DE10249991A1 - Verfahren zur automatischen Fokussierung eines konfokalen Scanmikroskops und Scanmikroskop - Google Patents

Verfahren zur automatischen Fokussierung eines konfokalen Scanmikroskops und Scanmikroskop Download PDF

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Abstract

Ein konfokales Scanmikroskop mit einer Lichtquelle zur Erzeugung eines Beleuchtungslichtstrahles, der auf eine Probe richtbar ist, und mit einem Detektor, an dem eine Versorgungsspannung anlegbar ist, zum Detektieren des von der Probe ausgehenden Detektionslichtes und mit einem Mittel zur Einstellung der Fokussierung ist offenbart. Das Scanmikroskop ist dadurch gekennzeichnet, dass die Fokussierung in Abhängigkeit der von der Höhe der Versorgungsspannung einstellbar ist. Außerdem ist ein Verfahren zur automatischen Fokussierung eines konfokalen Scanmikroskops offenbart.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur automatischen Fokussierung eines konfokalen Scanmikroskops.
  • Weiterhin betrifft die Erfindung ein konfokales Scanmikroskop mit einer Lichtquelle zur Erzeugung eines Beleuchtungslichtstrahles, der auf eine Probe richtbar ist, und mit einem Detektor, an dem eine Versorgungsspannung anlegbar ist, zum Detektieren des von Probe ausgehenden Detektionslichtes und mit einem Mittel zur Einstellung der Fokussierung.
  • In der Scanmikroskopie wird eine Probe mit einem Lichtstrahl beleuchtet, um das von der Probe emittierte Reflexions- oder Fluoreszenzlicht zu beobachten. Der Fokus eines Beleuchtungslichtstrahles wird mit Hilfe einer steuerbaren Strahlablenkeinrichtung, im Allgemeinen durch Verkippen zweier Spiegel, in einer Objektebene bewegt, wobei die Ablenkachsen meist senkrecht aufeinander stehen, so dass ein Spiegel in x-, der andere in y-Richtung ablenkt. Die Verkippung der Spiegel wird beispielsweise mit Hilfe von Galvanometer-Stellelementen bewerkstelligt. Die Leistung des vom Objekt kommenden Lichtes wird in Abhängigkeit von der Position des Abtaststrahles gemessen. Üblicherweise werden die Stellelemente mit Sensoren zur Ermittlung der aktuellen Spiegelstellung ausgerüstet.
  • Speziell in der konfokalen Scanmikroskopie wird ein Objekt mit denn Fokus eines Lichtstrahles in drei Dimensionen abgetastet.
  • Ein konfokales Rastermikroskop umfasst im Allgemeinen eine Lichtquelle, eine Fokussieroptik, mit der das Licht der Quelle auf eine Lochblende – die sog. Anregungsblende – fokussiert wird, einen Strahlteiler, eine Strahlablenkeinrichtung zur Strahlsteuerung, eine Mikroskopoptik, eine Detektionsblende und die Detektoren zum Nachweis des Detektions- bzw. Fluoreszenzlichtes. Das Beleuchtungslicht wird über einen Strahlteiler eingekoppelt. Das vom Objekt kommende Fluoreszenz- oder Reflexionslicht gelangt über die Strahlablenkeinrichtung zurück zum Strahlteiler, passiert diesen, um anschließend auf die Detektionsblende fokussiert zu werden, hinter der sich die Detektoren befinden. Detektionslicht, das nicht direkt aus der Fokusregion stammt, nimmt einen anderen Lichtweg und passiert die Detektionsblende nicht, so dass man eine Punktinformation erhält, die durch sequentielles Abtasten des Objekts zu einem dreidimensionalen Bild führt. Meist wird ein dreidimensionales Bild durch schichtweise Bilddatennahme erzielt, wobei die Bahn des Abtastlichtstrahles auf bzw. in dem Objekt: idealer Weise einen Mäander beschreibt. (Abtasten einer Zeile in x-Richtung bei konstanter y-Position, anschließend x-Abtastung anhalten und per y-Verstellung auf die nächste abzutastende Zeile schwenken und dann, bei konstanter y-Position, diese Zeile in negative x-Richtung abtasten u.s.w.). Um eine schichtweise Bilddatennahme zu ermöglichen, wird der Probentisch oder das Objektiv nach dem Abtasten einer Schicht verschoben und so die nächste abzutastende Schicht in die Fokusebene des Objektivs gebracht.
  • Zum Auffinden einer Anfangseinstellung wird vom Benutzer die Fokussierung meist im konventionellen – nicht konfokalen Modus – vorgenommen und anschließend erst in den konfokalen Modus umgeschaltet. Das Auffinden einer „Grundfokussierung" ist aufwendig und verlangt vom Benutzer Erfahrung und Verständnis der mikroskopoptischen Zusammenhänge.
  • Aus der US-Patentschrift US 4,844,617 ist ein konfokales Messmikroskop mit automatischer Fokussierung bekannt. Das konfokale Messmikroskop beinhaltet ein Spektrometer und ein Autofokussystem, die gemeinsame optische Elemente teilen, wobei die Intensität des in das Spektrometer eintretenden Detektionslichtes gemessen wird, um die aktuelle Fokuseinstellungsqualität eines Rasterpunktes zu ermitteln. Um die Fokuseinstellung während des transversalen Abrasterns der Probe zu erhalten, ist der Probentisch in axialer Richtung verfahrbar.
  • Das aus dem Stand der Technik bekannte Vorgehensweise hat den Nachteil, dass die Ermittlung der aktuelle Fokuseinstellungsqualität eines Rasterpunktes von der Charakteristik des Detektors, wie beispielsweise dem Verstärkungsverhalten oder der Empfindlichkeit, insbesondere der meist unterschiedlichen spektralen Empfindlichkeit – was bei der Verwendung unterschiedlicher Fluoreszenzfarbstoffe oder unterschiedlicher Beleuchtungslichtwellenlängen bei der Reflexionsmikroskopie von Bedeutung ist –, abhängig ist. Außerdem ist nachteilig, dass der Such/Fangbereich durch die begrenzte Dynamik in der Detektion sehr klein ist, so dass man also schon ganz gut in der Nähe des Fokus sein muss, damit das Autofokussystem überhaupt arbeiten kann.
  • Es ist Aufgabe der Erfindung ein zuverlässiges, reproduzierbares und flexibel einsetzbares Verfahren zur automatischen Fokussierung eines konfokalen Scanmikroskops anzugeben.
  • Die Aufgabe wird durch ein Verfahren gelöst, das durch folgende Schritte gekennzeichnet ist:
    • – Erzeugen eines Beleuchtungslichtstrahles,
    • – Richten des Beleuchtungslichtstrahles auf eine Probe,
    • – Detektieren des von der Probe ausgehenden Detektionslichtes mit einem Detektor, an dem eine Versorgungsspannung anliegt und
    • – Einstellen der Fokussierung in Abhängigkeit der von der Höhe der Versorgungsspannung.
  • Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung ein konfokales Scanmikroskop mit einer zuverlässigen Autofokussierung anzugeben, die universell und flexibel bei verschiedensten Untersuchungsbedingungen reproduzierbar einsetzbar ist.
  • Diese Aufgabe wird durch ein konfokales Scanmikroskop gelöst, das dadurch gekennzeichnet ist, dass die Fokussierung in Abhängigkeit der von der Höhe der Versorgungsspannung einstellbar ist.
  • Die Erfindung hat den Vorteil, dass auf einfache Weise die Möglichkeit einer reproduzierbaren Autofokussierung ermöglicht ist. Erfindungsgemäß wird bei die hohe Dynamik der Verstärkung (Gain), die insbesondere bei Photomultiplieren bis ca. 105 selbst bei geringsten Lichtmengen beträgt, ausgenutzt. Bei einer Avalanche-Photodiode, oder Vacuumdiode das beträgt die Verstärkung ca. 103. Insbesondere bei Halbleiterdetektoren können wegen der logarithmischen Kennlinie auch Diodenspannungen für die Dynamikerhöhung verwendet werden. Erfindungsgemäß ist jeder Detektor einsetzbar, der eine hohe kontinuierlich einstellbare Verstärkungsdynamik besitzt. Insbesondere bei Photomultiplieren ist vorteilhafter Weise keine Bereichsumschaltungen etc. bei Annäherung an Fokus notwendig.
  • Insbesondere ist es ermöglicht dem Benutzer schnell und zuverlässig eine Anfangseinstellung für die Fokussierung zur Verfügung zu stellen, ohne dass dieser in den konventionellen nicht konfokalen Modus umschalten muss.
  • Die in der Scanmikroskopie eingesetzten Detektoren sind meist Photomultiplier oder Halbleiterdetektoren, wie beispielsweise Photodioden oder Avalanche-Photodioden (Lawinendioden) oder Lawinendetektoren. Diese werden mit einer Versorgungsspannung beaufschlagt bzw. weisen eine einstellbare Verstärkung auf.
  • Besonders vorteilhaft ist der Einsatz von EMCCD-Detektoren. Diese sind beispielsweise aus der Veröffentlichung von Devenir et al.: „Electron multiplying CCD-Technology: Application to Ultrasensitive Detection of Biomolecules" bekannt.
  • Im konventionellen Mikroskop wird ein Objekt bei Defokussierung unscharf und bleibt im wesentlichen gleich hell. Beim konfokalen Mikroskop dagegen wird ein Objekt wenn es defokussiert wird dunkel. Die Helligkeit eines Objektes kann folglich als Qualitätsmerkmal für die Fokussierung eingesetzt werden. Der Suchbereich für ein zu fokussierendes Objektes ist umso größer je größer die Detektionsdynamik ist.
  • Die Messdynamik ist beim derzeitigen Stand der Technik ca. 4000/1 bei festgelegter Verstärkung (Gain) des Detektors. Nutzt man dagegen zusätzlich die Gaindynamik z.B. einem Photomultipliers so erhält man einen weiteren Faktor von bis zu ca. 1e5x um den Suchbereich zu wirksam zu vergrößern.
  • In einer bevorzugen Ausführung wird die Fokussierung derart eingestellt, dass die Versorgungsspannung ein Extremum aufweist. Dieses Extremum ist vorzugsweise ein Minimum oder zumindest ein lokales Minimum ist. Dadurch kann ohne Suchwiederholung mit verschiedenen Einstellungen in einem Suchvorgang der Objektfokus gefunden werden.
  • Vorzugsweise ist ein Mittel zur Einstellung der Fokussierung vorgesehen, mit dem beispielsweise die optischen Eigenschaften der Komponenten des Scanmikroskops, wie beispielsweise Brennweiten oder die Strahlführung oder Strahlformung, oder optische Abstände innerhalb des Scanmikroskops veränderbar sind.
  • In einer bevorzugen Ausgestaltung weist das Scanmikroskop ein Objektiv auf. Das der Fokussierung umfasst bei diesem Scanmikroskop vorzugsweise das Verändern des Abstandes zwischen dem Objektiv und der Probe. Hierzu kann der Probentisch verfahrbar sein, oder auch das Objektiv oder der Objektivrevolver.
  • In einer anderen bevorzugen Ausgestaltung umfasst das Einstellen der Fokussierung das Verändern einer Brennweite. Hierzu kann eine Zoomoptik vorgesehen sein.
  • In einer Ausgestaltung ist ein Mittel zum Messen der aktuellen Versorgungsspannung vorgesehen. In einer anderen Ausführung erfolgt die Fokussierung aufgrund der Relativveränderung der Versorgungsspannung.
  • In einer ganz besonders bevorzugten Ausführung wird der Abstand zwischen dem Objektiv und der Probe, insbesondere zur Vermeidung einer Kollision, überwacht. Vorzugsweise ist ein Mittel zur Überwachung des Abstandes zwischen dem Objektiv und der Probe vorgesehen, wobei dieses Mittel zur Überwachung des Abstandes Bestanteil einer Kollisionsschutzeinrichtung sein kann.
  • In einer besonders bevorzugten Ausführung umfasst das Mittel zur Überwachung des Abstandes ein Mittel zum Ermitteln des Wärmeabflusses. Erfindungsgemäß wurde erkannt, dass bei Annäherung der Probe an das Objektiv, das in der Regel eine große Wärmekapazität aufweist, ein Temperaturausgleich stattfindet. Der Wärmefluss ist beispielsweise mit durch ermitteln der Temperatur der Probe und/oder des Objektivs mit einem Temperatursensor möglich.
  • In einer anderen bevorzugten Ausgestaltung umfasst das Mittel zur Überwachung des Abstandes einen Taster oder eine Tastnase. Der Anstand kann auch kapazitiv oder induktiv gemessen werden.
  • Kollisionen von Probe und Objektiv beispielsweise auf Grund einer Fehlfunktion der automatischen Fokussierung können durch die Überwachung des Abstandes wirkungsvoll verhindert werden. Vorzugsweise kann, bei Unterschreitung eines Mindestabstandes der automatische Fokussierungsvorgang automatisch abgebrochen werden, oder automatisch eine Umschaltung der Bewegungsrichtung des Probentisches oder des Objektivs eingeleitet werden. In einer bevorzugen Ausgestaltung wird der Benutzer durch ein akustisches oder visuelles Warnsignal informiert.
  • In der Zeichnung ist der Erfindungsgegenstand schematisch dargestellt und wird anhand der Figuren nachfolgend beschrieben, wobei gleich wirkende Bauteile mit denselben Bezugszeichen versehen sind. Dabei zeigt:
  • 1 ein erfindungsgemäßes konfokales Scanmikroskap und
  • 2 ein Ablaufschema des erfindungsgemäßen Verfahrens.
  • 1 zeigt schematisch ein erfindungsgemäßes konfokales Scanmikroskop. Das Scanmikroskop beinhaltet eine Lichtquelle 1, die als Laser 3 ausgeführt ist. Der von dem Laser 3 emittierte Beleuchtungslichtstrahl 5 wird nach dem Passieren einer Anregungsblende 27 von einem Hauptstrahlteiler 7 zu einer Strahlablenkeinrichtung 9, die einen kardanisch aufgehängten Scanspiegel 11 beinhaltet, reflektiert und von der Strahlablenkeinrichtung 9 durch die Scanoptik 13, die Tubusoptik 15 und das Objektiv 17 über bzw. durch die Probe 19 geführt. Die Probe 19 ist auf einem Objekttisch 29 positioniert, der von einem Motor 31 angetrieben in Bezug auf die optische Achse des Beleuchtungsstrahlenganges axial verschiebbar ist. Das von der Probe 19 ausgehende Detektionslicht 21 gelangt auf demselben Lichtweg über die Strahlablenkeinrichtung 9 zurück zum Hauptstrahlteiler 7, passiert diesen und trifft nach Passieren der Detektionsblende 23 auf den Detektor 25, der als Photomultiplier 33 ausgeführt ist. In der Zeichnung ist der Beleuchtungslichtstrahl 5 mit einer durchgezogenen Linie dargestellt, während das von der Probe 19 ausgehende Detektionslicht 21 gestrichelt dargestellt ist. Der Detektor 25 erzeugt elektrische Detektionssignale, die in nicht gezeigten Verarbeitungseinheiten weiterverarbeitet werden, um beispielsweise ein anzeigbares Abbild des abgerasterten Bereichs der Probe 19 dem Benutzer anzeigen zu können.
  • Ein Netzgerät 35 erzeugt eine Versorgungsspannung die, falls kein Detektionslicht 21 auf den Detektor fällt vollständig an dem Detektor 25 anliegt. Wird der Detektor 25 durch den Einfall von Detektionslicht 21 elektrisch belastet sinkt die Versorgungsspannung ab, was van einer Steuereinrichtung 37, die ein Mittel 55 zum Messen der aktuellen Versorgungsspannung beinhaltet, registriert und ausgewertet wird. Die Steuereinrichtung 37 steuert in Abhängigkeit von der Versorgungsspannung über den Motor 31 den Objekttisch 29 und stellt so automatisch die Fokussierung ein.
  • Am Objektiv 17 ist ein erster Temperaturfühler 39 und an dem Objekttisch 41 ein zweiter Temperaturfühler 41 angebracht. Eine Kollisionsschutzeinrichtung 43 ermittelt aus den Signalen der Temperaturfühler 39, 41 den Abstand zwischen dem Objektiv 17 und der Probe 19 und gibt ein Warnsignal an die Steuereinrichtung 37, wenn ein zuvor eingestellter Mindestabstand unterschritten wird. Die Steuereinrichtung 37 kehrt in diesem Fall die Bewegungsrichtung des Objekttischs 29 um.
  • 2 zeigt ein Ablaufschema des erfindungsgemäßen Verfahrens. In einem ersten Schritt erfolgt das Erzeugen 45 eines Beleuchtungslichtstrahles und in einem weiteren Schritt das Richten 47 des Beleuchtungslichtstrahles auf eine Probe 19. In einem dritten Schritt erfolgt das Detektieren 49 des von der Probe ausgehenden Detektionslichtes mit einem Detektor, an dem eine Versorgungsspannung anliegt und dann das Einstellen 51 der Fokussierung in Abhängigkeit der von der Höhe der Versorgungsspannung. Die Überwachung 53 des Abstandes zwischen dem Objektiv 17 und der Probe 19 dient der Vermeidung einer Kollision.
  • Die Erfindung wurde in Bezug auf eine besondere Ausführungsform beschrieben. Es ist jedoch selbstverständlich, dass Änderungen und Abwandlungen durchgeführt werden können, ohne dabei den Schutzbereich der nachstehenden Ansprüche zu verlassen.
  • 1
    Lichtquelle
    3
    Laser
    5
    Beleuchtungslichtstrahl
    7
    Hauptstrahlteiler
    9
    Strahlablenkeinrichtung
    11
    Scanspiegel
    13
    Scanoptik
    15
    Tubusoptik
    17
    Objektiv
    19
    Probe
    21
    Detektionslicht
    23
    Detektionsblende
    25
    Detektor
    27
    Anregungsblende
    29
    Objekttisch
    31
    Motor
    33
    Photomultiplier
    35
    Netzgerät
    37
    Steuereinrichtung
    39
    erster Temperaturfühler
    41
    zweiter Temperaturfühler
    43
    Kollisionsschutzeinrichtung
    45
    Erzeugen
    47
    Richten
    49
    Detektieren
    51
    Einstellen
    53
    Überwachung
    55
    Mittel zum Messen der aktuellen Versorgungsspannung

Claims (27)

  1. Verfahren zur automatischen Fokussierung eines konfokalen Scanmikroskops, gekennzeichnet durch folgende Schritte: – Erzeugen eines Beleuchtungslichtstrahles, – Richten des Beleuchtungslichtstrahles auf eine Probe, – Detektieren des von der Probe ausgehenden Detektionslichtes mit einem Detektor, an dem eine Versorgungsspannung anliegt und – Einstellen der Fokussierung in Abhängigkeit der von der Hohe der Versorgungsspannung.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektor eine einstellbare Verstärkung aufweist.
  3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektor einen Photomultiplier beinhaltet.
  4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektor einen Lawinendetektor beinhaltet.
  5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektor einen Halbleiterdetektor, insbesondere eine Avalanche-Photodiode, beinhaltet.
  6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektor einen CCD-Detektor, insbesondere einen EMCCD-Detektor, beinhaltet.
  7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das die Fokussierung derart eingestellt wird, dass die Versorgungsspannung ein Extremum aufweist.
  8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Extremum der Versorgungsspannung ein Minimum oder zumindest ein lokales Minimum ist.
  9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Scanmikroskop ein Objektiv aufweist und dass das Einstellen der Fokussierung das Verändern des Abstandes zwischen dem Objektiv und der Probe umfasst.
  10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Einstellen der Fokussierung das Verändern einer Brennweite umfasst.
  11. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand zwischen dem Objektiv und der Probe, insbesondere zur Vermeidung einer Kollision, überwacht wird.
  12. Konfokales Scanmikroskop mit einer Lichtquelle zur Erzeugung eines Beleuchtungslichtstrahles, der auf eine Probe richtbar ist, und mit einem Detektor, an dem eine Versorgungsspannung anlegbar ist, zum Detektieren des von Probe ausgehenden Detektionslichtes und mit einem Mittel zur Einstellung der Fokussierung, dadurch gekennzeichnet, dass die Fokussierung in Abhängigkeit der von der Höhe der Versorgungsspannung einstellbar ist.
  13. Konfokales Scanmikroskop nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektor eine einstellbare Verstärkung aufweist.
  14. Konfokales Scanmikroskop nach einem der Ansprüche 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektor einen Lawinendetektor beinhaltet.
  15. Konfokales Scanmikroskop nach einem der Ansprüche 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektor einen Photomultiplier beinhaltet.
  16. Konfokales Scanmikroskop nach einem der Ansprüche 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektor einen Halbleiterdetektor, insbesondere eine Avalanche-Photodiode, beinhaltet.
  17. Konfokales Scanmikroskop nach einem der Ansprüche 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektor einen CCD-Detektor, insbesondere einen EMCCD-Detektor, beinhaltet.
  18. Konfokales Scanmikroskop nach einem der Ansprüche 1;? bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass ein Mittel zum Messen der aktuellen Versorgungsspannung vorgesehen ist.
  19. Konfokales Scanmikroskop nach einem der Ansprüche 12 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Fokussierung derart einstellbar ist, dass die Versorgungsspannung ein Extremum aufweist.
  20. Konfokales Scanmikroskop nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass das Extremum der Versorgungsspannung ein Minimum oder zumindest ein lokales Minimum ist.
  21. Konfokales Scanmikroskop nach einem der Ansprüche 12 bis 20, dadurch gekennzeichnet, dass das Scanmikroskop ein Objektiv aufweist und dass der Abstand zwischen dem Objektiv und der Probe zum Einstellen der Fokussierung veränderbar ist.
  22. Konfokales Scanmikroskop nach einem der Ansprüche 12 bis 21, dadurch gekennzeichnet, dass das Scanmikroskop ein Objektiv aufweist dessen Brennweite zum Einstellen der Fokussierung veränderbar ist.
  23. Konfokales Scanmikroskop nach einem der Ansprüche 12 bis 22, dadurch gekennzeichnet, dass das Scanmikroskop zumindest eine Optik aufweist deren Brennweite zum Einstellen der Fokussierung veränderbar ist.
  24. Konfokales Scanmikroskop nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass ein Mittel zur Überwachung des Abstandes zwischen dem Objektiv und der Probe vorgesehen ist.
  25. Konfokales Scanmikroskop nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass das Mittel zur Überwachung des Abstandes Bestandteil einer Kollisionsschutzeinrichtung ist.
  26. Konfokales Scanmikroskop nach einem der Ansprüche 24 oder 25, dadurch gekennzeichnet, dass das Mittel zur Überwachung des Abstandes ein Mittel zum Ermitteln des Wärmeabflusses umfasst.
  27. Konfokales Scanmikroskop nach einem der Ansprüche 24 oder 25, dadurch gekennzeichnet, dass das Mittel zur Überwachung des Abstandes einen Taster umfasst.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102013006994A1 (de) * 2013-04-19 2014-10-23 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Digitalmikroskop und Verfahren zur Optimierung des Arbeitsablaufes in einem Digitalmikroskop
DE102017120651B3 (de) * 2017-09-07 2018-11-08 Leica Microsystems Cms Gmbh Mikroskop mit Kollisionsschutz und entsprechendes Verfahren

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