DE1058690B

DE1058690B - Diffusionspumpe

Info

Publication number: DE1058690B
Application number: DEO5454A
Authority: DE
Inventors: Dr Chem Enrico Meyer
Original assignee: GALILEO OFF SpA; Officine Galileo SpA
Current assignee: GALILEO OFF SpA; Officine Galileo SpA
Priority date: 1956-04-11
Filing date: 1957-04-09
Publication date: 1959-06-04

Description

Diffusionspiimpe-Die Erfindung betrifft eine Diffusionspumpe mit einem darüberliegenden Kniestück zur Verbindung mit dem zu evakuierenden Behälter und unterscheidet sich von den bisher bekannten Pumpen vor allen Dingen dadurch, daß sich im Innern des Kniestückes ein Tellerventil und eine dazu mehr oder minder parallel gelegene Falle befinden, die beide in schräg zur Svmnietrieachse des Pumpenkamins verlaufenden Ebenen liegen, welche annähernd mit der Halbierungsebene des Kniestückes zusammenfallen.
An sich ist die Anordnung von Fallen bei Diffnsionspumpen bekannt. So ist es nicht mehr neu,- in einer senkrecht zur Symmetrieachse der Düse der ersten Stufe liegenden Ebene eine Falle vorzusehen, die aus einer Anzahl von im Ouerschnitt Winkeleisenform aufweisenden Rinnen jesteht. Ferner ist es bekannt, der Falle kegelförrnige Gestalt zu geben.
Die Nachteile dieser bekannten Ausführungen und. die Vorteile der Erfindung sind im wesentlichen folgende. Die Falle bei den bekannten Pumpen hat eine wesentlich kleinere Oberfläche als bei der Pumpe nach der Erfindung, bei gleichbleibendem Querschnitt der Purnpenrücklaufleitung. Da bei der erKndungsgemäßen Ausführung und Anordnung die Oberfläche der Falle größer ist als der Leitungsquerschnitt, hat sie eine stärkere Leitfähigkeit, so daß der Strom weniger gebremst wird als bisher, wenn sie die gleiche Fähigkeit wie die bekannten Ausführungen besitzt, das Diffundieren der ölteilchen über sie hinaus gegen den zu evakuierenden Raum zu verhindern. Durch die Schräglage der Falle kann bei gleichbleibender Gesamthöhe des Pumpaggregats die erste Stufe höher gehalten werden. Dadurch verkleinert sich der Öffnungswinkel des Ölstrahles und damit steigt die Geschwindigkeitskomponente des Ölstrahles in bezug auf die Richtung des gewünschten Gasflusses. Die Saugleitung der Diffusionspumpe steigt also bei unverändertem Querschnitt. Ein größerer Raum ist nicht notwendig, da die Möglichkeit zur teilweisen Ausdehnung im Kniestück vorhanden ist.
Ferner hat die Falle bei der Pumpe nach der Erfindung ein geringeres Gewicht als bei den bekannten Ausführungen und kann leicht hergestellt werden. Die Herstellung einer Pumpe mit einer Symmetrieachse entsprechend der erfindungsgemäß ausgebildeten Pumpe kann leichter erfolgen als diejenige einer Pumpe, deren Düsenachsen zum Ofen geneigt sind oder die eine kegelige Falle besitzt.
Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen und der folgenden Beschreibung des in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispieles.
Fig. 1 zeigt eine Diffusionspumpe gemäß der Erfindung im Querschnitt, und in Fi g. 2 ist ein Schnitt nach der Linie II-II der Fig. 1 dargestellt.
In Fig. 1 ist die Diffusionspumpe mit 1 bezeichnet und die Verbindungsleitung mit 2, die in Form eines Kniestückes die Pumpe mit dem zu evakuierenden Behälter verbindet. In dem Kniestück ist das Tellerventil mit dem Sitz 3 und die Falle 4 untergebracht.
Bei der beispielsweisen Ausführungsform, die in der Zeichnung dargestellt ist, ist die Höhe der Pumpe im Vergleich zu einer normalen Pumpe von den gleichen Dimensionen und mit der Falle in einer horizontalen Ebene unverändert geblieben. Der Raum, der durch die erfindungsgemäße Unterbringung der Falle verfügbar ist, wird zur Verlängerung des Kamins der ersten Stufe benutzt, d. h., dieser erstreckt sich in einen Teil des Raums zwischen der Falle und dem Verbindungsflansch mit der Verbindungsleitung. In dem Beispiel ist die Ausführung dargestellt, durch die die Fördermenge der Pumpe erhöht wird. Eine solche Unterbringung bietet auch eine besondere Gewähr dafür, daß der Strahl der ersten Stufe die Wand der Pumpe erreicht, wo er kondensieren soll. Infolge einer nicht vollkommenen Regulierung des Strahls der ersten Stufe kann es nämlich vorkommen, daß er nur teilweise gegen den Deflektor der zweiten Stufe anprallt, bevor er an der Pumpenwand kondensiert, wodurch die Fördermenge der Pumpe verringert wird.
Nach der in Fig. 1 angegebenen beispielsweisen Ausführungsform wird die Falle 4 an der unteren Seite des Sitzes mittels Stützbügeln 5 angebracht, so daß sich die Falle neben dem Sitz befindet. Die Falle 4 kann in sehr einfacher Art hergestellt werden, und eignet sich in sehr glücklicher Weise für eine Anordnung nach der Erfindung. Sie kann aus einer Reihe von Rinnen in Form von Winkeleisen bestehen, die nebeneinander und vorteilhafterweise parallel angeordnet sind. Sie werden durch zwei Querbügel 6 gestützt, die auch als Stütze des Kühlsystems dienen.
Infolge der Anordnung einer Falle nach der Erfindung, d. li. nach einer Ebene, die nicht senkrecht zu der Achse der Pumpe ist, beanspruchen die Flügel der Falle in der Höhe wenig Raum und sind sowohl bezüglich des spezifischen Durchganges wie auch der Bremsfähi-keit leicht einstellbar.
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Claims

PATENTANSPRÜCHE: 1. Diffusionspumpe mit einem darüberliegenden Kniestück zur Verbindung mit dem zu evakuierenden Behälter, dadurch gekennzeichnet, daß sich im Innern des Kniestückes (2) ein Tellerventil (3) und eine dazu mehr oder minder parallel gelegene Falle (4) befinden, die beide in schräg zur Symmetrieachse des Pumpenkamins verlaufenden Ebenen liegen, welche annähernd mit der Halbierungsebene des Kniestückes zusammenfallen.
2. Diffusionspumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ebenen, in denen das Tellerventil und die Falle angeordnet sind, um 45' "egen die Symmetrieachse der Pumpe geneigt sind und sich vorzugsweise parallel zueinander befinden. 3. Diffusionspumpe nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Kopf der ersten Stufe der Pumpe aus dem Pumpenkörper vorragt, und einen Teil des Raumes in dem senkrechten Arm des Kniestückes (2) einnimmt. 4. Diffusionspumpe nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Falle direkt an dem Sitz des Tellerventils (3) angebracht ist, und zwar an dessen Unterfläche. 5. Diffusionspumpe nach Anspruch 1 bis 4, mit einer aus mehreren im wesentlichen in Form von Winkeleisen ausgebildeten Rinnen bestehenden Falle, dadurch gekennzeichnet, daß die Schenkel der Rinnen im wesentlichen in der Richtung der Arme des Kniestückes (2) angeordnet sind. In Betracht gezogene Druckschriften: USA.-Patentschriften Nr. 2 153 189, 2 206 093.