DE10394257D2 - Halter für flache Werkstücke, insbesondere Halbleiterwafer zum chemisch-mechanischen Polieren - Google Patents

Halter für flache Werkstücke, insbesondere Halbleiterwafer zum chemisch-mechanischen Polieren

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Roy Keipke
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Peter Wolters GmbH
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    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/27—Work carriers
    • B24B37/30—Work carriers for single side lapping of plane surfaces

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