DE10343080A1 - Vorrichtung zum Lenken und Fokussieren eines Laserstrahls - Google Patents

Vorrichtung zum Lenken und Fokussieren eines Laserstrahls Download PDF

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Abstract

Eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Lenken und Fokussieren eines Laserstrahls in Richtung eines Zielobjekts, wobei das Zielobjekt in bezug auf eine Zielebene angeordnet ist, mit folgenden Merkmalen: eine Fokussiereinrichtung zum Fokussieren des Laserstrahls; ein drehbarer X-Spiegel zum Empfangen des Laserstrahls und Ablenken des Laserstrahls in einer ersten Ebene; ein drehbarer Y-Spiegel, der so angeordnet ist, daß er die erste Ebene schneidet, zum Empfangen des abgelenkten Laserstrahls von dem X-Spiegel und Ablenken des Laserstrahls in einer Reihe von zweiten Ebenen; ein stationärer Feldspiegel, der so angeordnet ist, daß er die zweiten Ebenen schneidet, zum Empfangen des abgelenkten Laserstrahls von dem Y-Spiegel und Ablenken des Laserstrahls auf das Zielobjekt, wobei wenigstens einer der X-, Y- und Feldspiegel eine Ablenkfläche zum Ablenken des Laserstrahls, derart, daß der Laserstrahl im wesentlichen senkrecht zu der Zielebene ist, wenn er in Richtung des Zielobjekts gelenkt wird, aufweist.
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