DE10335386B4 - Verfahren zur Bestimmung des Schmiermittel-Befüllungsgrads eines fluiddynamischen Lagers - Google Patents

Verfahren zur Bestimmung des Schmiermittel-Befüllungsgrads eines fluiddynamischen Lagers Download PDF

Info

Publication number
DE10335386B4
DE10335386B4 DE10335386A DE10335386A DE10335386B4 DE 10335386 B4 DE10335386 B4 DE 10335386B4 DE 10335386 A DE10335386 A DE 10335386A DE 10335386 A DE10335386 A DE 10335386A DE 10335386 B4 DE10335386 B4 DE 10335386B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
reflection
intensity profile
bearing
fluid bearing
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE10335386A
Other languages
English (en)
Other versions
DE10335386A1 (de
Inventor
Norbert Irmer
Carsten Etling
Guido Schmid
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
MinebeaMitsumi Inc
Original Assignee
Minebea Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Minebea Co Ltd filed Critical Minebea Co Ltd
Priority to DE10335386A priority Critical patent/DE10335386B4/de
Priority to US10/887,580 priority patent/US7115894B2/en
Priority to JP2004212626A priority patent/JP2005043363A/ja
Publication of DE10335386A1 publication Critical patent/DE10335386A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE10335386B4 publication Critical patent/DE10335386B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G11B5/6005Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/02Parts of sliding-contact bearings
    • F16C33/04Brasses; Bushes; Linings
    • F16C33/06Sliding surface mainly made of metal
    • F16C33/10Construction relative to lubrication
    • F16C33/1025Construction relative to lubrication with liquid, e.g. oil, as lubricant
    • F16C33/103Construction relative to lubrication with liquid, e.g. oil, as lubricant retained in or near the bearing
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/02Parts of sliding-contact bearings
    • F16C33/04Brasses; Bushes; Linings
    • F16C33/06Sliding surface mainly made of metal
    • F16C33/10Construction relative to lubrication
    • F16C33/1025Construction relative to lubrication with liquid, e.g. oil, as lubricant
    • F16C33/1045Details of supply of the liquid to the bearing
    • F16C33/105Conditioning, e.g. metering, cooling, filtering
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2370/00Apparatus relating to physics, e.g. instruments
    • F16C2370/12Hard disk drives or the like
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49636Process for making bearing or component thereof
    • Y10T29/49639Fluid bearing
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49636Process for making bearing or component thereof
    • Y10T29/49702Lubricating

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
  • Sliding-Contact Bearings (AREA)

Abstract

Verfahren zur Bestimmung des Schmiermittel-Befüllungsgrads an einem Fluidlager mit einer Welle, welche eine Ausnehmung aufweist, bei dem der Lagerspalt des Fluidlagers beleuchtet wird und die Lichtreflexion ausgewertet wird, dadurch gekennzeichnet , daß der Lagerspalt mit parallelem Licht beleuchtet wird, daß die Lichtbeaufschlagung in einem spitzen Winkel bezogen auf eine Längsachse der Welle des Fluidlagers derart erfolgt, daß sich ein Reflexionsmaximum aufgrund Lichtreflexion an einem meniskusartig ausgebildeten Schmiermittelpegel bildet sowie ein Reflexionsmaximum durch Reflexion an der Ausnehmung wobei der spitze Winkel kleiner ist als der Winkel eines konischen Bereichs des Lagerspalts, daß ein räumliches Intensitätsprofil des Reflexionslichtes aufgenommen und bezüglich der Erkennung der Reflexionsmaxima ausgewertet wird, und daß der Abstand der Reflexionsmaxima ermittelt wird.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung des Schmiermittel-Befüllungsgrads an einem Fluidlager mit einer Welle, welche eine Ausnehmung aufweist, bei dem der Lagerspalt des Fluidlagers beleuchtet wird und die Lichtreflexion ausgewertet wird.
  • Hydrodynamische Lager, die auch als Fluidlager bezeichnet werden, werden beispielsweise zur Drehlagerung von Hochpräzisionsspindelmotoren eingesetzt, wie sie in Festplattenlaufwerken verwendet werden. Hydrodynamische Lager weisen im Vergleich zu Kugellagern eine hohe Laufgenauigkeit und Laufruhe bei sehr viel höherer Schockfestigkeit (Robustheit) auf. Sie arbeiten nahezu geräuschlos und verschleißfrei, da während des Betriebs mit Nenndrehzahl kein direkter Körperkontakt mit Festkörperreibung zwischen den relativ zueinander rotierenden Lagerteilen vorliegt. Zwischen der Welle und der Wellenaufnahme (Lagerhülse) befindet sich dabei eine dünne Schmiermittelschicht beispielsweise eines Schmieröls.
  • Ein Verfahren zur Bestimmung des Schmiermittel-Befüllungsgrads an einem Fluidlager ist beispielsweise aus der JP 2001-090733 A bekannt. Mittels eines solchen Verfahrens läßt sich während der Herstellung des Lagers, das heißt während der Befüllung, oder auch nach der Befüllung prüfen, ob ein gewünschter Befüllungspegel vorliegt.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs genannten Art so zu verbessern, daß der Befüllungsgrad auf einfache und reproduzierbare Weise ermittelbar ist.
  • Diese Aufgabe wird bei dem eingangs genannten Verfahren erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Lagerspalt mit parallelem Licht beleuchtet wird, daß die Lichtbeaufschlagung in einem spitzen Winkel bezogen auf eine Längsachse der Welle des Fluidlagers derart erfolgt, daß sich ein Reflexionsmaximum aufgrund Lichtreflexion in einem meniskusartig ausgebildeten Schmiermittelpegel bildet und sich ein Reflexionsmaximum durch Reflexion an der Ausnehmung bildet, wobei der spitze Winkel kleiner ist als der Winkel eines konischen Bereichs des Lagerspalts, daß ein räumliches Intensitätsprofil des Reflexionslichtes aufgenommen wird und bezüglich der Erkennung der Reflexionsmaxima ausgewertet wird, und daß der Abstand der Reflexionsmaxima ermittelt wird.
  • Es ist bekannt, daß sich bei entsprechender Anordnung und Ausbildung des optischen Systems und bei bestimmten Befüllungspegeln des Lagerspalts zwei relative Reflexionsmaxima ergeben, deren Abstand ein Maß für den Befüllungsgrad ist. Durch das erfindungsgemäße Verfahren wird das räumliche Intensitätsprofil ermittelt, aus dem sich dann wiederum auf einfache und insbesondere automatisierbare Weise die Reflexionsmaxima ermitteln lassen. Es kann dann ihr Abstand automatisch ermittelt werden, um so wiederum den Befüllungsgrad zu ermitteln.
  • Die Form des Intensitätsprofils ist charakteristisch für die Art der Schmiermittelverteilung im Lagerspalt. Es läßt sich so beispielsweise erkennen, ob während eines Evakuierungsvorgangs ein Schmiermittelaustritt aus dem Lagerspalt stattgefunden hat beziehungsweise stattfindet.
  • Durch das erfindungsgemäße Verfahren läßt sich auch der Befüllungsgrad zeitaufgelöst ermitteln, um so beispielsweise direkt einen "Blow out"-Vorgang, während einer Evakuierung feststellen zu können.
  • Da das Intensitätsprofil räumlich aufgenommen wird, so daß über die entsprechenden Intensitätsdaten eine automatische Auswertung durchgeführt werden kann, läßt sich wiederum der Befüllungsgrad über Abstände von Reflexionsmaxima) mit hoher Reproduzierbarkeit ermitteln.
  • Es lassen sich Fluidlager mit erhöhter Taktrate durchmessen, da das erfindungsgemäße Verfahren einer automatischen und insbesondere rechnergestützten Auswertung zugänglich ist.
  • Der Lagerspalt wird mit parallelem Licht beleuchtet. Dadurch läßt sich dieser gleichmäßig ausleuchten und es lassen sich definierte Reflexionslinien erhalten, aus deren Intensitätsprofil erfindungsgemäß der Befüllungsstand ermittelbar ist.
  • Der Lagerspalt wird mit Licht in einem spitzen Winkel (α) bezogen auf eine Längsachse einer Welle des Fluidlagers beaufschlagt. Der spitze Winkel α kann dabei in der Größenordnung von 4° liegen. Die Beaufschlagung erfolgt derart, daß Licht an der Welle reflektierbar ist. Bei einer solchen Beaufschlagungsweise lassen sich zwei Reflexionspeaks erhalten, wobei der eine auf die Lichtreflexion in einem Scheitelbereich eines meniskusartig ausgebildeten Schmiermittelpegels zurückzuführen ist. Das zweite Maximum ist durch die Reflexion an einer Ausnehmung der Welle und insbesondere einer Kante dieser Ausnehmung verursacht. Die Lage des ersten Maximums hängt stark von der Lage des Meniskus ab, das heißt von dem Ölstand. Das zweite Maximum hängt von der Ausbildung der Welle ab. Diese Ausbildung ist unabhängig von dem Ölstand, so daß die Lage dieses Maximums in der Meßebene unabhängig vom Ölstand ist. Durch den Abstand der beiden Maxima läßt sich somit der Ölstand ermitteln.
  • Vorteilhaft ist es, wenn das räumliche Intensitätsprofil in einer definierten Meßebene aufgenommen wird. Dadurch wird für eine einfache und schnelle Auswertbarkeit gesorgt; die Meßebene ist vorzugsweise so gewählt, daß sich ein optimierter Kontrast ergibt.
  • Insbesondere wird die Meßebene gegenüber einem Referenzpunkt des Fluidlagers definiert. Dadurch läßt sich eine Messung auf einfache und schnelle Weise durchführen, da die Meßebene auf einfache und schnelle Weise einstellbar ist.
  • Ferner ist es günstig, wenn das Intensitätsprofil mittels einer ortsfesten Kamera aufgenommen wird. Die Kamera ist gegenüber dem Meßobjekt feststellbar verschieblich, um eine optimale Einstellung zu erhalten. Es ist dann günstig, nachdem diese optimale Einstellung erhalten wurde, die Abstandsposition der Kamera gegenüber dem Meßobjekt nicht mehr zu verändern. Wenn um einen Umfang des Lagerspalts gemessen wird, dann wird vorteilhafterweise das Fluidlager während Nichtmeßzeiten gegenüber der Kamera in entsprechenden Winkelschritten gedreht.
  • Das räumliche Intensitätsprofil läßt sich auf einfache Weise aufnehmen, wenn eine CCD-Kamera das rückreflektierte Licht registriert. Mit einer solchen Kamera läßt sich auf einfache Weise die räumliche Intensitätsverteilung bestimmen.
  • Das Intensitätsprofil wird bezüglich der Erkennung von (relativen) Reflexionsmaxima ausgewertet. Aus dem Abstand von (Haupt-)Reflexionsmaxima läßt sich der Befüllungsgrad ermitteln. Falls solche (Haupt-)Reflexionsmaxima nicht vorliegen, dann kann wiederum zumindest qualitativ auf das Befüllungsbild des Lagerspalts geschlossen werden.
  • Es wird der Abstand von relativen Reflexionsmaxima ermittelt, um so ein Maß für den Befüllungsgrad zu erhalten.
  • Es ist dabei besonders vorteilhaft, wenn eine Auswertung in einem vordefinierten räumlichen Meßfenster erfolgt. Über ein solches Meßfenster läßt sich eine Optimierung insbesondere bezüglich der Kontrastbildung erreichen, um so wiederum eine einfache Auswertbarkeit mit hoher Genauigkeit zu gewährleisten.
  • Ganz besonders vorteilhaft ist es, wenn die Auswertung automatisch und insbesondere rechnergestützt erfolgt. Es lassen sich so Meßergebnisse mit hoher Reproduzierbarkeit erhalten. Weiterhin lassen sich hohe Taktraten bezüglich der Bestimmung, des Schmiermittel-Befüllungsgrads erreichen.
  • Wenn das Intensitätsprofil mittels einer Kamera bestimmt wird, dann wird dieses vorteilhafterweise mittels Bildverarbeitungstechniken ausgewertet.
  • Insbesondere kann ein digitaler Filter zur Auswertung eingesetzt werden, um so beispielsweise aus dem gemessenen Intensitätsprofi ein nichtlineares Profil zu erzeugen, welches der Auswertbarkeit leichter zugänglich ist.
  • Eine Einstellung des optischen Systems, welches Lichtquelle und Kamera umfaßt, erfolgt vorzugsweise derart, daß eine Mitte eines räumlichen Meßfensters in der Mitte zwischen zwei Reflexionslinien liegt. Dadurch läßt sich für ein Fluidlager und einen bestimmten Typ von Fluidlager eine Positionierung erreichen, die bezüglich Fokussierung und Kontrastbildung optimiert ist. Insbesondere läßt sich eine Selbstkalibrierung bezüglich der Kontrastbildung erreichen.
  • Vorzugsweise erfolgt eine automatische Kontrastverstellung bezüglich des positionierten Meßfensters, um so eine Meßauswertung zu erhalten, die keinen Bedienereingriff notwendig macht.
  • Um über den gesamtem Umfang des Lagerspalts den Befüllungsgrad zu ermitteln, wird zwischen Messungen vorzugsweise das Lager gedreht und die Kamera dabei in einem festen Abstand zu dem Lager gehalten.
  • Es kann vorgesehen sein, daß ein Fluidlager unter Normaldruck mit Schmiermittel befüllt wird. Es besteht dabei die grundsätzliche Gefahr, daß in dem Schmiermittel im Lagerspalt Lufteinschlüsse vorliegen. Solche Lufteinschlüsse sind nicht erwünscht, da sie sich negativ auf die Laufeigenschaften des Fluidlagers auswirken.
  • Es ist günstig, wenn unter Normaldruck gemessen wird, um so ein Maß für den Befüllungsgrad zu erhalten.
  • Ferner ist dann günstig, wenn das Lager in einem Evakuierungsraum angeordnet ist und eine (anschließende) Messung bei und/oder während Unterdruckbeaufschlagung durchgeführt wird. Wenn Lufteinschlüsse in dem Schmiermittel vorhanden sind, dann führt dies zu einem Herausspritzen des Schmiermittels aus dem Lagerspalt oder dem Hochlaufen des Schmiermittels an Wänden des Lagespalts während der Evakuierung (sogenanntes "Blow out"). Durch das erfindungsgemäße Verfahren läßt sich ein solcher "Blow out" erkennen, da das Intensitätsprofil beeinflußt wird und insbesondere Reflexionsmaxima verschwinden oder ihre Lage verändern. Durch das erfindungsgemäße Verfahren ist es möglich, zeitaufgelöst zu messen; es kann also während der Evakuierung geprüft werden, ob sich das Intensitätsprofil an einer bestimmten Meßebene zeitlich verändert.
  • Günstig ist es auch, wenn insbesondere eine weitere Messung bei und/oder nach einem Übergang von Unterdruckbeaufschlagung auf Normaldruckbeaufschlagung durchgeführt wird. Es läßt sich dann das Intensitätsprofil ermitteln und entsprechend läßt sich ein Vergleich durchführen zu der Unterdruckbeaufschlagungssituation beziehungsweise zu der Ausgangssituation bei Normaldruckbeaufschlagung. Wenn sich bei der Normaldruckbeaufschlagung nach dem Übergang aus einem Unterdruckbeaufschlagungszustand Änderungen gegenüber dem ursprünglichen Normaldruckbeaufschlagungszustand insbesondere bezüglich des Abstands von Reflexionsmaxima ergeben, dann deutet dies auf einen Schmiermittelverlust aufgrund der Unterdruckbeaufschlagung hin.
  • Es kann auch vorgesehen sein, daß die Meßebene in einem spitzen Winkel bezogen auf eine Ebene senkrecht zu einer Längsachse einer Welle des Fluidlagers geneigt ist und insbesondere im gleichen spitzen Winkel geneigt ist, wie Licht in Relation zu einer Längsachse der Welle in den Lagerspalt eingestrahlt wird. Dadurch liegt dann die Meßebene im wesentlichen senkrecht zum eingestrahlten Licht; dem gemessenen Intensitätsprofil läßt sich dann auf einfache Weise ein Befüllungsgrad zuordnen.
  • Günstig ist es, wenn der spitze Winkel kleiner ist als ein halber Öffnungswinkel eines konischen Bereichs des Lagerspalts. Dadurch lassen sich bei Ölreflexion gut ausgebildete (relative) Reflexionsmaxima erreichen.
  • Die nachfolgende Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform dient im Zusammenhang mit der Zeichnung der näheren Erläuterung der Erfindung. Es zeigen:
  • 1 eine schematische Teilschnittdarstellung eines Fluidlagers, an welchem mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens der Befüllungsgrad von Schmiermittel ermittelt wird;
  • 2 eine Draufsicht auf das Lager gemäß 1 mit einem Meßbereich A;
  • 3 eine Reflexionslichtaufnahme für den Meßbereich A gemäß 2 ;
  • 4 ein erstes Beispiel für ein räumliches Intensitätsprofil;
  • 5 ein zweites Beispiel für ein räumliches Intensitätsprofil und
  • 6 eine schematische Darstellung einer Schmiermittelverteilung in dem Lagerspalt eines Fluidlagers, welche zu dem Intensitätsprofil gemäß 5 führt.
  • Ein Fluidlager, welches in 1 ausschnittsweise in einer Teilschnittdarstellung schematisch gezeigt und dort als Ganzes mit 10 bezeichnet ist, umfaßt eine Welle 12, welche in einer an einer Lagerhülse 13 (sleeve) ausgebildeten Wellenaufnahme 14 drehbar gelagert ist. Die Welle 12 erstreckt sich in einer Längsachse 16 und ist um diese Achse 16 außerhalb einer eventuellen Verwirbelungseinrichtung rotationssymmetrisch ausgebildet. Die Wellenaufnahme 14 erstreckt sich auch in dieser Längsachse 16 und ist außerhalb einer eventuellen Verwirbelungseinrichtung ebenfalls rotationssymmetrisch um diese Achse 16 ausgebildet.
  • Zwischen der Welle 12 und der Wellenaufnahme 14 ist ein Spalt 18, nämlich der Lagerspalt gebildet. Bei einem Fluidlager ist dieser Lagerspalt 18 mit einem Schmiermittel 20 und insbesondere Schmieröl befüllt.
  • Das Schmiermittel 20 weist dabei einen Befüllungspegel 22 auf, der mit engen Toleranzen bei der Herstellung des Fluidlagers 10 eingestellt werden muß, um die Funktionsfähigkeit des Fluidlagers sicherzustellen.
  • Der Lagerspalt 18 weist zu einem Ende 24 der Wellenaufnahme 14 hin einen sich konisch von der Achse 16 weg erweiternden Bereich 26 auf. Der Innendurchmesser der Wellenaufnahme 14 ist an dem Ende des Bereiches 26, welcher am Ende 24 der Wellenaufnahme 14 liegt, größer als an einem gegenüberliegenden Ende 28 des konischen Bereiches 26. Der Bereich 26 hat bezüglich der Wellenaufnahme 14 die räumliche Gestalt eines Hohlkegels mit einem Öffnungswinkel 2β. Eine typische Größenordnung für β ist 10°. Von dem Ende 28 abwärts hat die Wellenaufnahme 14 die Gestalt eines Hohlzylinders.
  • Zur Messung des Befüllungsgrads wird der Lagerspalt 18 beleuchtet, wobei eine oder mehrere Lichtquellen 30 in einem Abstand zu dem Fluidlager 10 angeordnet ist. Die Lichtquelle 30 ist dabei so angeordnet und ausgebildet, daß sich der Lagerspalt 18 gleichmäßig und insbesondere mit weitgehend parallelem Licht ausleuchten läßt.
  • Licht von der Lichtquelle 30 wird an dem Schmiermittelpegel 22 zurückreflektiert. Dies ist in 1 schematisch anhand von Lichtstrahlen 32a, 32b gezeigt, welche an dem meniskusartig ausgebildeten Schmiermittelpegel 22 zurückreflektiert werden. Das rückreflektierte Licht ist charakteristisch für den Schmiermittelpegel: Es ergeben sich bei geeigneter Beleuchtung des Lagerspalts 18 und geeigneter Beobachtung zwei beabstandete Reflexionsmaxima 34, 36. Der Abstand dieser Reflexionsmaxima 34, 36 ist charakteristisch für den Befüllungspegel. Liegt der Befüllungspegel niedriger, dann ergeben sich relative Reflexionsmaxima 34, 36, welche einen kleineren Abstand aufweisen.
  • Durch den Abstand der Reflexionsmaxima läßt sich insbesondere bei entsprechender Kalibrierung somit der Befüllungsgrad des Lagerspalts 18 qualitativ und/oder quantitativ ermitteln.
  • Erfindungsgemäß ist es vorgesehen, das räumliche Intensitätsprofil des rückreflektierten Lichts in einer definierten Meßebene 44 zu registrieren. Die Meßebene 44 ist dabei vorzugsweise gegenüber einem Referenzpunkt der Fluidlagers 10 definiert. Beispielsweise ist ein solcher Referenzpunkt 46 durch eine ringförmige Ausnehmung 48 mit einer Vorderkante 49 in der Welle 12 vorgegeben, wobei die Ausnehmung 48 oberhalb des Lagerspalts 18 angeordnet ist.
  • Das Linienprofil wird in der Meßebene 44 räumlich aufgelöst aufgenommen, wobei hierzu eine vorzugsweise ortsfeste Kamera 50 und insbesondere CCD-Kamera vorgesehen ist.
  • Die Auswertung erfolgt automatisch und insbesondere rechnergestützt über eine Auswertungseinrichtung 52.
  • Die Registrierung des rückreflektierten Lichts erfolgt in einem Meßbereich A als Meßebene, welcher einen Teilausschnitt eines Meßebenenbereichs um den Lagerspalt 18 darstellt (2). Um den gesamten Umfang des Lagerspaltes 18 erfassen zu können, wird vorzugsweise die Kamera 50 ortsfest gehalten und zwischen Messungen das Fluidlager 10 um eine Achse, welche mit der Längsachse 16 zusammenfällt, in Teilschritten gedreht.
  • In 3 ist ein typisches Meßergebnis (bei ortsfestem Fluidlager 10) gezeigt: Die Kamera registriert eine deutlich sichtbare erste Reflexionslinie 54 und eine beabstandete zweite Reflexionslinie 56. Das Intensitätsprofil wird räumlich in einem definierten Meßfenster 58 bestimmt. Das Meßfenster 58 wird dabei so eingestellt, daß auf eine Hauptreflexionslinie, beispielsweise die Reflexionslinie 54 fokussiert wird und dabei das optische System, welches die Lichtquelle 30 und die Kamera 50 umfaßt, entsprechend eingestellt wird. Insbesondere wird der Abstand zwischen der Kamera 50 und dem Fluidlager 10 eingestellt und die Lichtquelle 30 so positioniert, daß sich ein gutes Bild (entsprechend der 3) ergibt. Die Kameraposition wird dann weiter so in X- und Y-Richtung eingestellt, daß eine Mitte 60 des Meßfensters in der Mitte zwischen den Reflexionslinien 54 und 56 liegt. Für einen bestimmten Typ von Fluidlager 10 wird dann diese Einstellung festgehalten. (In der 3 ist eine Zwischenstellung gezeigt, bei welcher die Mitte 60 des Meßfensters 58 noch nicht genau zwischen den Reflexionslinien 54 und 56 liegt.)
  • Durch diese Vorgehensweise wird erreicht, daß eine korrekte Einstellung zwischen Lichtquelle 30, Kamera 50 und Meßgegenstand 10 erreicht wird, um eine optimale Auswertbarkeit zu erhalten. Es läßt sich auf diese Weise eine Kontrastverstellung in dem Meßfenster 58 durchführen und insbesondere automatisch durchführen, das heißt es wird eine Art von Selbstkalibrierung erreicht.
  • Die Fokussierung auf die Reflexionslinie 54 wird dabei, wenn zur Auswertung des räumlichen Intensitätsprofils digitale Filter vorgesehen sind, bei ausgeschaltetem Filter vorgenommen. Die Anpassung der Position der Kamera 50, um die Mitte 60 des Meßfensters 58 zwischen die beiden Reflexionslinien 54 und 56 zu legen, wird bei aktiviertem Filter durchgeführt.
  • Die Kamera 50 ermittelt das räumliche Intensitätsprofil in der Meßebene 44. Dieses Intensitätsprofil wird in dem Meßfenster 58 insbesondere längs Meßlinien 62 (welche innerhalb des Meßfensters 58 liegen) ausgewertet. Vorzugsweise liegt dabei eine solche Meßlinie 62 radial bezogen auf die Längsachse 16.
  • In 4 ist ein Beispiel eines registrierten räumlichen Intensitätsprofils 64 in Abhängigkeit des Abstands a gezeigt, welches sich bei einer Schmiermittelverteilung ergibt, welche in 1 gezeigt ist. Die Abszissenrichtung ist eine Abstandsrichtung in der Meßebene 44. Der Nullpunkt für diesen Abstand a ist willkürlich gesetzt. Ein solches Intensitätsprofil wird über Bildverarbeitungstechniken ausgewertet, wobei auch digitale Filter insbesondere zur Nichtlinearisierung des Profils eingesetzt werden können. Man erkennt aus der 4 ein erstes relatives Maximum 66 und ein zweites relatives Maximum 68. Das erste relative Maximum 66 entspricht der Reflexionslinie 54 und das zweite relative Maximum 68 entspricht der Reflexionslinie 56.
  • Das erste relative Maximum 66 ist auf die Reflexion in einem Scheitelbereich 70 des meniskusartig ausgebildeten Befüllungspegels zurückzuführen. Es entspricht dem in 1 gezeigten Reflexionsmaximum 34. Die Lage des ersten Maximums ist abhängig von dem Schmiermittelstand, d.h. der Lage des Meniskus des Befüllungspegels 22.
  • Das zweite relative Maximum 68 entspricht dem in 1 gezeigten Reflexionsmaximum 36. Es ist auf eine Reflexion an der Ausnehmung 48 und insbesondere am Bereich ihrer (Vorder-)Kante 49 zurückzuführen. Dieses zweite relative Maximum 68 ist fest, d.h. seine Lage in der Meßebene 44 ist unabhängig vom Schmiermittelstand. Der Abstand der beiden relativen Maxima 66 und 68 charakterisiert somit den Schmiermittelstand.
  • Das Licht, mit welchem der Spalt 18 beaufschlagt wird, ist vorzugsweise in einem kleinen spitzen Winkel α zu der Längsachse 16 ausgerichtet. Der Winkel α liegt beispielsweise in der Größenordnung 4°. Lichtstrahlen treffen in dem spitzen Winkel α auf eine zur Längsachse 16 parallelen Wand 74 der Welle 12. Vorzugsweise ist dieser Winkel α kleiner als der Winkel β des konischen Bereichs 26 zwischen der Welle 12 und der Wellenaufnahme 14.
  • In 1 ist ein Reflexionslichtstrahl 76 gezeigt, welcher an der Ausnehmung 48 und insbesondere deren Vorderkante 49 reflektiert wird.
  • Die Peaks 66 und 68 liegen zwischen Intensitätsbereichen 78 und 80 ( 1, 3 und 4), die auf Reflexion des Lichts am Ende 24 der Wellenaufnahme 14 (Intensitätsbereich 78) und auf die Reflexion an der Welle 12 insbesondere oberhalb der Ausnehmung 48 (Intensitätsbereich 80) zurückzuführen sind.
  • Die Meßebene 44 ist vorzugsweise entsprechend dem oben genannten spitzen Winkel α gegen eine zur Längsachse 16 senkrechten Ebene geneigt, so daß die Meßebene 44 senkrecht zu den Lichtstrahlen ist.
  • Die Auswertungseinrichtung 52 wertet nun das Intensitätsprofil 64 aus, um den Abstand der beiden Maxima 66 und 68 zu ermitteln, wodurch wiederum ein Maß für den Befüllungsgrad des Lagerspalts 18 erhalten wird. Dazu werden beispielsweise mittels Bildverarbeitungstechniken die Intensitätsprofildaten in numerische Daten umgesetzt und es wird dann ein Mittelungsverfahren durchgeführt. Weiterhin können Halbwertsbreiten ermittelt werden. Über die Auswertungseinrichtung 52 läßt sich so automatisch und insbesondere rechnergestützt mit hoher Reproduzierbarkeit der Abstand der beiden relativen Maxima 66, 68 bestimmen.
  • Das in der 4 gezeigte Intensitätsprofil 64 hat den typischen Verlauf, wenn Ölreflexion vorliegt. In 5 ist ein Intensitätsprofil 82 gezeigt, dessen Verlauf typisch ist für Wandreflexion. Ein auf Schmiermittelreflexion zurückzuführendes erstes Maximum kann sich nicht mehr ausbilden. Das rückreflektierte Licht wird nicht überwiegend am Schmiermittel reflektiert, sondern an Wänden, welche den Lagerspalt 18 begrenzen, das heißt es wird überwiegend durch die Welle 12 und die Wellenaufnahme 14 rückreflektiert.
  • Ein Befüllungsbeispiel, welches das Intensitätsprofil gemäß 5 ergibt, ist in 6 gezeigt: Das Schmiermittel 20 im Lagerspalt 18 hat einen Befüllungspegel 84, welcher unterhalb des konischen Bereichs 26 liegt. Das Schmiermittel ist dabei an Begrenzungswänden des Bereiches 26 im Vergleich zu dem in 1 gezeigten Fall hochgewandert. Der zugrundeliegende Vorgang, welcher zu einem solchen Befüllungsbild führt, wie es in 6 gezeigt ist, wird auch als "Blow out" bezeichnet und unten noch näher beschrieben. Es ergeben sich keine zwei beabstandeten relativen Reflexionsmaxima.
  • Durch das erfindungsgemäße Verfahren lassen sich die Intensitätsprofile 64 und 82 voneinander qualitativ (und quantitativ) unterscheiden. Dadurch können insbesondere auch "Blow out"-Fälle erkannt werden.
  • Es ist auch vorgesehen, daß die Auswertungseinrichtung 52 eine Plausibilitätsprüfung bezüglich der ermittelten Abstandswerte durchführt.
  • Durch das erfindungsgemäße Verfahren lassen sich die Abstände reproduzierbar mit hoher Genauigkeit ermitteln.
  • Es kann dabei vorgesehen sein, daß zur Ermittlung des Befüllungsgrads des Lagerspalts 18 eines Fluidlagers 10 zuerst eine Messung wie oben beschrieben unter Normaldruck durchgeführt wird und dann eine Unterdruckbeaufschlagung des Fluidlagers 10 durchgeführt wird. Dazu wird das Fluidlager 10 in einem Evakuierungsraum positioniert, so daß eben durch Evakuierung ein Unterdruck erzeugbar ist. Wenn Luft in dem Schmiermittel 20 im Lagerspalt 18 gelöst ist, dann wird diese Luft bei Unterdruckbeaufschlagung ausgetrieben ("Blow out"). Dies führt dazu, daß Schmiermittel aus dem Lagerspalt 18 wegspritzt oder, wie in 6 gezeigt, an den den Lagerspalt 18 begrenzenden Wänden hochläuft. Über das erfindungsgemäße Verfahren läßt sich ein solcher "Blow out" erkennen, da sich ein modifiziertes Intensitätsprofil, wie beispielhaft in 5 gezeigt, ergibt.
  • Es kann vorgesehen sein, daß während der Evakuierung des Evakuierungsraums ständig eine Intensitätsprofilmessung durchgeführt wird, um eben einen "Blow out" auch zeitlich aufgelöst zu erkennen.
  • Nach der Unterdruckbeaufschlagung wird der Evakuierungsraum wieder belüftet, um Normaldruckbedingungen herzustellen. Es kann dann noch einmal eine Messung vorgesehen werden. Es läßt sich beispielsweise so ermitteln, ob der Meßwert für den Ölstand der gleiche ist wie vor der Evakuierung.
  • 10
    Fluidlager
    12
    Welle
    13
    Lagerhülse
    14
    Wellenaufnahme
    16
    Längsachse
    18
    Spalt (Lagerspalt)
    20
    Schmiermittel
    22
    Befüllungspegel
    24
    Ende der Lagerhülse
    26
    konischer Bereich
    28
    Ende des konischen Bereichs
    30
    Lichtquelle
    32a
    Lichtstrahlen
    32b
    Lichtstrahlen
    34
    relatives Reflexionsmaximum
    36
    relatives Reflexionsmaximum
    44
    Meßebene
    46
    Referenzpunkt
    48
    Ausnehmung
    49
    (Vorder-)Kante der Ausnehmung 48
    50
    Kamera
    52
    Auswertungseinrichtung
    54
    erste Reflexionslinie
    56
    zweite Reflexionslinie
    58
    Meßfenster
    60
    Mitte des Meßfensters
    62
    Meßlinie
    64
    Intensitätsprofil
    66
    erstes relatives Maximum
    68
    zweites relatives Maximum
    70
    Scheitelbereich
    72
    Randbereich Befüllungspegel
    74
    Wand Welle
    76
    Reflexionslichtstrahl
    78
    Intensitätsbereich
    80
    Intensitätsbereich
    82
    Intensitätsprofil
    84
    Befüllungspegel
    α
    Neigungswinkel der Meßebene gegenüber Querebene
    zur Welle
    β
    halber Öffnungswinkel des konischen Bereichs
    a
    Abstand
    I
    Intensität
    A
    Meßbereich

Claims (17)

  1. Verfahren zur Bestimmung des Schmiermittel-Befüllungsgrads an einem Fluidlager mit einer Welle, welche eine Ausnehmung aufweist, bei dem der Lagerspalt des Fluidlagers beleuchtet wird und die Lichtreflexion ausgewertet wird, dadurch gekennzeichnet , daß der Lagerspalt mit parallelem Licht beleuchtet wird, daß die Lichtbeaufschlagung in einem spitzen Winkel bezogen auf eine Längsachse der Welle des Fluidlagers derart erfolgt, daß sich ein Reflexionsmaximum aufgrund Lichtreflexion an einem meniskusartig ausgebildeten Schmiermittelpegel bildet sowie ein Reflexionsmaximum durch Reflexion an der Ausnehmung wobei der spitze Winkel kleiner ist als der Winkel eines konischen Bereichs des Lagerspalts, daß ein räumliches Intensitätsprofil des Reflexionslichtes aufgenommen und bezüglich der Erkennung der Reflexionsmaxima ausgewertet wird, und daß der Abstand der Reflexionsmaxima ermittelt wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das räumliche Intensitätsprofil in einer definierten Meßebene aufgenommen wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßebene gegenüber einem Referenzpunkt des Fluidlagers definiert wird.
  4. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Intensitätsprofil mittels einer ortsfesten Kamera aufgenommen wird.
  5. Verfahren nach, einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Intensitätsprofil mittels einer CCD-Kamera aufgenommen wird.
  6. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine Auswertung in einem vordefinierten räumlichen Meßfenster erfolgt.
  7. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswertung automatisch erfolgt.
  8. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Intensitätsprofil mittels Bildverarbeitungstechniken ausgewertet wird.
  9. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein digitaler Filter zur Auswertung des Intensitätsprofils eingesetzt wird.
  10. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß eine Einstellung des optischen Systems derart erfolgt, daß eine Mitte des räumlichen Meßfensters im wesentlichen in der Mitte zwischen zwei relativen Reflexionsmaxima liegt.
  11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß eine automatische Kontrastverstellung bezüglich des positionierten Meßfensters erfolgt.
  12. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen Messungen das Fluidlager gedreht wird.
  13. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß unter Normaldruck gemessen wird.
  14. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Fluidlager in einem Evakuierungsraum angeordnet ist und eine Messung bei und/oder während Unterdruckbeaufschlagung durch geführt wird.
  15. Verfahren nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß eine Messung bei und/oder nach einem Übergang von Unterdruckbeaufschlagung auf Normaldruckbeaufschlagung durchgeführt wird.
  16. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßebene in einem spitzen Winkel bezogen auf eine Ebene senkrecht zu einer Längsachse einer Welle des Fluidlagers geneigt ist.
  17. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Winkel kleiner ist als ein halber Öffnungswinkel des konischen Bereichs des Lagerspalts.
DE10335386A 2003-07-25 2003-07-25 Verfahren zur Bestimmung des Schmiermittel-Befüllungsgrads eines fluiddynamischen Lagers Expired - Lifetime DE10335386B4 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10335386A DE10335386B4 (de) 2003-07-25 2003-07-25 Verfahren zur Bestimmung des Schmiermittel-Befüllungsgrads eines fluiddynamischen Lagers
US10/887,580 US7115894B2 (en) 2003-07-25 2004-07-09 Method to determine the lubricant filling degree of a fluid dynamic bearing
JP2004212626A JP2005043363A (ja) 2003-07-25 2004-07-21 流体動圧軸受の潤滑剤充填度の判定方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10335386A DE10335386B4 (de) 2003-07-25 2003-07-25 Verfahren zur Bestimmung des Schmiermittel-Befüllungsgrads eines fluiddynamischen Lagers

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10335386A1 DE10335386A1 (de) 2005-02-24
DE10335386B4 true DE10335386B4 (de) 2006-05-24

Family

ID=34072029

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10335386A Expired - Lifetime DE10335386B4 (de) 2003-07-25 2003-07-25 Verfahren zur Bestimmung des Schmiermittel-Befüllungsgrads eines fluiddynamischen Lagers

Country Status (3)

Country Link
US (1) US7115894B2 (de)
JP (1) JP2005043363A (de)
DE (1) DE10335386B4 (de)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006170230A (ja) * 2004-12-13 2006-06-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd 流体軸受装置の作動流体量検査方法、流体軸受装置およびスピンドルモータ
KR101038786B1 (ko) 2009-09-28 2011-06-03 삼성전기주식회사 모터의 유체 동압 베어링 어셈블리의 오일 계면 측정방법 및 측정장치
JP2014145405A (ja) * 2013-01-29 2014-08-14 Samsung Electromechanics Japan Advanced Technology Co Ltd ディスク駆動装置
AT515095B1 (de) * 2014-01-16 2015-06-15 Minebea Co Ltd Verfahren zur optischen Erfassung des Füllstandes einer Flüssigkeit, fluiddynamisches Lager und Messsensor zur Durchführung dieses Verfahrens

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001090733A (ja) * 1999-09-27 2001-04-03 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd 動圧軸受装置の製造方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002213436A (ja) * 2001-01-19 2002-07-31 Olympus Optical Co Ltd モータ用流体軸受け装置
US7040019B2 (en) * 2002-04-03 2006-05-09 Ntn Corporation Method and apparatus for manufacturing hydro dynamic bearing device

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001090733A (ja) * 1999-09-27 2001-04-03 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd 動圧軸受装置の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
US7115894B2 (en) 2006-10-03
US20050015989A1 (en) 2005-01-27
JP2005043363A (ja) 2005-02-17
DE10335386A1 (de) 2005-02-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102007017747B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur optischen Vermessung von Außengewinden
EP1123483B1 (de) Unebenheiten in einer gewölbten oberfläche, wie reifenseitenwand, mit bandpassfilterung
EP1920213B1 (de) Automatische inspektionsvorrichtung für stents und verfahren zur automatischen inspektion
EP3033612B1 (de) Vorrichtung und verfahren zur erfassung einer zumindest teilweise spiegelnden oberfläche
EP3088130B1 (de) Verfahren zur berührungslosen beurteilung der oberflächenbeschaffenheit einer kugellaufbahn eines kugelgewindetriebs
DE102010053423A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Abständen zwischen optischen Flächen eines optischen Systems
DE102009058215A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenprüfung eines Lagerbauteils
DE10335386B4 (de) Verfahren zur Bestimmung des Schmiermittel-Befüllungsgrads eines fluiddynamischen Lagers
DE102006052047A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Lage einer Symmetrieachse einer asphärischen Linsenfläche
DE102006015627A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung und Vermessung von Formabweichungen und Welligkeiten an rotationssymmetrischen Teilen
DE102004017237A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur quantitativen Bestimmung der optischen Güte eines transparenten Materials
DE19713138A1 (de) Anordnung zur Ermittlung optisch relevanter Daten des Auges
EP4336140A1 (de) Verfahren zur beurteilung des ergebnisses einer an einem werkstück durchgeführten bohrung
DE102015105171A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum optischen Messen von rotierbaren Werkstücken mit Exzentern
DE112009001936B4 (de) Inspektionsvorrichtung- und Verfahren für die optische Untersuchung von Objektoberflächen, insbesondere von Waferkanten
DE102014108431A1 (de) Verfahren und Messvorrichtung zum Überprüfen einer Zylinderbohrung
WO2008031412A2 (de) Vorrichtung und verfahren zur dreidimensionalen strömungsmessung
DE10311390A1 (de) Berührungsloses Verfahren und Messanordnung auf Kamerabasis zur Messung von Gewinde insbesondere von Innegewinde mit Lichtschnittprojektion
DE102014001151A1 (de) Messung der Positionen von Krümmungsmittelpunkten optischer Flächen eines mehrlinsigen optischen Systems
DE19545367C2 (de) Vorrichtung und Verfahren zur optischen Profilmessung, insbesondere an gekrümmten Objektoberflächen
DE102008041135A1 (de) Inspektionsvorrichtung- und Verfahren für die optische Untersuchung von Objektoberflächen, insbesondere einer Wafernotch
DE4337707A1 (de) Anordnung zur Beleuchtung und Abbildung
DE4415004A1 (de) Anordnung und Verfahren zur Charakterisierung von Oberflächen und zur Charakterisierung und Klassifizierung von Oberflächendefekten und oberflächennahen Defekten sowie von Inhomogenitäten im Volumen transparenter Medien
DE102021117422A1 (de) Optische Messbeleuchtungsvorrichtung zum Beleuchten eines optischen Prüflings und Verfahren zum Betreiben einer optischen Messbeleuchtungsvorrichtung
EP3850303A1 (de) Verfahren zur optischen makrodrallbestimmung an zylindrischen werkstücken mit hilfe von streulichtmessungen

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8364 No opposition during term of opposition
R082 Change of representative

Representative=s name: HOEGER, STELLRECHT & PARTNER PATENTANWAELTE MB, DE

R081 Change of applicant/patentee

Owner name: MINEBEA MITSUMI INC., JP

Free format text: FORMER OWNER: MINEBEA CO., LTD., NAGANO, JP

R082 Change of representative

Representative=s name: HOEGER, STELLRECHT & PARTNER PATENTANWAELTE MB, DE

R082 Change of representative

Representative=s name: HOEGER, STELLRECHT & PARTNER PATENTANWAELTE MB, DE

R071 Expiry of right