DE102007052657A1 - Linsenvorrichtung mit einer verschiebbaren Linse und Laserscannersystem - Google Patents
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Abstract
Gezeigt wird eine Linsenvorrichtung 16 mit einer verschiebbaren Linse 18 und einer Führung 42, durch die die Linse verschiebbar geführt ist. Die Linsenvorrichtung 16 umfaßt einen ersten und einen zweiten galvanometrischen Motor 46a, 46b und eine erste und eine zweite Kraftübertragungseinrichtung 54a, 56a; 54b, 56b, die mit dem Rotor des ersten bzw. zweiten galvanometrischen Motors 46a, 46b gekoppelt ist und die an einer ersten bzw. zweiten Verbindungsstelle 58a, 58b mit der Linse 18 gekoppelt ist. Die Kraftübertragungseinrichtung ist geeignet, eine Drehbewegung des Rotors des ersten bzw. zweiten galvanometrischen Motors 46a, 46b in eine Verschiebebewegung der Linse 18 umzuwandeln. Dabei sind die erste und die zweite Verbindungsstelle 58a, 58b in einer Richtung quer zur Verschiebungsrichtung der Linse 18 voneinander beabstandet.
Description
- Die vorliegende Erfindung betrifft eine Linsenvorrichtung mit einer verschiebbaren Linse. Ferner umfaßt sie ein Laserscannersystem, das eine derartige Linsenvorrichtung umfaßt und die Verwendung einer Linsenvorrichtung in einem Scannersystem.
- Linsenvorrichtungen mit verschiebbaren Linsen werden beispielsweise in Laserscannersystemen zur Fokussierung eines Laserstrahls in Abhängigkeit von dessen Auftreffort auf einer Zieloberfläche verwendet. Zur Illustration ist ein an sich aus dem Stand der Technik bekann tes Laserscannersystem
10 in1 gezeigt. Das Laserscannersystem10 umfaßt einen Laser12 , der einen Laserstrahl14 erzeugt. Der Laserstrahl14 verläuft durch eine lediglich schematisch dargestellte Linsenvorrichtung16 , die eine verstellbare Linse18 umaßt, bei der es sich im gezeigten Ausführungsbeispiel um eine Kollimatorlinse handelt. - Die Linsenvorrichtung
16 ist von einer Steuerungseinrichtung20 über eine Signalleitung22 derart ansteuerbar, daß die Linse18 entlang der Ausbreitungsrichtung des Laserstrahls14 hin- und herbewegt werden kann, wie durch den Doppelpfeil24 angedeutet ist. - Der Laserstrahl
14 verläuft weiter durch ein Objektiv26 und über einen X-Ablenkspiegel28 und einen Y-Ablenkspiegel30 auf eine Zieloberfläche32 , bei der es sich beispielsweise um ein zu bearbeitendes Werkstück handeln könnte, etwa eine zu schneidende Folie oder eine Chipkarte, deren Oberfläche mit Hilfe des Laserstrahls14 markiert werden soll. - Der X-Spiegel
28 und der Y-Spiegel30 sind jeweils durch einen zugehörigen galvanometrischen Motor34 bzw.36 verstellbar. Die galvanometrischen Motoren (auch als "Galvos" bezeichnet) sind ebenfalls über Signalleitungen22 mit der Steuerungseinrichtung20 verbunden. Schließlich verbindet eine weitere Signalleitung22 den Laser12 und die Steuerungseinrichtung20 . - Durch geeignete Ansteuerung der galvanometrischen Motoren
34 und36 wird der Laserstrahl14 über die Zielfläche32 gescannt. Dabei bewirkt eine Drehung des X-Ablenkspiegels28 durch den galvanometrischen Motor34 eine Ablenkung des Laserstrahls in X-Richtung auf der Zieloberfläche32 , und eine Drehung des Y-Ablenkspiegels30 durch den galvanometrischen Motor36 eine Ablenkung des Laserstrahls14 in Y-Richtung auf der Zielfläche32 . - Der Laserstrahl
14 wird auf der Zieloberfläche32 fokussiert. Da die Zielfläche32 jedoch eben ist, ändert sich beim Scannen die Weglänge des Laserlichts zwischen dem Objektiv26 und dem Auftreffpunkt des Laserstrahls14 auf der Zieloberfläche. Zur Bearbeitung der Zieloberfläche32 muß der Laserstrahl14 trotz der unterschiedlichen Laufwege an allen Auftreff punkten auf der Zieloberfläche32 fokussiert werden. Diese Fokussierung an allen Punkten einer ebenen Zielfläche wird auch als "Field-Flattening" bezeichnet. - Bei dem System
10 von1 wird das "Field-Flattening" durch die Linsenvorrichtung16 bewerkstelligt. Für jeden Auftreffpunkt auf der Zieloberfläche32 gibt es eine Position der verstellbaren Linse18 , bei der der Laserstrahl14 im Auftreffpunkt fokussiert ist. Beim Abscannen der Zieloberfläche32 wird daher die verstellbare Linse18 durch Steuerung der Steuerungseinrichtung20 stets in diese geeignete Position gefahren. Diese Art der Fokussierung wird daher auch als Realzeitfokussierung bezeichnet. - Der Begriff "Realzeitfokussierung" deutet bereits darauf hin, daß die Linsenvorrichtung
16 in der Lage sein muß, die Linse auf derselben Zeitskala zu verstellen, auf der der Laserstrahl14 auf der Zieloberfläche32 bewegt wird, bzw. auf derselben Zeitskala, auf der die Spiegel28 und30 durch die zugehörigen galvanometrischen Motoren34 und36 verstellt werden können. - Mit leistungsfähigen galvanometrischen Motoren
34 und36 lassen sich die Spiegel28 ,30 extrem schnell verstellen, so daß in der Praxis gegenwärtig die Linsenvorrichtung16 bei der Scangeschwindigkeit den limitierenden Faktor darstellt. Während nämlich ein Ablenkspiegel28 oder30 typischerweise ungefähr 3 bis 4 Gramm wiegt, wiegt die Linse18 typischerweise rund das Zehnfache. Die rund zehnmal höhere Massenträgheit der Linse18 führt dazu, daß die Verschiebung derselben in der Linsenvorrichtung16 bei hohen Beschleunigungen der Verstellung hinterherhinkt, was man auch als "Schleppfehler" bezeichnet. - Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Linsenvorrichtung mit einer verschiebbaren Linse anzugeben, bei der die Linse schnell verstellt werden kann und insbesondere rasch beschleunigt werden kann.
- Diese Aufgabe wird durch die Linsenvorrichtung nach Anspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.
- Die Linsenvorrichtung gemäß der Erfindung umfaßt eine Führung, durch die die Linse verschiebbar geführt ist, einen ersten und einen zweiten galvanometrischen Motor, und eine erste und eine zweite Kraftübertragungseinrichtung, die mit dem Rotor des ersten bzw. zweiten galvanometrischen Motors gekoppelt ist. Die erste bzw. zweite Kraftübertragungseinrichtung ist ferner an einer ersten bzw. zweiten Verbindungsstelle mit der Linse gekoppelt, und sie ost geeignet, eine Drehbewegung des Rotors des ersten bzw. zweiten galvanometrischen Motors in eine Verschiebebewegung der Linse umzuwandeln, wobei die erste und die zweite Verbindungsstelle in einer Richtung quer zur Verschiebungsrichtung der Linse voneinander beabstandet sind.
- Die Verwendung zweier galvanometrischer Motoren zur Verstellung der Linse hat zwei wichtige Vorteile. Zum einen verdoppelt sich die Schubkraft, die auf die Linse übertragen wird gegenüber einer Ausführungsform mit nur einem galvanometrischen Motor. Da die erste und die zweite Verbindungsstelle, an denen die Kraft von den galvanometrischen Motoren eingeleitet wird, in einer Richtung quer zur Verschiebungsrichtung der Linse voneinander beabstandet sind, wird die Kraft außerdem zumindest näherungsweise symmetrisch eingeleitet, so daß die Linse auch bei sehr starker Krafteinwirkung, die bei raschen Beschleunigungen benötigt wird, ruhig geführt wird. Untersuchungen der Erfinder haben ergeben, daß bei einer einfacheren Ausführungsform mit nur einem galvanometrischen Motor als Antrieb die Geschwindigkeit der Linse nicht allein durch die mangelnde Schubkraft begrenzt ist. Darüber hinaus führt die unsymmetrische Krafteinleitung hoher Kräfte, wie sie bei Verwendung nur eines galvanometrischen Motors als Antrieb auftritt, zu Vibrationen in der Linsenvorrichtung, die ihrerseits dadurch hervorgerufen werden, daß die Linse aufgrund der asymmetrischen Krafteinleitung in der Führung verkantet bzw. eine Schlingerbewegung durchführt. Gerade dieses letzte Problem stellt eine obere Grenze für die eingeleitete Kraft dar, und somit eine obere Grenze für die Geschwindigkeit der Linseneinrichtung.
- Durch die Einleitung der Kraft an zwei quer zur Verschiebungsrichtung der Linse voneinander beabstandeten Stellen können diese Probleme sehr wirksam unterdrückt werden, und es können weit höhere Verstellgeschwindigkeiten und Beschleunigungen erreicht werden, als bei Linsenvorrichtungen mit nur einem galvanometrischen Motor.
- Die erste und/oder die zweite Kraftübertragungseinrichtung umfaßt vorzugsweise einen Arm, der drehfest mit dem Rotor des ersten bzw. zweiten galvanometrischen Motors verbunden ist, und einen Lenker, der mit seinem einen Ende gelenkig mit dem Arm verbunden ist und an seinem anderen Ende an der ersten bzw. zweiten Verbindungsstelle angelenkt ist. Eine derartige Kraftübertragungseinrichtung gestattet es, auf einfache Weise das Drehmoment des galvanometrischen Motors in eine Schubkraft umzuwandeln.
- Naheliegenderweise würde man die galvanometrischen Motoren beiderseits der Führung anordnen und zwar so, daß die freien Enden der Rotoren der galvanometrischen Motoren zur Führung weisen. Dabei bezeichnet das "freie Ende des Rotors" dasjenige Ende, an dem das Drehmoment abgegriffen werden kann, d. h. beispielsweise das Ende, an dem der oben genannte Arm befestigt wäre. In einer besonders vorteilhaften Weiterbildung sind jedoch der erste und der zweite galvanometrische Motor abweichend von dieser naheliegenden Anordnung nebeneinander und parallel zueinander unter- oder oberhalb einer Verschiebungsebene angeordnet, in der die Linse verschoben wird, wobei die jeweiligen freien Enden der Rotoren der galvanometrischen Motoren in unterschiedliche Richtungen zeigen. Wie unten anhand der Figuren zu einem Ausführungsbeispiel deutlich wird, ist eine derartige Anordnung extrem platzsparend und kompakt.
- Vorzugsweise umfaßt die Führung mindestens zwei parallele Führungsstangen oder -schienen, und ist die genannte Verschiebungsebene die Ebene, in der die Führungsstangen oder -schienen angeordnet sind. In einer besonders vorteilhaften Weiterbildung ist die Führung an und insbesondere auf den Gehäusen der galvanometrischen Motoren befestigt. Dies führt wiederum zu einem äußerst kompakten Aufbau und zu einer besonders starren Verbin dung zwischen den galvanometrischen Motoren und der Führung, was wiederum vorteilhaft für die Laufruhe bei der Verstellung der Linse ist.
- In einer vorteilhaften Weiterbildung ist die Linse in einer Linsenhalterung gehalten, die mindestens zwei quer zu Verschiebungsrichtung voneinander beabstandete Gleitelemente umfaßt, die geeignet sind, an der Führung gleitend geführt zu werden. Die Gleitelemente umfassen dabei vorzugsweise Linearkugellager.
- Vorzugsweise ist der Mittelpunkt der Linse in bezug auf eine gedachte Verbindungslinie zwischen den Gleitelementen in einer Richtung von den galvanometrischen Motoren fort versetzt. Dies gestattet wiederum einen sehr kompakten Aufbau, bei dem die galvanometrischen Motoren und die Führung dicht beieinander angeordnet sind, ohne daß die galvanometrischen Motoren die Verschiebung der Linse behindern würden. Außerdem wird durch diese Anordnung eine vorteilhafte räumliche Trennung zwischen dem Lichtweg und den mechanischen Teilen, insbesondere der galvanometrischen Motoren erreicht, so daß diese vor der Laserstrahlung geschützt sind.
- Vorzugsweise sind die Linse, die Führung und die galvanometrischen Motoren vollständig in einem Gehäuse angeordnet. Dies erleichtert die Integration der Linsenvorrichtung insbesondere in bereits bestehende Systeme erheblich. Aufgrund der sehr kompakten Anordnung nach den oben beschriebenen Weiterbildungen der Erfindung lassen sich die genannten Komponenten in der Tat in einem verhältnismäßig kleinen Gehäuse unterbringen, wie unten anhand eines Ausführungsbeispiels verdeutlicht wird.
- In einer vorteilhaften Weiterbildung umfaßt die Erfindung ein Laserscannersystem mit einer Ablenkeinheit, die geeignet ist, einen Laserstrahl über eine Zielfläche zu scannen, einer Linsenvorrichtung nach der Erfindung oder einer der oben beschriebenen vorteilhaften Weiterbildungen der Erfindung und einer Steuerungseinrichtung, die geeignet ist, die Linsenvorrich tung in Abhängigkeit von dem Auftreffort des Laserstrahls auf der Zielfläche so anzusteuern, daß der Laserstrahl auf der Zieloberfläche fokussiert ist.
- Weitere Vorteile und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung, in der die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben ist. Darin zeigen:
-
1 eine schematische Darstellung eines Laserscannersystems nach dem Stand der Technik, -
2 eine perspektivische Ansicht einer Linsenvorrichtung nach einer Weiterbildung der Erfindung, -
3 eine Seitenansicht der Linsenvorrichtung von2 und -
4 eine Draufsicht auf die Linsenvorrichtung von2 . - In
2 ist eine Linsenvorrichtung16 nach einer Weiterbildung der Erfindung in einer perspektivischen Ansicht dargestellt. Die3 und4 zeigen dieselbe Linsenvorrichtung16 in einer Seitenansicht bzw. einer Draufsicht. - Die Linsenvorrichtung
16 umfaßt eine Linse18 , die in einer Linsenhalterung38 gehalten ist. Die Linsenhalterung38 umfaßt einen mittleren Abschnitt, in dem die Linse18 gehalten ist, und zwei seitliche Abschnitte, an denen Gleitelemente40 ausgebildet sind. Die Gleitelemente40 sind dazu geeignet, an zugehörigen Schienen42 entlangzugleiten, die eine Führung für die Linsenhalterung38 bilden. Die Schienen42 sind parallel zueinander in einer Ebene angeordnet, die im folgenden als Verschiebungsebene bezeichnet wird. In den Schienen42 sind seitlich Nuten44 ausgebildet, die einen Teil eines Kugelkäfigs eines Linearkugellagers (nicht gezeigt) bilden, das in den Gleitelementen40 ausgebildet ist. - Wie insbesondere in den
2 und3 zu sehen ist, ist die Linse18 oberhalb der Verschiebungsebene angeordnet. Insbesondere ist der Mittelpunkt der Linse18 deutlich oberhalb einer gedachten Verbindungslinie zwischen den Gleitelementen40 angeordnet ist. - Ferner umfaßt die Linsenvorrichtung
16 einen ersten und einen zweiten galvanometrischen Motor46a ,46b . Wie den2 bis4 zu entnehmen ist, sind die galvanometrischen Motoren46a und46b parallel zueinander und nebeneinander unterhalb der Verschiebungsebene angeordnet, wobei die freien Enden ihrer Rotoren in unterschiedliche Richtungen zeigen. Dabei sind die Schienen42 über Zwischenträger48 auf den Gehäusen50a ,50b der galvanometrischen Motoren46a ,46b befestigt, wodurch sich eine sehr starre Anordnung der Schienen42 und der galvanometrischen Motoren46a ,46b relativ zueinander ergibt. Trotz der baulichen Nähe zwischen den Schienen42 und den galvanometrischen Motoren46a ,46b behindern diese nicht die Verschiebebewegung der Linse18 , da diese wie oben erwähnt gegenüber einer gedachten Verbindungslinie zwischen den Gleitelementen40 in eine Richtung fort von den galvanometrischen Motoren46a ,46b , d. h. nach oben versetzt ist. - Die gezeigte Anordnung der galvanometrischen Motoren
46a ,46b ist äußerst kompakt und platzsparend. Tatsächlich ist die gesamte Anordnung inklusive galvanometrischer Motoren46a ,46b nicht erheblich breiter als die Führung der verschiebbaren Linse18 selbst, d. h. als der Abstand der Schienen42 . Dies gestattet es, die gesamte Linsenvorrichtung16 in einem kompakten Gehäuse52 anzuordnen, welches in den Darstellungen von3 und4 weggelassen wurde und lediglich in2 schematisch gestrichelt angedeutet ist. Das Gehäuse52 ist vorzugsweise wassergekühlt, um Erwärmung im Falle von hohen Laserleistungen zu begrenzen. Dies führt zu einer erhöhten Betriebsstabilität der Linsenvorrichtung16 . Außerdem ist das Gehäuse52 vorzugsweise so ausgeführt, daß außen am Gehäuse52 angeordnete Elektronikteile (nicht gezeigt) nicht von Laser- und/oder Streustrahlung getroffen werden können. - Die galvanometrischen Motoren
46a ,46b haben jeweils einen radialen Arm54a ,54b , der am freien Ende des jeweiligen Rotors (nicht gezeigt) des zugehörigen galvanometrischen Motors46a ,46b mit diesem drehfest verbunden ist. Ferner sind zwei Lenker56a ,56b vorgesehen, die mit ihrem einen Ende gelenkig mit dem zugehörigen Arm54a ,54b verbunden sind und mit ihrem anderen Ende an einer ersten bzw. zweiten Verbindungsstelle58a ,58b durch einen Bolzen60a ,60b an der Linsenhalterung38 angelenkt sind. Der Arm54a ,54b und der Lenker56a ,56b bilden zusammen eine erste bzw. zweite Kraftübertragungseinrichtung, die das Drehmoment des zugehörigen galvanometrischen Motors46a ,46b in eine Schubkraft übersetzt. - Im folgenden wird die Funktion der Linsenvorrichtung
16 von2 bis4 beschrieben. - Es sei angenommen, daß die Linse
18 in eine vorbestimmte Stellung geschoben werden soll. Falls die Linseneinrichtung beispielsweise in einem Laserscannersystem wie in1 gezeigt verwendet wird, kann diese vorbestimmte Stellung beispielsweise mit einem bestimmten Auftreffpunkt des Laserstrahls14 von1 auf der Zielfläche32 korrelieren und so vorbestimmt sein, daß der Laserstrahl14 im Auftreffpunkt fokussiert ist. Die vorbestimmte translatorische Stellung der Linse18 entspricht einer bestimmten Drehstellung des Rotors (nicht gezeigt) des ersten galvanometrischen Motors46a . Der erste galvanometrische Motor46a umfaßt eine Positionsdetektionseinrichtung (nicht gezeigt), mit der die Drehstellung des Rotors detektiert werden kann. Über einen Regelkreis wird ein geeigneter Strom an die Wicklungen des ersten galvanometrischen Motors46a angelegt, durch den der Rotor in die geeignete Stellung gebracht wird. - Der vorbestimmten Stellung der Linse
18 entspricht selbstverständlich auch eine bestimmte Drehstellung des Rotors (nicht gezeigt) des zweiten galvanometrischen Motors46b , und im Prinzip könnte der zweite galvanometrische Motor46b ebenfalls so angesteuert werden, daß er die vorbestimmte Drehstellung einnimmt. In der bevorzugten Ausführungsform wird diese eigenständige Steuerung des zweiten galvanometrischen Motors46b jedoch nicht verwendet. Statt dessen wird einfach derselbe Strom, der für die Ansteuerung des ersten galvanometrischen Motors46a ermittelt wurde, auch für den zweiten galvanometrischen Motor46b ver wendet, jedoch mit umgekehrten Vorzeichen, da sich die Rotoren der galvanometrischen Motoren46a ,46b bei einer Verschiebung der Linse18 stets gegensinnig drehen. Dies ist nicht nur einfacher als eine eigenständige Steuerung des zweiten galvanometrischen Motors46b , sondern es führt auch zu einem besseren und ruhigeren dynamischen Verhalten. - Wenn sich die Rotoren der galvanometrischen Motoren
46a ,46b entsprechend des Spulenstroms drehen, wird die Drehbewegung der Rotoren durch die Arme54a ,54b und die Lenker58a ,58b in eine translatorische Bewegung der Gleitelemente40 übertragen. Die Schubkraft wird dabei über die Bolzen60a ,60b an der ersten bzw. zweiten Verbindungsstelle58a ,58b in die Gleitelemente40 bzw. in die Linsenhalterung38 eingeleitet. Da diese Verbindungsstellen58a ,58b quer zur Verschiebungsrichtung der Linsenhalterung38 voneinander beabstandet sind, wird die Schubkraft gleichmäßig und symmetrisch eingeleitet, und es kommt selbst bei sehr starken eingeleiteten Kräften zu keiner Verkantung der Linsenhalterung38 bezüglich der Schienen42 . Insbesondere bewirkt die gezeigte symmetrische Krafteinleitung, daß die Linsenhalterung38 auch bei starken eingeleiteten Schubkräften, die für eine rasche Beschleunigung der Linse18 unerläßlich sind, ruhig und vibrationsarm geführt wird. Durch diese ruhige und vibrationsarme Führung kann das Drehmomentpotential der galvanometrischen Motoren46a ,46b ausgeschöpft werden, und die Verschiebung der Linse ist beispielsweise auf derselben Zeitskala möglich, wie die Verstellung der Ablenkspiegel28 und30 des Laserscannersystems10 von1 . - Obgleich in den Zeichnungen der vorhergehenden Beschreibung ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel aufgezeigt und detailliert beschrieben ist, sollte dies als rein beispielhaft die Erfindung nicht einschränkend angesehen werden. Es wird darauf hingewiesen, daß nur das bevorzugte Ausführungsbeispiel dargestellt und beschrieben ist und sämtliche Veränderungen und Modifizierungen, die derzeit und künftig im Schutzumfang der Erfindung liegen, geschützt werden sollen.
-
- 10
- Laserscannersystem
- 12
- Laser
- 14
- Laserstrahl
- 16
- Linsenvorrichtung
- 18
- Verstellbare Linse
- 20
- Steuerungseinrichtung
- 22
- Signalleitung
- 24
- Doppelpfeil
- 26
- Objektiv
- 28
- X-Verstellspiegel
- 30
- Y-Verstellspiegel
- 32
- Zielfläche
- 34, 36
- Galvanometrische Motoren
- 38
- Linsenhalterung
- 40
- Gleitelement
- 42
- Schiene
- 44
- Nut
in Schiene
42 - 46a, 46b
- Galvanometrischer Motor
- 48
- Zwischenteil
- 50a, 50b
- Gehäuse des
galvanometrischen Motors
46a ,46b - 52
- Gehäuse
- 54a, 54b
- Arm
- 56a, 56b
- Lenker
- 58a, 58b
- Verbindungsstelle
- 60a, 60b
- Bolzen
Claims (12)
- Linsenvorrichtung (
16 ) mit einer verstellbaren Linse (18 ), mit einer Führung (42 ), durch die die Linse (18 ) verschiebbar geführt ist, einem ersten und einem zweiten galvanometrischen Motor (46a ,46b ) und einer ersten und einer zweiten Kraftübertragungseinrichtung (54a ,56a ;54b ,56b ), die mit dem Rotor des ersten bzw. zweiten galvanometrischen Motors (46a ,46b ) gekop pelt ist und an einer ersten bzw. zweiten Verbindungsstelle (58a ,58b ) mit der Linse (18 ) gekoppelt ist, und die geeignet ist, eine Drehbewegung des Rotors des ersten bzw. zweiten galvanometrischen Motors (46a ,46b ) in eine Verschiebebewegung der Linse (18 ) umzuwandeln, wobei die erste und die zweite Verbindungssteile (58a ,58b ) in einer Richtung quer zur Verschiebungsrichtung der Linse (18 ) voneinander beabstandet sind. - Linsenvorrichtung (
16 ) nach Anspruch 1, bei der die erste und/oder die zweite Kraftübertragungseinrichtung einen Arm (54a ,54b ) umfaßt, der drehfest mit dem Rotor des ersten bzw. zweiten galvanometrischen Motors (46a ,46b ) verbunden ist, und einen Lenker (56a ,56b ) umfaßt, der mit seinem einen Ende gelenkig mit dem Arm (54a ,54b ) verbunden ist und an seinem anderen Ende an der ersten bzw. zweiten Verbindungsstelle (58a ,58b ) angelenkt ist. - Linsenvorrichtung (
16 ) nach Anspruch 1 oder 2, bei der der erste und der zweite galvanometrische Motor (46a ,46b ) nebeneinander und parallel zueinander unter- oder oberhalb einer Verschiebungsebene angeordnet sind, in der die Linse (18 ) verschoben wird, wobei die jeweiligen freien Enden der Rotoren der galvanometrischen Motoren (46a ,46b ) in unterschiedliche Richtungen zeigen. - Linsenvorrichtung (
16 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei der die Führung mindestens zwei parallele Führungsstangen oder -schienen (42 ) umfaßt und die Verschiebungsebene die Ebene ist, in der die Führungsstangen oder -schienen (42 ) angeordnet sind. - Linsenvorrichtung (
16 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei der die Führung (42 ) an und insbesondere auf den Gehäusen (50a ,50b ) der galvanometrischen Motoren (46a ,46b ) befestigt ist. - Linsenvorrichtung (
16 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei der die Linse (18 ) in einer Linsenhalterung (38 ) gehalten ist, die mindestens zwei quer zur Verschiebungsrichtung voneinander beabstandete Gleitelemente (40 ) umfaßt, welche geeignet sind, an der Führung (42 ) gleitend geführt zu werden. - Linsenvorrichtung (
16 ) nach Anspruch 6, bei der die Gleitelemente (40 ) Linearkugellager umfassen. - Linsenvorrichtung (
16 ) nach Anspruch 6 oder 7, bei der der Mittelpunkt der Linse (18 ) in bezug auf eine gedachte Verbindungslinie zwischen den Gleitelementen (40 ) in einer Richtung von den galvanometrischen Motoren (46a ,46b ) fort versetzt ist. - Linsenvorrichtung (
16 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüchen, bei der die Linse (18 ), die Führung (42 ) und die galvanometrischen Motoren (46a ,46b ) in einem Gehäuse (52 ) angeordnet sind. - Linsenvorrichtung (
16 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, mit einer Steuerung zum Ansteuern der galvanometrischen Motoren (46a ,46b ) dergestalt, daß in einem galvanometrischen Motor (46a ) ein Spulenstrom erzeugt wird, der zu einer gewünschten Position der Linse (18 ) führt, und im anderen galvanometrischen Motor (46b ) ein zu diesem Spulenstrom invertierter Spulenstrom angelegt wird. - Laserscannersystem (
10 ) mit einer Ablenkeinheit (28 ,30 ,34 ,36 ), die geeignet ist, einen Laserstrahl (14 ) über eine Zielfläche (32 ) zu scannen, mit einer Linsenvorrichtung (16 ) nach einem der Ansprüche 1 bis 10, und einer Steuerungseinrichtung, die geeignet ist, die Linsenvorrichtung (16 ) in Abhängigkeit von dem Auftreffort des Laserstrahls (14 ) auf der Zielfläche (32 ) so zu verschieben, daß der Laserstrahl (14 ) am Auftreffort fokussiert ist. - Verwendung einer Linsenvorrichtung (
16 ) nach einem der Ansprüche 1 bis 10 in einem Laserscannersystem (10 ), welches eine Ablenkeinheit (28 ,30 ,34 ,36 ) umfaßt, die geeignet ist, einen Laserstrahl (14 ) über eine Zielfläche (32 ) zu scannen, wobei die Linsenvorrichtung (16 ) verwendet wird, um die Linse (18 ) in Abhängigkeit von dem Auftreffort des Laserstrahls (14 ) auf der Zielfläche (32 ) so zu verschieben, daß der Laserstrahl (14 ) am Auftreffort fokussiert ist.
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