DE10344493A1 - Fluid-Massenströmungssensor mit reduziertem Fluideintritt - Google Patents
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Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erkennung eines Zustandes eines strömenden Fluids innerhalb eines Fahrzeuges. Die Vorrichtung umfasst eine Bodenplatte (12) mit einer Aufnahmefläche (20) und einem Umfangsrand (22), wobei die Bodenplatte (12) aus einem ersten Material mit einem ersten Wärmeausdehnungskoeffizienten hergestellt ist. Weiterhin umfasst sie ein Substrat (13) mit einer gedruckten Schaltung (14), wobei das Substrat (13) auf der Aufnahmefläche (20) der Bodenplatte (12) angeordnet ist. Weiter ist ein Gehäuse (15) mit einer Gehäuseabdeckung (16) und sich vom Gehäuse (15) erstreckenden umfänglichen Seitenwänden (23) vorgesehen, wobei die Seitenwände (23) angrenzend zum Umfangsrand (22) an der Aufnahmefläche (20) angeordnet sind, um eine umfängliche Verbindungsstelle (24) zu bilden, die das Substrat (13) innerhalb des Gehäuses (15) umschließt. Das Gehäuse (15) ist aus einem zweiten Material mit einem zweiten Wärmeausdehnungskoeffizienten hergestellt. An der Verbindungsstelle (24) ist ein Klebstoffmaterial (18) angeordnet, um das Gehäuse (15) mit der Bodenplatte (12) zu verkleben. Das Klebstoffmaterial (18) weist einen Wärmeausdehnungskoeffizienten und ein Elastizitätsmodul auf, die dazu vorgesehen und geeignet sind, das Eindringen von Fluiden durch die umfängliche Verbindungsstelle (24) zu reduzieren und die Wärmeausdehnung des ersten und zweiten Materials aneinander anzupassen.
Description
- Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Fluid-Massenströmungssensor und ein Verfahren zur Reduzierung von Verunreinigungen durch Fluideintritt in Fluid-Massenströmungssensoren.
- Um einen optimalen Betrieb einer Brennkraftmaschine zu ermöglichen, werden heutzutage elektronische Steuerungen eingesetzt. Typischerweise umfassen elektronische Steuersysteme eine primäre Steuereinheit zur Verarbeitung von Steueralgorithmen und eine Vielzahl von Sensoren, die der primären Steuereinheit Steuersignale zuführen. Ein solcher Sensor für eine optimale Motorsteuerung ist der Fluid-Massenströmungssensor zur Messung der Luftmenge, die der Brennkraftmaschine zugeführt wird. Fluid-Massenströmungssensoren umfassen typischerweise eine darin angeordnete Schaltung auf einer Leiterplatte zur Bestimmung des vom Fahrzeug angesaugten Luftstroms.
- Um einen gewünschten Motorbetrieb zu gewährleisten, sollte die Massenströmungsmessung genau sein. Ein den Herstellern entgegentretendes Problem besteht in der Vermeidung von Kontamination, die durch eindringende Fluide und in Kontakt kommen mit leitfähigem Material auf der Leiterplatte des Fluid-Massenströmungssensors. Es wurde beispielsweise herausgefunden, dass in Fahrzeugen verwendete Gummischläuche Schwefel und Schwefelverbindungen ausgasen. Der Schwefel wird dann über die Luft verteilt und kann mit Kupfer oder Silber reagieren. Wenn Schwefel mit Aluminium reagiert, werden beispielsweise Aluminiumsulfide gebildet. Aluminiumsulfide sind bekannterweise nicht leitfähig sondern weisen isolierende Eigenschaften auf. Sowohl Aluminium als auch Silber werden jedoch bei Dickfilmsubstraten für Leiterplatten oder Schaltkreismodule verwendet. Somit kann in vielen Situationen austretender Schwefel, der mit Aluminium in Berührung kommt, beispielsweise an einer Leiterplatte, dazu führen, dass Aluminiumsulfid gebildet wird. In einer derartigen Situation kann, wenn Aluminiumsulfide gebildet werden, sich die Leiterplatte unerwünscht verändern oder Kurzschlüsse auf der Leiterplatte verursacht werden.
- Ausgegaster Schwefel dringt typischerweise durch eine Dichtung zwischen zwei Materialien in die Fluid-Massenströmungssensoren ein, beispielsweise zwischen Metall und Plastik. Dies kann insbesondere dann auftreten, wenn die Dichtung Bedingungen ausgesetzt war, beispielsweise Temperaturschwankungen, bei denen eine thermische Ausdehnung zwischen den Materialien der Dichtung aufgetreten ist. Darüber hinaus kann ein zur Abdichtung der Materialien verwendeter Klebstoff altern, wodurch sich seine Abdichtungseigenschaften verschlechtern und somit ein Eindringen von Verunreinigungen wie Schwefel ermöglicht wird.
- Aufgabe der Erfindung ist es somit, ein Massenströmungsgerät anzugeben, in welches Verunreinigungen weniger leicht eindringen können.
- Ein anderer Aspekt der Erfindung betrifft ein Verfahren zur Reduzierung des Eindringens von Fluid in das Gerät, um die Korrosion der Leiterplatte innerhalb des Gerätes zu vermindern.
- Ein weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung betrifft ein Gerät zur Erkennung eines Zustandes oder einer Bedingung eines strömenden Fluides innerhalb eines Fahrzeuges. Das Gerät umfasst eine Bodenplatte mit einer Aufnahmefläche und einem Umfangsrand. Die Bodenplatte ist aus einem ersten Material mit einem ersten Wärmeausdehnungskoeffizienten hergestellt. Das Gerät weist darüber hinaus ein Substrat mit einer gedruckten Schaltung auf, wobei das Substrat auf der Aufnahmefläche der Bodenplatte angeordnet ist.
- Das Gerät weist weiter ein Gehäuse mit einer Gehäuseabdeckung auf, wobei sich umfängliche Seitenwände von der Gehäuseabdeckung erstrecken. Die Seitenwände sind mit der Aufnahmefläche verbunden, die an den Umfangsrand angrenzt, um damit eine umfängliche Verbindungsstelle zu bilden, die das Substrat innerhalb des Gehäuses umschließt. Das Gehäuse ist aus einem zweiten Material mit einem zweiten Wärmeausdehnungskoeffizienten hergestellt. Das Gerät umfasst weiter ein Klebstoffmaterial, das an der Verbindungsstelle zwischen dem Umfangsrand und den umfänglichen Seitenwänden des Gehäuses angeordnet ist, um das Gehäuse mit der Bodenplatte zu verkleben. Das Klebstoffmaterial hat einen vorbestimmten Wärmeausdehnungskoeffizienten und ein vorbestimmtes Elastizitätsmodul, um ein Eindringen eines Fluids durch die Verbindungsstelle zu reduzieren und die Wärmeausdehnungen des ersten und zweiten Materials auszugleichen.
- Weitere Aspekte, Eigenschaften und Vorteile der Erfindung werden durch die Betrachtung der folgenden Beschreibung und der beigefügten Ansprüche deutlich, wenn sie in Verbindung mit den beiliegenden Zeichnungen gesehen werden. Es zeigen:
-
1 eine Explosionsdarstellung eines Fluid-Massenströmungssensors gemäß eines Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung; -
2a eine perspektivische Ansicht eines Fluid-Massenströmungssensors gemäß1 gemäß eines Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung; -
2b eine Schnittdarstellung eines Fluid-Massenströmungssensors entlang der Schnittlinie 2b-2b; -
3 eine Außenansicht einer Bodenplatte oder Elektronikabdeckung eines Fluid-Massenströmungssensors gemäß1 ; -
4a eine perspektivische Innenansicht einer Massenströmungsgehäuseabdeckung des Massenströmungsgehäuses gemäß eines Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung; -
4b eine perspektivische Außenansicht mit der darauf angebrachten zweiten Gehäuseabdeckung; -
4c eine perspektivische Ansicht des Gehäuses mit der darauf angebrachten Gehäuseabdeckung; und -
5 eine perspektivische Innenansicht einer zweiten Abdeckung des Gehäuses gemäß eines Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung. -
1 und2 zeigen eine Explosionsdarstellung und eine perspektivische Ansicht eines Fluid-Massenströmungssensors10 , bei dem das Eindringen von Fluiden verringert ist, der zur Berechnung einer Menge eines strömenden Fluids in einer Leitung gemäß eines Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung vorgesehen ist. Eine Anwendung oder Verwendung eines solchen Fluid-Massenströmungssensors besteht in der Messung der Luftmenge, die von einer nicht dargestellten Brennkraftmaschine angesaugt wird. Die vorliegende Erfindung sieht jedoch auch andere Benutzungen oder Verwendungen des Fluid-Massenströmungssensors vor. Zum Beispiel kann der Fluid-Massenströmungssensor dazu verwendet werden, eine Menge eines anderen geeigneten strömenden Fluids durch eine Leitung (verschieden von der Ansaugleitung einer Brennkraftmaschine) verwendet werden. Somit kann der Fluid-Massenströmungssensor als ein Gerät zur Erkennung eines Zustandes eines strömenden Fluids innerhalb eines Fahrzeuges angesehen werden. - Gemäß eines Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung umfasst der Fluid-Massenströmungssensor
10 im Wesentlichen eine Bodenplatte12 oder eine Elektronikabdeckung12 , ein Substrat13 mit Schaltkreismodul14 , das auf die Bodenplatte12 aufgeklebt ist, ein Gehäuse15 , in das die Bodenplatte12 abdichtend eingreift, wobei das Gehäuse15 eine Gehäuseabdeckung16 und eine Deckelplatte17 aufweist, ein Klebstoffmaterial18 , mit dem die Bodenplatte12 und das Gehäuse15 verklebt sind, und eine Dichtung19 . - Wie in den
1 bis3 gezeigt, weist die Bodenplatte12 eine Aufnahmefläche20 und einen Umfangsrand22 auf. Die Bodenplatte12 hat einen hervorstehenden Rand21 , der an die Aufnahmefläche20 angrenzt, die wiederum vom anderen Umfangsrand22 der Bodenplatte12 angrenzt. Um eine wetterfeste Abdichtung zu bilden, greift der hervorstehende Rand21 abdichtend in einen passenden Kanal (nicht dargestellt) am Gehäuse15 ein, wie weiter unten beschrieben wird. Vorzugsweise dient die Bodenplatte12 als Kühlkörper, um die vom Schaltkreismodul14 abgegebene Wärme abzuführen. Die Bodenplatte12 ist aus einem ersten Material mit einem ersten Wärmeausdehnungskoeffizienten hergestellt. In diesem Ausführungsbeispiel liegt der erste Wärmeausdehnungskoeffizient zwischen etwa 5 bis 30 ppm/°C. Die Bodenplatte12 weist weiter ein Elastizitätsmodul von etwa 5– 100 × 106 Pfund pro Quadratzoll (psig). In diesem Ausführungsbeispiel kann die Bodenplatte12 aus jedem wärmeleitfähigen Material hergestellt sein, welches zur Abführung von Wärme aus dem Gehäuse15 geeignet ist. Das erste Material der Bodenplatte12 kann beispielsweise ein Metall, eine Metalllegierung oder einen Metallmatrixverbundwerkstoff oder jedes andere geeignete Material mit dem genannten ersten Wärmeausdehnungskoeffizienten und dem Elastizitätsmodul der Bodenplatte12 umfassen. - Wie in den
1 bis3 gezeigt, umfasst das Gerät weiter ein Substrat13 mit einer gedruckten Schaltung oder einem darauf geklebten Schaltkreismodul14 , das als an sich bekannte Leiterplatte32 dient. Das Substrat13 ist auf der Aufnahmefläche20 der Bodenplatte12 angeordnet. Das Substrat13 umfasst ein keramisches Metall, ein keramisches Matrixverbundmaterial, ein Glas oder jedes andere aus dem Stand der Technik bekannte geeignete Material. In diesem Ausführungsbeispiel weist das Substrat13 einen Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen 0,1–15 ppm/°C und ein Elastizitätsmodul von etwa 5–50 × 106 psig, auf. - Der Fluid-Massenströmungssensor
10 umfasst weiter eine am Gehäuse15 befestigte Gehäuseabdeckung16 und eine Deckelplatte17 , die an der Gehäuseabdeckung16 befestigt ist. Wie dargestellt, umfasst das Gehäuse15 umfängliche Seitenwände23 , die sich von der Gehäuseabdeckung16 abgewandten Seiten erstrecken. Die umfänglichen Seitenwände23 weisen einen nicht dargestellten Kanal, um den hervorstehenden Rand21 der Bodenplatte12 abdichtend aufzunehmen. Somit ist die Bodenplatte12 mit der zum Umfangsrand22 angrenzenden Aufnahmefläche 20 am Gehäuse15 befestigt. Dies bildet eine umfängliche Verbindungsstelle24 zwischen der Bodenplatte12 und dem Gehäuse15 und umschließt das Substrat13 innerhalb des Gehäuses15 . In diesem Ausführungsbeispiel ist das Gehäuse15 aus einem zweiten Material mit einem zweiten Wärmeausdehnungskoeffizienten hergestellt. Das zweite Material hat einen zweiten Wärmeausdehnungskoeffizient, der bei einem Wert bis zu von 80 ppm/ °C liegen kann und ein Elastizitäts modul von etwa 0,01–0,6 × 106 psig. Das Gehäuse15 kann ein Polymer oder ein Polymermatrixverbundwerkstoff oder ein Polybutadienterephthalat (PBT) oder jedes andere geeignete Material umfassen, das diesen zweiten Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist. - Wie in den
1 und2a gezeigt, umfasst das Gehäuse15 weiter einen integrierten Steckverbinder30 , der Verbindungsanschlüsse (nicht dargestellt) aufweist, die elektrisch mit einer Motorsteuerungselektronik verbunden sind, die außerhalb des Fluid-Massenströmungssensor10 angeordnet ist. Die Verbindungsanschlüsse sind ebenso elektrisch mit dem Schaltkreismodul14 verbunden, das auf dem Substrat13 innerhalb eines zentralen Gehäusebereiches34 innerhalb des Gehäuses15 angeordnet ist. Angrenzend zum zentralen Gehäusebereich34 umfasst das Gehäuse15 weiter einen einstückig befestigten Strömungsaufnahmebereich36 . Der Strömungsaufnahmebereich36 umfasst einen Einlass38 , der zu einer Düse39 geformt ist. Die Düse39 ist mit einer im Wesentlichen U-förmig geformten Strömungspassage40 verbunden. Die U-förmig geformte Strömungspassage40 endet mit einem Auslass42 . - Wie in der
2a dargestellt, werden mehrere Widerstandselemente44 ,46 und 48 vom Gehäuse15 getragen, die elektrisch mit dem Schaltkreismodul14 über elektrische Leiter, beispielsweise einstückig eingegossene Leiterbahnen oder Anschlüsse verbunden sind. Die Widerstandselemente44 ,46 und48 umfassen ein Heißleiterelement44 , ein Kaltleiterelement46 und ein internes Fluidtemperaturelement48 (IAT). Im Wesentlichen verändern diese Widerstandselemente44 ,46 und48 ihren Widerstand als Funktion der Temperatur. - Wie in den
2 und2b dargestellt, umfasst der Fluid-Massenströmungssensor ein Klebstoffmaterial18 , das an der umfänglichen Verbindungsstelle24 zwischen dem Umfangsrand22 und den umfänglichen Seitenwänden23 des Gehäuses15 angeordnet ist, um die Bodenplatte 12 am Gehäuse15 zu befestigen. In diesem Ausführungsbeispiel weist das Klebstoffmaterial18 einen vorbestimmten Wärmeausdehnungskoeffizienten und ein vorbestimmtes Elastizitätsmodul auf. Das Klebstoffmaterial18 dient dazu ein Eindringen von Fluid durch die Verbindungsstelle24 zu verhindern und passt die Wärmeausdehnungen des ersten und zweiten Materials bei Temperaturänderungen, insbesondere zwischen etwa –40°C und +125°C aneinander an. - In diesem Ausführungsbeispiel ist das Klebstoffmaterial
18 vorzugsweise ein Urethan-Acrylat mit einem Wärmeausdehnungskoeffizienten von etwa 100– 200 ppm/ °C und einem Elastizitätsmodul zwischen etwa 87000–150000 psig, wenn das Klebstoffmaterial18 über seiner Glasübergangstemperatur (Tg) liegt. Das Klebstoffmaterial18 kann ebenso einen Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen etwa 100–200 ppm/ °C und ein Elastizitätsmodul zwischen etwa 87000–150000 psig aufweisen, wenn sich das Klebstoffmaterial18 unter seiner Glasübergangstemperatur befindet. Natürlich kann das Klebstoffmaterial18 auch jedes andere Material sein, beispielsweise ein Polymer, solange die Wärmeausdehnungskoeffizienten und das Elastizitätsmodul innerhalb der oben angegebenen vorbestimmten Wärmeausdehnungskoeffizienten und Elastizitätsmodule liegen. - In diesem Ausführungsbeispiel erfasst das Schaltkreismodul
14 ein Fluid, beispielsweise durch die Strömungspassage40 strömende Luft, durch Überwachen der Verlustleistung der Widerstandselemente44 ,46 und/oder48 . Das Schaltkreismodul14 kann ein einzelner integrierter Schaltkreis oder auch ein Substrat mit einzelnen darauf befestigten integrierten Schaltkreisen sein. Die erfasste Widerstandsänderung der Widerstandselemente44 bis48 wird in ein Ausgangssignal umgewandelt, das der elektronischen Motorsteuerung (nicht dargestellt) zugeführt wird. Typischerweise regelt die elektronische Motorsteuerung die Menge des in den Motor eingespritzten Kraftstoffes durch die Einstellung des Kraftstoff/ Luft-Gemischs. - In diesem Ausführungsbeispiel ist das IAT oder Widerstandselement
48 im Wesentlichen ein Thermistor oder ein ähnliches Gerät. Das Widerstandselement48 ist an dem Gehäuse15 angeordnet, um eine genaue Aufnahme der Ladelufttemperatur während eines Ausgangszyklus der Brennkraftmaschine zu gewährleisten. Wie in2 gezeigt, ist das Widerstandselement48 vorzugsweise außerhalb der Strömungspassage40 angeordnet, um die Fluidheizeffekte zu minimieren, die von der Wärmeabstrahlung des Heißleiterelements44 bewirkt werden. - In einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ist der Strömungssensor
10 mit Widerstandselementen44 und46 hergestellt, die aus Platin gewickelte Drahtwiderstände aufweisen. Im Allgemeinen haben diese Widerstandselemente einen positiven Temperaturkoeffizienten. Somit entspricht jede Widerstandsänderung der Widerstandselemente einer gleichgerichteten Temperaturänderung. D.h. wenn sich die Temperatur erhöht, erhöht sich der Widerstand und wenn sich die Temperatur verringert, verringert sich der Widerstand. - In den
4a und4b sind perspektivische Ansichten der Gehäuseabdeckung16 gemäß der vorliegenden Erfindung dargestellt.4a zeigt eine Ansicht einer Gehäuseabdeckung16 von Innen und4b zeigt eine Ansicht der Gehäuseabdeckung16 von oben. Die Gehäuseabdeckung16 ist fest mit dem Gehäuse15 (wie in4c gezeigt) entlang der abstehenden Vorsprünge60 und62 verbunden. Der Vorsprung60 ragt von einer Innenfläche64 der Gehäuseabdeckung16 ab und greift abdichtend in einen Kanal50 ein, der auf der Innenfläche52 des Gehäuses15 angeordnet ist. Der Vorsprung62 , der von der Innenfläche64 der Gehäuseabdeckung16 absteht, greift abdichtend in den auf der Innenfläche52 angeordneten und rund um den Umfang der Strömungspassage40 verlaufenden Kanal54 ein und er zeugt dadurch eine abgeschlossene und abgedichtete Strömungspassage40 . Die Gehäuseabdeckung16 umfasst weiter eine Fensteröffnung66 , die einen Zugang zum integrierten Schaltkreis14 oder zur Leiterplatte32 während der Herstellung ermöglicht, wie in4c dargestellt. Zum Beispiel ermöglicht die Fensteröffnung66 einen Zugang zum integrierten Schaltkreis14 oder zur Leiterplatte32 während der Kalibration im Herstellungsprozess. Weiterhin ist der integrierte Schaltkreis14 oder die Leiterplatte32 , mit verschiedenen Anschlüssen oder Bondpads innerhalb des Gehäuses15 über Bonddrähte79 verbondet, wie es in der4c gezeigt ist. - Wie aus
4b ersichtlich, ist umlaufend um die Fensteröffnung66 ein Kanal68 angeordnet. In diesem Kanal68 greift die Deckelplatte17 zur abdichtenden Verbindung mit der Gehäuseabdeckung16 . In der Gehäuseabdeckung16 ist eine Seitenöffnung70 vorgesehen, die es ermöglicht, dass die Luft aus der Strömungspassage40 sowohl über die Seitenflächen72 als auch aus der Gehäuseabdeckung16 herausströmt. Die Gehäuseabdeckung16 weist in ihrer Seitenfläche72 einen Trichter75 auf, der die passierende Luft komprimiert und auf das Kaltleiterelement46 richtet. - In
5 ist eine perspektivische Innenansicht der Deckelplatte17 dargestellt. Die Deckelplatte17 umfasst einen umlaufenden hervorstehenden Rand80 , der in die Gehäuseabdeckung16 entlang des Umfangs der Fensteröffnung66 in den Kanal68 abdichtend eingreift. Die Deckelplatte17 ist im Wesentlichen flach ausgebildet und kann aus einem wärmeleitfähigen Material hergestellt sein, beispielsweise einem Metall um die vom integrierten Schaltkreis14 abgegebene Wärme abzuführen. Wie in1 dargestellt, weist die Deckelplatte17 eine im Wesentlichen plane Außenoberfläche84 auf. Nachdem die Deckelplatte17 auf der Gehäuseabdeckung16 positioniert ist, bilden sowohl die Gehäuseabdeckung16 als auch die Deckelplatte17 eine sich länglich erstreckende und im Wesentlichen ebene Oberfläche, um eine möglichst minimale Störung der vorbeiströmenden Luft rund um den Fluid-Massenströmungssensor hervorzurufen. - Es ist offensichtlich, dass jeder andere Sensor mit einer Leiterplatte in dieses Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung implementiert werden kann, solange das Klebstoffmaterial
18 , wie oben beschrieben, dazu verwendet wird, das Eindringen von gasförmigen Verunreinigungen zur Leiterplatte zu reduzieren oder zu verhindern. Beispiele für solche Sensoren sind u.a. die Sensoren, die in der US-Patentanmeldung 10/1267819, angemeldet am 19.07.2002 "Strömungsmesser mit einem verbesserten Aufnahmekanal" und in der US-Patentanmeldung 09/975112, angemeldet am 11.10.2001, "Strömungsmesser", beschrieben sind, die beide auf den Anmelder der vorliegenden Anmeldung zurückgehen und die hiermit durch Bezugnahme in diese Anmeldung eingefügt werden. - Die vorliegende Erfindung umfasst ein Verfahren zur Herstellung eines Luftmassenströmungssensors zur Reduzierung eines Eindringens von Fluiden durch eine umfängliche Verbindungsstelle eines vorstehend beschriebenen Luftmassenströmungssensors. Das Verfahren umfasst die Bereitstellung einer Bodenplatte
12 mit einer Aufnahmefläche20 und einem Umfangsrand 22, einem Substrat13 mit einer gedruckten Schaltung14 und einem Gehäuse15 , wie oben beschrieben. Die Bodenplatte12 wird von jeder geeigneten Befestigung gehalten. - In diesem Ausführungsbeispiel umfasst das Verfahren das Aufbringen eines geeigneten Epoxymaterials auf die Aufnahmefläche
20 der Bodenplatte12 , wobei das Substrat13 mit der Aufnahmefläche20 der Bodenplatte12 verbunden wird. Beim Verbinden wird vorzugsweise ein Silikonklebstoff29 auf die Bodenplatte12 aufgebracht, um das Substrat13 auf der Bodenplatte12 zu befestigen. Dann werden Bonddrähte79 auf den Leiterbahnen an dem Substrat13 befestigt, das die gedruckte Schaltung14 des Luftmassenströmungssensors bildet. - Dann wird bei dem Verfahren ein Klebstoffmaterial
18 auf der Aufnahmefläche20 angrenzend zum Umfangsrand22 der Bodenplatte12 aufgebracht, wobei die Seitenwände23 auf das aufgebrachte Klebstoffmaterial18 aufgesetzt werden, um die Seitenwände23 mit dem Umfangsrand22 der Bodenplatte12 zu verbinden. Damit wird das Gehäuse15 und die Bodenplatte12 an der umfänglichen Verbindungsstelle24 abgedichtet. Wie oben beschrieben, weist das Klebstoffmaterial18 einen vorbestimmten Wärmeausdehnungskoeffizienten und ein vorbestimmtes Elastizitätsmodul auf, um das Eindringen von Fluiden durch die umfänglichen Verbindungsstelle24 zu reduzieren und die Wärmeausdehnung der Bodenplatte12 und des Gehäuses15 anzupassen oder aufzunehmen. - Diese zusammengesetzte Baugruppe wird etwa 30 Minuten auf etwa 120– 150 °C erhitzt, um das Klebstoffmaterial
18 und das Epoxymaterial29 auszuhärten. Das kann durch an sich bekannte Mittel erfolgen, beispielsweise durch Aufheizen in einem Ofen. Nach dem Abkühlen auf Umgebungstemperatur wird ein Silikongel31 in dem Gehäuse15 auf dem Substrat13 aufgebracht, um den zentralen Gehäusebereich34 des Gehäuses15 auszufüllen. Das Silikongel31 dient als Passivierungsmaterial und schützt das Substrat13 während des Einsatzes des Fluid-Massenströmungssensors, der beispielsweise unter der Motorhaube eines Fahrzeugs installiert sein kann. - Das Verfahren zur Herstellung des Fluid-Massenströmungssensors
10 ermöglicht es, das Gehäuse15 und die Bodenplatte12 mit einem Klebstoffmaterial18 abzudichten und den Fluideintritt zur Leiterplatte32 des Substrats13 zu vermeiden. Das Klebstoffmaterial18 reduziert den Fluideintritt, beispielsweise das Eindringen von Schwefel, in das Gehäuse 15, indem es ermöglicht, dass sich die Materialien des Gehäuses15 und der Bodenplatte12 aufgrund von Temperaturschwankungen während des Betriebes des Fluid-Massenströmungssensors10 ausdehnen können, ohne dass die Verbindung oder Verklebung beschädigt wird. - Die vorstehende Diskussion offenbart und beschreibt ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung. Der Fachmann wird jedoch ohne Weiteres aus dieser Diskussion und den beigefügten Zeichnungen und Ansprüchen erkennen, dass Veränderungen und Modifikationen an der Erfindung vorgenommen werden können, ohne von dem Bereich der Erfindung, wie er in den folgenden Ansprüchen definiert ist, abzuweichen.
Claims (10)
1) Vorrichtung zur Erkennung eines Zustandes eines strömenden Fluides
innerhalb eines Fahrzeuges, wobei die Vorrichtung folgendes umfasst:
a)
eine Bodenplatte (12 ) mit einer Aufnahmefläche (20 )
und einem Umfangsrand (22 ), wobei die Bodenplatte (12 )
aus einem ersten Material mit einem ersten Wärmeausdehnungskoeffizienten
hergestellt ist;
b) ein Substrat (13 ) mit einer gedruckten
Schaltung (14 ), wobei das Substrat (13 ) auf der
Aufnahmefläche
(20 ) der Bodenplatte (12 ) angeordnet ist;
c)
ein Gehäuse
(15 ) mit einer Gehäuseabdeckung (16 )
und sich vom Gehäuse
(15 ) erstreckenden umfänglichen
Seitenwänden
(23 ), wobei die die Seitenwände (23 ) angrenzend
zum Umfangsrand (22 ) an der Aufnahmefläche (20 ) angeordnet
sind, um eine umfängliche
Verbindungsstelle (24 ) zu bilden, die das Substrat (13 )
innerhalb des Gehäuses
(15 ) umschließt,
und wobei das Gehäuse
(15 ) aus einem zweiten Material mit einem zweiten Wärmeausdehnungskoeffizienten
hergestellt ist; und
d) ein Klebstoffmaterial (18 ),
das an der Verbindungsstelle (24 ) zwischen dem Umfangsrand
(22 ) und den umfänglichen
Seitenwänden
(23 ) angeordnet ist, um das Gehäuse (15 ) mit der Bodenplatte
(12 ) zu verkleben, wobei das Klebstoffmaterial (18 )
einen vorbestimmten Wärmeausdehnungskoeffizienten
und ein vorbestimmtes Elastizitätsmodul
aufweist, um das Eindringen von Fluiden durch die umfängliche
Verbindungsstelle (24 ) zu reduzieren und die Wärmeausdehnung
des ersten und zweiten Materials aneinander anzupassen.
Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Bodenplatte
(12 ) ein Metall, eine Metalllegierung oder ein Metallmatrixverbundwerkstoff
umfasst.
Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Bodenplatte
(12 ) einen Wärmeausdehnungskoeffizienten
zwischen etwa 5–30
ppm / °C
aufweist.
Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Substrat (13 )
ein keramisches Material, einen keramischen Matrixverbundwerkstoff
oder Glas umfasst.
Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Substrat (13 )
einen Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen
etwa 0,1–15
ppm / °C
aufweist.
Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Gehäuse (15 )
ein Polymer, ein Polymermatrixverbundwerkstoff oder Polybutadien-Terephthalat
(PBT) umfasst.
Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Gehäuse (15 )
einen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist,
der bis zu 80 ppm / °C
beträgt.
Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Klebstoffmaterial
(18 ) ein Polymer ist, dessen Wärmeausdehnungskoeffizient zwischen
etwa 100–200
ppm / °C
liegt, wenn sich das Klebstoffmaterial (18 ) über seiner
Glas übergangstemperatur
befindet.
Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Klebstoffmaterial
(18 ) einen Wärmeausdehnungskoeffizienten
zwischen 20–100
ppm / °C
aufweist, wenn sich das Klebstoffmaterial (18 ) unter seiner
Glasübergangstemperatur
befindet
Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Klebstoffmaterial
(18 ) einen vorbestimmten Wärmeausdehnungskoeffizienten
und ein vorbestimmtes Elastizitätsmodul
aufweist, der dazu vorgesehen ist, die Wärmeausdehnung des ersten und
zweiten Materials bei Temperaturen zwischen –40°C und +125 °C aneinander anzupassen.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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US10/253190 | 2002-09-24 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10344493A1 true DE10344493A1 (de) | 2004-05-19 |
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ID=22959250
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DE10344493A Ceased DE10344493A1 (de) | 2002-09-24 | 2003-09-24 | Fluid-Massenströmungssensor mit reduziertem Fluideintritt |
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---|---|
US (1) | US6752015B2 (de) |
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|
8128 | New person/name/address of the agent |
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|
8131 | Rejection |