der Technik superhydrophil gemacht wird, über einen
sehr kleinen Bereich gebildet ist (siehe z.B. die japanische Patent-Auslegeschrift (Kokai)
Nr. 2002-214 243).
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Bei
diesem Verfahren wird das Kennzeichen einer Flüssigkristalltafel, daß die Durchlässigkeit
für UV-Licht
gering ist, wenn Schwarz angezeigt wird, und daß sie im entgegengesetzten
Fall groß ist,
wenn Weiß angezeigt
wird, benutzt. Spezifisch wird eine Flüssigkristalltafel 101 auf
einen Kanal 102 in einem Mikrochip 100 aufgebracht,
und die Anzeige der Flüssigkristalltafel 101 wird
in einem Abschnitt 103 davon, der einem Abschnitt des Kanals 102 entspricht,
auf Weiß gestellt,
wo die Hydrophilie zu vergrößern gewünscht wird,
und die Anzeige in dem restlichen Abschnitt 104 der Flüssigkristalltafel 101 wird
auf Schwarz gestellt. In diesem Zustand strahlt eine UV-Bestrahlungsvorrichtung 105 durch
die Flüssigkristalltafel 101 auf
den Kanal 102, so daß von
dem Kanal 102 nur der Abschnitt, der mit UV-Licht bestrahlt
wird, das durch den Abschnitt 103 der Flüssigkristalltafel 101 hindurchgelassen
wird, hydrophil gemacht wird, wodurch der Fluß einer Probe 106 durch den
Kanal 102 gesteuert wird (siehe 11).
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Wenn
bei dem Mikroventil des ersten Standes der Technik die Position
der Mikronadel unter Benutzung des Mikroschrittmotors gesteuert
wird, besteht jedoch das Risiko, daß der sehr dünne Kanal
in dem Mikrochip beschädigt
wird. Ferner ist die Struktur kompliziert und folglich eine weitere
Verringerung der Größe schwierig,
und außerdem
wird ein Mikrokanal insbesondere zum Anwenden/Verringern von Druck,
der zum Betreiben des Ventils erforderlich ist, peripher benötigt, und
folglich besteht ein Problem, daß diese Technik nicht zum Erzielen
hoher Integration geeignet ist.
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Indes
besteht bei dem Mikroventil des zweiten Standes der Technik ein
Problem, daß in
dem Fall, in dem die Probenlösung
bereits durch einen Kanal in dem Mikrochip fließt, der Fluß der Probenlösung nicht
angehalten werden kann.
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Außerdem ist
bei dem Mikroventil des dritten Standes der Technik eine weitere
Verringerung der Größe schwierig,
weil eine Flüssigkristalltafel
benutzt und außerdem
zum Betreiben der Flüssigkristalltafel eine
elektrische Schaltung peripher benötigt wird, und folglich besteht
ein Problem, daß diese
Technik zum Erzielen hoher Integration nicht geeignet ist. Ferner
besteht auch ein Problem, daß eine Probenlösung, die
durch den Kanal in dem Mikrochip fließt, nicht angehalten werden
kann.
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Es
ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein mikrochemisches
System bereitzustellen, das fähig
ist, den Fluß einer
Probenlösung
zu steuern, die durch einen Kanal in einem Mikrochip fließt.
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OFFENBARUNG
DER ERFINDUNG
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Um
die obige Aufgabe zu lösen,
ist gemäß einem
ersten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung ein mikrochemisches
System bereitgestellt, das einen Mikrochip mit einem Kanal darin
umfaßt,
wobei das mikrochemische System dadurch gekennzeichnet ist, daß der Kanal
einen Hauptkanal, durch den eine Flüssigkeit mit großer Hydrophilie
geführt
wird, einen Nebenkanal, in den ein Fluid gefüllt wird, und einen Verbindungsabschnitt
umfaßt,
in dem der Nebenkanal mit dem Hauptkanal verbunden ist, wobei eine
Wand des Hauptkanals eine größere Hydrophilie
aufweist als jeweils eine Wand des Nebenkanals und eine Wand des
Verbindungsabschnittes und das mikrochemische System Bewegungsmittel
zum Bewegen des Fluids zwischen dem Nebenkanal und dem Verbindungsabschnitt
aufweist.
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Unter
dem ersten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung steuert vorzugsweise
das Bewegungsmittel die Bewegung des Fluids durch Ausdehnen und
Zusammenziehen des Fluids.
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Alternativ
steuert vorzugsweise das Bewegungsmittel die Bewegung des Fluids
durch Pumpen des Fluids.
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Ferner
werden vorzugsweise jeweils die Wand des Nebenkanals und die Wand
des Verbindungsabschnittes einer Behandlung zur hydrophoben Modifizierung
unterworfen.
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Um
die obige Aufgabe zu lösen,
ist gemäß einem
zweiten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung ein mikrochemisches
System bereitgestellt, das einen Mikrochip mit einem Kanal darin
umfaßt,
wobei das mikrochemische System dadurch gekennzeichnet ist, daß der Kanal
einen Hauptkanal, durch den ein Fluid geführt wird, einen Nebenkanal,
in den eine Flüssigkeit
mit großer
Hydrophilie gefüllt
wird, und einen Verbindungsabschnitt umfaßt, in dem der Nebenkanal mit
dem Hauptkanal verbunden ist, wobei eine Wand des Nebenkanals und
eine Wand des Verbindungsabschnittes jeweils eine größere Hydrophilie
als eine Wand des Hauptkanals aufweisen und das mikrochemische System
Bewegungsmittel zum Bewegen der Flüssigkeit zwischen dem Nebenkanal und
dem Verbindungsabschnitt aufweist.
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Unter
dem zweiten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung bewegt vorzugsweise
das Bewegungsmittel die Flüssigkeit
durch Pumpen der Flüssigkeit.
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Ferner
werden vorzugsweise jeweils die Wand des Nebenkanals und die Wand
des Verbindungsabschnittes einer Behandlung zur hydrophilen Modifizierung
unterworfen.
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In
dem Fall des mikrochemischen Systems gemäß dem ersten Gesichtspunkt
weist vorzugsweise die Flüssigkeit
keine Kompatibilität
mit dem Fluid auf.
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Ferner
ist vorzugsweise eine Querschnittfläche des Nebenkanals kleiner
als eine Querschnittfläche
des Hauptkanals.
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Außerdem weist
das mikrochemische System vorzugsweise in dem Nebenkanal einen Vorratsbehälterabschnitt
auf, der eine größere Querschnittfläche als
die Querschnittfläche
des Nebenkanals aufweist.
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KURZBESCHREIBUNG
DER ZEICHNUNGEN
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1 ist
eine perspektivische Ansicht, welche die Struktur eines mikrochemischen
Systems gemäß einer
ersten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung darstellt;
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2A bis 2D sind
Ansichten, die zum Erläutern
eines Herstellungsverfahrens für
einen Mikrochip nützlich
sind, der in 1 dargestellt ist;
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3A bis 3C sind
Ansichten, die zum Erläutern
eines Mikroventilmechanismus in dem mikrochemischen System nützlich sind,
das in 1 dargestellt ist;
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4A und 4B sind
Ansichten, die zum Erläutern
des Mikroventilmechanismus in dem mikrochemischen System nützlich sind,
das in 1, nachfolgend in 3A bis 3C,
dargestellt ist;
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5 ist
eine Schnittansicht, welche die Struktur einer Variante der ersten
Ausführungsform darstellt;
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6A bis 6C sind
Ansichten, die zum Erläutern
eines Mikroventilmechanismus in einem mikrochemischen System gemäß einer
zweiten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung nützlich sind;
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7A und 7B sind
Schnittansichten, welche die Struktur von Varianten eines Nebenkanals,
der in 1 dargestellt ist, schematisch darstellen;
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8 ist
eine Schnittansicht, welche die Struktur einer anderen Variante
des Nebenkanals, der in 1 dargestellt ist, schematisch
darstellt;
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9A bis 9C sind
Ansichten, die zum Erläutern
eines Mikroventilmechanismus gemäß dem ersten
Stand der Technik nützlich
sind, wobei 9A eine Längsschnittansicht längs eines
Kanals ist und 9B und 9C Querschnittansichten über den
Kanal sind;
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10 ist
eine Ansicht, die zum Erläutern
eines Mikroventilmechanismus gemäß dem zweiten Stand
der Technik nützlich
ist; und
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11 ist
eine Ansicht, die zum Erläutern
eines Verfahrens zum Steuern der Fließgeschwindigkeit eines Fluids,
das durch einen Kanal in einem Mikrochip gemäß dem dritten Stand der Technik
fließt, nützlich ist.
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BESTE WEISE
ZUM DURCHFÜHREN
DER ERFINDUNG
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Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung werden nun unter Bezugnahme auf die Zeichnungen
beschrieben.
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1 ist
eine perspektivische Ansicht, welche die Struktur eines mikrochemischen
Systems gemäß einer
ersten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung darstellt.
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Wie
in 1 dargestellt, umfaßt das mikrochemische System 1 einen
Mikrochip 7 mit einem T-förmigen Kanal darin, der einen
Hauptkanal 2 mit einer Breite von 100 μm und einer Tiefe von 50 μm, einen
Nebenkanal 3 mit einer Breite von 50 μm und einer Tiefe von 25 μm und einen
Verbindungsabschnitt 4, der Teil des Hauptkanals 2 ist
und einen Abschnitt bildet, in dem der Hauptkanal 2 und
der Nebenkanal 3 verbunden sind, und Flächenheizvorrichtungen 8 und 9 umfaßt, die
in solch einer Position installiert sind, daß sie in der Lage sind, das
Innere des Nebenkanals 3 zu erwärmen. Außerdem ist der Mikrochip 7 mit
Durchgangslöchern 21a, 21b und 21c, die
in 2B und 2D dargestellt sind,
die unten beschrieben sind, zum Einspeisen/Auslassen einer Probenlösung oder
dergleichen an Enden des Hauptkanals 2 und des Nebenkanals 3 verbunden;
jedoch sind diese Durchgangslöcher 21a, 21b und 21c in 1 ausgespart.
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Der
Mikrochip 7 ist aus Glas hergestellt. Jedes beliebige Glas,
wie z.B. ein Kalknatronglas, ein Aluminiumborosilikatglas, ein Aluminiumsilikatglas, ein
alkalifreies Glas oder ein Quarzglas, kann benutzt werden, jedoch
wird vorzugsweise ein Quarzglas benutzt, welches die höchste Hydrophilie
aufweist.
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2A bis 2D sind
Ansichten, die zum Erläutern
eines Herstellungsverfahrens für
den Mikrochip nützlich
sind, der in 1 dargestellt ist.
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Zuerst
wird eine Rinne 20, die zu Kanälen wird, die den Hauptkanal 2 und
den Nebenkanal 3 bilden, entweder auf einmal oder andernfalls
in einzelnen Sektionen in einer Wand eines plattenförmigen Substrates 6 unter
Benutzung eines Fluor-Ätzverfahrens
gebildet (2A), und die Durchgangslöcher 21a, 21b und 21c zum
Einspeisen/Auslassen einer Probenlösung oder dergleichen in/aus
den Kanälen in
dem Mikrochip 7 werden durch locherzeugendes Bearbeiten
unter Benutzung eines Bohrers in einem plattenförmigen Substrat 5 gebildet
(2B).
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Ein
Maskierungsmittel wird auf die Abschnitte 22 einer Wand
der Rinne 20, die in dem plattenförmigen Substrat 6 gebildet
ist und zu dem Hauptkanal 2 wird, der in 1 dargestellt
ist, aufgetragen, und dann wird ein organisches Siloxan, wie z.B.
Polydimethylsiloxan (PDMS), auf der gesamten Wand der Rinne 20 aufgetragen,
und es wird erwärmt,
um die Polymerisierung zu bewirken, und dann wird das aufgetragene
Maskierungsmittel entfernt. Demzufolge wird an einem Abschnitt 23 der
Wand der Rinne 20, welcher zu dem Nebenkanal 3 und
dem Verbindungsabschnitt 4 wird, die in 1 (2C)
dargestellt sind, eine Behandlung zur hydrophoben Modifizierung
durchgeführt.
Alternativ kann für
die Behandlung zur hydrophoben Modifizierung eine fluorierte Organosilanverbindung,
wie z.B. ein Perfluoralkylsilan, benutzt werden. Während der
Kontaktwinkel von Wasser in den Abschnitten 22 nicht mehr
als 20° beträgt, wird
als ein Ergebnis der Behandlung der Kontaktwinkel von Wasser in
den Abschnitten 23 nicht weniger als 70° betragen, was anzeigt, daß die Hydrophilie
des letztgenannten Abschnittes verringert ist, d.h. seine Hydrophobie
ist erhöht.
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Abschließend wird
das plattenförmige
Substrat 5, das die darin gebildeten Durchgangslöcher 21a, 21b und 21c aufweist,
aufgeklebt, um so die Rinne 20 in dem plattenförmigen Substrat 6 abzudecken
und somit den Mikrochip 7 (2D) herzustellen.
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3A bis 3C und 4A und 4B sind
Ansichten, die zum Erläutern
eines Mikroventilmechanismus in dem mikrochemischen System nützlich sind,
das in 1 dargestellt ist.
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In
einem Zustand, in dem Wasser durch das Durchgangsloch 21a in
den Hauptkanal 2 eingespeist wird und das eingespeiste
Wasser durch das Durchgangsloch 21b aus dem Hauptkanal 2 (3A)
ausgelassen wird, wird Luft aus dem Durchgangsloch 21c eingespeist,
um den Nebenkanal 3 (3B) zu
füllen.
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Dann
wird der Nebenkanal 3 unter Benutzung der Flächenheizvorrichtungen 8 und 9 erwärmt, somit
das Volumen der Luft in dem Nebenkanal 3 ausgedehnt, derart,
daß Luft
bis zu dem Verbindungsabschnitt 4 eingeführt wird
(3C). Demzufolge entsteht in dem Hauptkanal 2 eine
Gas-Flüssigkeit-Grenzfläche, und
es entsteht ein Druck Pgm, der bewirkt, daß das Wasser in dem Hauptkanal 2 an
einer Grenze zwischen dem Abschnitt 23, welcher der Behandlung
zur hydrophoben Modifizierung unterworfen wurde, und dem Abschnitt 22 mit
großer
Hydrophilie bleibt, der in 2C dargestellt
ist. Dieser Druck wirkt als ein Mikroventil, indem er den Fluß des Wassers
anhält,
das durch den Hauptkanal 2 geflossen ist.
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Dieses
Phänomen
entsteht aufgrund der sogenannten Grenzflächenspannung, wodurch eine
hydrophile Flüssigkeit,
wie z.B. Wasser, mit einer großen
Benetzungsfähigkeit
den Kontakt mit der Grenzfläche
im Abschnitt 22 mit großer Hydrophilie vergrößert und
andererseits den Kontakt mit der Grenzfläche im Abschnitt 23 mit
großer
Hydrophobie verringert.
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Beachte
jedoch, daß in
dem Fall, in dem der Druck Pl des Wassers, das durch den Hauptkanal 2 fließt, größer als
der obige Druck Pgm ist, der Fluß des Wassers, das durch den
Hauptkanal 2 fließt, nicht
angehalten werden kann. Wenn das Wasser durch das Durchgangsloch 21a in
den Hauptkanal 2 eingespeist wird, muß der Druck daher so gesteuert werden,
daß er
einen vorbestimmten Wert nicht übersteigt.
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Nachdem
das Erwärmen
durch die Flächenheizvorrichtungen 8 und 9,
die in 1 dargestellt sind, beendet ist, wird danach die
thermisch ausgedehnte Luft abgekühlt,
so daß sich
deren Volumen zusammenzieht und ein Druck Pgg entsteht, der die Luft
in den Nebenkanal 3 zurückführt (4A). Wenn
der Druck Pgg größer wird
als der Druck Pgm, der bewirkt, daß das Wasser an der Gas-Flüssigkeit-Grenzfläche bleibt,
kehrt die Luft in den Nebenkanal 3 zurück, und folglich beginnt das
Wasser in dem Hauptkanal 2 wieder zu fließen (4B).
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In
der vorliegenden Ausführungsform
ist die Querschnittfläche
des Nebenkanals 3 vorzugsweise kleiner als die Querschnittfläche des
Hauptkanals 2. Der Grund dafür ist, daß es dann einfach wird, den Wert
des Druckes Pgg zu steuern.
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Außerdem ist
in der vorliegenden Ausführungsform
das Fluid, das in den Hauptkanal 2 eingespeist wird, Wasser,
ist jedoch nicht darauf beschränkt,
sofern die Flüssigkeit
große
Hydrophilie aufweist, wie z.B. Alkohole.
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Indes
ist in der vorliegenden Ausführungsform
das Fluid, das in den Nebenkanal 3 eingespeist wird, Luft,
ist jedoch nicht darauf beschränkt,
sofern dieses Fluid keine Kompatibilität mit dem Fluid aufweist, das
durch den Hauptkanal 2 fließt, sondern ein anderes Gas
oder eine Flüssigkeit
kann stattdessen benutzt werden. Wenn das Fluid, das in den Nebenkanal 3 eingespeist
wird, in den Verbindungsabschnitt 4 bewegt wurde, kann
demzufolge verhindert werden, daß sich das Fluid in dem Hauptkanal 2 in dem
Verbindungsabschnitt 4 löst.
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In
dem Fall, in dem eine Flüssigkeit
in den Nebenkanal 3 eingespeist wird, sind Beispiele für solch
eine Flüssigkeit
hydrophobe organische Lösemittel,
insbesondere Benzol, Toluol und Kerosin. In diesem Fall ist, anders
als bei Luft, die Volumenänderung
der Flüssigkeit
beim Erwärmen
nicht groß,
und folglich wird anstatt der Flächenheizvorrichtungen 8 und 9 vorzugsweise
ein Blasebalg 40 an einem Ende des Nebenkanals 3 installiert
und, nachdem das organische Lösemittel
in den Verbindungsabschnitt 4 eingeführt wurde, das organische Lösemittel
durch Pumpen unter Benutzung des Blasebalges 40 in den Nebenkanal 3 zurückgeführt (siehe 5).
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Ein
mikrochemisches System gemäß einer zweiten
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung wird nun beschrieben.
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Ein
Mikrochip, der in dem mikrochemischen System gemäß der zweiten Ausführungsform
benutzt wird, unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform
darin, daß der
Mikrochip aus einem Acrylharz anstatt aus Glas hergestellt ist und
daß der
Nebenkanal und der Verbindungsabschnitt, der in einem Teil des Hauptkanals
vorgesehen ist (d.h. der Abschnitt 23 in 2C),
einer Behandlung zur hydrophilen Modifizierung anstatt einer Behandlung
zur hydrophoben Modifizierung unterworfen werden. Davon abgesehen
weist der Mikrochip grundsätzlich
die gleiche Struktur wie der Mikrochip auf, der in dem mikrochemischen
System gemäß der ersten
Ausführungsform (1 bis 5)
benutzt wird.
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In
der vorliegenden Ausführungsform
wird die Behandlung zur hydrophilen Modifizierung, die an dem Abschnitt 23 durchgeführt wird,
durchgeführt,
indem zuerst der Abschnitt 23 mittels Maskenabscheidung
unter Benutzung eines Kathodenzerstäubungsverfahrens oder dergleichen
mit einem Titanoxid-Dünnfilm
beschichtet und dann mit UV-Licht bestrahlt wird.
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Außerdem beträgt der Kontaktwinkel
von Wasser auf dem Acrylharz im Allgemeinen etwa 50°, und folglich
kann zur Erhöhung
der Hydrophobie in den Abschnitten 22 des Mikrochips 7 die
Behandlung zur hydrophoben Modifizierung wie bei der ersten Ausführungsform
(2C) durchgeführt
werden.
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In
der vorliegenden Ausführungsform
ist der Mikrochip 7 aus einem Acrylharz hergestellt, ist
jedoch nicht darauf beschränkt,
sofern das Material hydrophob ist. Beispielsweise kann stattdessen
ein beliebiges von Polyethylen, Polypropylen, einem Polycarbonat
oder dergleichen benutzt werden.
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6A bis 6C sind
Ansichten, die zum Erläutern
eines Mikroventilmechanismus in dem mikrochemischen System gemäß der vorliegenden
Erfindung nützlich
sind.
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In
einem Zustand, in dem Benzol durch das Durchgangsloch 21a in
den Hauptkanal 2 eingespeist wird und das Benzol durch
das Durchgangsloch 21b aus dem Hauptkanal 2 (6A)
ausgelassen wird, wird Wasser durch das Durchgangsloch 21c eingespeist,
um so den Nebenkanal 3 und den Verbindungsabschnitt 4 (6B)
zu füllen.
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Ein
Druck Pgm, der bewirkt, daß die
Wasser-Benzol-Grenzfläche
an der Grenze zwischen dem Abschnitt 23 und dem Abschnitt 22 bleibt,
entsteht wie in der ersten Ausführungsform
und wirkt als ein Mikroventil, das den Fluß des Benzols, das durch den
Hauptkanal 2 floß,
anhält.
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Danach,
wenn das Wasser in dem Verbindungsabschnitt 4 unter Benutzung
des Blasebalges 40 (6C) in
den Nebenkanal 3 entlassen wird, beginnt das Benzol in
dem Hauptkanal 2 wieder zu fließen.
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In
der vorliegenden Ausführungsform
ist die Flüssigkeit,
die in den Nebenkanal 3 eingespeist wird, Wasser, ist jedoch
nicht darauf beschränkt,
sofern die Flüssigkeit
große
Hydrophilie aufweist, wie z.B. Alkohole.
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Indes
ist in der vorliegenden Ausführungsform
das Fluid, das in den Hauptkanal 2 eingespeist wird, Benzol,
ist jedoch nicht darauf beschränkt,
sofern dieses Fluid keine Kompatibilität mit der Flüssigkeit
aufweist, die durch den Nebenkanal 3 fließt, sondern
ein anderes Fluid kann benutzt werden. Wenn die Flüssigkeit,
die in den Nebenkanal 3 eingespeist wird, in den Verbindungsabschnitt 4 bewegt
wurde, kann demzufolge verhindert werden, daß sich das Fluid in dem Hauptkanal 2 in
dem Verbindungsabschnitt 4 löst.
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In
dem Fall, in dem eine andere Flüssigkeit
in den Hauptkanal 2 eingespeist wird, sind Beispiele dafür hydrophobe
organische Lösemittel,
insbesondere Toluol und Kerosin. Wenn die Flüssigkeit, die in den Nebenkanal 3 eingespeist
wird, in den Verbindungsabschnitt 4 bewegt wurde, kann
demzufolge verhindert werden, daß sich das Fluid in dem Hauptkanal 2 in
dem Verbindungsabschnitt 4 löst.
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In
dem oben beschriebenen Mikrochip 7 ist der Nebenkanal 3 aus
einem einzelnen Kanal gebildet, jedoch kann der Nebenkanal 3 stattdessen
ein verzweigter Kanal mit Verbindungsöffnungen auf der Anströmseite und
der Abströmseite
in dem Verbindungsabschnitt 4 sein, wie in 7A dargestellt, oder
er kann einen Fluideinspeisekanal 71, durch den das Fluid
in den Verbindungsabschnitt 4 eingespeist wird, und einen
Fluidauslaßkanal 72 umfassen,
durch den das Fluid, das in den Verbindungsabschnitt 4 eingespeist
wird, aus dem Verbindungsabschnitt 4 ausgelassen wird,
wie in 7B dargestellt.
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Ferner
kann zwischen dem Nebenkanal 3 und dem Durchgangsloch 21c ein
Vorratsbehälterabschnitt
(nicht dargestellt) mit einer größeren Querschnittfläche als
die Querschnittfläche
des Nebenkanals 3 vorhanden sein. Demzufolge kann die Steuerung
der Bewegung des Fluids, das durch den Nebenkanal 3 fließt (Luft
in der ersten Ausführungsform, Wasser
in der zweiten Ausführungsform
usw.), zuverlässig
durchgeführt
werden.
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Wie
in 8 dargestellt, kann außerdem ein Abschnitt 32 des
Nebenkanals 3 auf der Seite des Verbindungsabschnitts 4 so
hergestellt werden, daß er
eine hydrophile Wand wie der Hauptkanal 2 aufweist, wobei
der restliche Abschnitt 31 des Nebenkanals 3 so
hergestellt wird, daß er
eine hydrophobe Wand aufweist. Wenn Gas (Luft usw.), das als ein Ventil
gewirkt hat, welches das Fluid in dem Hauptkanal 2 anhält, in den
Nebenkanal 3 zurückgeführt wird, um
so das Ventil in einen offenen Zustand zu versetzen, versucht demzufolge
die Gas-Flüssigkeit-Grenzfläche in dem
Nebenkanal 3 an der Grenzfläche zwischen dem Abschnitt 31 und
dem Abschnitt 32 zu bleiben, wodurch die Steuerung der
Bewegung des Fluids, das durch den Nebenkanal 3 fließt, zuverlässiger durchgeführt werden
kann.
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INDUSTRIELLE
ANWENDBARKEIT
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Gemäß einem
mikrochemischen System der vorliegenden Erfindung weist die Wand
eines Hauptkanals in einem Mikrochip, durch den eine Flüssigkeit mit
großer
Hydrophilie geführt
wird, eine größere Hydrophilie
auf als jeweils die Wand eines Nebenkanals und die Wand eines Verbindungsabschnittes
und wird ein Fluid zwischen dem Nebenkanal und dem Verbindungsabschnitt
bewegt. Demzufolge wirkt die Oberflächenspannung, die an der Grenzfläche zwischen
der Flüssigkeit
mit großer
Hydrophilie und dem Fluid entsteht, als ein Mikroventil, das den
Fluß der Flüssigkeit,
die durch den Hauptkanal floß,
anhält. Der
Fluß einer
Probenlösung,
die durch den Kanal in dem Mikrochip fließt, kann so gesteuert werden.
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Gemäß einem
mikrochemischen System der vorliegenden Erfindung wird die Bewegung
des Fluids durch Ausdehnen und Zusammenziehen des Fluids gesteuert.
Demzufolge kann der Fluß der
Probenlösung,
die durch den Kanal in dem Mikrochip fließt, zuverlässig gesteuert werden und außerdem eine hohe
Integration für
das mikrochemische System erreicht werden.
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Gemäß einem
mikrochemischen System der vorliegenden Erfindung wird die Bewegung
des Fluids durch Pumpen des Fluids gesteuert. Demzufolge kann der
Fluß der
Probenlösung,
die durch den Kanal in dem Mikrochip fließt, zuverlässig gesteuert werden.
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Gemäß einem
mikrochemischen System der vorliegenden Erfindung werden jeweils
die Wand eines Nebenkanals und die Wand des Verbindungsabschnittes
einer Behandlung zur hydrophoben Modifizierung unterworfen. Demzufolge
kann das mikrochemische System einfach und zuverlässig hergestellt
werden.
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Gemäß einem
mikrochemischen System der vorliegenden Erfindung weisen die Wand
eines Nebenkanals, in den eine Flüssigkeit mit großer Hydrophilie
gefüllt
wird, und die Wand eines Verbindungsabschnittes jeweils eine größere Hydrophilie
auf als die Wand eines Hauptkanals und wird die Flüssigkeit, die
in den Nebenkanal eingespeist wird, zwischen dem Nebenkanal und
dem Verbindungsabschnitt bewegt. Demzufolge wirkt die Oberflächenspannung, die
an der Grenzfläche
zwischen der Flüssigkeit
mit großer
Hydrophilie und dem Fluid entsteht, als ein Mikroventil, das den
Fluß eines
Fluids, das durch den Nebenkanal floß, anhält. Der Fluß einer Probenlösung, die
durch den Kanal in dem Mikrochip fließt, kann so gesteuert werden.
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Gemäß einem
mikrochemischen System der vorliegenden Erfindung wird die Flüssigkeit
mit großer
Hydrophilie in dem Nebenkanal durch Pumpen der Flüssigkeit
bewegt. Demzufolge kann der Fluß der
Probenlösung,
die durch den Kanal in dem Mikrochip fließt, zuverlässig gesteuert werden.
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Gemäß einem
mikrochemischen System der vorliegenden Erfindung werden jeweils
die Wand des Nebenkanals und die Wand des Verbindungsabschnittes
einer Behandlung zur hydrophilen Modifizierung unterworfen. Demzufolge
kann das mikrochemische System einfach und zuverlässig hergestellt
werden.
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Gemäß einem
mikrochemischen System der vorliegenden Erfindung weist die Flüssigkeit
mit großer
Hydrophilie keine Kompatibilität
mit dem Fluid auf. Demzufolge erfolgen kein Lösen und Mischen der Flüssigkeit
und des Fluids miteinander in dem Verbindungsabschnitt, und folglich
kann der Fluß in dem
Hauptkanal zuverlässig
angehalten werden.
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Gemäß einem
mikrochemischen System der vorliegenden Erfindung ist die Querschnittfläche des Nebenkanals
kleiner als die Querschnittfläche
des Hauptkanals. Demzufolge kann der Druck des Fluids oder dergleichen,
das in den Nebenkanal eingefüllt wird,
in einfacher Weise gesteuert werden.
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Gemäß einem
mikrochemischen System der vorliegenden Erfindung befindet sich
in dem Nebenkanal ein Vorratsbehälterabschnitt
mit einer Querschnittfläche,
die größer ist
als die Querschnittfläche
des Nebenkanals. Demzufolge kann die Bewegung des Fluids, das durch
den Nebenkanal fließt, beispielsweise
die Flüssigkeit
mit großer
Hydrophilie, zuverlässig
gesteuert werden.
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ZUSAMMENFASSUNG
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Ein
mikrochemisches System ist offenbart, das fähig ist, den Fluß einer
Probenlösung
zu steuern, die durch einen Kanal in einem Mikrochip fließt. In dem
mikrochemischen System 1 weist ein Mikrochip 7 einen
T-förmigen
Kanal 4 darin auf, der einen Hauptkanal 2, einen
Nebenkanal 3 und einen Verbindungsabschnitt, in dem der
Hauptkanal 2 und der Nebenkanal 3 miteinander
verbunden sind, umfaßt.
Flächenheizvorrichtungen 8 und 9 sind
in solch einer Position angeordnet, daß sie fähig sind, das Innere des Nebenkanals 3 zu
erwärmen.
Der Nebenkanal 3 und der Verbindungsabschnitt 4 werden
einer Behandlung zur hydrophoben Modifizierung unterworfen. Wasser
wird in den Hauptkanal 2 eingespeist, und Luft wird in
den Nebenkanal 3 eingespeist.