DE10225028B3 - Ball joint guide pins with snap-in modular, hoodless, self-adjusting, self-adjusting vacuum test adapter that can be contacted from above - Google Patents

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DE10225028B3 DE2002125028 DE10225028A DE10225028B3 DE 10225028 B3 DE10225028 B3 DE 10225028B3 DE 2002125028 DE2002125028 DE 2002125028 DE 10225028 A DE10225028 A DE 10225028A DE 10225028 B3 DE10225028 B3 DE 10225028B3
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Abstract

Modularer, haubenloser, höhenselbsteinstellender, zusätzlich von oben genau kontaktierbarer Vakuum-Prüfadapter zum Testen von elektronischen Schaltgruppen mit integrierter Niederhalterplatte unter Anwendung der Kugelgelenk-Führungsstifte mit Einrastung. DOLLAR A Der Prüfling (21) wird unter die Niederhalterplatte (11) gelegt und über Niederhalter (22) beim Ansaugen nach unten gedrückt. Zwei Kugelgelenk-Führungsstifte (17, 18) im hinteren Bereich sowie zwei Führungsstifte im vorderen Bereich erlauben das Hochklappen der Niederhalterplatte (11) und Einlegen des Prüflings (21). Die Niederhalterplatte (11) arbeitet innerhalb der Dichtung (19). Durch Führungsstifte (17) ist eine genaue Kontaktierung des Prüflings (21) von oben gegeben. Die Niederhalterplatte (11) mit Niederhalter (22) fährt den Prüfling (21) beim Ansaugen soweit herunter, bis der Prüfling (21) die unteren Distanzstücke (20) erreicht. Die Modularität wird durch Einlegen von mehreren Plate7 (7) realisiert.Modular, hoodless, self-adjusting vacuum test adapter, which can also be precisely contacted from above, for testing electronic switching groups with integrated hold-down plate using the ball joint guide pins with snap-in. DOLLAR A The test specimen (21) is placed under the hold-down plate (11) and pressed down over hold-down device (22) during suction. Two ball joint guide pins (17, 18) in the rear area and two guide pins in the front area allow the hold-down plate (11) to be folded up and the test specimen (21) to be inserted. The hold-down plate (11) works within the seal (19). Precise contacting of the test specimen (21) from above is provided by guide pins (17). The hold-down plate (11) with hold-down (22) lowers the test specimen (21) during suction until the test specimen (21) reaches the lower spacers (20). The modularity is realized by inserting several Plate7 (7).

Description

Modularer, haubenloser, höhenselbsteinstellender, zusätzlich von oben genau kontaktierbarer Vakuum-Prüfadapter zum Testen von elektronischen Schaltgruppen mit integrierter Niederhalterplatte unter Anwendung der Kugelgelenk-Führungsstifte mit Einrastung.Modular, hoodless, self-adjusting, additionally Vacuum test adapter that can be precisely contacted from above for testing electronic switching groups with integrated hold-down plate using the ball joint guide pins with snap.

Aus dem Stand der Technik ist nicht bekannt, dass der Prüfling mit dem Einsatz einer integrierten Niederhalterplatte (1: (11) im Vakuum-Prüfadapter, die direkt in der Dichtung (1: (19) verläuft beim Ansaugen nach unten gedrückt wird. Auch ist nicht bekannt, dass ein Adapter modular durch Einlegen von weiteren Plate 7 (1: (7)) der Prüflingshöhe einfach angepasst werden kann und dass die Höhenfeineinstellung der Niederhalter entfällt.It is not known from the prior art that the test object can be used with an integrated hold-down plate ( 1 : ( 11 ) in the vacuum test adapter, which is directly in the seal ( 1 : ( 19 ) runs downwards during suction. It is also not known that an adapter is modular by inserting further plate 7 ( 1 : ( 7 )) can easily be adjusted to the specimen height and that the height adjustment of the hold-down is not necessary.

Im Stand der Technik, insbesondere in den Druckschriften JP 07-146336 AA , DE 3637406 C1 und US 5894225 A wird das Anziehen des Prüflings unter Vakuum folgendermassen realisiert:In the prior art, especially in the publications JP 07-146336 AA . DE 3637406 C1 and US 5894225 A the test specimen is tightened under vacuum as follows:

  • – über Vakuum-Dichtung (Dichtung wird hierfür prüflingsspezifisch angefertigt und auf die Druckplatte (Pressure-Plate) vakuumdicht aufgebracht- via vacuum seal (For this purpose, the seal becomes specific to the test object made and vacuum-tight on the pressure plate upset
  • – über Vakuum-Haube mit Niederhalter, die entsprechend der Prüflingshöhe genau eingestellt werden müssen (Nachteil: grosser mechanischer Aufbau)- via vacuum hood with hold-down device, which can be set exactly according to the specimen height have to (Disadvantage: large mechanical structure)
  • – durch mechanische aufwendige Hebelvorrichtungen, die Grösse der Mechanik ist hier entsprechend groß und die Anzahl der möglichen Pins ist durch den Gegendruck der Prüffederkontakt auf ungefähr 300 Pins limitiert- by mechanically complex lever devices, the size of the Mechanics are correspondingly large here and the number of possible ones Pins is the test spring contact to about 300 pins due to the counter pressure limited

Alle oben genannten Methoden beinhalten nicht die einfache Anpassung der Prüflingshöhe und die Adaptiergenauigkeit von oben und erlauben keine kleine Adaptergrösse von z.B. Doppel-Europa-Format.All of the above methods do not include the simple adjustment of the specimen height and the Adaptation accuracy from above and do not allow a small adapter size of e.g. Double Eurocard format.

Die Aufgabe der Erfindung besteht darin teure prüflingsspezifische Abdichtungen wie Vakuum-Dichtung, Vakuum-Haube zu vermeiden, die Adaptiergenauigkeit (durch Führung der Niederhalterplatte über Führungsstifte) von oben zu verbessern und die Herstellungszeit eines Vakuum-Prüfadapters erheblich zu reduzieren.The object of the invention is in it expensive specimen-specific Seals like vacuum seals, vacuum hoods to avoid that Adaptation accuracy (through guidance the hold-down plate over Guide pins) improve from above and the manufacturing time of a vacuum test adapter significantly to reduce.

Diese Aufgabe wird mit einem Vakuum-Prüfadapter nach Anspruch 1 gelöst. Die Unteransprüche geben vorteilhafte Ausführungsformen an.This task is done with a vacuum test adapter solved according to claim 1. The subclaims indicate advantageous embodiments.

Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbesondere darin, dass nur nach dem Setzen der Abstandshalter (1: 22), bzw. durch Einlegen von weiteren Plate 7 (1: (7)) die Vakuumdichtigkeit und somit das Anziehen des Prüflings erzielt wird. Genaue Kontaktierungen von oben können nun einfach realisiert werden. Auch erlaubt das neue Verfahren kleine Adaptergrössen wie z.B. Doppel-Europa-Format ohne einen riesigen mechanischen Aufbau zu realisieren.The advantages achieved with the invention are in particular that only after the spacers ( 1 : 22 ), or by inserting additional Plate 7 ( 1 : ( 7 )) the vacuum tightness and thus the tightening of the test object is achieved. Exact contacts from above can now be easily implemented. The new process also allows small adapter sizes such as double Europe format to be realized without a huge mechanical structure.

Dieses neue Verfahren für den Prüfadapterbau zur Erzielung der Vakuumdichtigkeit und somit das Anziehen des Prüflings besteht also nur noch durch Setzen der Abstandshalter, bzw. durch Einlegen von weiteren Plate 7 (1: (7)).This new method for test adapter construction to achieve vacuum tightness and thus tightening the test piece only exists by setting the spacers or by inserting additional plate 7 ( 1 : ( 7 )).

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben.An embodiment of the invention is shown in the drawing and is described in more detail below.

Es zeigen: 1 Aufbau Modularer, haubenloser Vakuum-Prüfadapter mit integrierter Niederhalterplatte. Ansicht: Schnitt 1, Prüfling ist eingelegt, Adapter ist nicht angezogen. Die Schnittansicht wird in 6 dargestellt.Show it: 1 Construction Modular, hoodless vacuum test adapter with integrated hold-down plate. View: Section 1, DUT is inserted, adapter is not tightened. The sectional view is in 6 shown.

2 Aufbau Modularer, haubenloser Vakuum-Prüfadapter mit integrierter Niederhalterplatte. Ansicht: Schnitt 1, Prüfling ist eingelegt, Adapter ist angezogen. Die Schnittansicht wird in 6 dargestellt. 2 Construction Modular, hoodless vacuum test adapter with integrated hold-down plate. View: Section 1, DUT is inserted, adapter is tightened. The sectional view is in 6 shown.

3 Aufbau Modularer, haubenloser Vakuum-Prüfadapter mit integrierter Niederhalterplatte. Ansicht: Schnitt 2, Prüfling ist eingelegt, Adapter ist nicht angezogen. Die Schnittansicht wird in 6 dargestellt. 3 Construction Modular, hoodless vacuum test adapter with integrated hold-down plate. View: Section 2, test specimen is inserted, adapter is not tightened. The sectional view is in 6 shown.

4 Aufbau Modularer, haubenloser Vakuum-Prüfadapter mit integrierter Niederhalterplatte. Ansicht: Schnitt 2, Prüfling ist eingelegt, Adapter ist angezogen. Die Schnittansicht wird in 6 dargestellt. 4 Construction Modular, hoodless vacuum test adapter with integrated hold-down plate. View: Section 2, test specimen is inserted, adapter is tightened. The sectional view is in 6 shown.

5 Modularer, haubenloser Vakuum-Prüfadapter: Übersicht von Plate 1-Plate 11, Ansicht von oben. 5 Modular, hoodless vacuum test adapter: Overview of Plate 1-Plate 11, top view.

6 Draufsicht Modularer, haubenloser Vakuum-Prüfadapter mit integrierter Niederhalterplatte mit Angabe von Schnitt 1 und Schnitt 2. 6 Top view Modular, hoodless vacuum test adapter with integrated hold-down plate with specification of section 1 and section 2.

7 Kugelgelenkführungsstift mit Einrastung 7 Ball joint guide pin with snap

Bitte beachtenPlease note

In 1–7 wurden die gleichen Positionsbezeichnungen verwendet. Der genaue Verlauf von Schnitt 1 und Schnitt 2 ist in 6 ersichtlich.In 1-7 the same item names were used. The exact course of section 1 and section 2 is in 6 seen.

Erklärung zu 1 Explanation to 1

In 1: Modularer, haubenloser Vakuum-Prüfadapter mit integrierter Niederhalterplatte Ansicht: Prüfling ist eingelegt, Adapter ist nicht angezogen.In 1 : Modular, hoodless vacuum test adapter with integrated hold-down plate View: Test specimen is inserted, adapter is not tightened.

Wie aus 1 hervorgeht ist der Vakuum-Prüfadapter aus diversen Plates (1–11) aufgebaut. Ist die Prüflingshöhe sehr hoch, so kann die innere Vakuumskammerhöhe (25) sehr einfach durch Einlegen von weiteren Plate 7 (7) angepasst werden. Der obere Aufbau, hochgehend von Plate 8 (8), Plate 9 (9), Plate 10 (l0), Plate 11 (11), Dichtung aus Naftoflex (19), Niederhalter (22), Kugelgelenk-Führungsstift (17,18), Rändelschraube (16), Schraube M4 (28), DU-Buchse (29), Federgehäuse (23), Feder mit einstellbarer Höhe (24) ist immer gleich und wandert beim Einlegen von weiteren Plate7 (7) zusammen nach oben. Es muss hierbei keine Feineinstellung der Niederhalter (22) erfolgen. Der Prüfling (21) wird unter die Niederhalterplatte (11) gelegt und über Niederhalter (22) beim Ansaugen nach unten gedrückt. Zwei Kugelgelenk-Führungsstifte (17, 18) im hinteren Bereich (1: Schnitt 1) sowie zwei Führungsstifte (3: (30)) im vorderen Bereich (3: Schnitt 2) erlauben das Hochklappen der Niederhalterplatte (6: (11) und Einlegen des Prüflings (21). Der Drehpunkt von Plate 11 (6: (11) befindet sich hierbei auf dem hinteren Teil der Naftoflex-Dichtung (6: (19), d. h. Plate 11 (6: (11)) liegt voll auf der Naftoflex-Dichtung (6: (19)) auf und benutzt diese als Auflagefläche um Plate 11 (6: (11)) hochzuklappen. Die Niederhalterplatte (11) mit Niederhalter (22) fährt den Prüfling (21) beim Ansaugen des Vakuums soweit herunter, bis der Prüfling (21) die unteren Distanzstücke (20) erreicht. Somit erfolgt eine optimale Anpassung. Der aktive Arbeitsbereich der Niederhalterplatte (11) befindet sich innerhalb der Dichtung (19). Durch Führungsstifte (17), 3: (30) die in den DU-Buchsen (29), 3 (29) gleiten ist eine genaue Kontaktierung des Prüflings (21) auch von oben gegeben.How out 1 the vacuum test adapter emerges from various plates ( 1-11 ) given up builds. If the specimen height is very high, the inner vacuum chamber height ( 25 ) very easy by inserting additional Plate 7 ( 7 ) be adjusted. The upper structure, rising from Plate 8th ( 8th ), Plate 9 ( 9 ), Plate 10 ( l0 ), Plate 11 ( 11 ), Seal made of Naftoflex ( 19 ), Hold-down ( 22 ), Ball joint guide pin ( 17 . 18 ), Knurled screw ( 16 ), Screw M4 ( 28 ), DU socket ( 29 ), Spring housing ( 23 ), Spring with adjustable height ( 24 ) is always the same and moves when another Plate7 is inserted ( 7 ) up together. There is no need to fine-tune the hold-down ( 22 ) respectively. The examinee ( 21 ) is placed under the hold-down plate ( 11 ) placed and over hold-down device ( 22 ) pressed down during suction. Two ball joint guide pins ( 17 . 18 ) in the rear area ( 1 : Section 1) and two guide pins ( 3 : ( 30 )) in the front area ( 3 : Section 2) allow the hold-down plate to be folded up ( 6 : ( 11 ) and inserting the test object ( 21 ). Plate's fulcrum 11 ( 6 : ( 11 ) is located on the rear part of the Naftoflex seal ( 6 : ( 19 ), ie plate 11 ( 6 : ( 11 )) lies fully on the Naftoflex seal ( 6 : ( 19 )) and uses this as a support surface around the plate 11 ( 6 : ( 11 )) fold up. The hold-down plate ( 11 ) with hold-down device ( 22 ) drives the test object ( 21 ) when sucking in the vacuum until the test object ( 21 ) the lower spacers ( 20 ) reached. This ensures an optimal adjustment. The active working area of the hold-down plate ( 11 ) is inside the seal ( 19 ). With guide pins ( 17 ) 3 : ( 30 ) in the DU sockets ( 29 ) 3 ( 29 ) is a precise contacting of the test object ( 21 ) also given from above.

Die Federn (24) mit einstellbarer Höhe sorgen dafür, dass sich die Niederhalterplatte (11) beim Auschalten des Vakuums in der Dichtung wieder nach oben bewegt und die Niederhalterplatte (11) wieder nach oben geklappt werden kann. Die Federn (24) mit einstellbarer Höhe erlauben das exakte Einstellen der optimalen Öffnungsposition der Niederhalterplatte (11). Beim Einschalten des Vakuums fahren die Führungsstifte (17, 18) nach unten. Hierfür wird, aufgrund der Länge der Führungsstifte (17, 18), die für das Hochklappen der Niederhalterplatte (11) benötigt wird, jeweils ein Loch in Plate 5 (5) benötigt, das über eine Vakuum-Dichtkappe (15) wieder vakuumdicht gemacht wird. Die Führungsstifte 3 (30) bleiben fest in Ihrer Position auf Plate 8 (3: (8)) Die Rändelschraube (16) sorgt dafür, dass beim vorne nach oben Klappen der Niederhalterplatte (11), die Niederhalterplatte (11) im hinteren Bereich (1: Schnitt 1) nicht aus der DU-Buchsen-Führung (29) herausgehoben wird. Das Vakuum des Testsystems wird über Vakuum-Verbindungsstücke (26) in die Vakuumkammer geleitet. Die Drahtverbindungen (13 ) vom Kontaktteil (12) zur Hülse (14) werden in der vakuumfreien Verdrahtungskammer (27) realisiert.The feathers ( 24 ) with adjustable height ensure that the hold-down plate ( 11 ) when the vacuum in the seal is switched off, it moves up again and the hold-down plate ( 11 ) can be folded up again. The feathers ( 24 ) with adjustable height allow the exact setting of the optimal opening position of the hold-down plate ( 11 ). When the vacuum is switched on, the guide pins ( 17 . 18 ) downward. Due to the length of the guide pins ( 17 . 18 ) which is used to fold up the hold-down plate ( 11 ) a hole in plate 5 is required ( 5 ), which has a vacuum sealing cap ( 15 ) is made vacuum tight again. The guide pins 3 ( 30 ) remain firmly in their position on plate 8th ( 3 : ( 8th )) The knurled screw ( 16 ) ensures that when the hold-down plate is folded upwards at the front ( 11 ), the hold-down plate ( 11 ) in the rear area ( 1 : Cut 1 ) not from the DU bushing guide ( 29 ) is lifted out. The vacuum of the test system is checked using vacuum connectors ( 26 ) passed into the vacuum chamber. The wire connections ( 13 ) from the contact part ( 12 ) to the sleeve ( 14 ) are in the vacuum-free wiring chamber ( 27 ) realized.

Erklärung zu 2 Explanation to 2

In 2: Modularer, haubenloser Vakuum-Prüfadapter mit integrierter Niederhalterplatte.In 2 : Modular, hoodless vacuum test adapter with integrated hold-down plate.

Ansicht: Schnitt 1, Prüfling ist eingelegt, Adapter ist angezogen. Wie ersichtlich hat beim Einschalten des Vakuums, die Niederhalterplatte (2: (11)), die im Bereich der Dichtung (19) arbeitet, den Prüfling (21) über Niederhalter (22) nach unten bis zu den Distanzstücken (20) gedrückt. Somit ist der Kontakt vom Prüfling zum Testsystem gegeben.View: Section 1, DUT is inserted, adapter is tightened. As can be seen, when the vacuum was switched on, the hold-down plate ( 2 : ( 11 )) in the area of the seal ( 19 ) works, the examinee ( 21 ) via hold-down device ( 22 ) down to the spacers ( 20 ) pressed. This ensures that there is contact from the test object to the test system.

Erklärung zu 3 Explanation to 3

In 3: Modularer, haubenloser Vakuum-Prüfadapter mit integrierter Niederhalterplatte.In 3 : Modular, hoodless vacuum test adapter with integrated hold-down plate.

Ansicht: Schnitt 2, Prüfling ist eingelegt, Adapter ist nicht angezogen.View: Section 2, DUT is inserted, adapter is not tightened.

Wie ersichtlich kann durch die Form der Führungsstifte (30) die Niederhalterplatte (11) nach oben herausgekippt werden. Die DU-Buchsen (29) in der Niederhalterplatte (11) dienen zum Gleiten der Führungsstifte (30).As can be seen, the shape of the guide pins ( 30 ) the hold-down plate ( 11 ) can be tilted upwards. The DU sockets ( 29 ) in the hold-down plate ( 11 ) are used to slide the guide pins ( 30 ).

Erklärung zu 4 Explanation to 4

In 4: Modularer, haubenloser Vakuum-Prüfadapter mit integrierter Niederhalterplatte.In 4 : Modular, hoodless vacuum test adapter with integrated hold-down plate.

Ansicht: Schnitt 2, Prüfling ist eingelegt, Adapter ist angezogen. Wie ersichtlich hat beim Einschalten des Vakuums, die Niederhalterplatte (4: (11)) die im Bereich der Dichtung (19) arbeitet, den Prüfling (21) über Niederhalter (22) nach unten bis zu den Distanzstücken (20) gedrückt. Somit ist der Kontakt vom Prüfling zum Testsystem gegeben. Die Führungsstifte (30) sorgen für die genaue Führung der Niederhalterplatte (11). Die DU-Buchsen (29) in der Niederhalterplatte (11) dienen zum Gleiten der Führungsstifte (30).View: Section 2, test specimen is inserted, adapter is tightened. As can be seen, when the vacuum was switched on, the hold-down plate ( 4 : ( 11 )) in the area of the seal ( 19 ) works, the examinee ( 21 ) via hold-down device ( 22 ) down to the spacers ( 20 ) pressed. This ensures that there is contact from the test object to the test system. The guide pins ( 30 ) ensure precise guidance of the hold-down plate ( 11 ). The DU sockets ( 29 ) in the hold-down plate ( 11 ) are used to slide the guide pins ( 30 ).

Erklärung zu 5 Explanation to 5

In 5: Modularer, haubenloser Vakuum-Prüfadapter; Übersicht von Plate 1-Plate 11, Ansicht von oben gegeben.In 5 : Modular, hoodless vacuum test adapter; Overview of plate 1-plate 11, top view.

Hierbei handelt es sich um massenvorgefertigte, entsprechend bearbeitete CEM1-Einzelplatten, die entsprechend Ihrer Anordnung aufeinander gesetzt werden.These are mass-produced, correspondingly machined CEM1 single plates, according to your Arrangement can be placed on top of each other.

Erklärung zu 6 Explanation to 6

In 6: Draufsicht Modularer, haubenloser Vakuum-Prüfadapter mit integrierter Niederhalterplatte mit Angabe von Schnitt 1 und Schnitt 2.In 6 : Top view Modular, hoodless vacuum test adapter with integrated hold-down plate with specification of section 1 and section 2.

Wie ersichtlich liegt die Niederhalterplatte (11) voll auf der Vakuumdichtung (19) auf. Diese Vakuumdichtung (19) bildet auch den Drehpunkt der Niederhalterplatte (11). Die diversen Platten Platel-Plate 10 (5) des modularen Prüfadapters werden mit Zylinderstiften (33) d = 3.00 fixiert zusammengebaut und mit M3-Schrauben (34) verschraubt.As can be seen, the hold-down plate ( 11 ) full on the vacuum seal ( 19 ) on. This vacuum seal ( 19 ) also forms the pivot point of the hold-down plate ( 11 ). The various plates platel-plate 10 ( 5 ) of the modular test adapter are fitted with cylinder pins ( 33 ) d = 3.00 assembled and fixed with M3 screws ( 34 ) screwed.

Erklärung zu 7 Explanation to 7

In 7: Ansicht Kugelgelenk-Führungsstift mit Einrastung. Die Kugelgelenk-Führungsstifte (17, 18) mit Einrastung bestehen aus Führungsstiften, die durch ein Kugelgelenk um 85 Grad gekippt werden können. Bei 80 Grad Neigung erfolgt bereits die Einrastung. Durch dieses Einrasten bleibt die Niederhalterplatte (6 (11) geöffnet . Durch leichten manuellen Druck nach vorne wird die Einrastung wieder beseitigt und die Niederhalterplatte(6 (11) in Richtung Dichtung (6 (11) bewegt.In 7 : View of ball joint guide pin with snap. The ball joint guide pins ( 17 . 18 ) with latching consist of guide pins that can be tilted by 85 degrees by means of a ball joint. With an inclination of 80 degrees, it is already locked into place. By this snapping the hold-down plate remains ( 6 ( 11 ) open . The snap-in action is removed by light manual pressure towards the front and the hold-down plate ( 6 ( 11 ) towards seal ( 6 ( 11 ) emotional.

Claims (3)

Modularer Vakuum-Prüfadapter mit einer Vakuum-Kammer und einer Verdrahtungskammer, zum Testen von elektronischen Schaltgruppen, dadurch gekennzeichnet, dass die Verdrahtungskammer (27) und die Vakuumkammer (25) übereinander angeordnet sind, die Verdrahtungskammer (27) aus einer ersten Platte (1) mit Kontaktteilen (12) zu einem Testsystem und aus einer zweiten Platte (5) mit Prüffederkontakten (14) und aus zwischen der ersten und der zweiten Platte liegenden dritten Platten (24) besteht, die Vakuumkammer (25) durch die zweite Platte (5) und einen oberen Aufbau (811, 1619, 2224, 28, 29) und aus zwischen der zweiten Platte (5) und dem oberen Aufbau zur Einstellung der Kammerhöhe liegenden vierten Platten (6, 7), gebildet wird, und wobei zum Einlegen und Herausnehmen der zu testenden elektronischen Schaltgruppe (21), im oberen Aufbau und die Niederhalterplatte (11) klappbar ist.Modular vacuum test adapter with a vacuum chamber and a wiring chamber, for testing electronic switching groups, characterized in that the wiring chamber ( 27 ) and the vacuum chamber ( 25 ) are arranged one above the other, the wiring chamber ( 27 ) from a first plate ( 1 ) with contact parts ( 12 ) to a test system and from a second plate ( 5 ) with test spring contacts ( 14 ) and third plates lying between the first and second plates ( 2 - 4 ), the vacuum chamber ( 25 ) through the second plate ( 5 ) and an upper structure ( 8th - 11 . 16 - 19 . 22 - 24 . 28 . 29 ) and out between the second plate ( 5 ) and the upper structure for adjusting the chamber height of the fourth plates ( 6 . 7 ), and being used to insert and remove the electronic circuit group to be tested ( 21 ), in the upper structure and the hold-down plate ( 11 ) is foldable. Vakuum-Prüfadapter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass im oberen Aufbau zusätzlich zu der Niederhalterplatte (11) eine fünfte Platte (8) mit DU-Buchsen (29) und höhenverstellbaren Federn (24) in Federgehäusen (23) und eine sechste (9) und eine siebte (10) Platte und eine Dichtung (19) enthalten sind.Vacuum test adapter according to claim 1, characterized in that in the upper structure in addition to the hold-down plate ( 11 ) a fifth plate ( 8th ) with DU sockets ( 29 ) and height-adjustable springs ( 24 ) in spring housings ( 23 ) and a sixth ( 9 ) and a seventh ( 10 ) Plate and a seal ( 19 ) are included. Vakuum-Prüfadapter nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass im oberen Aufbau das Klappen und Positionieren der Niederhalterplatte (11) ermöglicht wird durch Führungsstifte (30), die an der fünften Platte (8) befestigt sind, und durch Gelenk-Führungsstifte (17, 18), die an der Niederhalterplattte (11) befestigt sind, wobei die Führungsstifte (30) in DU-Buchsen (29) in der Niederhalterplattte (11) und die Gelenk-Führungsstifte (17; 18) in DU-Buchsen (29) in der fünften Platte (8) gleiten und dadurch eine genaue Führung der Niederhalterplatte (11) erzielt wird. Vacuum test adapter according to claim 2, characterized in that the folding and positioning of the hold-down plate ( 11 ) is made possible by guide pins ( 30 ) on the fifth plate ( 8th ) are attached, and by articulated guide pins ( 17 . 18 ) on the hold-down plate ( 11 ) are attached, the guide pins ( 30 ) in DU sockets ( 29 ) in the hold-down plate ( 11 ) and the hinge guide pins ( 17 ; 18 ) in DU sockets ( 29 ) in the fifth plate ( 8th ) slide and thereby an exact guidance of the hold-down plate ( 11 ) is achieved.
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