DE1037174B - Vorrichtung zur Untersuchung von Licht durchlassenden oder an ihrer Oberflaeche reflektierenden, nur auf die Phase von Lichtwellen einwirkenden Koerpern - Google Patents

Vorrichtung zur Untersuchung von Licht durchlassenden oder an ihrer Oberflaeche reflektierenden, nur auf die Phase von Lichtwellen einwirkenden Koerpern

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DE1037174B
DE1037174B DEC7567A DEC0007567A DE1037174B DE 1037174 B DE1037174 B DE 1037174B DE C7567 A DEC7567 A DE C7567A DE C0007567 A DEC0007567 A DE C0007567A DE 1037174 B DE1037174 B DE 1037174B
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light
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Georges Nomarski
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Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
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Description

  • Vorrichtung zur Untersuchung von Licht durchlassenden oder an ihrer Oberfläche reflektierenden, nur auf die Phase von Lichtwellen einwirkenden Körpern Es gibt eine große Anzahl von optischen Instrumenten, welche die physikalischen Erscheinungen der Beugung und der Interferenz des Lichts ausnutzen, um mehr oder weniger treu das reelle Profil einer Licht reflektierenden Fläche wiederzugeben oder die Verteilung der Brechungszahlen nach den Dickenänderungen eines lichtdurchlässigen Körpers festzustellen.
  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Untersuchung von Licht durchlassenden oder an ihrer Oberfläche reflektierenden, und auf die Phase von Lichtwellen einwirkenden Körpern unter Verwendung eines von der Lichtquelle hinter dem Objekt ein rechtes Bild erzeugenden optischen Systems. Man kann ein Objekt dieser Art kurz als »Phasenobjekt« bezeichnen, da es nicht auf die Amplitude, sondern auf die Phase der einfallenden Welle einwirkt. Der Phasenunterschied ist aber nicht mit dem Auge wahrnehmbar, und daher muß man zu seiner Anzeige den Phasenänderungen entsprechende Amplitudenänderungen verwenden.
  • Zur Untersuchung von lichtdurchlässigen oder an ihrer Oberfläche reflektierenden, nur auf die Phase der Lichtwellen einwirkenden Körpern sind bereits Phasenkontrastmikroskope im Gebrauch, bei denen eine ein kohärentes Licht liefernde Strahlenquelle und ein von dieser ein reelles Bild hinter dem Objekt erzeugendes optisches System mit einem Polarisationssystem zusammenarbeiten, das eine aus mehreren Abschnitten oder Zonen zusammengesetzte Pupille in Form einer doppelbrechenden Lamelle enthält.
  • Im Gegensatz zu diesem nach dem bekannten Phasenköntrastverfahren von F. Z e r n i ke arbeitenden Mikroskopen wird nach der Erfindung ein mit Polarisation verbundenes Interferenzkontrastverfahren ohne Aufteilung des Strahlenbündels vor dessen Auftreffen auf dem Objekt zur Untersuchung von lichtdurchlässigen oder lichtreflektierenden, nur die Liohtwellenamplitude beeinflussenden Körpern nutzbar gemacht.
  • Die Vorrichtung zur Untersuchung derartiger Körper ist zu diesem Zweck erfindungsgemäß unter Verwendung eines von der Lichtquelle hinter dem Objekt ein reelles Bild erzeugenden optischen Systems so ausgebildet, daß die freie Öffnung des Objektivs, d. h. die Pupille, ungeteilt belassen ist und Interferenzstreifen mit Hilfe einer Lamelle aus doppelbrechendem Kristall in der hinter dem Objekt gelegenen Ebene und damit in der Pupille des optischen Aufnahme- oder Beobachtungssystems erzeugt werden. Diese Vorrichtung weist gegenüber den bisher gebräuchlichen PhasenkontrastmikrGskopen den Vorteil auf, daß sie sowohl bei weißem wie auch bei monochromatischem Licht zu arbeiten vermag und keine Intensitätsänderung des Strahlenbündels zeigt. Das polarisierende Interferenzsystem kann erfindungsgemäß mehrere, z. B. zwei Polarisatoren irgendwelcher Art aufweisen, die zueinander in zweckmäßiger optischer Lagenbeziehung stehen und die Endteile des Systems bilden, während zwischen ihnen mindestens eine doppelbrechende Kristallamelle und gegebenenfalls wenigstens eine Hilfslamelle eingefügt sind. Die doppelbrechende kristalline Lamelle steht zwischen den beiden Polarisaboren senkrecht zum Lichtstrahlenbündel und befindet sich dabei in kurzer Entfernung von der Pupille des zur Betrachtung oder zur photographischen Aufnahme des »Phasenobjekts« dienenden optischen Systems. Die doppelbrechende Lamelle kann dabei aus einer ebenen und parallelflächigen Lamelle gewonnen sein, deren Dicke man entweder in einer einzigen Richtung oder radial unter Wahrung der Umdrehungssymmetrie von der Mitte zum Rand nach irgendeiner Gesetzmäßigkeit geändert hat.
  • Die als Hilfslamelle arbeitende kristalline Lamelle ist an irgendeinem Punkt der Achse des Interferenzsystems zwischen den beiden Polarisatoren vorgesehen und kann eben und parallelflächig sein oder mehr oder weniger von der Pärallelflächigkeit abweichen. Diese Hilfslamelle ist durch den Wert ihrer Doppelbrechungswirkung in ihrem Mittelpunkt bestimmt, die vorzugsweise gleich, aber im Vorzeichen entgegengesetzt der Doppelbrechungszahl ist, welche die Hauptlamelle in ihrer Mitte aufweist. Man kann je nach den durch die unterschiedliche Anwendungsarten bestimmten Ausführungsformen der Vorrichtung nach der Erfindung in Verbindung mit diesen Haupt- und Hilfslamellen oder ohne sie auch andere kristalline Lamellen vorsehen.
  • Wenn man irgendeine doppelbrechende kristalline Lamelle betrachtet, die in irgendeiner Ebene liegt, jedoch einen Winkel zwischen 0 und 45° mit der Achse des Interferenzsystems einschließt und deren Dicke nicht gleichförmig ist, kann man bekanntlich in polarisiertem Licht ein System von in monochromatischem Licht sichtbaren Interferenzstreifen beobachten. Eine solche, z. B. schwach prismatische Lamelle ordnet man in der Pupille eines optischen Betrachtungsgerätes mit endlichem Sichtabstand an und, wenn das Objekt, z. B. ein mikroskopisches lichtdurchlässiges Präparat, in Lage gebracht ist, projiziert man mit Hilfe eines optischen Beleuchtungssystems unter Begrenzung seiner Öffnungsweite das Bild eines Schlitzes auf das System der Interferenzstreifen, das auf der prismatischen Lamelle selbst und in geringem Abstand von dieser entsteht. Die von dem Schlitz als Lichtquelle kommenden Lichtstrahlen gehen, bevor sie die Lamelle erreichen, durch den Kondensor und das zu untersuchende Objekt sowie gegebenenfalls durch ein oder mehrere optische Elemente des angegliederten Instrumentes.
  • Um das weiße Licht benutzen zu können, ordnet man in der Lichtstrahlenbahn, z. B. in der Nähe des als Lichtquelle wirksamen Schlitzes, vorzugsweise eine weitere kristalline, ebene und z. B. parallelflächige Lamelle an, deren Dicke und Ausrichtung so gewählt sind, daß ihre Doppelbrechungswirkung praktisch die Doppelbrechungswirkung der prismatischen Lamelle an der Stelle ausgleicht, wo sich auf ihr das Bild des lichtspendenden Schlitzes projiziert.
  • Wenn die beiden Lamellen sich zwischen zwei gekreuzten Polarisatoren befinden, wird das Objekt, auf schwarzem oder grauem Grund betrachtet, je nach dem das Bild des lichtspendenden Schlitzes genau oder nicht genau mit dem schwarzen Interferenzstreifen der in der Nähe einer der Pupillen des Betrachtungsinstrumentes angeordneten prismatischen Hauptlamelle zusammenfällt. Der erste Polarisator wird unter 45° zu den neutralen Linien der ersten kristallinen Hauptlamelle ausgerichtet, um gleiche Amplituden den beiden rechtwinklig polarisierten, aus dieser Lamelle austretenden Wellen zu geben. Unter der theoretischen Annahme, daß die Hilfslamelle genau die Doppelbrechung der Hauptlamelle ausgleicht, wird sich das am Bild ankommende Licht durch Interferenz infolge der Anwesenheit des mit den ersten Polarisator gekreuzten zweiten Polarisators vernichten. Der Phasenunterschied zwisch; n den beiden polarisierten Wellen wird dabei gleich @z sein, und dies trifft ganz genau nur bei Abwesenheit des Objektes zu.
  • Die Phasenstruktur dieses Objektes ruft bei dem Lichtbündel kleine örtliche Abweichungen hervor, welche eine Ausbreitung des pupillaren Bildes des Schlitzes zur Folge haben. Nun ändert sich aber die Übertragung der komplexen Lichtamplituden rasch in der zu den Interferenzstreifen senkrechten Richtung in polarisiertem Licht, d. h. senkrecht zu der Kante des- durch die Seitenflächen der Lamelle bestimmten Gebildes. Die Amplitude und die Phase des durch die Pupille gehenden Lichtes sind vollständig durch den Abstand festgelegt, welcher den schwarzen Streifen von dem Punkt trennt, durch den der von einer phasenverschiebenden Einzelheit des Objektes kommende Strahl geht. Dieser Strahl ist aber mehr oder weniger je nach der örtlichen Größe der Neigung der Änderung des optischen Weges abgelenkt, die durch die Struktur des Objektes eingeführt wird. Daraus ergibt sich ein Interferenzkontrast, welcher das Phasengefüge des zu untersuchenden Objektes zum Verschwinden bringt. Die Belichtungsänderungen in dem Bild sind nämlich proportional dem Abfall der Änderungen der optischen Dicke, welche durch die kombinierten Änderungen der absoluten Dicke und der Brechungszahl bedingt sind. Der so erhaltene Kontrast ist durch die Relativverschiebung der prismatischen Lamelle und des sich auf dieser oder nicht weit davon formenden Bildes des lichtspendenden Schlitzes regelbar.
  • Man kann stets einen Kontrast erhalten, der gleich der Einheit für ein bestimmtes Objekt ist. Dieses Objekt, das durch die Ableitung des normalen Profils seiner ausgehenden Welle wiedergegeben wird, erscheint auf einem kohärenten Grund, dessen Phase man zweckmäßig regelt. Es genügt dabei, die allgemeine Regel zu beachten, daß man das Bild des Schlitzes in um so weiterer Entfernung von dem schwarzen Minimum des achromatischen Interferenzstreifens projiziert, je größer der Unterschied der optischen Wege ist, der durch die untersuchte Einzelheit des Objektes bedingt ist.
  • Die Relativverschiebung des Bildes der Lichtquelle und der Interferenzstreifen der Hauptlamelle kann auf verschiedene Weise bewirkt werden. Beispielsweise kann man einerseits die effektive Verschiebung der Hauptlamelle oder der Schlitzblende und andererseits die Verschiebung der Interferenzfigur der Hauptlamelle ohne Änderung ihrer Lage anwenden. Diese letztere Verschiebung kann entweder durch Verschiebung der Hilfslamelle, wenn diese prismatisch ist, oder mit Hilfe eines doppelbrechenden Kompensators irgendwelcher Bauart erfolgen, der in den die beiden Polarisatoren trennenden Zwischenraum eingefügt ist.
  • Um die Lichtwirkung der Bilder zu steigern, kann man die Blende beseitigen, welche die Öffnungsweite des optischen Beleuchtungssystems begrenzt. Es genügt hierfür, der Hilfslamelle eine besondere Form in Anpassung an die Form der Hauptlamelle zu geben. Beispielsweise kann diese Lamelle mit dem optischen Beleuchtungssystem verbunden werden.
  • Nimmt man den einfachsten Fall als Beispiel, so weisen die beiden prismatischen Lamellen die gleichen Winkel auf und sind mit einer zur Achse des Kristalls parallelen Seitenfläche ausgeführt, und außerdem sind ihre Achsen um 90° zueinander ausgerichtet, wenn bei übereinanderliegenden Lamellen die Kanten der Prismen parallel sind.
  • Wenn man eine dieser Lamellen, z. B. die Hilfslamelle, in der Eintrittspupille des Kondensors und die andere - Lamelle, z. B. die Hauptlamelle, in der Austrittspupille dies die gleiche Brennweite wie der Kondensor aufweisenden Objektivs anordnet, kann man die ganze Öffnungsweite des Lichtbündels ausnutzen, ohne daß der sich daraus ergebende Kontrast eine Verminderung erfährt. Man muß natürlich die Lamellen so ausrichten, daß ein die Hilfslamelle an irgendeinem Punkt ihrer nützlichen Öffnung durchquerender Lichtstrahl nach einem Punkt der Hauptlamelle gelangt. wo die Doppelbrechung gleich und im Vorzeichen entgegengesetzt der bei der Hilfslamelle an dem entsprechenden Punkt vorhandenen Doppelbrechung ist.
  • Wenn man sich einen die Öffnung der prismatischen Hilfslamelle abtastenden Schlitz vorstellt, kann man leicht verstehen, da:B die örtlich auf die Hauptlamelle beschränkte Interferenzfigur sich gleichzeitig mit dem auf diese Lamelle projizierten Bild des Schlitzes verschieben wird. Nichts steht daher der vollständigen Öffnung des Lichtbündels entgegen, da alle Lichtstrahlen in gleicher Weise zu der Interferenzerscheinung heitraen, was die zur Anwendung kommende Lichtenergie ohne Trübung des Interferenzbildes zu erhöhen gestattet. Die Regelung des Interferenzkontrastes, - der dem zu untersuchenden Objekt anzupassen ist, geschieht durch Relativverschiebung der kristallinen Lamellen in der Richtung ihrer Schrägflächen. -Um die Anordnung ohne Schlitz in dem Falle benutzen zu können, wo die Leistungen des Objektivs und des Kondensors in irgendeinem Verhältnis zueinander stehen, müssen die Winkel der mit diesen Systemen verbundenen prismatischen Lamellen proportional den Leistungen des Objektivs bzw. des Kondensors sein.
  • Man kann auch eine einer einfachen prismatischen Lamelle mit veränderlichem Winkel gleichwertige kristalline Doppellamelle verwenden, welche sich aus zwei Lamellen zusammensetzt, deren Achsen sich kreuzen und deren eine Seitenfläche konvex oder konkav, kugelig oder zylindrisch ist. Wenn die beiden Lamellen exzentrisch zueinander sind, ändert sich die sich ergebende Doppelbrechung linear um so rascher, je größer die Exzentrizität und je stärker die Krümmung an dem Scheitel der gewölbten Seitenflächen ist. Eine Doppellamelle, die mit einem die Exzentrizität der beiden Einzellamellen regelnden Mechanismus versehen ist, kann in der Art einer T-Tniversal-Hilf slam@elle benutzt werden, welche sich den irgendeinen Winkel aufweisenden prismatischen Hauptlamellen anpaßt und mit einem optischen Betrachtungssystem beliebiger Brennweite verbunden ist. Eine Doppellamelle dieser Art kann ohne weiteres an Stelle einer einfachen Hauptlamelle verwendet werden, was die Empfindlichkeit der Vorrichtung nach Bedarf und Wunsch zu regeln gestattet.
  • Das Prüfgerät nach der Erfindung kann auch zur Untersuchung von Körpern in reflektiertem Licht mit Hilfe von geeigneten optischen Instrumenten verwendet werden. Die Lage allein des Belichtungssystems, das bei dien Änderungen in Betracht kommt, muß bei der jeweiligen Ausführung der Vorrichtung angepaßt werden. Beispielsweise sei die Benutzung ein-es Mikroskops für die Untersuchung von reflektierenden Flächen angenommen, bei welchen das Lichtbündel durch Vermittlung des gleichzeitig auch als Kondensor dienenden Objektivs auf das Objekt geworfen wird.
  • Man will z. B. eine zur Achse des Mikroskops senkrechte oder praktisch senkrechte ebene Fläche mit Hilfe der Interferenzvorrichtung nach der Erfindung auf ihre Beschaffenheit hin untersuchen. Die Brennweiten des Betrachtungssystems und des Lichtsystems sind dabei gleich, da es sich um das gleiche System handelt, das nacheinander diese beiden Aufgaben erfüllt, und man verwendet daher zwei Lamellen von ähnlicher Form. Wenn diese Lamellen z. B. prismatisch sind, klebt man. sie zusammen, so daß sie ein (xesamtgebilde in Form einer ebenen, parallelflächigen Lamelle ergeben. Die Eingangspupille des Kondensorsystems fällt mit der Ausgangspupille des Objektivs in der hinteren Brennebene des Objektivs zusammen, und' die beiden miteinander verbundenen Lamellen sind in dieser hinteren Brennebene angeordnet.
  • Die Regelung des Kontrastes, die züm Zweck hat, mit einem Optimum von Empfindlichkeit eine ausgewählte Kategorie von Fehlern der Ebenflächi.gkeit zu ermitteln, wird entweder in der gleichen Weise wie im Falle der Betrachtung durch Transparenz oder durch Neigung des Probestückes erzielt. Auch ist die Vorrichtung nach der Erfindung nicht auf die ausschließliche Benutzung von schwach prismatischen Lamellen beschränkt, und die Symmetrie zu einer Ebene kann durch eine Umdrehungssymmetrie zu der Achse des angeschlossenen Instrumentes ersetzt werden. Es werden dann alle optischen Erscheinungen auch diese Umdrehungssymmetrie zeigen, und in diesem Falle gibt es keine gerichtete Wirkung mehr bei der Kontrastbildung, mit der eine Änderung des optischen Weges entsteht, die durch das Objekt eingeführt wird.
  • Die einfachste Form, welche wenigstens einer der Flächen der Hauptlamelle gegeben werden kann, ist die Kugelform mit einem gegenüber dem nützlichen Durchmesser großen Halbmesser, wobei Meridiane nicht ausgeschlossen sind, welche von dem Kreis abweichen. Ist die Hilfslamelle beispielsweise eben und parallelflächig, so wird man auf der Hauptlamelle die schon von B i o t beschriebenen Interferenzringe beobachten.
  • Einer dieser kreisbogenförmigen Interferenzstreifen ist achromatisch und zwischen den gekreuzten Polarisatoren schwarz, wenn die Dicke der Hilfslamelle zwischen der Dicke in der Mitte und der Dicke am Rand der Hauptlamelle liegt. Wenn die Öffnungsweite des Kondensors auf einen feinen Ring, d. h. einem kreisförmigen Spalt beschränkt ist und sich auf den schwarzen Interferenzstreifen projiziert, beobachtet man das Objekt auf dem schwarzen Grund. Der Phasenunterschied zwischen den beiden unter einem rechten Winkel polarisierten und auf dem Bild zusammentreffenden Wellen ist gleich a. Auf Grund der durch die Struktur des Objektes eingeführten Phasenverschiebung ist es vorteilhaft, sich von dem Phasenunterschied n zu entfernen, und diese Abweichung muß proportional dem Betrag der örtlichen Phasenverschiebung des Objekts sein.
  • Wie bei den Lamellen mit geradlinigen Interferenzstreifen muß man das Bild der ringförmigen Lichtquelle etwas von dem schwarzen Interferenzstreifen entfernen, aber diesesmal unter Aufrechterhaltung der Umdrehungssymmetrie. Hierfür genügt es, die relatiren Durchmesser des Bildes der ringförmigen Lichtquelle und des Interferenzstreifens zu ändern. Man kann hierfür entweder ein mit einer veränderlichen @% ergrößerung das Bild seiner Pupille auf die Pupille des Objektivs projizierendes Lichtsystem benutzen oder zwischen die Polarisatoren einen regelbaren doppelbrechenden Kompensator einschalten, welcher durch Erzeugung einer ergänzenden Doppelbrechung dien Durchmesser der Interferenzringe der Hauptlamelle zu Änderungen veranlaßt.
  • Was den Einfluß der Dicke der Lamellen auf die Konstanz des kohärenten Grundes bei jedem benutzten Objektfeld betrifft, so überschreitet beispielsweise in einem üblichen Mikroskop der halbe Feldwinkel kaum den Wert von a=115, und eine sehr einfache Rechnung zeigt, daß Quarzlamellen von 0,5 mm Dicke einte Phasenänderung in der Größenordnung von gz/20 von der Mitte bis zum Rand des Feldes hervorrufen. Wenn man eine höhere Genauigkeit erreichen will oder wenn der Feldwinkel größer ist, nimmt man Kombinationen von kristallinen Lamellen zu Hilfe, welche einfachen Lamellen mit der Dicke Null gleichwertig sind. Man erhält diese Lamellen, indem man an Lamellen mit nicht parallelen Seitenflächen kristalline Lamellen anklebt, welche die Doppelbrechung in der Mitte dieser nicht parallelflächigen Lamellen aufheben. Dieser Ersatz der einfachen Lamellen durch Doppellamellen macht zwar die Vorrichtung etwas verwickelt, ermöglicht aber die Benutzung von optischen Instrumenten mit großem Lichtfeld.
  • Die Zeichnung veranschaulicht die Vorrichtung nach der Erfindung beispielsweise in mehreren Ausführungsformen.
  • Fig.l zeigt in einem schematischen Achsschnitt eine optische Vorrichtung mit einer polarisierenden Interferenzvorrichtung mit zwei kristallinen Lamellen, welche beide in der Austrittspupille des Objektivs angeordnet sind; Fig. 2 läßt ebenfalls in schematischem Achsschnitt einen zur Betrachtung von isotropen Körpern durch Lichtübertragung dienenden Apparat erkennen, der zwei am Kondensor bzw. am Objektiv vorgesehene prismatische kristalline Lamellen enthält und die nicht von einer Blende abhängige Öffnungsweite des Lichtbündels auszunutzen gestattet; Fig.3 gibt in schematischer Darstellung die Verwendung einer Doppellamelle als Hilfslamelle wieder, welche als Prisma mit veränderlichem Winkel wirkt und die Benutzung von Objektiven und von prismatischen Hauptlamellen irgendwelcher Ausführung ermöglicht; Fig.4 zeigt im schematischen Achsschnitt ein lichtstarkes Mikroskopobjektiv üblicher Ausführung, dessen Pupille und damit dessen hintere Brennebene nicht zugänglich ist; Fig.5 ist ein schematischer Schnitt durch ein Betrachtungsokular, das mit einer polarisierenden Interferenzvorrichtung nach der Erfindung an seiner Ausgangspupille versehen ist und eine kristalline prisinatische Lamelle von der gleichen Ausführung wie die Lamelle in Fig. 4 aufweist; Fig.6 zeigt im Achsschnitt eine der Vorrichtung nach Fig. 4 ähnliche Vorrichtung, die aber eine Hauptlamelle von einer eine Drehachse zulassenden Form enthält; Fig. 7 gibt schematisch in größerem Maßstabe einen photogräphischen Apparat wieder, der zur Untersuchung im reflektiertem Licht entweder der Beschaffenheit von optischen Oberflächen oder der Schichten in gasförmigen oder flüssigen Körpern dient; Fig. 8 zeigt einen schematischen Schnitt durch ein sogenanntes metallographisches Mikroskop, das mit der Vorrichtung nach der Erfindung ausgerüstet ist und die Erzielung eines Bildes im Interferenzkontrast ohne Kollimation des Lichtbündels gestattet; Fig. 9 zeigt schematisch eine Anordnung der kristallinen Hauptlamelle in einem System mit reiner Reflexion.
  • Die Anordnung nach Fig. 1 ist insbesondere für die mit Transparenz durchzuführende Untersuchung von Körpern geeignet, welche eine sich ihrer Beleuchtung durch polarisiertes Licht wiedersetzende Doppelbrechung aufweisen. Gemäß Fig. 1 ist die Lichtquelle durch einen ausgeleuchteten Schlitz .S gegeben, vor dem ein als Kollimator wirkender Kondensor C angeordnet ist, auf den in der Bahn des Lichtbündels das zu diesem senkrecht stehende Objekt X und weiterhin ein Objektiv O folgt, und dieses enthält in seiner Ausgangspupille ein mit Polarisation arbeitendes Interferenzsystem, welches einen Polarisator Pp eine Hauptlamelle Q, einen Kompensator K und einen zweiten Polarisator P2 umfaßt. In der praktischen Ausführung der ganzen Vorrichtung können die Brennweiten der beiden auswechselbaren Objektive O des Mikroskops beispielsweise 16 und 8 mm betragen und die Brennweite des als Kollimator wirkenden Kondensors C 25 mm und die Länge des Mikroskoprohres 180 mm sein. Die Hauptlamelle Q besteht parallel zur Achse aus Quarz und weist in der Mitte eine Dicke von 0,5 mm auf. Die kristallographische Achse der Lamelle Q ist senkrecht zur Zeichnungsebene ausgerichtet, und die Lamelle ist schräg unter einem Winkel von 1 ° geschnitten und durch eine Glaslamelle von gleichem Neigungswinkel ergänzt.
  • Man benutzt dieselbe Lamelle für die beiden Objektive O und nimmt an, daß sie ein positives Bild liefern. Die Quarzlamellen werden dann in den Brennebenen der Objektive O angeordnet. Der Kompensator K ist in dem Rohr des Mikroskops untergebracht und besteht aus zwei schwach prismatischen, nach einer Ebene parallel zur Achse geschnittenen Lamellen. Die Ausrichtung der Achse ist parallel zur Zeichnungsebene bei der ersten Lamelle und senkrecht zu dieser Ebene bei der zweiten Lamelle. Der Winkel des Keiles ist von der Größenordnung von 20', und die Dicke der ersten Lamelle beträgt 0,5 mm und die Dicke der zweiten Lamelle 1 mm, und der Dickenunterschied dient zur Aufhebung der Doppelbrechung im Mittelpunkt der Hauptlamelle Q.
  • Als Polarisatoren P1 und P2 werden Polarisationsfolien verwendet, die je zwischen zwei Lamellen angeordnet und unter 45° zur Zeichnungsebene ausgerichtet sind. Die Regelung des Kontrastes erfolgt durch die Verschiebung des beweglichen Keiles aus Quarz am Kompensator K.
  • Fig. 2 zeigt die Vorrichtung nach der Erfindung in ihrer einfachsten Ausführungsform, welche die vollständige Öffnungsweite des Lichtstrahlenbündels auszunutzen gestattet. Gemäß Fig. 2 ist eine Lamelle q in der vorderen Brennebene des Kondensors C angeordnet, dessen Brennweite beispielsweise 16 mm beträgt und dessen Öffnungsweite ein sin u von etwa 0,50 aufweist. Man verwendet zwei Lamellen q mit einer Dicke von 0.5 mm und mit einem Winkel von 1° bzw. 30' in Verbindung mit den zwei Objektiven O von 16 bzw. 8 mm Brennweite, und beide enthalten identische Lamellen mit einem Winkel von 1° und mit einer Dicke von 0,5 mm. Die Ausrichtung der Lamellen q, Q ist aus Fig. 2 ersichtlich.
  • Die Regelung des Kontrastes wird mit Hilfe .des Kompensators K erreicht, welcher Schrägflächen aus Quarz von gleicher Form aufweist, von denen eine sich verschieben läßt. Man kann die Kontrastregelung auch durch Einwirkung auf die Lamelle q erreichen, wenn der Kompensator K fehlt, Um die Auswechselung der Lamellen q zu vermeiden, kann man eine stetig veränderbare Einstellamelle verwenden, die einer einfachen prismatischen Lamelle mit veränderlichem Spitzwinkel gleichwertig ist und gemäß Fig. 3 aus zwei Lamellen q1 und q2 besteht, deren Achsen sich kreuzen und bei denen eine der Seitenflächen beispielsweise konkav gekrümmt ist. Wenn die beiden Lamellen qi, q2 um einen bestimmten Betrag in exzentrisch zueinander eingestellt sind, wirkt ihre Gesamtheit wie eine prismatische Lamelle mit dem Winkel wobei R der Krümmungsradius der Lamellen q1, q2 ist und zweckmäßig zu etwa 50 mm gewählt wird. Da die Doppelbrechung in der Mitte der Hilfslamelle Null ist, wird zweckmäßig eine Hauptlamelle verwendet, die aus zwei Teilen zusammengesetzt ist und deren Doppelbrechung ebenfalls in ihrer- Mitte ausgeglichen ist. Um ähnliche Verhältnisse wie im Falle der Fig. 2 zu schaffen, wird die Lamelle Q aus zwei prismatischen Lamellen Q, und Q2 mit einem Winkel von je 30' in der aus Fig.3 ersichtlichen Weise zusammengesetzt.
  • Bei der Anordnung nach Fig. 4 ist eine aus zwei prismatischen Lamellen Q, und Q2 gebildete Hauptlamelle mit einem lichtstarken Mikroskopobjektiv vereinigt, wobei die Kristallatome der beiden Lamellen so ausgerichtet sind, daß die Ebene der Einstellung der Interferenzstreifen um den nötigen Abstand versetzt wird, um eine bequeme Ausführung der Vorrichtung zu ermöglichen. Fig. 4 stellt die praktische Art der Anpassung einer Hauptlamelle an ein Objektiv dar, dessen hintere Brennebene nicht zugänglich ist. Für das gute Arbeiten des Apparates und zur Vermeidung einer zu sehr verwickelten Ausführung des üblichen Mikroskops müssen die Interferenzstreifen in dieser Ebene örtlich festgelegt werden Zu diesem Zweck benutzt man eine prismatische Lamelle, deren eine Seitenfläche senkrecht zu der die Achse enthaltenden Hauptebene geschnitten ist und einen bestimmten Winkel mit dieser Achse einschließt. Die Ouarzlamelle Q1 hat eine um 45° geneigte Achse, und ihr Keilwinkel ist 30', und ihre Dicke in der Mitte beträgt 1 mm. Die Lamelle Q2 ist parallel zur Achse geschnitten, und ihre Dicke ist 0,5 mm, was zum Ausgleich der zweimal schwächeren Doppelbrechung der Lamelle Q genügt. Unter diesen Verhältnissen ist die Ebene der örtlichen Festlegung der Interferenzstreifen um ungefähr 30 mm, gemessen in der Luft, versetzt. Wenn diese Versetzung zu groß ist, kann man die Neigung der Achse der Lamelle Q, verringern.
  • Eine derartige Anordnung, welche die bemerkenswerte Eigenschaft aufweist. die Interferenzerscheinungen örtlich festzulegen, wird nach Abb.5 praktisch verwendet, wo auch durch eine besondere Lage der kristallographischen Achse die Versetzung der Ebene der örtlichen Festlegung der Interferenzstreifen und damit eine bequeme okulare Beobachtung für den Betrachter ermöglicht wird.
  • Wenn man das Verfahren des Interferenzkontrastes bei einem gewöhnlichen Mikroskop ohne Änderung der Objektive anwenden will, kann man die Lamelle Q (vgl. Fig. 5) in der Ausgangspupille des Betrachtungsokulars 0" anordnen. Aber diese Pupille ist durch das Auge des Betrachters eingenommen, und es ist viel bequemer, aus der Lamelle Q heraus, dieses Mal in der anderen Richtung, die Ebene der Entstehung der Interferenzstreifen, welche die Augenpupille berühren soll, heraustreten zu lassen.
  • Beispielsweise bringt man vor ein Vergrößerungsokular eine Lamelle Q, welche sich (vgl. Fig. 5) aus einer Lamelle 0, mit dem Winkel 1° 30' und einer Achsenneigung von 45° sowie einer mittleren Dicke von 1,5 mm und aus einer Lamelle Q2 mit einer mittleren Dicke von 0,75 mm in der Mitte und mit zur Achse parallelen Flächen zusammensetzt. Der Polarisator P vervollständigt die ganze Anordnung, welche mit einem Beleuchtungsgerät der anläßlich der Hauptiig. 1, 2 und 3 beschriebenen und aus diesen ersichtlichen Art benutzt werden kann.
  • Die in Fig.6 wiedergegebene Vorrichtung weist eine Hauptlamelle Q auf, deren eine Seitenfläche konkav ist. Im Falle eines gewöhnlichen Mikroskops ist diese Lamelle in der Austrittspupille des Objektivs 0 angeordnet. Der Krümmungsradius dieser Lamelle Q ist beispielsweise in der Größenordnung von 75 mm, wenn sie aus nuarz besteht, und von 1400 mm, wenn sie aus Kalkspat besteht. Die Lamelle ist parallel zur Achse geschnitten, welche senkrecht zu der Zeichnungsebene steht. Die Mindestdicke der Lamelle Q ist z. B. 1 mm, wenn die prismatische Lamelle des Konipensators K eine mittlere Dicke von 1 mm aufweist. Die Hilfslamelle q muß die Lamelle Q und die in gleicher Weise ausgerichtete prismatische Lamelle des Kompensators K ausgleichen, weshalb ihre Dicke gleich der Summe der Dicken von Lamelle Q und Kompensatorlamelle K. d. h. gleich 2 mm ist.
  • Da die örtlich festgelegten Interferenzstreifen gleicher Doppelbrechung kreisförmig sind, benutzt man in diesem Fall gemäß Fig. 6 eine ringförmige Lichtquelle S, die in der Eingangsöffnung des Kondensors C ähnlich wie bei dem Falle eines mit Phasenkontras:t arbeitenden Mikroskops. bekannter Bauart angeordnet ist.
  • Zwecks Einstellung auf höchsten Kontrast paßt man den Durchmesser des Bildes der Lichtquelle auf der Lamelle Q und den Durchmesser des schwarzen achromatischen Interferenzringes, der bei sich kreuzenden Polar isatoren P, ;und P2 auf der Lamelle Q entsteht, einander ungefähr an. Die Dicke der plankonkaven Lamelle ändert sich von der Mitte zum Rande nach dem angenäherten Gesetz bei welchem h der Abstand des in Betracht kommenden Punktes von der Mitte der Lamelle und e, die Dicke in der Mitte der Lamelle bezeichnet. Wenn der Radius des Bildes der Lichtquelle S,. gleich h ist, genügt es, dem Dickenunterschied der Lamellen K und q einen Wert gleich e zu geben, um einen schwarzen Interferenzgrund zu erhalten. Da eine Änderung von 32 iL der Ouarzdicke einer Änderung von )l2 entspricht, genügt es, die Dicke eu+ek um ± 15 #t um den Wert e des genauen Ausgleiches schwanken zu lassen, um alle möglichen Erscheinungen des achromatischen Interferenzkontrastes zu erzielen, was gestattet, den Wert der Phasenverschiebung in bester Anpassung an das zu untersuchende Objekt zu wählen. Eine derartige Anordnung kann auch mit prismatischen Lamellen ausgeführt werden, und in diesem Fall ist das Änderungsgeset7 für die Dicke der Hauptlamelle Q ein lineares Gesetz, statt parabolisch wie bei dem im einzelnen beschriebenen Beispiel zu sein.
  • Die Vorrichtung nach der Erfindung kann auch, wie Fig. 7 zeigt, für die photographische Aufzeichnung von Bildern benutzt werden. In diesem Fall wird das Licht der Lichtquelle S durch Vermittlung eines halblichtdurchlässigen Spiegels G auf die z. B. prisinatische Lamelle Q geleitet, welche sich in dem Krümmungsmittelpunkt eines konkav gewölbten Spiegels 1i1 befindet, dessen Oberflächenbeschaffenheit man untersuchen will. Von da wird das Licht durch Reflexion zurückgeworfen und geht ein zweites Mal durch die Lamelle Q. Ein photographischer Aufnahmeapparat, der nach der Oberfläche des Spiegels !1T gerichtet ist, vervollständigt die ganze Vorrichtung.
  • Man kann auch eine derartige Vorrichtung zur Schichtenuntersuchungbenutzen und braucht zu diesem Zweck nur einen Spiegel IV von guter Beschaffenheit zu nehmen und den Raum zwischen dem Spiegel NI und der Lamelle Q zur Prüfung und Untersuchung der Schichten von gasförmigen oder flüssigen Körpern auszunutzen. Diese Anordnung ist insbesondere für die Untersuchung von kurzzeitig auftretenden Erscheinungen auf Grund ihrer großen Leuchtwirkung ge; ignet, da sie im Gegensatz zu den hierfür bekann:_n Anordnungen ein nicht kollimatiertes Lichtbündel benutzt. ohne die erzielte Empfindlichkeit zu mindern.
  • Fig. 8 zeigt die Anwendung der Vorrichtung nach der Erlindung bei einem üblichen metallographischen Mikroskop, bei dem das von der Lichtqu,-lle S kommende Strahlenbündel auf der unteren Hälfte der Lamelle Q mittels eines kleinen lichtundurchlässigen Spiegels ;;zum Auftreffen gebracht wird. Die Lamelle O befindet sich in der Brennebene des Objektivs O, wenn dieses zugänglich ist. Anderenfalls benutzt man eine Hauptlamelle von der anläßlich der Fig.4 beschriebenen besonderen Ausführungsforte. Nach Reflexion auf der Oberfläche des reflektierenden Objektes X kehrt das Lichtbündel nach dem Objektiv 0 zurück, geht durch die obere Hälfte der Lamelle Q und vereinigt sich zu dem Bild X'. Der Polarisator P1 ist dabei dem Spiegel in vorgeschaltet und der Polarisator P, der Lamelle Q nachgeschaltet.
  • Die Ausführungsform der Erfindung nach Fig.9 eignet sich vor allem für die Untersuchung in einem ausgedehnten spektralen Bereich. Die Anordnung enthält nach Fig.9 ein zusammengesetztes Mikroskop mit reiner Reflexion. Die Spiegel ml und m2 bilden das Objektiv, und der Spiegel m. wirkt als Feldlinse, welche gleichzeitig die Ausgangspupille des Objektivs zugänglich macht, indem es sein reelles Bild auf der Hauptlamelle Q zum Entstehen bringt. Das Bild X' des Objekts X wird dann durch das Spiegel-<< stem rfa4 und res von der Bauart Cassegrain aufgenommen, welches die Rolle des Projektionsokulars spielt und auf einer Aufnahmefläche das endgültige Bild X" erzeugt.
  • Die Anwendung der Vorrichtung nach der Erfindung im Ultraviolett- und Infrarotbereich mit Durchgang durch den sichtbaren Bereich ist durchaus angezeigt und auf Grund des genauen Achromatismus der zur Wirkung gebrachten Interferenzerscheinungen und der spektralen Transparenz des natürlichen Kristalls der Lamelle Q sehr vorteilhaft.

Claims (14)

  1. PATENTANSPRÜCHE: 1. Vorrichtung zur Untersuchung von Licht durchlassenden oder an ihrer Oberfläche reflektierenden, nur auf die Phase von Lichtwellen einwirkenden Körpern unter Verwendung eines von der Lichtquelle hinter dem Objekt ein reelles Bild erzeugenden optischen Systems, dadurch gekennzeichnet, daß die freie Öffnung des Objektivs (O), d. h. die Pupille, ungeteilt belassen wird und Interferenzstreifen mit Hilfe einer Lamelle aus doppelbrechendem Kristall (Ql, Q2) in der hinter dem Objekt (X) gelegenen Ebene des reellen Bildes der Lichtquelle (S) und damit in der Pupille des optischen Aufnahme- oder Beobachtungssystems (K) erzeugt werden (Fig. 1.).
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen zwei Polarisatoren (P1 und P2) mindestens eine doppelbrechende Kristallamelle (Ql, Q2) und gegebenenfalls wenigstens eine Hilfslamelle (q1. q2) vorgesehen ist (Fig.3).
  3. 3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Hilfslamelle (ql, q2) in ihrer Mitte eine Doppelbrechungswirkung aufweist, die gleich und im Vorzeichen entgegengesetzt der bei der doppelbrechenden Kristallamelle (Q" Q,) in deren Mitte vorhandenen Doppelbrechungswirkung ist (Fig.3).
  4. 4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine prismatische doppelbrechende Lamelle (Q1, Q2) und wenigstens eine planparallele Hilfslamelle (q1, q2) an irgendeiner Stelle im Zwischenraum zwischen den zwei Polarisatoren (P1, P2) angeordnet ist und die Lichtquelle durch einen stark ausgeleuchteten und zu den Interferenzstreifen parallelen Schlitz gebildet ist (Fig. 3).
  5. 5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine prismatische doppelbrechende Lamelle (Q) mit einer ziemlich stark mit Bezug auf ihre glatten Flächen geneigten kristallographischen Achse vorgesehen ist, durch die eine schwache Versetzung der Ebene der örtlichen Festlegung der Interferenzstreifen erreicht ist (Fig.5).
  6. 6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die prismatische doppelbrechende Lamelle (Q) vor dem Okular des zweiten optischen Systems (0,) angeordnet ist, so daß eine die Betrachtung erleichternde okulare Wiedergabe erreicht ist (Fig.5).
  7. 7. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzielung einer leichten Austauschbarkeit der Objektive (O) und der doppelbrechenden Lamelle (Q) die Hilfslamelle aus zwei Linsen (q1 und q2) mit einer ebenen Seitenfläche und mit sich kreuzenden neutralen Linien sowie mit regelbarer Exzentrizität gebildet ist (Fig.3). B.
  8. Vorrichtung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Linsen (q1 und q2) der Hilfslamelle plankonvex sind (Fig. 3).
  9. 9. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Linsen (q1 und q2) der Hilfslamelle plankonkav sind (Fig. 3).
  10. 10. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß an die doppelbrechende Lamelle (Q) zum Ausgleich ihrer Wirkung eine zusätzliche doppelbrechende Lamelle (q) angekittet ist (Fig. 6).
  11. 11. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzielung von kreisförmigen Interferenzstreifen die Lichtduelle (Sr) ringartig ausgebildet und einer gekrümmten doppelbrechenden Lamelle (Q) ein einer doppelbrechenden planparallelen Lamelle mit veränderlicher Dicke gleichwertiger Kompensator (K) nachgeschaltet ist (Fig. 6).
  12. 12. Vorrichtung nach Anspruch 1.1. dadurch gekennzeichnet, daß zur Untersuchung von reflektierenden Flächen das zweite optische System (O) das Ausgangsobjektiv eines Mikroskops ist und eine in ihrer Mitte eine Doppelbrechung Null aufweisende Doppellamelle in der Austrittpupille des Objektivs (O) angeordnet ist (Fig.4).
  13. 13. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß eine einzige Doppellamelle (Q) in der Mitte des ersten optischen Systems vorgesehen ist, das beispielsweise durch einen konkaven, als Autokollimator wirkenden Spiegel (m..) gegeben ist, mit dessen Mitte die vordere Pupille des Objektivs zusammenfällt (Fig. 9).
  14. 14. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das erste optische System ein rein reflektierendes System (ml, M2) ist, das mit einem konkaven, als Feldlinse dienenden Spiegel (in.) vereinigt ist, während die doppelbrechende Lamelle (Q) im Brennpunkt dieses konkaven Spiegels (m3) angeordnet ist und dort das reelle Bild der Brennebene des ersten optischen Systems enpfängt und das zweite optische System ein das endgültige Bild lieferndes Keilsystem mit Spiegeln (m4, m5) ist (FinG. 9) . In Betracht gezogene Druckschriften: Französische Patentschrift Nr. 947 615; _ britische Patentschriften Nr. 643 048, 639014; USA.-Patentschrift Nr. 2 516 905.
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DE1095005B (de) * 1953-11-25 1960-12-15 Winfried Schrader Dipl Phys Vorrichtung zur Herstellung einer interferenzoptischen Abbildung

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