DE10227411A1

DE10227411A1 - Verfahren zur Herstellung von Reflektoren und Diffusreflektor für Laser

Info

Publication number: DE10227411A1
Application number: DE10227411A
Authority: DE
Inventors: Dieter Frank
Original assignee: Frank Optic Products Opti GmbH; Frank Optic Products Optische Technologien GmbH
Current assignee: Frank Optic Products Opti GmbH; Frank Optic Products Optische Technologien GmbH
Priority date: 2002-06-14
Filing date: 2002-06-14
Publication date: 2004-08-05
Anticipated expiration: 2022-06-15
Also published as: DE10227411B4

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Reflektoren, insbesondere Diffusreflektoren, für Lichtquellen sowie einen vorzugsweise nach diesem Verfahren hergestellten Diffusreflektor für Laser. DOLLAR A Ihr liegt die Aufgabe zugrunde, auf der Basis von Keramik Reflektoren, insbesondere Reflektoren für Laser, herzustellen, welche Reflexionseigenschaften aufweisen, die höchsten Anforderungen genügen. Dabei soll die hohe Reinheit des zur Herstellung der Reflektoren verwendeten Ausgangsmaterials über den gesamten Verfahrensverlauf erhalten bleiben. DOLLAR A Dazu werden die Diffusreflektoren aus hochreinem Aluminiumoxid (Al¶2¶O¶3¶) mit einem Reinheitsgrad von wenigstens 99,9% hergestellt. Das hochreine Pulver wird nach einer Verdichtung in einem mehrstündigen Prozess bei einer Temperatur von unter 1300 DEG C, vorzugsweise höchstens 1260 DEG C, gesintert. Dem schließt sich ein mehrstündiges Abkühlen mit einer vorgegebenen Abkühlungsrate an. Aus den so erhaltenen Rohlingen wird der Reflektor durch eine mechanische Bearbeitung ausgebildet. Die mechanische Bearbeitung erfolgt bei gleichzeitiger Übersättigung der Keramik mit einer Flüssigkeit.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Reflektoren, nämlich Diffusreflektoren für Lichtquellen, wie Lampen, Laser und LED's. Vorzugsweise dient das beschriebene Verfahren der Herstellung von Reflektoren für Pumplichtquellen von Lasern, wie insbesondere YAG-Lasern, YLF-Lasern, Diodenlasern und anderen Festkörperlasern. Weiterhin ist Gegenstand der Erfindung ein vorzugsweise nach dem beschriebenen Verfahren hergestellter Diffusreflektor für Laser.
Bei Festkörperlasern, wie dem hier beispielsweise genannten, weit verbreiteten YAG-Laser, wird die Laserlichtquelle zur Stimulation der Laserstrahlung im Allgemeinen mittels Licht gepumpt. Das Pumpen erfolgt unter Verwendung von Blitzlichtlampen oder seit einiger Zeit auch häufiger unter Verwendung von Halbleiterlasern, sogenannter Laserdioden. Entsprechend dem typischen Aufbau der Festkörperlaser wird dazu ein Laserkristall bzw. Laserstab gemeinsam mit der Pumplichtquelle in einem hohlzylindrischen Stab angeordnet. Der Stab weist einen Innenraum, den sogenannten Resonatorraum, mit einer in der Regel elliptischen Querschnittsfläche auf, wobei der Laserstab und die Pumplichtquelle jeweils in einem Brennpunkt der Ellipse angeordnet sind. Gleichzeitig bilden die Innenflächen des hohlzylindrischen Stabes einen Reflektor aus, mittels welchem die nicht unmittelbar auf den Laserstab einwirkende Strahlung der Pumplichtquelle reflektiert und somit zumindest mittelbar dem Laserstab zugeführt wird.
Aufgrund der beim Betrieb des Lasers entstehenden hohen Temperaturen wird die gesamte Anordnung gekühlt. Unter thermischen Gesichtspunkten und im Hinblick auf die Reflexionseigenschaften kommen zur Ausbildung der Reflektorflächen unterschiedliche Materialien in Betracht. Häufig werden metallische Beschichtungen der Innenflächen verwendet. Aber auch spezielle Keramiken finden zunehmend Verwendung für diesen Zweck. Bei der Herstellung von Reflektoren unter Verwendung von Keramik werden dabei im Hinblick auf die angestrebten Reflexionseigenschaften im Zusammenhang mit der Bearbeitung der Keramik hohe Anforderungen gestellt, wobei zum Erhalt der jeweils gewünschten Eigenschaften unterschiedlichste Probleme zu lösen sind. Dies gilt unabhängig davon, ob wie häufig praktiziert, lediglich ein Substrat mit einer geeigneten Keramik beschichtet oder das gesamte Reflektorelement bzw. der Hohlraumresonator aus Keramik erzeugt wird.
Im Hinblick auf die Beschaffenheit der Keramik kommt dabei dem Sinterprozess eine große Bedeutung zu, durch welchen aus den Ausgangsstoffen, einem zuvor unter Einwirkung von Druck verdichteten Keramikpulver gegebenenfalls mit geeigneten Beimengungen, bei erhöhter Temperatur ein Keramikkörper geformt wird. Durch die Prozessparameter beim Sintern wird die weitere Verarbeitbarkeit der Keramik und ihr Reflexionsverhalten maßgeblich beeinflusst. Nähere Ausführungen hierzu werden beispielsweise in der DE 35 03 122 A1 gegeben. Die Schrift bezieht sich auf die Herstellung von Strahlung reflektierenden Keramikkörpern sowohl durch Beschichten eines Substrats mit Keramik als auch ausschließlich aus Keramik, wobei insbesondere Wärme reflektierende Materialien beschrieben werden. Ausführlich beschäftigt sich die Schrift mit der Porosität der Keramik. Dabei wird ein Keramikmaterial mit einer Porosität im Bereich von 20 bis 60 Volumenprozent als vorteilhaft angesehen und ausgeführt, dass das Brennen der Keramik bei einer Temperatur erfolgen solle, bei welcher die Keramikteilchen ohne wesentliche Zunahme der sich ergebenden Sinterkorngröße sintern, so das hierdurch die angestrebte Porosität erreicht wird. Nähere Ausführungen zur Brenntemperatur oder einem Temperaturregime sowie zur Reinheit der Keramik finden sich in der Schrift jedoch nicht.
In der WO 89/00351 A2 wird eine keramische Struktur zur Verwendung als Reflektor für Laser beschrieben. Gegenstand der Anmeldung ist eine Reflektorkeramik mit einer definierten Korngröße, die beim Sintern mit Sintertemperaturen über 1300°C erreicht wird. Das Sintern bei Temperaturen von über 1300°C führt jedoch zu harten Körpern, die dann nicht mehr bearbeitet werden können. Gemäß dem beschriebenen Verfahren erfolgt die Bearbeitung der Formkörper vor dem Sintern der Keramik. Bei der Verwendung des Verfahrens zur Herstellung von Reflektoren wird eine Reinheit erreicht, die für einige Anwendungen unzureichend ist. Zudem liegt der dabei erzielte Reflexionsgrad unter dem des Bariumsulfat-Weiß-Standards. Auch in dieser Schrift wird nichts über ein bestimmtes Temperaturregime beim Sintern ausgeführt.
Durch die DE 692 23 765 T2 wird ein Verfahren zur Herstellung eines keramischen Spiegels aus Titanoxid beschrieben. Das verwendete Titanoxid hat demnach eine Reinheit von wenigstens 99% und wird in einem Temperaturbereich zwischen 1000°C und 1300°C gesintert. Hierbei wird ein Sinterkörper erhalten, welcher anschließend zur Herstellung des Reflektors mechanisch bearbeitet wird. Allerdings werden keine näheren Erläuterung zur Art dieser mechanischen Bearbeitung oder über eventuell dabei zu treffende besondere Maßnahmen gegeben.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren anzugeben, welches es ermöglicht, auf der Basis von Keramik Reflektoren für Lichtquellen, wie Lampen, Laser oder LED's, insbesondere für Pumplichtquellen von Festkörperlasern herzustellen, welche Reflexionseigenschaften aufweisen, die höchsten Anforderungen genügen. Insbesondere soll die Verfahrenführung gewährleisten, dass die hohe Reinheit des zur Herstellung der Reflektoren verwendeten Ausgangsmaterials über den gesamten Verfahrensverlauf erhalten bleibt. Weiterhin besteht die Aufgabe in der Herstellung eines Reflektors für Laser mit besonders guten Reflexionseigenschaften. Vorteilhafterweise soll der Reflektor dabei unter Verwendung des vorgeschlagenen Verfahrens auf einfache Weise herzustellen sein.
Die Aufgabe wird durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Hauptanspruchs gelöst. Ein die Aufgabe lösender Reflektor wird durch den ersten vorrichtungsbezogenen Anspruch charakterisiert. Vorteilhafte Aus- bzw. Weiterbildungen der Erfindung sind durch die jeweiligen Unteransprüche gegeben.
Nach dem erfindungsgemäßen Verfahren werden die hochreflektierenden Diffusreflektoren (Hochleistungsreflektoren) aus hochreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃) mit einem Reinheitsgrad von wenigstens 99,9% hergestellt. Das hochreine Pulver wird nach einer Verdichtung mittels eines Stempels und einer Matrize oder durch isostatisches Pressen in einem mehrstündigen Prozess gesintert. Das Sintern erfolgt bei einer vergleichsweise niedrigen Temperatur. Vergleichsweise niedrige Temperatur meint dabei einen Temperaturbereich unterhalb einer vielfach beim Sintern angewandten Temperatur von 1300°C, wobei die Temperatur gemäß der Erfindung vorzugsweise eine Temperatur von 1260°C nicht überschreitet. Die Temperatur wird beim Sintern nach einem vorgegebenen Temperaturregime allmählich auf die Maximaltemperatur erhöht. Dem schließt sich ein mehrstündiges stetiges Abkühlen mit einer vorgegebenen Abkühlungsrate an. Im Zuge des Sinterprozesses werden erfindungsgemäß plattenförmige, zylinderförmige oder stabförmige Keramikrohlinge erzeugt. Aus diesen Rohlingen, wird dann der Reflektor mit der jeweils vorgegebenen, vorzugsweise konvexen oder hohlzylindrischen Form, durch eine mechanische Bearbeitung des Rohlings ausgebildet. Schließlich werden die später zur Reflexion des Pumplichtes dienenden Flächen des Reflektorkörpers vorzugsweise noch mit einer Glasur versehen. Dies geschieht durch Beschichten mit einer Glasuremulsion bzw. -suspension, sowie Nachsintern der auf diese Weise beschichteten Keramik. Die Glasur verhindert, dass durch den Reflektor das zur Kühlung der Anordnung beim Betrieb des Lasers dienende Wasser aufgrund der porösen Beschaffenheit der Keramik aufgenommen wird. Außerdem wird durch die Glasur ultraviolette Strahlung, deren Reflexion und Einwirkung auf den Laserstab unerwünscht ist, absorbiert. In einem Wellenlängenbereich von 350 nm bis 1500 nm ist die Glasur hingegen für das von der Pumplichtquelle ausgehende Licht hochtransparent. Es ist an dieser Stelle zu bemerken, dass die mechanische Bearbeitung des Keramikrohlings zur Erzeugung der Reflektorform in erfindungswesentlicher Weise bei gleichzeitiger Übersättigung der Keramik mit einer Flüssigkeit, vorzugsweise Wasser, erfolgt. Hierdurch wird verhindert, dass die hochreine Keramik durch sich von den Werkzeugen für die Bearbeitung ablösendes Material verunreinigt wird. Aus den vorstehenden Ausführungen ist zu entnehmen, dass wesentliche Aspekte des erfindungsgemäßen Verfahrens in der Verwendung eines extrem reinen Aluminiumoxids, der Herstellung eines Rohlings aus Keramik auf der Basis dieses Materials und dessen mechanischer Bearbeitung bei mit Flüssigkeit übersättigter Keramik zu sehen sind. Es wurde dabei gefunden, dass der Reinheit der Keramik im Hinblick auf deren Reflexionseigenschaften eine größere Bedeutung zukommt, als der Frage der Korngröße bzw. der Porosität. Bezüglich der hohen Reinheit ist zudem ein niedriger Gehalt an Schwermetallen von besonderer Bedeutung.
Das Sinterregime ist vorteilhaft so gestaltet, dass die allmähliche Erwärmung des Aluminiumoxids in mehreren Intervallen mit jeweils wechselnder Temperaturerhöhungsrate erfolgt. Das Abkühlen der gesinterten Keramik auf die Raumtemperatur erfolgt hingegen vorzugsweise mit einer konstanten Abkühlungsrate in einem Zeitraum von mindestens 24 Stunden, wobei die Dauer des Trocknungsvorgangs letztlich auch von der Materialdicke abhängig ist. Vorteilhafterweise ist das zeitliche Regime bezüglich des Erwärmens des Materials beim Sintern und des anschließenden Abkühlens so gestaltet, dass diese beiden Verfahrensabschnitte zueinander in einem zeitlichen Verhältnis von 3 bis 3,5 zu 1 stehen.
Eine wesentliche Bedeutung kommt darüber hinaus der Art der Glasur und folglich der Vorgehensweise beim Herstellen der selben zu. Insoweit ist entsprechend einer besonders vorteilhaften Weiterbildung des Verfahrens eine spezielle Behandlung der die Glasuremulsion bildenden Ausgangsstoffe vorgesehen. Danach wird die Glasuremulsion durch mehrtägiges intensives Rühren oder Walzen eines Gemisches aus Siliziumoxid, Natriumoxid, Aluminiumoxid (SiO₂, Na₂O, Al₂O₃) und organischen Substanzen erhalten. Die durch das mehrtägige Rühren bzw. Walzen entstehende farblose Masse ist dabei äußerst homogen. Die als Stellmittel dienenden organischen Substanzen brennen beim Nachsintern der mit der Glasur beschichteten Keramik aus.
Das optische Verhalten und das Aussehen der Glasur lässt sich durch die Zugabe farbgebender Zusätze beeinflussen. Entsprechend einer möglichen Verfahrensgestaltung werden der später zum Glasieren verwendeten Masse beim mehrtägigen Rühren bzw. Walzen bis 7 Gewichts-% Praseodymoxyd zugegeben. Hierdurch erhält die Glasur eine gelbe Färbung. Entsprechend einer anderen Variante wird die Glasur rosa eingefärbt. Dies wird durch die Zugabe von bis zu 2 Gewichts-% Europiumoxyd erreicht. Die zweckmäßige Auswahl der zur Einfärbung der Glasur verwendeten Stoffe hängt in erster Linie von den jeweils für die Glasur gewünschten bzw. angestrebten optischen Eigenschaft ab.
Die farbgebenden Zusätze bewirken unter anderem die Umwandlung von unerwünschter UV-Strahlung oder Pumplicht kürzerer Wellenlänge in Licht größerer Wellenlänge, welches vom aktiven Lasermedium zum Zweck des Pumpens absorbiert wird.
Im Zuge des Nachsinterns haftet die Glasur durch Adhäsion fest an der Reflexionsfläche der Keramik an. Das Nachsintern erfolgt bei einer Temperatur die unterhalb der zum Sintern der Keramik verwendeten Temperatur liegt. Vorzugsweise ist die Temperatur beim Nachsintern um wenigstens 30 K niedriger als die Keramiksintertemperatur.
Der erfindungsgemäße Diffusreflektor für Laser besteht aus einer hochreinen Aluminiumoxidkeramik mit einem Reinheitsgrad von wenigstens 99,9%. Darüber hinaus weist der Reflektor einen Reflexionsgrad von wenigstens 99,5% für Strahlung im Wellenlängebereich zwischen 350 nm und 1500 nm auf. Bei einer mittleren Dichte von etwa 2,5 g/cm³ weist die Reflektorkeramik vorzugsweise eine offene Porosität von etwa 35% auf und besitzt ein Wasseraufnahmevermögen von nicht mehr als 14%. Der spezifische Widerstand beträgt mehr als 10¹⁴ Ohm cm, während gleichzeitig der thermische Ausdehnungskoeffizient des Reflektors nicht größer als 7–8·10^– ⁶ ist.
Aufgrund ihrer hohen Reinheit ist die Reflektorkeramik nahezu frei von Spuren Verunreinigungen durch Schwermetalle. Vorzugsweise beträgt insbesondere der Eisengehalt weniger als 9 ppm. Der Restgehalt an Natrium ist vorteilhafterweise geringer als 6 ppm, der des Siliziums kleiner als 4 ppm.
Die Erfindung soll nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispiels nochmals erläutert werden. Dazu wird in der 1 ein mögliches Temperaturregime für das Trocknen und Nachsintern der mit der Glasur beschichteten Keramik wiedergegeben. Die Herstellung eines Laserreflektors vollzieht sich demgemäß wie nachfolgend angegeben.
Hochreines Aluminiumoxidpulver (Reinheit 99,9% oder besser) wird durch isostatisches Pressen verdichtet. Daran schließt sich ein Sintern der Keramik und ein anschließendes Abkühlen nach folgendem Temperaturschema an: Erhöhen der Temperatur
Abkühlen
Nach dem Abkühlen der Keramik wird der beim Sintern erhaltene zylindrische oder plattenförmige Keramikrohling einer mechanischen Bearbeitung unterzogen. Dabei wird aus dem Rohling zunächst ein Stab geschnitten. Um die mittlere Längsachse des Stabes herum wird in diesen ein zylindrischer Hohlraum mit annähernd elliptischen Querschnitt eingearbeitet. Der Hohlraum erstreckt sich über die gesamte Länge bzw. Höhe des Stabes. Sehr wesentlich ist es, dass die den Stab ausbildende Keramik während der mechanischen Bearbeitung mit Wasser oder gegebenenfalls einer anderen Flüssigkeit (in Frage kommen beispielsweise auch Alkohol oder Azeton) übersättigt ist, so dass eventuelle Verunreinigungen der hochreinen Keramik durch die Werkzeuge ausgeschlossen werden. Folglich wird die Keramik nach Abschluss der mechanischen Bearbeitung zunächst einer Trocknung unterzogen.
Nach dem Trocknungsvorgang werden die den Hohlraum einfassenden Flächen mit einer schützenden Glasur versehen. Dazu wird mit einer Halterung der Hohlraum im Stab einseitig verschlossen und eine Glasuremulsion in den Hohlraum eingefüllt. Mittels geeigneter Schablonen aus einem organischen Material wird die die Flächen benetzende Emulsion gleichmäßig ausgestrichen und anschließend der wieder geöffnete stabförmige Reflektor gemeinsam mit der Glasur zunächst getrocknet und dann nachgesintert. Die verwendete Glasuremulsion besteht aus einem Gemisch von Siliziumdioxid, Natriumoxid, Aluminiumoxid und organischen Stellsubstanzen, welches vor dem Beschichten des hohlzylindrischen Keramikstabs zum Erhalt einer möglichst homogenen Masse mehrere Tage gewalzt wurde. Sie dient dazu die poröse Keramik beim späteren Betrieb des Lasers, bei dem eine Kühlung der gesamten Anordnung mit einer Kühlflüssigkeit erforderlich ist, vor dem Eindringen von Flüssigkeit zu schützen. Gleichzeitig hat sie die Aufgabe, ultraviolette Strahlung der Pumplichtquelle zu absorbieren und so deren Reflexion an den Reflektorwänden zu verhindern.
Das Trocknen und Nachsintern erfolgt entsprechend einem Temperatur/Zeitregime, welches durch die 1 wiedergegeben ist. Wie anhand der auf der x-Achse aufgetragenen Uhrzeit ersichtlich, wird die Maximaltemperatur von im Beispiel 1230°C nur sehr kurzzeitig (ca. 10 min) eingestellt. Im Beispiel liegt die maximale Temperatur für das Nachsintern etwa 30 K unterhalb der maximalen beim Sintern der Keramik verwendeten Temperatur.

Claims

Verfahren zur Herstellung von Diffusreflektoren für Lichtquellen, wie Lampen, Laser und LED's vorzugsweise für Pumplichtquellen von Lasern, nämlich YAG-Lasern, YLF-Lasern, Diodenlasern und anderen Festkörperlasern, bei welchem aus hochreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃) mit einem Reinheitsgrad von wenigstens 99,9% in einem mehrstündigen bei vergleichsweise niedriger Temperatur erfolgenden Sinterprozess, mit allmählicher Erhöhung der Sintertemperatur nach einem vorgegebenen Temperaturregime und einer sich anschließenden stetigen Abkühlung mit vorgegebener Abkühlungsrate, ein Keramikrohling erzeugt, die jeweils vorgesehene, vorzugsweise konvexe oder hohlzylindrische Reflektorform durch eine mechanische Bearbeitung des Rohlings ausgebildet und vorzugsweise dessen später zur Reflexion des Pumplichtes für den Laser dienende Flächen durch Beschichten mit einer Glasuremulsion bzw. -suspension, Trocknen der Emulsion bzw. Suspension sowie Nachsintern der beschichteten Keramik mit einer im Wellenlängenbereich zwischen 350 nm und 1500 nm hochtransparenten Glasur versehen werden, wobei vor dem Sintern der Keramik eine Verdichtung des Al₂O₃-Pulvers mittels eines Stempels und einer Matrize oder durch isostatisches Pressen erfolgt und der im Zuge des Sinterns erhaltene Keramikrohling während der mechanischen Bearbeitung mit einer Flüssigkeit, vorzugsweise Wasser; übersättigt und daran anschließend getrocknet wird.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die maximale Temperatur beim Sintern unter 1300°C, vorzugsweise bei 1260°C liegt.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die allmähliche Erwärmung des Aluminiumoxids beim Sintern in mehreren Intervallen mit jeweils wechselnder Temperaturerhöhungsrate erfolgt.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Abkühlen der gesinterten Keramik von der Höchsttemperatur beim Sintern auf die Raumtemperatur mit konstanter Abkühlungsrate, angepasst an die Materialdicke in einem Zeitraum von ≥ 24 Stunden erfolgt.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass die allmähliche Erwärmung des Aluminiumoxids beim Sintern und das sich anschließende stetige Abkühlen mit einem zeitlichen Verhältnis von 3 bis 3,5 zu 1 erfolgen.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die zum Glasieren der Reflexionsflächen verwendete Glasuremulsion bzw. -suspension durch mehrtägiges intensives Rühren oder Walzen eines Gemisches aus SiO₂, Na₂O, Al₂O₃ und organischer Stellsubstanzen zu einer homogenen farblosen Masse erhalten wird, wobei die organischen Substanzen beim Nachsintern der mit der Glasur beschichteten Keramik ausbrennen.
Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Glasur durch einen Zusatz von bis zu 7 Gewichts-% Praseodymoxid bei der Erzeugung der homogenen Masse gelb eingefärbt wird.
Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Glasur durch einen Zusatz von bis zu 2 Gewichts-% Europiumoxid bei der Erzeugung der homogenen Masse rosa eingefärbt wird.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Nachsintern der mit der Glasur beschichteten Keramik bei einer Höchsttemperatur erfolgt, welche unterhalb der Temperatur beim Sintern der Keramik, nämlich vorzugsweise wenigstens 30 K unterhalb dieser Temperatur, liegt
Diffusreflektor für Laser, vorzugsweise YAG-Laser, YLF-Laser, Diodenlaser und andere Festkörperlaser, bestehend aus hochreiner Aluminiumoxid-Keramik mit einem Reinheitsgrad von wenigstens 99,9% und einem Reflexionsgrad von wenigstens 99,5% für Strahlung im Wellenlängenbereich zwischen 350 nm und 1500 nm.
Diffusreflektor nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Reflektorkeramik bei einer durchschnittlichen Dichte von etwa 2,5 g/cm³ eine offene Porosität von etwa 35%, ein Wasseraufnahmevermögen von etwa 14%, einen spezifischen Widerstand von mehr als 10¹⁴ Ohm cm sowie einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten von 7–8·10^–6 aufweist.
Diffusreflektor nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Reflektorkeramik nahezu frei von Spurenverunreinigungen durch Schwermetalle ist und insbesondere einen Eisengehalt von weniger als 9 ppm aufweist.
Diffusreflektor nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Restgehalt an Natrium in der Reflektorkeramik weniger als 6 ppm beträgt.
Diffusreflektor nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Restgehalt an Silizium in der Reflektorkeramik weniger als 4 ppm beträgt.
Diffusreflektor nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Reflektor als ein zylindrischer Stab mit einem Hohlraum mit annähernd elliptischer Querschnittsfläche ausgebildet ist, wobei der Reflektor aus, zwei oder mehr entlang seiner Längsachse aneinandergefügten Teilsegmenten besteht.