DE1056854B - Monochromator (Spektrometer) mit konkavem Beugungsgitter - Google Patents

Monochromator (Spektrometer) mit konkavem Beugungsgitter

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DE1056854B
DE1056854B DEG24501A DEG0024501A DE1056854B DE 1056854 B DE1056854 B DE 1056854B DE G24501 A DEG24501 A DE G24501A DE G0024501 A DEG0024501 A DE G0024501A DE 1056854 B DE1056854 B DE 1056854B
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Dr Horst Greiner
Dipl-Phys Erich Schaeffer
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HORST GREINER DR
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ERICH SCHAEFFER DIPL PHYS
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/18Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating

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Description

  • Monochromator (Spektrometer) mit konkavem Beugungsgitter Unter einem Monochromator, auch Spektrometer genannt, versteht man bekanntlich ein optisches Gerät, das gestattet, aus polychromatischem Licht solches eines im allgemeinen schmalen Wellenlängengebietes bestimmter Halbwertsbreite (d. h. quasimonochromatisches Licht) auszusondern, wobei der Schwerpunkt dieses ausgesonderten, schmalen Wellenlängengebietes über den ganzen gewünschten Wellenlängenbereich kontinuierlich verschoben werden kann. Als dispergierende Mittel enthalten Monochromatoren Prismen oder Beugungsgitter, insbesondere konkave Beugungsgitter, in Reflexion. Monochromatoren mit konkavem Beugungsgitter in einmaliger Reflexion zeichnen sich dadurch aus, daß sie außer Eintrittsspalt und Austrittsspalt das Beugungsgitter als einziges optisches Element enthalten, weil ein solches Beugungsgitter gleichzeitig Dispersion und Abbildung bewirkt. Ein besonderer Vorteil eines solchen Monochromators besteht darin, daß er auch in Spektralbereichen verwendet werden kann, für die keine genügend durchlässigen Substanzen für die Herstellung von Prismen sowie keine Stoffe mit genügend hohem Reflexionsvermögen bekannt sind. Ein Spektralbereich, für den diese Materialschwierigkeiten typisch sind, ist das sogenannte extreme Ultraviolett mit Wellenlängen unter etwa 2 10 10-6 cm, auch Vakuumultraviolett genannt, weil wegen der Absorption des Lichtes durch die Gase der Luft der Strahlengang im Vakuum verlaufen muß.
  • Bei Monochromatoren, die ein konkaves Beugungsgitter in einmaliger Reflexion verwenden, sind verschiedene Anordnungen bekannt, von denen diejenigen eine besondere Stellung einnehmen, bei denen zur Variation der Wellenlänge im Austrittsspalt das Beugungsgitter um eine Achse durch den Gitterscheitelpunkt parallel zu den GitteIfurchen gedreht wird. Gegenüber Anordnungen, bei denen Gitter oder Spalte auf dem unter dem Namen Rowlandkreis bekannten Kreis zur Variation der Wellenlänge verschoben werden, haben die Anordnungen mit drehbarem Gitter den Vorteil bedeutend kleinerer Vakuumgefäße und verhindern das Wandern des Lichtbündels hinter dem Austrittsspalt beim Durchlaufen des Wellenlängenbereiches. Der Nachteil dagegen ist, daß bei einer derartigen Drehung des Gitters eine Defokussierung im Austrittsspalt eintritt, die den nutzbaren Wellenlängenbereich begrenzt.
  • In der japanischen Zeitschrift für Optik (Science of Light, 2, S. 8, 1952) wurde eine mathematische Methode angegeben, die es erlaubt, die Apparatekonstanten, das sind der Winkel zwischen Einfalls- und Ausfallsrichtung sowie die Abstände Gitterscheitelpunkt-Eintrittsspalt und Gitterscheitelpunkt-Austrittsspalt, näherungsweise so anzugeben, daß die Defokussierung im Austrittsspalt beim Durchlaufen des Wellenlängenbereiches sehr klein wird, wobei das Gitter so gedreht wird, daß in negativen Ordnungen des Spektrums beobachtet wird, d. h. daß sich mit wachsender Wellenlänge der Einfallswinkel verringert. Die Art der mathematischen Anlage dieser Methode erlaubt es aber nicht, die genannten Apparatekonstanten als Funktion des gewünschten zu durchlaufenden Wellenlängenbereiches exakt zu berechnen, sondern sie gestattet nur eine Abschätzung dieser Größen.
  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen Monochromator der beschriebenen Art, dessen Apparatekonstanten für jeden gewünschten Wellenlängenbereich so gewählt sind, daß sie eine vom Erfinder gefundene Formel erfüllen und dadurch den optischen Anforderungen optimal entsprechen. Die Erfindung betrifft ferner einen Monochromator, bei dem für den Fall, daß der Winkel zwischen Einfalls- und Ausfallsrichtung einen festen vorgegebenen Wert hat, die beiden restlichen Apparatekonstanten, der Abstand Gitterscheitelpunkt-Eintrittsspalt und der Abstand GitterscheiteIpunkt-Austrittsspalt, für jeden gewünschten Wellenlängenbereich eine weitere von uns gefundene Formel erfüllen und dadurch ebenfalls optimale Werte erreichen. Es besteht nämlich eine gewisse Schwierigkeit, bei der Herstellung eines derartigen Monochromators einen bestimmten Wert für den Winkel zwischen Einfalls- und Ausfallsrichtung einzuhalten sowie beim Übergang von einem zu durchlaufenden Wellenlängenbereich zu einem anderen diesem Winkel einen anderen bestimmten Wert zu erteilen. Bei einem Monochromator der beschriebenen Art kann ferner statt eines sphärischen konkaven Beugungsgitters auch ein solches mit torischer Oberfläche zur Verringerung des Astigmatismus verwendet werden, wobei deren Radius in einer Ebene, die das Einfallslot enthält und senkrecht auf der Rowlandkreisebene steht, bei gegebenem Radius in der Rowlandkreisebene aus einer weiteren von uns gefundenen Formel berechenbar ist. Insgesamt ist es das Ziel der Erfindung, eine geeignete Konstruktion für einen Monochromator mit drehbarem Gitter anzugeben.
  • Zur Erläuterung werden die Bedingungen für minimale Defokussierung bei Drehung des konkaven Beugungsgitters um eine Achse durch den Gitterscheitelpunkt parallel zu den Gitterfurchen (d. h. beim Durchlaufen eines bestimmten Wellenlängenbereiches) abgeleitet: In der Fig. 1 ist die geometrische Anordnung eines Monochromators schematisch dargestellt. Zugleich gehen aus der Fig. 1 die verwendeten Bezeichnungen hervor. Es bedeutet: E Eintrittsspalt, A Austrittsspalt, R Krümmungsradius des Gitters in der Rowlandkreisebene, M Mittelpunkt des Rowlandkreises, S Scheitelpunkt des Konkavgitters, a Einfallswinkel, fl Ausfallswinkel, k Gitterdrehwinkel, C Winkel zwischen Einfalls- und Ausfallsrichtung, r Abstand Gitterscheitelpunkt-Eintrittsspalt, r' Abstand Gitterscheitelpunkt-Austrittsspalt.
  • Die Abbildung einer Spektrallinie der Wellenlänge A in der Ordnung m mit einem Konkavgitter der Gitterkonstanten d ist bei Vernachlässigung von Abbildungsfehlern und Gliedern höherer Ordnung bestimmt durch die Interferenzbedingung d (sin a + sin ß) = m # (1) und die Fokussierungsbedingung für das meridionale Bündel-(ebenes Bündel in der Meridionalebene) cos² a cosa cos² ß cos² ß - cos ß = 0, (2) r - R + r' R worin r' der - Abstand des Bildes des Eintrittsspaltes in der Wellenlänge A vom Gitterscheitelpunkt ist. (,B ist positiv zu nehmen, wenn es auf der gleichen Seite des Einfallslotes liegt wie a. Im anderen Fall ist fl negativ einzusetzen.) Die Meridionalebene zu E wird aufgespannt durch den Hauptstrahl und das Lot im Gitterscheitelpunkt. Es wird gesetzt a = C/2 + k,ß= -(C/2 - k).
  • Damit folgt aus (1) C 2dcos 2 sink=mA. (1a) Nach (la) ist jedem Drehwinkel k für eine vorgegebene Gitterkonstante d und in einer vorgegebenen Ordnung m eine bestimmte Wellenlänge A zugeordnet. Insbesondere gehören positive Ordnungen zu positivem k. Ebenso ist ersichtlich, daß jedem Winkelbereich ein bestimmter Wellenlängenbereich zugeordnet ist.
  • Ferner folgt aus (2) 1 1 1 1 fi(k, r, r', C) = r . cos2 (C/2 + k) - cos (C/2 + k) + r' cos2 (C/2k)R cos (012 - k) = 0. (3) Die Bedingung (3) läßt sich stets erfüllen, wenn von den vier Parametern k, r, r', C drei frei gewählt werden. Wählt man z. B. k, r und C frei, so ergibt sich das zugehörige r' aus (3). Zur Wellenlängenvariation im Austrittsspalt muß jedoch k einen gewissen Bereich durchlaufen. Das bedeutet aber, daß sich für fest vorgegebene r und C der Wert r' laufend ändert. Zur exakten Fokussierung muß also bei einem Spektrometer, bei dem zur Wellenlängenvariation das Gitter gedreht wird, im allgemeinen der Abstand des Austrittsspaltes vom Gitterscheitelpunkt laufend nachgestellt werden. Eine solche laufende Nachjustierung bringt erhebliche konstruktive Schwierigkeiten.
  • Man sucht deshalb diejenigen Werte der Apparatekonstanten r, r' und C, für die die Streuung der Funktion fi (k, r, r', C) um Null ein Minimum wird. r ist hierbei das Mittel der Werte für r', die sich aus der Gleichung (3) bei Überstreichen eines Bereiches von k ergeben. Der Monochromator gemäß der Erfindung ist dann dadurch gekennzeichnet, daß die Größe der Apparatekonstanten, das sind der Winkel 0 zwischen Einfalls- und Ausfallsrichtung und die Abstände Gitterscheitelpunkt-Eintrittsspalt r und Gitterscheitelpunkt-Austrittsspalt rt, für jeden beliebigen zu durchlaufenden Wellenlängenbereich, dem ein bestimmter Winkelbereich 9, bis #2 des Drehwinkels k entspricht, so gewählt wird, daß die Beziehung Minimum (4) oder speziell die Beziehung Minimum, (4a) worin g {f1 (k, r, r', C)} eine beliebige Funktion von fi (k, r, r, C) ist, erfüllt ist.
  • Die notwendigen Bedingungen zur Lösung von (4) bzw. (4a) sind Aus den Gleichungen (5) bzw. speziell aus (5a) lassen sich die drei gesuchten Größer, r7 und C berechnen.
  • Man behandelt den Fall (4a) und (5a) explizit und setzt dazu e = R/r, Q' = R/r' und # = Rl7'. Aus (3) erhält man dann fi (k, Q, a, C) = (Q + ) (cos2 C/2 cos2 k sin2 C/2 sin2 k) - 2 (# - #) cos C/2 sin C/2 cos k sin k - 2 cos C/2 cos k. (6) Es wird gesetzt A = e <y, + , B = # - #, (7) d. h. e= A + B, # = A - B .
  • 2 2 (7a) Es ergibt sich dann 11 (k, A, B, C) = A (cos² C/2 cos2 k + sin2 C/2 sin2 k) - 2B cos C/2 sin C/2 cos k sin - 2 cos C/2 cos k (8) und Minimum. (9)- Weiter folgt aus (5a) weil sind. Es gilt analog für Damit werden die drei Gleichungen, aus denen A, B und C zu bestimmen sind, Bei der Behandlung der Gleichungen (12a bis 12c) führen wir zur Abkürzung und N = 2 L31 cos3 C/2 sin C/2 + 2 L13 cos C/2 sin3 C/2 (14) ein.
  • Aus (12a) und (12b) ergeben sich zusammen mit (8) und den Abkürzungen (13) und (14) zwei Gleichungen für die Berechnung von A und B: A (L40 cos4 C/2 + 2 L22 cos² C/2 sin2 C/2 + Lo= sin4 C/2) - BN - 2 L20 cos3 0/2 - 2 L12 cos C/2 sin2 C/2 = 0 (15a) - AN + 4 BL22 cos2 C/2 sin2 C/2 + 4L21 cos2 C/2 sin C/2 = 0; (15b) daraus folgt: Aus Gleichung (12c) ergibt sich zusammen mit (8) und (13) zur Berechnung von C: A2 (L22 - L40 cos3 C/2 sin C/2 + A2 (L04 - L22) cos C/2 sin3 C/2 + 3 AB (L31 - L13) cos2 C/2 sin C/2 + A (3 L20 - 2 L2) cos2 C/2 sin C/2 + AB (L13 sino 0/2 - L31 cos4 C/2) + AL12 sin3 C/2 + 2 B2 L22 cos C/2 sin C/2 (cos2 C/2 - sin² C/2) + 2 BL2r cos C/2 (cos2 0/2 - 2 sin2 0/2 - 2 L20 cos C/2 sin C/2 = 0.
  • (16c) Die expliziten Ausdrücke (16a) und (16b) für A und B haben unabhängig von der Lösung von (16c) für sich eine selbständige Bedeutung. Setzt man in (16a) und (16b) einen beliebigen Wert für C ein, der nicht Lösung von (16c) zu sein braucht, so erhält man damit Werte von A und B, die bei dem gewählten C minimale Defokussierung ergeben. Das bedeutet also, daß für jeden beliebigen, vom optimalen Winkel abweichenden Winkel 0 zwischen Einfalls- und Ausfallsrichtung und für jeden beliebigen zu durchlaufenden Wellenlängenbereich die Größe der Abstände Gitterscheitelpunkt-Eintrittsspalt r und Gitterscheitelpunkt-Austrittsspalt r' so gewählt wird, daß die Beziehung Minimum oder speziell die Beziehung Minimum erfüllt ist.
  • Die Rechnungen wurden bisher für positive Ordnungen des Spektrums durchgeführt. Wird der Einfallswinkel a bei Drehung des Gitters vergrößert (a = C/2 + k), so wandern die positiven Ordnungen in den Austrittsspalt ein. Wird dagegen der Einfallswinkel a verkleinert (a = C/2 - k), so erscheinen die negativen Ordnungen des Spektrums im Austrittsspalt; vgl. (1 a). Aus (2) wird für die negativen Ordnungen mit a = 0/2 - k und ß fi (k, #, o, C) = (Q + #) (cos2 C/2 cos2 k + sin2 C/2 sin2k) - 2 (a - cos C/2 sin C/2 cos k sin k - 2 cos C/2 cos k.
  • (6a) Der Vergleich mit der Gleichung (6), die für die positiven Ordnungen gilt, zeigt, daß sich an der Rechnung nichts ändert, wenn für die negativen Ordnungen A = + B B=e (7b) gesetzt wird. Das bedeutet eine Vertauschung von Eintritts- und Austrittsspalt.
  • Entsprechend dem weiteren Ziel der Erfindung wird nunmehr der Fall des konkaven Beugungsgitters mit torischer Oberfläche (Torus-Gitter) behandelt. Ein Torus entsteht, wenn ein Kreis um eine Achse rotiert, die in der Kreisebene liegt, aber nicht durch den Kreismittelpunkt geht (Fig. 2). Schneidet man aus der Torus-Oberfläche in der aus Fig. 2 ersichtlichen Weise ein Stück heraus, so erhält man eine Fläche, deren Krümmung in der Papierebene verschieden von der Krümmung in einer dazu senkrechten Ebene durch die Mittelpunkte der beiden Schnittkreise, aber in beiden Fällen konkav ist.
  • Wird auf dieser konkaven Fläche ein optisches Beugungsgitter geteilt, dessen Furchen äquidistant in bezug auf die Sehne des größeren Krümmungskreises geteilt sind, so ergibt sich bei Verwendung dieses Beugungsgitters im Monochromator die Möglichkeit, den Astigmatismus für nicht zu große Wellenlängenbereiche weitgehend zu vermeiden, d. h. daß die Abstände der engsten Querschnitte des meridionalen bzw. sagittalen Bündels vom Gitterscheitelpunkt praktisch übereinstimmen. Meridionales bzw. sagittales Bündel sind dabei die in der Meridionalebene bzw. Sagittalebene liegenden, auf das Gitter treffenden ebenen Bündel. Die zu einem Punkt des Eintrittsspaltes gehörige Meridionalebene wird hier wie beim sphärischen Gitter aufgespannt durch den Hauptstrahl und das Lot im Gitterscheitelpunkt. Die Sagittalebene ist die dazu senkrechte Ebene durch den Hauptstrahl. Die Interferenzbedingung (1) und die Fokussierungsbedingung (2) für das meridionale Bündel bleiben die gleichen wie beim sphärischen Gitter, wenn jetzt R der in Fig. 2 eingezeichnete Radius ist. R liegt in der Rowlandkreisebene; das ist die Ebene, die das Lot im Gitterscheitelpunkt enthält und senkrecht auf den Gitterfurchen steht. Die Bedingung für verschwindenden Astigmatismus beim Torus-Gitter, d. h. für das Zusammenfallen der engsten Querschnitte des meridionalen und sagittalen Bündels ist bei Vernachlässigung von Gliedern höherer Ordnung 1 cos a 1 cosfl 1 1 cos C/2 cos =0, (17) r R* + rs/ R* r rs' =7+ r, wenn R* der aus Fig. 2 ersichtliche kleinere Radius der Torus-Fläche, der in einer Ebene liegt, die das Einfallslot enthält und senkrecht auf der Rowlandkreisebene steht, und r; der Abstand des engsten Querschnittes des sagittalen Bündels vom Gitterscheitelpunkt ist. Diese Gleichung ist bei Wahl eines geeigneten R* für einen Wert k bei festem r, r; (= 7'), C erfüllbar, während die entsprechende Gleichung für das sphärische Gitter, die R an Stelle von R* enthält, unerfüllbar ist; der Astigmatismus ist also beim sphärischen Gitter nicht zu vermeiden.
  • Bei der Behandlung der Gleichung (17) ist zu beachten, daß die Vermeidung des Astigmatismus auf jeden Fall gegenüber der Erzeugung eines scharfen Bildes des Eintrittsspaltes im Austrittsspalt (d. h. engster Querschnitt des meridionalen Bündels im Austrittsspalt) eine sekundäre Rolle spielt. Man erhält allerdings einen Intensitätsgewinn von z. B. dem 20fachen der Intensität, die sich bei sehr kurzem Eintrittsspalt (etwa 1 mm) und sphärischem Gitter ergibt, wenn R* passend gewählt wird.
  • Die optimalen Werte von r, r und C, die die Rechnung für das meridionale Bündel liefert, wenn ein bestimmter Bereich von k (d. h. ein bestimmter Wellenlängenbereich) durchlaufen wird, werden also auch für das Torus-Gitter beibehalten.
  • Es wird deshalb derjenige Wert R*, für den die Streuung der Funktion um Null ein Minimum wird, wenn k einen bestimmten Bereich (Q1 < k < Q2) durchläuft, gesucht.
  • Das Problem ist dann dadurch gekennzeichnet, daß der Radius der torischen Oberfläche in einer Ebene, die das Einfallslot enthält und senkrecht auf der Rowlandkreisebene steht, insbesondere entsprechend der Formel Minimum, (19) wo g { /2 (k, R*)} eine beliebige Funktion von /2 (k, R*) ist, oder speziell entsprechend Minimum (19 a) für jeden beliebigen zu durchlaufenden Wellenlängenbereich optimal gewählt wird.
  • Die notwendige Bedingung zur Lösung von (19), (19a) ist dr2* = 0 (20) bzw. d12 - 0 dR* = ° dR* - . (20a) Behandelt man (20a), so folgt aus eine Beziehung für R*: In den Fig. 3 und 4, die ein Ausführungsbeispiel eines Monochromators gemäß der Erfindung zeigen, ist mit 1 eine Grundplatte bezeichnet, auf welche eine oberhalb der ( Grundplatte zu ihr parallel liegende Platine 2 mittels der drei Säulen 3 aufmontiert ist. An die Platine 2 kann von unten her der Hauptrezipient 4 vakuumdicht angeflanschs werden.
  • Wie die Fig. 3 und 7 zeigen, sind an diesem Hauptrezipienten gemäß der Erfindung mehrere Flächen 5 unter verschiedenen Winkeln C1, C2, C3 angefräst, z. B.
  • 70, 90, 110°, so daß beim Anschluß der Rohre, die die Spaltkammern mit Eintritts- bzw. Austrittsspalt E, A tragen, an verschiedene angefräste Flächen verschiedene Winkel C1, Cs, C3 zwischen Einfalls- und Ausfallsrichtung grob eingestellt werden können. Die Öffnungen 6 in den nicht benutzten Flächen können durch beispielsweise durchsichtige Flansche 5 a in Fig. 7 vakuumdicht verschlossen werden. Der Flansch7 in Fig. 3 dient zum Anschluß einer Diffusionspumpe mit Ventil und Ölfänger.
  • Der Gitterhalter 8 ist hängend im Hauptrezipienten 4 angeordnet. Die Schrauben 8 a, 8 b, 8c und 8d dienen zur Justierung des Gitterhalters. Die Gitterhalterachse 9 in Fig. 3 und 4, die an ihrem oberen Ende zu einem Konus, der zur Aufnahme beispielsweise eines Teilkreises dient, ausgebildet ist, wird durch den Drebkörper 10, der die notwendigen Achslager und Dichtungselemente enthält und auf die Platine 2 aufgeschraubt ist, vakuumdicht nach oben herausgeführt, so daß der Drehwinkel k des Gitters z. B. durch den auf die Achse gesetzten Teilkreis ohne jeden Übertragungsmechanismus direkt abgelesen werden kann. Dadurch ist gewährleistet, daß der Drehwinkel des Gitters mit größtmöglicher Genauigkeit eingestellt bzw. abgelesen werden kann, da jeder Übertragungsmechanismus durch das unvermeidbare Spiel in den Übertragungselementen stets eine Ungenauigkeit in die Winkelmessung hineinbringt. Die Drehung des Gitterhalters erfolgt mittels der Grobstellvorrichtung 11 und der Feinstellvorrichtung 12.
  • Der Arm 13 ist fest mit der Platine 2 verschraubt. Der Arm 14 dagegen ist drehbar um den Drehkörper 10 und damit um dieGitterhalterachse 9 gelagert. Die Brücke 15, die den Arm 14 gegen die Grundplatte 1 abstützt, ist mit Stellschrauben 16 ausgerüstet. Mit diesen Schrauben kann der Arm 14 um die Gitterhalterachse 9 des Gitterhalters 8 geschwenkt werden.
  • Zur Messung des Winkels C wird mit Hilfe einer Linse zwischen Eintrittsspalt und Gitter der Eintrittsspalt E durch Reflexion des Lichtes am Gitter auf sich selbst abgebildet.lDie Linseist erforderlich, weil bei der hier vorliegenden Gitteraufstellung der Abstand Eintrittsspalt-Gitterscheitelpunkt im allgemeinen nicht gleich dem Krümmungsradius des Gitters ist. Der am Teilkreis abgelesene Wert für diejenige Stellung des Gitterhalters, bei der Spalt und Spaltbild zusammenfallen, sei als »Ausgangsstellung« bezeichnet. Nach Ablesung des Winkelwertes für die Ausgangsstellung des Gitterhalters wird die Linse entfernt. Man dreht nun den Gitterhalter von seiner Ausgangsstellung aus um C/2 (vgl. Fig. 1). Dann schwenkt man den Arm 14 mit Hilfe der Stellschrauben 16 so weit, bis das Bild des Eintrittsspaltes E auf den Austrittsspalt A fällt. Damit ist die genaue Einstellung des Winkels 0 vollzogen. Nach demselben Verfahren läßt sich der Winkel 0 bei beispielsweise nicht schwenkbarer Anordnung der Arme 13 und 14 auch ausmessen. Zu diesem gemessenen Winkel C lassen sich die Abstände des Eintrittsspaltes r bzw. des Austrittsspaltes 7' (vgl.
  • Fig. 1) vom Gitterscheitelpunkt aus den angegebenen Gleichungen berechnen. Die Entfernungen r und rt werden mit Hilfe der Schwalbenschwanzführungen 18 bzw. 19, die am Ende der Arme 13 bzw. 14 montiert sind und mit denen die Spaltkammern 20 bzw. 21 mit Hilfe der Schellen 22 bzw. 23 fest verbunden sind, durch Betätigung der Schrauben 24 und 24a bzw. 25 und 25a eingestellt.
  • Es werden im weiteren nur die Teile betrachtet, die am Arm 14 befestigt sind, weil die Teile, die am Arm 13 angebracht sind, analogen Aufbau zeigen. Die Spaltkammer 21 ist durch das Rohr 26 über einen Federungskörper 27 mit dem Hauptrezipienten 4 vakuumdicht verbunden. Das Rohr 26 wird ebenso wie die Spaltkammer 21 durch eine Schelle 28 mit dem AIm 14 verbunden. Die Einstellvorrichtung29 gestattet eine Ausrichtung der Achse des Rohres 26 auf den Gitterscheitelpunkt. Das Schiebeventil 30 ermöglicht die vakuummäßige Absperrung der Spaltkammer 21 vom Hauptrezipienten 4. Durch den Pumpstutzen 31 läßt sich die Spaltkammer 21 unabhängig vom Hauptrezipienten evakuieren. Die Kordelschraube 37 dient zur kontinuierlichen Verstellung des Eintrittsspaltes E unter Vakuum von außen.
  • Die Fig. 5 und 6 zeigen die Spaltkammer 21 mit der Einstellvorrichtung für die Spaltbreite des Eintrittsspaltes in ihren Einzelheiten. Die Spaltbreite läßt sich durch Drehen der Ringmutter 32 verstellen. Auf diese Ringmutter ist ein Zahnkranz33 aufgesetzt, der mit dem Zahnrad 34 im Eingriff steht. Dieses Zahnrad kann von einer Welle 35, die mit Hilfe der Dicht- manschetten 36 nach außen geführt ist und in einer Kordelschraube 37 endet, angetrieben werden. Gemäß der Erfindung ist somit eine kontinuierliche Verstellung der Spaltbreite unter Vakuum möglich. An einer Skala 38 ist die eingestellte Spaltbreite ablesbar. Die Schrauben 17a, 17b und 17c dienen zur Ausrichtung des EintrittsspaltesE in bezug auf die Gitterfurchen. An den Flansch 39 der Spaltkammer 21 lassen sich Lichtquellen verschiedener Art vakuumdicht anflanschen. Analog lassen sich an die Austrittsspaltkammer 20 beispielsweise Absorptionsgefäße und bzw. oder Nachweisgeräte vakuumdicht anflanschen.
  • Zur Erläuterung der Formeln werden einige Beispiele angeführt: I. Es wird zunächst für das sphärische Gitter der Fall betrachtet, bei dem derWinkelC zwischen Einfalls- und Ausfallsrichtung den berechneten optimalen Wert hat.
  • 1. Der Drehwinkel k des Gitters durchlaufe den Bereich von Q1 = 0" bis Q2 = 6°; die Ordnung, in der beobachtet wird, sei m = +1. a) Die Gitterkonstante sei d = 1/600 mm; dann ist der zugehörige Wellenlängenbereich i = 0 bis 2850 Ä.
  • Weiter sei der Krümmungsradius R = 1000 mm. Dann ergibt sich aus (16c) für den WinkelC = 700247. Aus (16a) und (16b) in Verbindung mit (7) ergeben sich: r = 817,224 mm und ri = 817,068 mm. Für die größten auftretenden Fokusdifferenzen, das sind die größten Abweichungen des Bildes des Eintrittsspaltes (engster Querschnitt des meridionalen Bündels) vom Ort des Austrittsspaltes, ergeben sich: r'maz - 7' = + 0,002 mm und r rn - 7' = - 0,002 mm. b) Es sollen die gleichen Verhältnisse wie bei 1, a) gewählt werden, nur sei der Krümmungsradius R = 500mm (etwa, um höhere Intensität unter Verzicht auf große Lineardispersion zu erhalten oder um die Abmessungen des Spektrometers klein zu halten). Der Winkel 0 ist vom Krümmungsradius unabhängig und hat deshalb auch hier den Wert C = 700247. Die Werte für r, rs, rtmaSr - und r'min - 7' sind dann durch 2 zu dividieren, weil sie dem Krümmungsradius direkt proportional sind. c) Wählt man dagegen die gleichen Verhältnisse wie bei 1, a) bis auf die Gitterkonstante, die jetzt den Wert d = 1/1200 mm habe (um höhere Dispersion und bei gleicher Gitterbreite höheres Auflösungsvermögen unter Verzicht auf hohe Intensität zu erhalten), so bleiben alle Werte von 1, a) bis auf den Wellenlängenbereich, der jetzt 0 bis 1425 A beträgt, erhalten.
  • 2. Der Drehwinkel k des Gitters durchlaufe den Bereich von Q1 = 40 bis Q2 = 150; die Ordnung sei wieder m = + 1. Die Gitterkonstante sei d = 1/600 mm; dann ist der zugehörige Wellenlängenbereich i =2000 bis 7000 Ä.
  • Der Krümmungsradius sei R = 1000 mm. Dann ergibt sich aus (16c) für den Winkel C = 690 22'. Aus (16 a) und (16b) in Verbindung mit (7) ergeben sich: r = 825,097 mm und r; = 819,916 mm.
  • Für die größten Fokusdifferenzen ergeben sich: r'maz = 7' = + 0,041 mm und r'm - 7' = - 0,038 mm.
  • II. Es wird jetzt für das sphärische Gitter der Fall betrachtet, bei dem der Winkel C nicht den berechneten optimalen Wert hat.
  • Der Drehwinkel k des Gitters durchlaufe den Bereich von Q1 = 4° bis Q2 = 15°; die Ordnung sei m = + 1.
  • Die Gitterkonstante sei d = 1/600 mm; dann ist der zugehörige Wellenlängenbereich A = 2000 bis 7000 Ä.
  • Der Krümmungsradius sei R = 1000 mm. Als optimaler Winkel wäre C = 690 22' (wie bei Beispiel I, 2) erforderlich. Es wird jetzt beispielsweise angenommen, daß der Apparat mit einem festen Winkel gebaut wurde, der sich bei nachträglicher Ausmessung zu C = 700 ergeben hat. Dann ergeben sich aus (16a) und (16b) unter Einsetzen von C = 70° in Verbindung mit (7): r = 819,389 mm und r' = 818,823 mm. Für die größten auftretenden Fokusdifferenzen ergeben sich dann r'max-7'= +0,131 mm und r'mtn - r' = - 0,053 mm.
  • III. Es wird als letztes der Fall des Torus-Gitters betrachtet.
  • Der Drehwinkel k des Gitters durchlaufe den Bereich von Q1 = 0" bisQ2 = 60; die Ordnung sei m = + 1. Die Gitterkonstante sei d = 1/600 mm; der zugehörige Wellenlängenbereich ist dann i = 0 bis 2850 Å. Der Krümmungsradius in der Rowlandkreisebene sei R = 1000 mm.
  • Dann werden auch hier wie bei Beispiel 1, 1, a) C = 70°24', r = 817,224 mm und r;= 817,068 mm gewählt, weil in erster Linie die Fokussierungsbedingungen für das meridionale Bündel eingehalten werden müssen.
  • Um den Astigmatismus in dem genannten Winkelbereich so klein wie möglich zu halten, ergibt sich aus (22) für den Krümmungsradius des torischen Gitters in einer Ebene, die das Einfallslot enthält und senkrecht auf der Rowlandkreisebene steht, R* = 666,5 mm.
  • Für die größten auftretenden Fokusdifferenzen des sagittalen Bündels, die für die Größe des Astigmatismus maßgebend sind, ergeben sich r's max - = + 6,014 mm und r's m,n -7' = -2,987 mm, wenn r's max bzw. r's min den maximalen bzw. minimalen Abstand des engsten Querschnittes des sagittalen Bündels vom Gitterscheitelpunkt bedeuten.
  • Vergleichsweise betragen die entsprechenden Differenzen für das sphärische Gitter + 1672 mm und + 1618 mm.
  • PATENTANSPROCHE: 1. Monochromator (Spektrometer) mit konkavem Beugungsgitter, das zur Wellenlängenvariation um eine Achse durch seinen Scheitelpunkt parallel zu den Gitterfurchen gedreht wird und mit für einen bestimmten zu durchlaufenden Wellenlängenbereich konstantem Winkel zwischen Einfalls- und Ausfallsrichtung und konstanten Abständen des Eintritts-bzw. Austrittsspaltes vom Gitterscheitelpunkt, dadurch gekennzeichnet, daß die Größe der Apparatekonstanten, das sind der Winkel (C) zwischen Einfalls-und Ausfallsrichtung und die Abstände Gitterscheitelpunkt-Eintrittsspalt (r) und Gitterscheitelpunkt-Austrittsspalt (r'), für jeden beliebigen zu durchlaufenden Wellenlängenbereich, dem ein bestimmter Winkelbereich 9, bis Q2 des Drehwinkels k entspricht, so gewählt wird, daß die Beziehung Minimum oder speziell die Beziehung Minimum, worin Z (k r, 7', K) = cos² (C/2 + k) f cos (C/2 + k) + cos2 (0/2 - cos (C/2 - k) r R r' R sowie g{f1(k, r, rt, C)} eine beliebige Funktion von fi (k, r, rZ, C) sind, erfüllt ist, sowie dadurch, daß für jeden beliebigen, vom optimalen Winkel abweichenden Winkel (0) zwischen Einfalls- und Ausfallsrichtung und für jeden beliebigen zu durchlaufenden Wellenlängenbereich die Größe der Abstände Gitterscheitelpunkt-Eintrittsspalt (r) und Gitterscheitelpunkt-Austrittsspalt (7) so gewählt wird, daß die Beziehung Minimum oder speziell die Beziehung Minimum erfüllt ist.

Claims (1)

  1. 2. Monochromator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Winkel (C) zwischen Einfalls-und Ausfallsrichtung einen festen Wert, insbesondere in der Nähe von 70°, hat, auch wenn verschiedene Wellenlängenbereiche durchlaufen werden sollen, und daß für jeden gewünschten Wellenlängenbereich nur die Größe der Abstände Gitterscheitelpunkt-Eintrittsspalt (r) und Gitterscheitelpunkt-Austrittsspalt (rq so gewählt wird, daß die Beziehung Minimum oder speziell die Beziehung Minimum erfüllt ist.
    3. Monochromator nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche des konkaven Beugungsgitters torisch ist und für einen bestimmten zu durchlaufenden Wellenlängenbereich die Größe des Radius (R*) der torischen Oberfläche in einer Ebene, die das Einfallslot enthält und senkrecht auf der Rowlandkreisebene steht, bei gegebenem Radius in der Rowlandkreisebene so gewählt wird, daß die Beziehung Minimum oder speziell die Beziehung Minimum, worin 1 cos (C/2 + k) 1 cos (0/2 - k) f2 (k, R*) = r - R* + r' - R* sowie g { 2 (k, R*)} eine beliebige Funktion von /2 (k, R*) sind, erfüllt ist.
    4. Monochromator, insbesondere für das extreme Ultraviolett, nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Hauptrezipient (4), in dem sich der Gitterhalter (8) befindet und an den von unten über ein Ventil eine Diffusionspumpe direkt angeflanscht ist, aus Massivmaterial, insbesondere einer Aluminiumlegierung, hergestellt und mit unter verschiedenen Winkeln angefrästen Flächen (5) mit Öffnungen (6) zum Anschluß der Federungskörper für die Rohre, die die Spaltkammern (20, 21) mit Eintritts- bzw. Austrittsspalt (E, A) tragen, versehen ist.
    5. Monochromator, insbesondere für das extreme Ultraviolett, nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mehr als zwei gegeneinander unter verschiedenen Winkeln angefräste Flächen (5) mit Öffnungen (6), insbesondere vier, vorhanden sind, von denen die nicht benötigten mit Blindflanschen (usa), insbesondere durchsichtigen Blindflanschen, verschlossen sind, so daß beim Anschluß der Rohre, die die Spaltkammern mit Eintritts- bzw. Austrittsspalt tragen, an verschiedene angefräste Flächen verschiedene Winkel (C) zwischen Einfallsrichtung und Ausfallsrichtung grob eingestellt werden können, wobei die Winkel (C,, 02, C3) beispielsweise 70, 90 und 110° betragen.
    6. Monochromator, insbesondere für das extreme Ultraviolett, nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Gitterhalter (8) im Hauptrezipienten (4) hängend angeordnet ist und die Drehachse (9) des Gitterhalters vakuumdicht nach oben herausgeführt ist, so daß der Drehwinkel (k) des Gitters, z. B. durch einen auf die Achse gesetzten Teilkreis, ohne jeden Übertragungsmechanismus direkt abgelesen werden kann.
    7. Monochromator, insbesondere für das extreme Ultraviolett, nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Rohre, die die Spaltkammern (20, 21) mit Eintritts- bzw. Austrittsspalt (E, A) tragen und die über Federungskörper mit dem Hauptrezipienten verbunden sind, an Armen (13, 14) befestigt sind, von denen der eine (14) um die Drehachse (9) des Gitterhalters schwenkbar ist, so daß durch Schwenken dieses Armes (14) der Winkel (0) zwischen Einfalls- und Ausfallsrichtung fein eingestellt werden kann.
    8. Monochromator, insbesondere für das extreme Ultraviolett, nach Anspruch 4 und 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Spaltkammern (20, 21) die an den Rohren befestigt sind, zur Einstellung der Entfernungen (r, ) des Eintritts- bzw. Austrittsspaltes (E, A) vom Gitterscheitelpunkt (S) durch Schwalbenschwanzführungen (18, 19) mit den Armen (13, 14) verbunden sind.
    9. Monochromator, insbesondere fur das extreme Ultraviolett, nach Anspruch 4, 7 und 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Spaltbreiten des Eintritts- bzw.
    Austrittsspaltes unter Vakuum von außen kontinuierlich verstellbar sind.
    10. Monochromator, insbesondere für das extreme Ultraviolett, nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß zur Messung des Winkels (C) zwischen Einfalls- und Ausfallsrichtung die Ausgangsstellung der Drehung des Gitterhalters (8) mit Hilfe einer in den Strahlengang zwischen Eintrittsspalt und Gitter gebrachten Linse fixiert wird.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2238662A1 (de) * 1972-04-21 1973-10-25 Anvar Fokussierverfahren und vorrichtung zu seiner durchfuehrung
US4063818A (en) * 1975-04-28 1977-12-20 Instruments S.A. Monochromator having a toroidal holographic diffraction grating and utilizable in the ultraviolet band

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