DE1037644B - Vapor barrier for vacuum systems - Google Patents

Vapor barrier for vacuum systems

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DE1037644B
DE1037644B DES39712A DES0039712A DE1037644B DE 1037644 B DE1037644 B DE 1037644B DE S39712 A DES39712 A DE S39712A DE S0039712 A DES0039712 A DE S0039712A DE 1037644 B DE1037644 B DE 1037644B
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DES39712A
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Arthur Mohr
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Siemens AG
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Siemens AG
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04FPUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F9/00Diffusion pumps
    • F04F9/06Arrangement of vapour traps

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)

Description

Dampfsperre für Vakuumanlagen Zur Kondensation von Dämpfen in Vakuumanlagen sind bisher Dampfsperren (Baffel) in Form eines doppelwandigen Rohres üblich, wobei das Innenrohr an Vakuum, das Außenrohr an Atmosphäre grenzt und der Zwischenraum von einem Kühltnittel, meist Wasser, durchflossen wird. Zur Verbesserung des Wirkungsgrades werden vielfach im Innenrohr Leitflächen angebracht, die in den Vakuurnraum hineinragen. Meist werden diese Leitflächen ohne besondere Befestigung nur lose eingeschoben. Dampfsperren dieser Art haben den Nachteil, daß nur die Hälfte der Kühlfläche an Vakuum grenzt und am außenliegenden Mantel der Sperre in unerwünschter Weise atmosphärisches Wasser kondensiert wird. Die Kälteverluste an der Außenseite sind erheblich. Außerdem ist es bekannt, ein als Doppelspirale ausgeführtes Kühlmittelrohr außen auf die Vakuumleitung aufzusetzen. Aber auch diese Maßnahme gewährleistet keine wirtschaftliche Kühlung, da immerhin ein nicht unerheblicher Teil der Kühlleistung unnütz an die äußere Umgebung abgegeben wird..Vapor barrier for vacuum systems For the condensation of vapors in vacuum systems So far, vapor barriers (baffles) in the form of a double-walled tube are common, with the inner tube borders on vacuum, the outer tube borders on atmosphere and the space in between a cooling agent, usually water, flows through it. To improve efficiency Guide surfaces are often attached in the inner tube, which protrude into the vacuum space. Usually these guide surfaces are only pushed in loosely without any special fastening. Vapor barriers of this type have the disadvantage that only half of the cooling surface is on Vacuum is adjacent and atmospheric on the outside of the barrier in an undesirable manner Water is condensed. The cold losses on the outside are considerable. aside from that it is known to use a coolant pipe designed as a double spiral on the outside Put on vacuum line. But even this measure does not guarantee an economic one Cooling, since a not inconsiderable part of the cooling capacity is wasted on the external environment is emitted ..

Eine andere Ausführungsforrn von Dampfsperren besteht darin, daß -in kegelförmiger Prallteller in der Vakuurnleitung, und zwar unmittelbar im Oberteil der Diffusionspumpe, angeordnet ist. Dieser Prallteller wird durch eine Kühlmittelrohrschlange gekühlt, die unmittelbar metallisch mit ihm verbunden ist. Durch den Einbau eines Pralltellers in den Zug der Pumpleitung wird ein beträchtlicher Strömungswiderstand hervorgerufen, da die zur Kühlung des Pralltellers dienende Kühlmittelrohrleitung infolge ihrer metallischen Verbindung mit dem Prallteller nur einseitig bespült wird. Ähnliches gilt für die bekannte Anordnung und Ausbildung von Kühlmittelrohren zur Kühlung von Diffusoren bei einer Öldampfpumpe. Hier sind die zur Kühlung der Diffusoren vorgesehenen Kühlmittelrohre als kegelförmige gewundene Kühlspiralen ausgebildet und unmittelbar auf eiltsprechende Kegel der Difftisoren aufgesetzt. Auch in diesem Fall werden die Kühlmitt-elrohre nicht allseitig vom züi pumpenden Medium umspült.Another embodiment of vapor barriers is that -in conical baffle plate in the vacuum line, directly in the upper part the diffusion pump, is arranged. This baffle is driven by a coil of coolant tubing cooled, which is directly connected to it in metal. By installing a Baffle plate in the train of the pump line creates a considerable flow resistance caused because the coolant pipe used to cool the baffle plate due to their metallic connection with the baffle plate only flushed on one side will. The same applies to the known arrangement and design of coolant pipes for cooling diffusers in an oil vapor pump. Here are the ones for cooling the Diffusers provided coolant tubes as conical coiled cooling spirals formed and placed directly on the corresponding cone of the diffusers. In this case, too, the coolant pipes are not connected to the supplying pump on all sides Medium washes around.

Ferner ist es zur Kondensation von Dämpfen in Vakunmanlagen bekannt, in die Vakuumleitung eine schraubenförmig gewundene Kühlmittelrohrleitung einzubauen. Eine intensive Kühlung des zu pumpenden Mediums ist bei dieser Ausbildung der Kühlmittelrohrleitung nicht gewährleistet, da zwischen der Kühlmittelrohrleitung und der Wand der Vakuumleitung ein verhältnismäßig großer Querschnitt frei bleibt.It is also known for the condensation of vapors in vacuum systems, to install a helically wound coolant pipe in the vacuum line. Intensive cooling of the medium to be pumped is required in this design of the coolant pipeline not guaranteed because between the coolant pipeline and the wall of the vacuum line a relatively large cross-section remains free.

Bessere Ergebnisse werden bei einer Dampfsperre zur Kondensation von Dämpfen in Vakuumleitungen unter Verwendung einer von einem Kühlmittel durchflossenen, in das Innere der Vakuumleitung eingebauten Rohrleitung, die auf einem wesentlichen Teil ihrer Länge allseitig vom Strom des zu pumpenden Mediums umspült wird, erfindungsgemäß dadurch erreicht, daß die Kühlmittelrohrleitung derart - vorzugsweise frei tragend - spiralig gewunden und in die Vakuumleitung eingebaut ist, daß sich ein Strömungswiderstand für das zu pumpende Medium im wesentlichen nur durch das Spiralrohr ergibt. Man kommt auf diese Weise zu einer Kühlvorrichtung, bei der der Querschnitt der Vakuumleitung weitgehend von der Projektion der Kühlmittelrohrleitung- ausgefüllt wird, so daß sich ein guter Kühleffekt erreichen läßt. Wichtig ist dahei, daß das zu pumpende Medium durch besondere Ausbildung und Anordnung die Kühlmittelrohrleitung allseitig umströmen kann, so daß trotz dieser guten Kühlwirkung ein verhältnismäßig niedriger Strömungswiderstand bei der Anordnung gegeben ist.Better results are achieved with a vapor barrier for the condensation of vapors in vacuum lines using a pipeline through which a coolant flows, built into the interior of the vacuum line and which is surrounded on all sides by the flow of the medium to be pumped over a substantial part of its length, according to the invention that the coolant pipe is wound in a spiral - preferably in a cantilever manner - and built into the vacuum line in such a way that a flow resistance for the medium to be pumped results essentially only through the spiral pipe. This leads to a cooling device in which the cross section of the vacuum line is largely filled by the projection of the coolant pipe, so that a good cooling effect can be achieved. It is important that the medium to be pumped can flow around the coolant pipeline on all sides due to its special design and arrangement, so that, despite this good cooling effect, there is a relatively low flow resistance in the arrangement.

Vorteilhaft ist die Kühlmittelrohrleitung in Form eines Doppelkegels spiralig gewunden, so daß die Spitzen der Kegel aneinanderstoßen und ihre gemeinsame Achse in der Rohrachse der Vakuumleitung liegt. Auf diese Weise liegen Teile der Kühlschlange sogar mehrfach hintereinander im Dampfstrom. Zur Verhinderung des direkten Durchganges eines Teiles des Dampfstromes wird die engste Windung des Doppelkegels durch eine Sperrscheibe ausgefüllt.The coolant pipeline in the form of a double cone is advantageous spirally wound so that the tips of the cones butt against each other and their joint Axis lies in the pipe axis of the vacuum line. In this way, parts of the Cooling coil even several times in a row in the steam flow. To prevent the direct The passage of part of the steam flow becomes the narrowest turn of the double cone filled in by a locking disc.

In weiterer Ausgestaltung des Erfindungsgedankens ,werden die Zuleitungen der Kühlschlangen vakuumdicht durch eine flache Flanschscheibe geführt, an der beiderseits die Vakuumleitung angeflanscht ist, so daß die Kühlschlange von ihren Zuleitungen im Inneren der Vakuumleitung frei getragen wird. Bei dieser Anordnun- hat die Dampfsperre in Längsrichtung der Vakuumleitung nur eine sehr geringe Einbaulänge, die der Dicke der Flanschschtibe entspricht. Die Erfindung ist nicht auf die Verwendung von Wasser als Kühlmittel beschränkt; es kann auch ein Gas, z. B. COV oder eine Flüssigkeit mit niedrigem Gefrierpunkt, z. 13. Alkohol, als Kühlmittel dienen, das dann durch eine Kältemaschine rückgekühlt wird. Bei Verwendung derartiger Kühlmittel kann die Sperre infolge ihres hohen N#.'irkungsgrades auch zur Kondensation von Quecksilberdämpfen eingesetzt werden.In a further embodiment of the inventive concept, the supply lines of the cooling coils are passed vacuum-tight through a flat flange washer to which the vacuum line is flanged on both sides so that the cooling coil is freely supported by its supply lines inside the vacuum line. In this arrangement, the vapor barrier has only a very short installation length in the longitudinal direction of the vacuum line, which corresponds to the thickness of the flange washer. The invention is not limited to the use of water as a coolant; it can also be a gas, e.g. B. COV or a low freezing liquid, e.g. 13. Alcohol, used as a coolant, which is then re-cooled by a refrigeration machine. When using such coolants, the barrier can also be used for the condensation of mercury vapors due to its high degree of efficiency.

Die Fig. 1 bis 3 zeigen Ausführungsbeispiele der Erfindung.FIGS. 1 to 3 show exemplary embodiments of the invention.

Fig. 1 ist ein Längsschnitt durch die Achse von Vakuumleitung und Kühlwendel, Fig. 2 ein Schnitt durch die Flanschscheibe in Richtung A-B. In der Vakuumleitung 1 liegt eine Kühlschlange 2, die in Form eines Doppelkegels spiralig aufgewunden ist. Sie wird von ihren Zuleitungen 3 frei getragen, die vakuurndicht durch eine Flanschplatte 4 nach außen geführt sind. Beiderseits der Flanschscheibe 4 sind Vakuumrohre 5 und 6 durch Schrauben 7 angeflansebt, wobei eine Abdichtung durch Gummiringe 8 und 9 vorgesehen ist. Auf einer der beiden engsten Windungen der Kühlschlange ist eine Sperrscheibe 10 befestigt, die aus einer einmal geschlitzten, zu einer Schraubenfläche verspannten Kreisscheibe besteht. 1 is a longitudinal section through the axis of the vacuum line and cooling coil, FIG. 2 is a section through the flange disk in the direction AB. In the vacuum line 1 there is a cooling coil 2 which is wound spirally in the form of a double cone. It is carried freely by its supply lines 3 , which are guided to the outside in a vacuum-tight manner through a flange plate 4. Vacuum tubes 5 and 6 are flanged on both sides of the flange disk 4 by means of screws 7 , a seal being provided by rubber rings 8 and 9 . A locking disk 10 is attached to one of the two narrowest turns of the cooling coil and consists of a circular disk which has been slotted and braced to form a screw surface.

Fig. 3 zeigt in schematischer Form eine Vakuumanlage, bei der die erfindungsgemäße Dampfsperre in Kombination mit der Pumpenkühlung mit einem durch eine Kälternaschine rückgekühlten Kühlmittel betrieben wird. Das Kühlmittel wird durch eine Pumpe 11 gefördert und läuft in Pfeilrichtung in einem Kreise um, der aus der Dampfsperre 12 -, die hier als einfacher Kegel ausgebildet ist, dem Kühlmantel 13 der Diffusionspumpe 14 und einem Behälter 15 besteht. Der Behälter umschließt den Verdampfer 16 der Kältemaschine, deren Kompressor 17 und Kondensator18 ebenfalls angedeutet sind. Die Kühlmaschine wird durch einen in den Behälter 15 ragenden Temperaturfühler 19 gesteuert. 3 shows, in schematic form, a vacuum system in which the vapor barrier according to the invention is operated in combination with the pump cooling with a coolant recooled by a refrigeration machine. The coolant is conveyed by a pump 11 and circulates in the direction of the arrow in a circle consisting of the vapor barrier 12 -, which is designed here as a simple cone, the cooling jacket 13 of the diffusion pump 14 and a container 15 . The container encloses the evaporator 16 of the refrigeration machine, the compressor 17 and condenser 18 of which are also indicated. The cooling machine is controlled by a temperature sensor 19 protruding into the container 15 .

Claims (2)

PATENT ANS P li Ü C 11 E: 1. Dampfsperre zur Kondensation von Dämpfen in Vakuumleitungen unter Verwendung einer von einem Kühlmittel durchflossenen, in das Innere der Vakuumleitung eingebauten Rohrleitung, die auf einem wesentlichen Teil ihrer Länge allseitig vom Strom des zu pumpenden Mediums umspült wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Kühlmittelrohrleitung derart - vorzugsweise frei tragend - spiralig gewunden und in die Vakuumleitung eingebaut ist, daß sich ein Strömungswiderstand für das zu pumpende Medium im wesentlichen nur durch das Spiralrohr ergibt. PAT ENT ANS P li Ü C 11 E: 1. Vapor barrier for the condensation of vapors in vacuum lines using a pipeline through which a coolant flows and built into the interior of the vacuum line, which is washed around on all sides by the flow of the medium to be pumped over a substantial part of its length is, characterized in that the coolant pipe is so - preferably cantilevered - spirally wound and built into the vacuum line that a flow resistance for the medium to be pumped results essentially only through the spiral pipe. 2. Dampfsperre nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kühlmittelrohrleitung in Form eines Doppelkegels spiralig gewunden ist. so daß die Spitzen der Kegel aneinanderstoßen und ihre gemeinsame Achse in der Rohrachse der Vakuumleitung liegt. 3. Dampfsperre nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die engste Windung des Doppelkegels durch eine Sperrscheibe ausgefüllt ist. 4. Dampfsperre nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß die Zuleitungen der Kühlschlange vakuumdicht durch eine flache Flanschscheibe geführt sind, an der beiderseits die Vakuumleitung angeflanscht ist, so daß die Kühlschlange von ihren Zuleitungen im Innern der Vakuumleitung frei getragen wird. 5. Dampfsperre nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß als Kühlmittel ein Gas, z. B. CO, oder eine Flüssigkeit mit niedrigem Gefrierpunkt, z. B. Alkohol, dient, das durch eine Kältemaschine rückgekühlt wird. 6. Dampfsperre nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch die Verwendung als Sperre für Quecksilberdampf. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschrift Nr. 379 400; schweizerische Patentschriften Nr. 279 665, 144 942; britische Patentschrift Nr. 514 767; USA.-Patentschrift Nr. 2 437 849; deutsche Patentanmeldung E 2981 Ia/27d (bekanntgemacht am 16.10.1952). In Betracht gezogene ältere Patente: Deutsches Patent Nr. 966 544.2. Vapor barrier according to claim 1, characterized in that the coolant pipeline is spirally wound in the form of a double cone. so that the tips of the cones abut and their common axis lies in the pipe axis of the vacuum line. 3. Vapor barrier according to claim 2, characterized in that the narrowest turn of the double cone is filled by a locking disc. 4. Vapor barrier according to claim 1 or one of the following, characterized in that the supply lines of the cooling coil are guided vacuum-tight through a flat flange washer to which the vacuum line is flanged on both sides so that the cooling coil is freely supported by its supply lines inside the vacuum line. 5. Vapor barrier according to claim 1 or one of the following, characterized in that a gas, for. B. CO, or a low freezing liquid, e.g. B. alcohol is used, which is cooled back by a refrigeration machine. 6. Vapor barrier according to claim 5, characterized by the use as a barrier for mercury vapor. Documents considered: German Patent No. 379 400; Swiss patents No. 279 665, 144 942; British Patent No. 514,767; U.S. Patent No. 2,437,849; German patent application E 2981 Ia / 27d (published on October 16, 1952). Older patents considered: German Patent No. 966 544.
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