DE10227662B4 - Mikromechanisches Bauelement für Beschleunigungs-oder Drehratensensoren und Sensor - Google Patents

Mikromechanisches Bauelement für Beschleunigungs-oder Drehratensensoren und Sensor Download PDF

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Abstract

Mikromechanisches Bauelement (10, 100) für Beschleunigungs- oder Drehratensensoren, mit
einer Mikrostruktur (11; 111), die durch elastische Aufhängeelemente (13a, 13b; 113a, 113b) in einem Rahmen (12; 112) gelagert und in einer Richtung senkrecht zur Rahmenebene auslenkbar ist; wobei die Aufhängeelemente über ein oder mehrere Federelemente (14a, 14b; 114) mit dem Rahmen (12; 112) verbunden sind;
dadurch gekennzeichnet, dass
die Federelemente als Kompensationsfedern (14a, 14b; 114) zur Kompensation von Geometrieänderungen des Rahmens ausgestaltet sind, die in Richtung der Ebene des Rahmens (11; 112) verbiegbar sind, so dass Verformungen des Rahmens (11; 112) in der Rahmenebene von der Mikrostruktur (11; 111) und den Aufhängeelementen (13a, 13b; 113a, 113b) mechanisch entkoppelt sind.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauelement für Beschleunigungs- oder Drehratensensoren gemäß dem Oberbegriff von Patentanspruch 1, sowie einen Sensor zur Messung von Beschleunigungen oder Drehraten gemäß dem Oberbegriff von Patentanspruch 15.
  • Sensoren zur Messung von Beschleunigungen oder Drehraten werden z.B. in Luft- oder Landfahrzeugen eingesetzt, um Inertialbewegungen und wirkende Inertialkräfte zu messen. Beispielsweise werden zur Fahrdynamik-Regelung von Kraftfahrzeugen Sensoren mit hoher Empfindlichkeit benötigt, die geringe Beschleunigungen messen, wie sie z.B. bei der Änderung des Fahrzustandes oder der Bewegung des Fahrzeugs im normalen Fahrbetrieb auftreten. In der Luft- und Raumfahrt werden mikromechanische Beschleunigungssensoren mit hoher Genauigkeit zur Unterstützung der Positionsbestimmung und Navigation eingesetzt. Darüberhinaus gibt es vielfältige Anwendungsmöglichkeiten, beispielsweise in der Medizintechnik, bei Gravitationsmessungen oder in der Robotik.
  • Die Druckschrift DE 43 40 664 C2 zeigt beispielsweise einen piezoresistiven Beschleunigungsaufnehmer, bei dem eine Schweremasse durch zwei Biegebalken mit einem Rahmen verbunden ist, wobei die Auslenkung der Schweremasse bei einer auf dem Beschleunigungsaufnehmer wirkenden Beschleunigung durch piezoresistive Widerstände gemessen wird.
  • Die Druckschrift DE 41 26 100 A1 zeigt einen mikromechanischen Drehbeschleunigungssensor, bei dem eine Drehplatte zwischen zwei Torsionsfederbändern in einem Rahmen befestigt ist.
  • Die Druckschrift EP 1 172 657 A1 beschreibt einen Beschleunigungsmesser mit einer in einem Rahmen gelagerten Masse und Mitteln zur Erfassung einer Rotations- oder Translationsbewegung der Masse in Bezug auf den Rahmen.
  • Federelemente dienen zur Erfassung einer Torsionsspannung, die auftritt, wenn eine Beschleunigung in der Rahmenebene auftritt.
  • In der Druckschrift EP 0 588 371 A2 wird ein Halbleitersensor und ein Verfahren zu dessen Herstellung beschrieben, bei dem eine besondere Ätztechnik zum Einsatz kommt.
  • Die Druckschrift DE 44 06 867 A1 beschreibt einen Beschleunigungsaufnehmer mit einem inneren Träger, einem den inneren Träger umgebendes ringförmiges Gewicht, und einem das Gewicht umgebenden äußeren Träger. Elastisch verformbare Brücken verbinden das Gewicht mit dem inneren und dem äußeren Träger.
  • Bei den bekannten Sensoren und mikromechanischen Bauelementen besteht das Problem, dass die im Grundmaterial des mikromechanischen Bauelements vorhandenen Verspannungen sich negativ auf das Sensorverhalten auswirken können. Diese Verspannungen, die z.B. auch bei Temperaturänderungen eintreten können, verursachen in vielen Fällen eine Offset-Drift, Änderungen von Federkonstanten oder sogar einen Bruch des Sensorelements. Auch während der Herstellung von Mikrostrukturen kann bereits ein mechanischer Stress eingefroren werden.
  • Um das Problem mechanischer Spannungen in Oberflächenstrukturen mikromechanischer Bauelemente zu lösen, wird in der DE 196 39 946 A1 ein mikromechanisches Bauelement vorgeschlagen, bei dem eine Oberflächenstruktur durch mindestens zwei Verankerungsbereiche auf einem Substrat befestigt ist, wobei die mindestens zwei Verankerungsbereiche einen Abstand zueinander aufweisen, der gering ist im Vergleich zur lateralen Ausdehnung der Oberflächenstruktur.
    •
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein mikromechanisches Bauelement für Beschleunigungs- oder Drehratensensoren zu schaffen, bei dem Störungen des Sensorverhaltens, die durch Verspannungen bzw. Stress innerhalb des Bauelements verursacht werden, reduziert oder vermieden werden können. Weiterhin soll ein Sensor zur Messung von Beschleunigungen oder Drehraten angegeben werden, mit dem die o.g. Probleme vermieden werden können.
  • Diese Aufgabe wird gelöst durch das mikromechanische Bauelement gemäß Patentanspruch 1 und durch den Sensor gemäß Patentanspruch 15. Weitere vorteilhafte Merkmale, Aspekte und Details der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen, der Beschreibung und den Zeichnungen.
  • Das erfindungsgemäße mikromechanische Bauelement ist insbesondere für Beschleunigungs- oder Drehratensensoren geeignet und umfasst eine Mikrostruktur, die durch elastische Aufhängeelemente in einem Rahmen gelagert und in einer Richtung senkrecht zur Rahmenebene auslenkbar ist; wobei die Aufhängeelemente über ein oder mehrere Federelemente mit dem Rahmen verbunden sind; und wobei die Federelemente als Kompensationsfedern zur Kompensation von Geometrieänderungen des Rahmens ausgestaltet sind, die in Richtung der Ebene des Rahmens verbiegbar sind, so dass Verformungen des Rahmens in der Rahmenebene von der Mikrostruktur und den Aufhängeelementen mechanisch entkoppelt sind.
  • Durch das zusätzlich zum Aufhängeelement vorgesehene Federelement wird eine Übertragung von Spannungskräften auf das oder die Aufhängeelemente vermieden. Dadurch bleiben die technischen Spezifikationen des mikromechanischen Bauelements bzw. Sensors, wie beispielsweise die Federsteifigkeit und die damit verknüpfte Empfindlichkeit, vom einwirkenden Stress unbeeinflusst. Somit sind die zur Beschleunigungsmessung benötigten bewegbaren Elemente, d.h. die Mikrostrukturen mit den Aufhängeelementen, vom umgebenden bzw. äußeren mechanischen Stress entkoppelt.
  • Durch die Erfindung werden insbesondere die veränderbaren Stressgrößen nicht direkt auf das Sensorelement bzw. die auslenkbare Mikrostruktur weitergeleitet, sondern durch das oder die Federelemente, die zusätzlich zu den Aufhängeelementen vorgesehen sind und als Relaxierungsfedern wirken, abgefangen. Insgesamt kann durch die erfindungsgemäße Lösung die Temperaturabhängigkeit der Empfindlichkeit und das Offset-Verhalten deutlich verbessert werden. Die Strukturen gemäß der vorliegenden Erfindung sind platzsparend implementierbar und benötigen fast keine zusätzlichen Fertigungsschritte, so dass die Verbesserung weitgehend kostenneutral ist.
  • Zwischen dem Aufhängeelement und dem Federelement kann ein Zwischenrahmen vorgesehen sein, der das Aufhängeelement mit dem Federelement verbindet. Dadurch wird der Zwischenrahmen mit der darin gehaltenen Mikrostruktur im spannungsfreien Zustand gehalten, so dass sich eine Verformung der äußeren Halterung nicht auf die Eigenschaften der Mikrostruktur auswirkt.
  • Das Aufhängeelement kann aber auch direkt mit dem Rahmen verbunden sein, der eine Halterung bildet. Dadurch ergibt sich eine besonders einfache Bauweise, bei der die Mikrostruktur mit dem oder den Aufhängeelementen selbst bei einer Verformung der umgebenden Halterung im spannungsfreien Zustand gehalten wird.
  • Vorteilhafterweise ist das Federelement senkrecht zur Auslenkungsrichtung der Mikrostruktur verformbar. Dadurch wird erreicht, dass senkrecht zur Auslenkungsrichtung vorhandene Spannungen bzw. Kräfte, die auf die Halterung einwirken, kompensiert werden.
  • Beispielsweise ist das Federelement in Richtung der Aufhängeachse der Mikrostruktur verformbar, um Verformungen der Halterung relativ zur Mikrostruktur und dem Aufhängeelement auszugleichen.
  • Vorteilhafterweise sind das mikromechanische Bauelement oder Teile davon aus Silizium gefertigt. Die Halterung ist als Rahmen ausgestaltet, in dem die Mikrostruktur gehalten wird. Bevorzugt sind mehrere Aufhängeelemente und/oder Federelemente vorgesehen, wodurch eine stabile Lagerung der bewegbaren bzw. auslenkbaren Mikrostruktur in der Halterung und eine besonders zuverlässige Kompensation des auf die Halterung einwirkenden Stress erreicht wird.
  • Bevorzugt ist das mikromechanische Bauelement als Siliziummonolith ausgestaltet, was eine einfache und kostengünstige Serienfertigung ermöglicht.
  • Die Längsachse des Federelements ist bevorzugt senkrecht oder schräg zur Längsachse des Aufhängeelements gerichtet. Dadurch kann insbesondere eine äußere, entlang der Aufhängeachse wirkende Stresskraft, die auf die Halterung wirkt, kompensiert werden, d.h., das eigentliche Messelement bleibt von dieser Stresskraft unbeeinflusst.
  • Vorteilhafterweise ist die Mikrostruktur plattenartig ausgebildet. Dabei liegen die Längsachsen des Federelements und des Aufhängeelements beispielsweise in der Ebene der bevorzugt plattenartigen Mikrostruktur. Auch dadurch ergibt sich eine einfache und kostengünstige Herstellung, die z.B. monolithisch erfolgen kann und Sensoren mit hoher Genauigkeit bei geringer Baugröße ermöglicht.
  • Bevorzugt liegen das mindestens eine Federelement und das mindestens eine Aufhängeelement in einer Ebene. Insbesondere kann die plattenartige Mikrostruktur, die rahmenartige Halterung und/oder der Zwischenrahmen in einer Ebene liegen, wobei beispielsweise die Auslenkungsrichtung der Mikrostruktur senkrecht zu dieser Ebene gerichtet ist.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird ein Sensor zur Messung von Beschleunigungen oder Drehraten bereitgestellt, der einen Messaufnehmer zur Messung der Auslenkung einer auslenkbaren Mikrostruktur bei einer auf den Sensor wirkenden Beschleunigung aufweist und ein mikromechanisches Bauelement, wie es oben beschrieben ist und nachfolgend detailliert erläutert wird, umfasst.
    •
  • Die Erfindung wird nachfolgend anhand bevorzugter Ausführungsformen im Detail beschrieben. Es zeigen:
  • 1 schematisch eine Draufsicht auf ein mikromechanisches Bauelement gemäß einer ersten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung, bei der eine Mikrostruktur mit zwei Aufhängeelementen über Federelemente im spannungsfreien Zustand gehalten wird;
  • 2 eine Draufsicht auf das in 1 gezeigte Bauelement in einem Zustand, in dem eine Kraft entlang der Aufhängeachse auf das Bauelement einwirkt;
  • 3 eine schematische Draufsicht auf ein mikromechanisches Bauelement gemäß einer zweiten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung, bei der eine Mikrostruktur mit zwei Aufhängeelementen und einem Zwischenrahmen im spannungsfreien Zustand gehalten wird; und
  • 4 eine schematische Draufsicht auf das in 3 gezeigte Bauelement, jedoch im Zustand einer äußeren Krafteinwirkung entlang der Aufhängeachse der Mikrostruktur.
  • Das in 1 gezeigte Bauelement 10 gemäß der ersten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung umfasst eine plattenförmig ausgestaltete Mikrostruktur 11, die in einer rahmenartigen Halterung 12 gehalten wird. Die Mikrostruktur 11 ist zwischen zwei gegenüberliegenden Aufhängeelementen 13a, 13b angeordnet, die an zwei gegenüberliegenden Seiten der Mikrostruktur 11 befestigt sind. Die Aufhängeelemente 13a, 13b sind verbiegbar oder tordierbar, und elastisch, um eine Auslenkung der Mikrostruktur 11 senkrecht zur Bauelement- bzw. Plattenebene, d.h. in z-Richtung, zu ermöglichen.
  • Zwischen den Aufhängeelementen 13a, 13b und der Halterung 12 sind Federelemente 14a, 14b vorgesehen, die die Aufhängeelemente 13a, 13b jeweils mit der Halterung 12 verbinden. D.h., die Aufhängeelemente 13a, 13b mit der daran befestigten Mikrostruktur 11 sind über die Federelemente 14a, 14b mit der Halterung 12 mechanisch gekoppelt. Die Federelemente 14a, 14b sind beispielsweise Torsionsfedern oder tordierbare bzw. biegbare Balken und ermöglichen eine Verschiebung der jeweiligen Aufhängeelemente 13a bzw. 13b relativ zur Halterung 12 in Richtung der Bauelementebene bzw. Plattenebene der Mikrostruktur 11, d.h. in x-Richtung und/oder y-Richtung und somit senkrecht zur Auslenkungsrichtung der Mikrostruktur 11.
  • In dem in 1 gezeigten spannungsfreien Zustand hat die Halterung 12, die als Rahmen ausgebildet ist, zwischen zwei gegenüberliegenden Rahmenteilen 12a, 12b einen Abstand a im Inneren des Rahmens, in dem die Mikrostruktur 11 mittels der Aufhängeelemente 13a, 13b und der Federelemente 14a, 14b befestigt ist. Im Falle einer Stauchung oder Zerrung des Rahmens bzw. der Halterung 12 in x- oder y-Richtung werden die Federelemente 14a, 14b entgegengesetzt zur Stauchungsrichtung ausgelenkt, so dass die Geometrie der Anordnung aus den Aufhängeelementen 13a, 13b und der Mikrostruktur 11 unverändert bleibt bzw. diese Elemente in ihrer Form erhalten bleiben und keinen Verspannungen auf Grund der Änderung der Geometrie der Halterung 12 ausgesetzt werden.
  • 2 zeigt das mikromechanische Bauelement 10 gemäß der ersten bevorzugten Ausführungsform in einem Zustand, in dem eine Kraft F auf das Bauelement 10 entlang der Aufhängeachse der Mikrostruktur 11 einwirkt. Die Krafteinwirkung ist hier exemplarisch in y-Richtung dargestellt. Im vorliegenden Beispiel bewirkt die Krafteinwirkung entlang der Aufhängeachse, die durch die Verbindungslinie zwischen den beiden gegenüberliegenden Aufhängeelemente 13a, 13b definiert ist, eine Stauchung der rahmenförmigen Halterung 12 in Richtung der Aufhängeachse, so dass die Innenseite des Rahmens bzw. der Abstand a zwischen den gegenüberliegenden Rahmenteilen 12a, 12b dadurch verringert ist.
  • Die im spannungsfreien Zustand senkrecht zu den balkenförmigen Aufhängeelementen 13a, 13b gerichteten balkenförmigen Federelemente 14a, 14b erfahren im spannungsbelasteten Zustand eine Auslenkung in Richtung der erfolgten Stauchung oder Zerrung der rahmenartigen Halterung 12, die dem Betrag der geometrischen Veränderung der Halterung 12 entspricht, und kompensieren damit die einwirkende Spannung, so dass das eigentliche Messelement, das aus der Mikrostruktur 11 und den Aufhängeelementen 13a, 13b gebildet wird, durch die Krafteinwirkung nicht beeinflusst wird.
  • In den gegenüberliegenden Rahmenteilen 12a, 12b der Halterung 12 ist innenseitig jeweils eine Aussparung 16a, 16b ausgebildet, in der die Federelemente 14a, 14b an gegenüberliegenden Seiten befestigt sind. Jedes Aufhängeelement 13a, 13b ist mit einem Federelement 14a, 14b in dessen Zentrum verbunden, wobei in diesem Beispiel jedes Federelement 14a, 14b aus zwei elastischen Elementen besteht, die über ein Verbindungsstück 15 miteinander verbunden sind, das jeweils im Zentrum eines Federelements 14a, 14b ausgebildet ist. Die Aufhängeelemente 13a, 13b sind jeweils über ein Verbindungsstück 15 mit den Federelementen 14a, 14b verbunden.
  • Die 3 und 4 zeigen ein Bauelement 100, das eine zweite bevorzugte Ausführungsform der Erfindung darstellt, in einem spannungsfreien Zustand (3) bzw. in einem Zustand, in dem eine äußere Kraft entlang der Aufhängeachse auf das Bauelement einwirkt (4). Dabei ist, ähnlich wie in der oben gezeigten ersten Ausführungsform, eine plattenförmige Mikrostruktur 111 an zwei gegenüberliegenden Seiten mit jeweils einem Aufhängeelement 113a, 113b verbunden, die biegsam bzw. tordierbar sind, um eine Auslenkung der Mikrostruktur 111 in z-Richtung, d.h. senkrecht zur Ebene x–y des Bauelements 100 zu ermöglichen. Im Unterschied zum oben beschriebenen Bauelement 10 gemäß 1 und 2 sind die Aufhängeelemente 113a, 113b über einen Zwischenrahmen 120 mit der rahmenartigen Halterung 112 verbunden, wobei die Verbindung zwischen dem Zwischenrahmen 120 und der rahmenartigen Halterung 112 durch eine Anordnung von Federelementen 114 gebildet wird.
  • Dabei umgeben die verschiedenen Federelemente 114 den Zwischenrahmen 120, so dass sich von jeder Seite des Zwischenrahmens 120 ein oder mehrere Federelemente 114 zur rahmenartigen Halterung 112 erstrecken, die den Zwischenrahmen 120 mit der darin angeordneten Mikrostruktur 111 umgibt. Wie in der ersten gezeigten Ausführungsform bilden auch hier die Federelemente 114 Kompensationsfedern zur Kompensation von Geometrieänderungen oder Verschiebungen der Halterung auf Grund von Kräften bzw. Spannungen, die auf das Bauelement 100 einwirken.
  • Die Federelemente 114 sind zum Beispiel als elastische oder tordierbare Balken ausgestaltet und sind in ihrer jeweiligen Längsrichtung schräg bzw. in einem Winkel zur Aufhängeachse ausgerichtet. Die Aufhängeachse wird durch die beiden gegenüberliegenden Aufhängeelemente 113a, 113b definiert. Durch den schrägen Verlauf der Federelemente 114 bzw. Kompensationsfedern in Bezug auf die Aufhängeelemente 113a, 113b, in Bezug auf die Aufhängeachse und in Bezug auf die Rahmenteile des Zwischenrahmens 120 wird eine besonders zuverlässige Kompensation von in x- oder y-Richtung einwirkenden Kräften erreicht. Bei einer Änderung des Abstands a der Halterung 112 bleibt der Zwischenrahmen 120 in seiner Form unverändert.
  • Bei dem in 4 gezeigten spannungsbelasteten Zustand des mikromechanischen Bauelements 100 ist der Abstand a zwischen zwei gegenüberliegenden Rahmenteilen 112a, 112b bzw. Halteelementen der Halterung 112 kleiner als im spannungsfreien Zustand. In dem dargestellten Beispiel wirkt eine Druckspannung F in y-Richtung entlang der durch die Aufhängeelemente 113a, 113b definierten Aufhängeachse. Die daraus resultierende Stauchung der Halterung 112 führt zu einer Auslenkung bzw. Verbiegung der Federelemente 114, wodurch eine Kompensation der Stauchung bewirkt wird. Somit bleibt der Zwischenrahmen 120 mit der darin angeordneten Mikrostruktur 111 und den Aufhängeelementen 113a, 113b von der erfolgten Stauchung unbeeinflusst.
  • Das mikromechanische Bauelement 10, 100 gemäß der vorliegenden Erfindung ist bevorzugt aus Silizium als Grundmaterial gefertigt. Es ist zum Beispiel flächig ausgebildet, wobei die einzelnen Elemente aus einem Siliziummonolithen strukturiert sein können.
  • Das mikromechanische Bauelement 10, 100 bildet zusammen mit geeigneten Messaufnehmern zur Messung der Auslenkung der Mikrostruktur 11, 111 einen Beschleunigungs- oder Drehratensensor. Die Messaufnehmer können beispielsweise piezoresistive Elemente sein, die an den Aufhängeelementen 13a, 13b bzw. 113a, 113b befestigt sind und eine Torsion oder Verbiegung der Aufhängeelemente bei einer Auslenkung der Mikrostruktur 11, 111 in z-Richtung erfassen. Es sind aber auch andere Arten von Messaufnehmern geeignet, beispielsweise Kapazitäten zur Messung der Auslenkung.

Claims (15)

  1. Mikromechanisches Bauelement (10, 100) für Beschleunigungs- oder Drehratensensoren, mit einer Mikrostruktur (11; 111), die durch elastische Aufhängeelemente (13a, 13b; 113a, 113b) in einem Rahmen (12; 112) gelagert und in einer Richtung senkrecht zur Rahmenebene auslenkbar ist; wobei die Aufhängeelemente über ein oder mehrere Federelemente (14a, 14b; 114) mit dem Rahmen (12; 112) verbunden sind; dadurch gekennzeichnet, dass die Federelemente als Kompensationsfedern (14a, 14b; 114) zur Kompensation von Geometrieänderungen des Rahmens ausgestaltet sind, die in Richtung der Ebene des Rahmens (11; 112) verbiegbar sind, so dass Verformungen des Rahmens (11; 112) in der Rahmenebene von der Mikrostruktur (11; 111) und den Aufhängeelementen (13a, 13b; 113a, 113b) mechanisch entkoppelt sind.
  2. Mikromechanisches Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Aufhängeelement (113a, 113b) und dem Federelement (114) ein Zwischenrahmen (120) vorgesehen ist, der das Aufhängeelement (113a, 113b) mit dem Federelement (114) verbindet.
  3. Mikromechanisches Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Aufhängeelement (13a, 13b) direkt mit dem Rahmen (12) verbunden ist.
  4. Mikromechanisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Federelement (14a, 14b; 114) senkrecht zur Auslenkungsrichtung der Mikrostruktur (11; 111) verformbar ist.
  5. Mikromechanisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Federelement (14a, 14b; 114) in Richtung der Aufhängeachse der Mikrostruktur (11; 111) verformbar ist um Verformungen des Rahmens (12; 112) relativ zur Mikrostruktur und dem Aufhängeelement (13a, 13b; 113a, 113b) auszugleichen.
  6. Mikromechanisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das mikromechanische Bauelement (10; 100) oder Teile davon aus Silizium gefertigt sind.
  7. Mikromechanisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Aufhängeelemente (13a, 13b; 113a, 113b) und/oder Federelemente (14a, 14b; 114) vorgesehen sind.
  8. Mikromechanisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass es als Silizium-Monolith ausgestaltet ist.
  9. Mikromechanisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Längsachse des Federelements (14a, 14b) senkrecht zur Längsachse des Aufhängeelements (13a, 13b) gerichtet ist.
  10. Mikromechanisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Längsachse des Federelements (114) schräg zur Längsachse des Aufhängeelements (113a, 113b) gerichtet ist.
  11. Mikromechanisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Mikrostruktur (11; 111) plattenartig ausgebildet ist.
  12. Mikromechanisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Längsachsen des Federelements (14a, 14b; 114) und des Aufhängeelements (13a, 13b; 113a, 113b) in der Ebene der plattenartigen Mikrostruktur (11; 111) liegen.
  13. Mikromechanisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Federelement (14a, 14b; 114) und das mindestens eine Aufhängeelement (13a, 13b; 113a, 113b) in einer Ebene liegen.
  14. Mikromechanisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die plattenartige Mikrostruktur (11; 111), der Rahmen (12; 112) und/oder der Zwischenrahmen (120) in einer Ebene liegen, wobei die Auslenkungsrichtung der Mikrostruktur (11; 111) senkrecht zu dieser Ebene gerichtet ist.
  15. Sensor zur Messung von Beschleunigungen oder Drehraten, mit einem Messaufnehmer zur Messung der Auslenkung einer auslenkbaren Mikrostruktur bei einer auf den Sensor wirkenden Beschleunigung, gekennzeichnet durch ein mikromechanisches Bauelement (10; 100) nach einem der vorhergehenden Ansprüche.
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